專利名稱：分?jǐn)嘌b置及分?jǐn)喾椒?br> 技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明尤其涉及一種用于切斷低溫共燒陶瓷基板、高溫共燒陶瓷基板等脆性材料 基板的分?jǐn)嘌b置及分?jǐn)喾椒ā?br> 背景技術(shù)：
低溫共燒陶瓷(以下稱為LTCC(Low Temperature Co-Fired Ceramic))是如下基 板在氧化鋁骨材與玻璃材料混合而成的薄片上對導(dǎo)體進(jìn)行配線而形成多層膜，以800°C 左右的低溫共燒所述多層膜。LTCC基板是在1塊母板上同時形成多個格子狀的功能區(qū)域， 并對應(yīng)各功能區(qū)域來分割所述多個功能區(qū)域而加以使用。如專利文獻(xiàn)1所示，以往是使用 陶瓷用劃線器來進(jìn)行劃線，并手動分?jǐn)郘TCC基板。此外也有利用切割工具而機械地切斷 LTCC基板的情況。[以往技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利第3116743號公報

發(fā)明內(nèi)容
[發(fā)明所要解決的問題]以往利用機械切割的分割方法中，不僅切割頗費時間，且難以準(zhǔn)確地進(jìn)行切割。而 且，具有切斷時產(chǎn)生粉塵、或者必須預(yù)先在母板上的各小基板之間設(shè)置用于切斷的固定空 間之類的缺點。針對LTCC基板也沿著所需切劃線而準(zhǔn)確地刻畫母板時，可以沿著切劃線來進(jìn)行 分割。但是在LTCC基板等上形成劃線之后手動分?jǐn)鄷r，其形狀有限。例如若基板大于 5mm見方便可手動分?jǐn)嗫坍嫼蟮腖TCC基板等。然而，若尺寸小于5mm見方，則難以施加均勻 之力而進(jìn)行分?jǐn)唷＞哂袕娭品謹(jǐn)鄷r易產(chǎn)生制品的切削不良之類的缺點。本發(fā)明的目的在于提供一種在基板上形成切劃線之后能夠容易地分?jǐn)嗟姆謹(jǐn)嘌b 置及分?jǐn)喾椒ā解決問題的技術(shù)手段]為了解決所述問題，本發(fā)明的分?jǐn)嘌b置包括平臺，載置預(yù)先形成著切劃線且應(yīng)切 斷的基板，并將其端部作為分?jǐn)嗑€；夾持單元，使所述平臺上的基板的切劃線從平臺端部的 分?jǐn)嗑€起向外側(cè)突出Tl 0)而加以保持；及分?jǐn)鄦卧?，相對于平臺的面自由移動地設(shè)置 在所述平臺的側(cè)方，按壓從所述平臺突出的基板的端部，并進(jìn)行分?jǐn)?。此處還可以更包括監(jiān)測機構(gòu)，用來識別從所述平臺的端部突出的基板的位置。此處，所述分?jǐn)鄦卧部梢允狗謹(jǐn)嗖繌钠涠瞬孔运銎脚_的分?jǐn)嗑€起向外側(cè)離開 T2( ^0)的位置起上下移動。此處，所述分?jǐn)鄦卧部梢允狗謹(jǐn)嗖繌钠涠瞬孔运銎脚_端部的分?jǐn)嗑€起向外側(cè)離開T2(>0)的位置起轉(zhuǎn)動。為了解決所述問題，本發(fā)明的分?jǐn)喾椒ㄔ趯⒍瞬孔鳛榉謹(jǐn)嗑€的平臺上載置預(yù)先形 成著切劃線且應(yīng)切斷的基板，然后使所述平臺上的基板的切劃線從平臺端部的分?jǐn)嗑€起向 外側(cè)突出Tl( >0)而加以保持，從所述平臺的側(cè)方按壓自所述平臺突出的基板的端部，并 進(jìn)行分?jǐn)唷４颂?，所述分?jǐn)嗖襟E也可以從分?jǐn)嗖康挠覀?cè)端部自所述平臺的分?jǐn)嗑€起向外側(cè) (左側(cè))離開Τ2( >0)的位置起使所述分?jǐn)嗖可舷乱苿?。