專利名稱：一種凈化廠房的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種廠房的結(jié)構(gòu)，更具體地說(shuō)涉及一種凈化廠房。
背景技術(shù)：
凈化廠房，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排 除，并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制 在某一需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)的廠房。亦即是不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均 能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。凈化廠房最主要作用 在于控制產(chǎn)品(如LCD、硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的 環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化廠房。如圖2所示，現(xiàn)有的凈化廠房，包括房體和送風(fēng)系統(tǒng)，房體中上部設(shè)有天花板，天 花板將房體5'的內(nèi)部空間分隔成位于上方的管道空間51'和位于下方的工作空間52'， 工作空間52'內(nèi)通常設(shè)有多個(gè)隔墻7'，所述隔墻7'將工作空間52'內(nèi)的空間分成多個(gè) 車間521'，隔墻7'通常采用彩鋼板，各車間頂部的天花板均開(kāi)有進(jìn)風(fēng)口，底面均開(kāi)有出 風(fēng)口，進(jìn)風(fēng)口安裝有過(guò)濾裝置4'。送風(fēng)系統(tǒng)包括風(fēng)柜組2'、冷卻裝置1'、多個(gè)回風(fēng)管道 6'、多個(gè)送風(fēng)管道3'，冷卻裝置1'的冷卻水管穿過(guò)風(fēng)柜組2'的各個(gè)風(fēng)柜，各送風(fēng)管道 3'的入口分別連接風(fēng)柜組2'中相對(duì)應(yīng)的風(fēng)柜，各送風(fēng)管道3'的出口分別連接相對(duì)應(yīng)的 車間521'頂部的至少一個(gè)進(jìn)風(fēng)口，各車間521'的底面的出風(fēng)口分別連接對(duì)應(yīng)的回風(fēng)管 道6'的入口，各回風(fēng)管道6'的出口連接風(fēng)柜組2'中相對(duì)應(yīng)的風(fēng)柜。冷卻裝置1'通常 采用冷水機(jī)。但是，上述技術(shù)的缺點(diǎn)是每個(gè)車間均需要采用彩鋼板隔開(kāi)，為了控制不同車間的 風(fēng)壓，所述每個(gè)車間均需要一個(gè)單獨(dú)對(duì)應(yīng)的風(fēng)柜、一條對(duì)應(yīng)的回風(fēng)管道和一條對(duì)應(yīng)的送風