此處，所述分?jǐn)嗖襟E也可以從分?jǐn)嗖康挠覀?cè)端部自所述平臺端部的分?jǐn)嗑€起向外 側(cè)(左側(cè))離開Τ2 ( >0)的位置起使分?jǐn)嗖哭D(zhuǎn)動。作為本發(fā)明的對象的基板，包括了低溫共燒陶瓷基板、高溫共燒陶瓷基板等陶瓷 基板、其他除玻璃以外的各種脆性材料基板。[發(fā)明的效果]根據(jù)具有此種特征的本發(fā)明，可以對應(yīng)每個切劃線進(jìn)行定位并沿著切劃線施加均 勻之力而加以分?jǐn)唷Ｒ虼?，脆性材料基板可以不論其形狀而沿著切劃線被分割。所以，在基 板的尺寸較小、或通過分割而獲得例如5mm以下的小制品的情況下，特別有效。


圖1是本發(fā)明的第1實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b置的平面圖。
圖2是本實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b置的前視圖。
圖3(a) (c)是表示本實施形態(tài)的平臺端部的各種形狀的部分側(cè)視圖。
圖4A是表示平臺端部與基板及分?jǐn)鄦卧奈恢藐P(guān)系的圖。
圖4B是表示平臺端部與基板及分?jǐn)鄦卧奈恢藐P(guān)系的圖。
圖5A是表示平臺端部與基板及分?jǐn)鄦卧奈恢藐P(guān)系的圖。
圖5B是表示平臺端部與基板及分?jǐn)鄦卧奈恢藐P(guān)系的圖。
圖5C是表示平臺端部與基板及分?jǐn)鄦卧奈恢藐P(guān)系的圖。
圖6A是表示分?jǐn)鄦卧钠渌拥膱D。
圖6B是表示分?jǐn)鄦卧囊苿拥钠渌拥膱D。
圖7是本發(fā)明第2實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b置的平面圖。
圖8是本實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b置的前視圖。
圖9是本實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b置的右側(cè)視圖。
圖10是本實施形態(tài)的定位滑板及分?jǐn)喟宓耐敢晥D。
圖11是本實施形態(tài)的按壓塊及基板壓板的透視圖。
圖12是表示平臺端部與基板、基板定位器及分?jǐn)鄦卧奈恢藐P(guān)系的圖。
[符號的說明]
10、100分?jǐn)嘌b置
20基座部
21,22 基座
22,113 平臺
23基板
30、130定位部
31滑塊
32固定部
117基板導(dǎo)板
40、140夾持單元
41按壓條
42按壓桿
50、120分?jǐn)鄦卧?br> 51分?jǐn)嗖?br> 55、135量規(guī)
60、160監(jiān)測部
61、161CCD相機
112載物臺底
123定位滑板
124分?jǐn)喟?br> 125切割推桿
131定位滑塊
132基板定位器
133調(diào)整螺絲板
134調(diào)整螺絲
141按壓塊
142基板壓板
150托盤
具體實施例方式接下來，對本發(fā)明的第1實施形態(tài)加以說明。圖1是表示第1實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b 置的構(gòu)成的平面圖，圖2是其前視圖。如所述多個圖所示，分?jǐn)嘌b置10包括基座部20、定位 部30、夾持單元40、分?jǐn)鄦卧?0、及監(jiān)測部60?；?0在基座21上保持平臺22，在平臺22的左側(cè)方保持分?jǐn)鄦卧?0。為便 于說明，在本說明書中以平臺為基準(zhǔn)將分?jǐn)鄦卧獋?cè)設(shè)為左(相反側(cè)設(shè)為右)，以分?jǐn)鄦卧獮?基準(zhǔn)將平臺側(cè)設(shè)為右(相反側(cè)設(shè)為左)。在平臺22的右端保持著定位部30，在左端保持著 夾持單元40。平臺22上載置著LTCC基板等由脆性材料形成的基板23，但圖1、圖2表示的 是載置前的狀態(tài)。在平臺22的中央處沿著X軸方向(左右方向)而設(shè)有傳送槽24。定位部30使基板23的右端抵接后在X軸方向上傳送基板23，同時改變XY平面上 的角度，從而對基板23進(jìn)行定位。定位部30是表現(xiàn)為沿著平臺22中央處的傳送槽24自 由移動的滑塊31、與固定部32。如圖1所示，滑塊31可改變角度，從而可以應(yīng)對各種形狀 的基板。夾持單元40用來使要切割的基板23的端部以從平臺22的左端部起突出的狀態(tài) 而加以保持，且包含按壓條41與按壓桿42。夾持單元40的按壓條41是大于平臺22在Y軸方向上的寬度的長條狀構(gòu)件，保持為與XY平面平行且自由地略微上下移動。按壓桿42 是用來使按壓條41上下移動的推桿。使用者通過在基板23定位之后，使按壓桿42下降， 可以利用按壓條41從上部按壓基板23的左端從而使其固定。分?jǐn)鄦卧?0將從平臺22突出的基板23分?jǐn)?。如圖1、圖2所示，分?jǐn)鄦卧?0的 分?jǐn)嗖?1利用彈簧52而保持為在Z軸方向上以微小間隔自由地上下移動。使用者通過操 作切斷推桿53，可以使分?jǐn)嗖?1上下移動。分?jǐn)嗖?1右端的側(cè)面形成為楔狀。分?jǐn)嗖?1 在X軸方向上的位置可以通過調(diào)整旋鈕54而略微地變化。此外，分?jǐn)嗖?1在X軸方向上 的位置可以通過量規(guī)55來顯示。而且，如圖2所示，在所述平臺22的上部，設(shè)有用來識別平臺22上的基板端部的 狀態(tài)的監(jiān)測部60。監(jiān)測部60包含CCD (Charge Coupled Device，電荷耦合器件)相機61， CXD相機61利用滑動機構(gòu)62而在Y軸方向上自由移動。CXD相機61對平臺22端部的基 板的位置進(jìn)行拍攝，所拍攝的圖像通過未圖示的監(jiān)視器而向使用者顯示。接下來，說明使用所述分?jǐn)嘌b置對預(yù)先平行形成著多個切劃線SL的基板進(jìn)行切 斷時的動作。首先，在平臺22上配置基板23，使滑塊31的端部(左端)接觸于基板23的 右端，并使基板23上形成的切劃線與平臺22的左側(cè)端部對準(zhǔn)。關(guān)于所述位置將于下文進(jìn) 行詳細(xì)說明。此時利用監(jiān)測部60的CCD相機61來確認(rèn)基板左側(cè)面及/或切劃線SL的位 置。然后，在所述狀態(tài)下利用定位部30的固定部32來固定基板23的右端面。接著使 分?jǐn)鄦卧?0靠近平臺22的左側(cè)端面，并固定在預(yù)定位置處。然后利用夾持單元40的按壓 條41從上部按壓基板23的左端而使其固定。代替所述固定，也可以從平臺22的下部利用 真空吸附來固定基板。接下來，通過轉(zhuǎn)動分?jǐn)鄦卧?0的切斷推桿53而壓下分?jǐn)嗖?1。借 此可以沿著切劃線而分?jǐn)嗷?3。然后，解除基板23的固定。接著解除滑塊31的固定，使 滑塊31沿著平臺22的槽24移動，移動到下一切劃線并重復(fù)相同的處理。接下來，對平臺22的端部的結(jié)構(gòu)及平臺與分?jǐn)鄦卧盎宓年P(guān)系進(jìn)行說明。圖3 是表示保持基板23的平臺22的左側(cè)端部的各種形狀的側(cè)視圖。首先，如圖3(a)所示平臺 22的端部可以是長方體狀。這種情況下將所述平臺22的脊線作為分?jǐn)嗑€BLl。此外，如圖 3(b)所示，平臺22也可以在端部形成截面為斜面的切口。這種情況下將平臺22的上面與 斜面的脊線作為分?jǐn)嗑€BL2。此外，如圖3(c)所示，還可以構(gòu)成為使平臺22的端部彎曲。 這種情況下將開始彎曲的部分作為分?jǐn)嗑€BL3。如圖3(a) (c)分別所示般，所述多個分 斷線BLl BL3是與圖紙垂直的線。接下來，對使用圖3 (a)所示的長方體狀的平臺22時的基板23與分?jǐn)鄦卧?0的關(guān) 聯(lián)進(jìn)行說明。首先如圖4所示，可以使基板23上面形成的切劃線SL與分?jǐn)嗑€BLl在Z軸 方向上一致(在同一 YZ平面上平行地存在)。此時如圖4A所示，從上部壓下的分?jǐn)嗖?1 的右側(cè)端部可以在Z軸上與分?jǐn)嗑€BLl—致(在同一 YZ平面上平行地存在)。此外，如圖 4B所示，也可以處于比分?jǐn)嗑€BLl更靠外側(cè)(左側(cè))的位置。所述位置需要利用監(jiān)測部60 的CXD相機61來確認(rèn)。無論哪種情況下，通過將分?jǐn)嗖?1向Z軸的負(fù)方向、即下方壓下， 便可沿著切劃線SL來進(jìn)行分?jǐn)?。而且，如圖5所示，基板23的切劃線SL也可以從平臺22的分?jǐn)嗑€BLl起向左側(cè)、 即外側(cè)突出而加以固定。這種情況下，如圖5A所示可以使分?jǐn)嗖?1的端部與分?jǐn)嗑€BLl對準(zhǔn)。此外，如圖5B所示，也可以使分?jǐn)嗖?1的右側(cè)端部與切劃線SL對準(zhǔn)。另外，如圖5C 所示也可以設(shè)為比切劃線SL更靠外側(cè)(左側(cè))。所述位置需要利用監(jiān)測部60的CXD相機 61來進(jìn)行確認(rèn)。無論在哪種情況下，通過將分?jǐn)鄦卧?0向下方壓下，便可沿著切劃線SL來 分?jǐn)嗷?3。更通常而言，若如圖5C所示，將分?jǐn)嗑€BL與切劃線SL在X軸方向上的間隔設(shè)為 Tl，將分?jǐn)嗑€BL與分?jǐn)鄦卧?0在X軸方向上的間隔設(shè)為T2，則會考慮如下情況。(I)Tl = T2 = 0(2)Tl > T2 ^ 0(3)T2 > Tl ^ 0(4)Τ2 = Tl > 0圖4A是(1)的情況，圖4B是(3)的情況，圖5A、圖5B、圖5C分別是⑵、(4)及 (3)的情況。此處當(dāng)平臺22處于圖3(b)或(c)的情況下，若將分?jǐn)嗑€BL2、BL3與平臺22左端 之間的間隔設(shè)為ΔΤ，則T2必須在Δ T以上。此外，于本實施形態(tài)中，如圖4Α 圖5C所示，分?jǐn)鄦卧?0的分?jǐn)嗖?1具有與基 板23平行的下面，并由分?jǐn)嗖康南旅鎸⒒?3上面向下方壓下，但也可以如圖6Α所示，使 用具有不與基板23的面平行而是向右側(cè)上方傾斜的傾斜面的分?jǐn)鄦卧?，利用傾斜面將基 板23上面向Z軸方向壓下。而且，如圖6Β所示，也可以使下面與基板23平行的分?jǐn)嗖?1 如圖中箭頭所示般轉(zhuǎn)動，從而將基板23的左端壓下，借此沿著切劃線SL進(jìn)行分?jǐn)?。接下來，對本發(fā)明的第2實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b置進(jìn)行說明。圖7是表示本實施形態(tài) 的分?jǐn)嘌b置100的構(gòu)成的平面圖，圖8是其前視圖，圖9是右側(cè)視圖。本實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b 置100也包括基座部110、分?jǐn)鄦卧?20、定位部130、夾持單元140及監(jiān)測部160。在本實 施形態(tài)中，基座部110在底板111上保持著載物臺底板112。載物臺底板112利用4根支柱 114來支撐上部的平臺113。載物臺底板112構(gòu)成為可以在底板111上向X軸方向以微小 間隔移動，且利用安裝在托架115上的載物臺移動調(diào)整螺絲116而設(shè)定在所需位置之后，利 用螺栓而固定在底板111上。如圖7所示，在平臺113上沿著其中一側(cè)面而設(shè)有基板導(dǎo)板 117?；鍖?dǎo)板117通過抵壓要切斷的基板的側(cè)面，而保持所述基板在Y軸方向上的位置。分?jǐn)鄦卧?20將從平臺113突出的基板23分?jǐn)?。在本實施形態(tài)中，包含螺旋彈簧 121a、121b的支撐軸122a、122b是垂直地嵌入在底板111上。分?jǐn)鄦卧?20包含定位滑板 123與分?jǐn)喟?24，定位滑板123及分?jǐn)喟?24通過支撐軸122a、122b而保持為與XY平面平 行且在固定范圍內(nèi)自由地上下移動。如圖10的透視圖所示，定位滑板123是平板狀構(gòu)件， 左右設(shè)有長方形狀的保持部123a、123b，由保持部的側(cè)壁引導(dǎo)下述定位滑塊并將其保持為 在X軸方向上自由地滑動。此外，在其上部設(shè)有平板狀的分?jǐn)喟?24，并利用螺栓而一體地 固定在定位滑板123上。定位滑板123與分?jǐn)喟?24僅在Z軸方向(上下方向)上以微小 間隔自由地移動。分?jǐn)喟?24用來分?jǐn)嗷?3，且將與平臺113的左側(cè)端面相向的右側(cè)面 設(shè)為朝向上方的斜面。此外，支撐軸122a的上部利用插針(pin)而轉(zhuǎn)動自由地與切斷推桿 125的一端連結(jié)。如圖8、圖9所示，切斷推桿125配置成與Y軸方向平行，且設(shè)于其中間的 輥126抵接于分?jǐn)喟?24上。而且，在圖7中省略了切斷推桿的圖示。接下來，對定位部130進(jìn)行說明。定位部130包含圖10所示的定位滑塊131及基板定位器132。定位滑塊131及基板定位器132是通過螺栓而一體地固定，且整體成T字 狀。基板定位器132的長度方向的右側(cè)面是讓基板23接觸的面。定位滑塊131在定位滑 板123上的一對保持部123a、123b的側(cè)壁上被引導(dǎo)，且保持為僅在X軸方向上自由滑動。在 定位滑板123的側(cè)方，如圖7、圖8所示，設(shè)有定位調(diào)整螺絲板133及調(diào)整螺絲134，利用調(diào) 整螺絲134可以使定位滑塊131在X軸方向上移動。此外，構(gòu)成為X軸方向上的位置可以 利用量規(guī)135來進(jìn)行確認(rèn)。接下來，夾持單元140使要切斷的基板23的端部以從平臺113突出的狀態(tài)而加以 保持。夾持單元140是由安裝在分?jǐn)鄦卧?20上的按壓塊141與基板壓板142而構(gòu)成。如 圖11的透視圖所示，按壓塊141包含將平板彎折成L字狀的形狀的方塊部141a與固定部 141b，固定部141b利用2根螺栓而固定在分?jǐn)喟?24的右側(cè)上面。基板壓板142是細(xì)長的 平板狀構(gòu)件，且沿著Y軸方向而配置在平臺的端部。按壓塊141通過按壓軸143及彈簧144 而將基板壓板142保持為自由地上下移動。因此，通過將切斷推桿125朝向下方壓下，可以 使分?jǐn)喟?24與定位部130、夾持單元140 —體地上下移動。此外，在底板111上，設(shè)有用來 保持切斷后的基板的基板托盤150。而且，在所述平臺113的上部，如圖8所示設(shè)有用來識別平臺113上的基板的左側(cè) 端部狀態(tài)的監(jiān)測部160。監(jiān)測部160包含CXD相機161，CXD相機161利用滑動機構(gòu)162而 在Y軸方向上自由地移動。C⑶相機161用來拍攝平臺113左側(cè)端部的基板的位置，所拍攝 的圖像通過未圖示的監(jiān)視器而向使用者顯示。此外，在圖7、圖9中省略了監(jiān)測部160的圖示。接下來，使用圖12，來說明使用所述分?jǐn)嘌b置對預(yù)先平行形成著多個切劃線SL的 基板進(jìn)行切斷時的動作。在第2實施形態(tài)的分?jǐn)嘌b置100中，可以不使分?jǐn)喟?24在X軸 方向上移動，而使平臺113與基板定位器132在X軸方向上移動。首先，通過調(diào)整螺絲116 來設(shè)定平臺113在X軸方向上的位置，并設(shè)定所述調(diào)整螺絲116與分?jǐn)喟?24端部的間隔 T2。接著進(jìn)行基板定位器132的X軸方向上的定位。也就是，通過使調(diào)整螺絲134旋轉(zhuǎn)，定 位滑塊131與基板定位器132在定位滑板123上向-X軸方向移動微小距離，設(shè)定間隔T3。 可以利用量規(guī)135來確認(rèn)與此時的平臺113的端部之間的間隔。若將平臺端部與切劃線的 突出量設(shè)為與第1實施形態(tài)相同的Tl，則下式成立。Tl = T3+T2-P而且，P是Y軸方向上形成的切劃線在X軸方向上的間距。然后，在平臺113上載置基板23，并將其Y軸方向上的端部頂在基板導(dǎo)板117上。 而且，使基板23的左側(cè)端部抵接于基板定位器132的右側(cè)端部。在所述狀態(tài)下手動固定基 板23，并壓下切斷推桿125而進(jìn)行分?jǐn)?。此時，在壓下途中基板壓板142沿著基板23端部 在Y軸方向上的一邊(左端)抵接，進(jìn)而壓下切斷推桿125，借此彈簧121a、121b收縮并緊 緊按壓基板23的端部，從而將基板23保持。另一方面，分?jǐn)喟?24進(jìn)而被壓下，因此可以 沿著切劃線而分?jǐn)嗷?3。基板23的切斷片落在基板托盤150內(nèi)。之后，基板壓板142將 切斷推桿125上推至不壓住基板23的位置處為止，使基板23向-X軸方向移動，并以同樣 的方式進(jìn)行分?jǐn)唷＿@樣在本發(fā)明中，至少使應(yīng)沿著切劃線被切斷的基板的部分從平臺突出，將平臺 上的部分固定后進(jìn)行分?jǐn)?。因此，無論切劃線的間隔大小如何，即便是例如所述間隔在5mm以下的細(xì)小基板，也可以施加均勻之力，因此能夠準(zhǔn)確地沿著切劃線而進(jìn)行分?jǐn)唷４送?，?、第2實施形態(tài)中是以低溫共燒陶瓷基板作為基板來進(jìn)行說明，但作為 本發(fā)明對象的基板包括高溫共燒陶瓷基板等陶瓷基板、硅、藍(lán)寶石、InP (銦)、GaN(氮化鎵) 基板、其他除玻璃以外的各種脆性材料基板。在第1實施形態(tài)中，定位部是由在平臺上滑動的滑塊31與固定部32而構(gòu)成，在 第2實施形態(tài)中定位部是由基板定位器132構(gòu)成，但也可以是使基板23自動滑動的滑動機 構(gòu)。此外，分?jǐn)鄦卧峭ㄟ^轉(zhuǎn)動切斷推桿而使分?jǐn)鄦卧舷乱苿樱部梢允褂闷谆螂妱?機而使分?jǐn)鄦卧詣拥厣舷乱苿踊蜣D(zhuǎn)動。而且，在第1、第2實施形態(tài)中，為了確認(rèn)基板的突出位置而在分?jǐn)嘌b置上設(shè)置監(jiān) 測部，但也可以不設(shè)置監(jiān)測部而是通過從上方目測來確認(rèn)位置。[工業(yè)利用可能性]本發(fā)明涉及一種對脆性材料基板進(jìn)行分?jǐn)嗟姆謹(jǐn)嘌b置及分?jǐn)喾椒?，可以?zhǔn)確地定 位預(yù)先劃線的脆性材料基板，施加均勻之力而進(jìn)行分?jǐn)?，因此可以?yōu)選用于尺寸小的基板 的分?jǐn)唷?br> 權(quán)利要求
一種分?jǐn)嘌b置，其特征在于包括平臺，載置預(yù)先形成著切劃線且應(yīng)切斷的基板，并將其端部作為分?jǐn)嗑€；夾持單元，使所述平臺上的基板的切劃線從平臺端部的分?jǐn)嗑€起向外側(cè)突出T1(≥0)而加以保持；及分?jǐn)鄦卧鄬τ谄脚_的面自由移動地設(shè)置在所述平臺的側(cè)方，按壓從所述平臺突出的基板的端部并進(jìn)行分?jǐn)唷?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分?jǐn)嘌b置，其特征在于更包括用來識別從所述平臺端部突 出的基板的位置的監(jiān)測機構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分?jǐn)嘌b置，其特征在于所述分?jǐn)鄦卧狗謹(jǐn)嗖繌钠涠瞬孔?所述平臺的分?jǐn)嗑€起向外側(cè)離開Τ2( > 0)的位置起上下移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分?jǐn)嘌b置，其特征在于所述分?jǐn)鄦卧狗謹(jǐn)嗖繌钠涠瞬孔?所述平臺端部的分?jǐn)嗑€起向外側(cè)離開T2( ^ 0)的位置起轉(zhuǎn)動。
5.一種分?jǐn)喾椒ǎ涮卣髟谟谠趯⒍瞬孔鳛榉謹(jǐn)嗑€的平臺上載置預(yù)先形成著切劃線 且應(yīng)切斷的基板；使所述平臺上的基板的切劃線從平臺端部的分?jǐn)嗑€起向外側(cè)突出Tl 0)而加以保持；從所述平臺的側(cè)方按壓自所述平臺突出的基板的端部并進(jìn)行分?jǐn)唷?br> 6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分?jǐn)喾椒?，其特征在于所述分?jǐn)嗖襟E從分?jǐn)嗖康亩瞬孔运?述平臺的分?jǐn)嗑€起向外側(cè)離開Τ2( > 0)的位置起使所述分?jǐn)嗖可舷乱苿印?br> 7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分?jǐn)喾椒ǎ涮卣髟谟谒龇謹(jǐn)嗖襟E從分?jǐn)嗖康亩瞬孔运?述平臺端部的分?jǐn)嗑€起向外側(cè)離開Τ2( > 0)的位置起使分?jǐn)嗖哭D(zhuǎn)動。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種分?jǐn)嘌b置及分?jǐn)喾椒ā１景l(fā)明可以對形成著切劃線的基板施加均勻之力而準(zhǔn)確地進(jìn)行分?jǐn)?。將基板保持在平臺22上，使基板向平臺22的側(cè)方突出并利用定位部30將其定位。然后利用夾持單元40來固定基板23在平臺上的部分。接著使用分?jǐn)鄦卧?0從上按壓基板23的突出部分，并沿著切劃線進(jìn)行分?jǐn)?。借此即便是直徑小的基板，也可以施加均勻之力而容易地進(jìn)行分?jǐn)唷?br> 文檔編號B28D1/22GK101898390SQ20101018909
公開日2010年12月1日 申請日期2010年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月29日
發(fā)明者前川和哉, 市川克則 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司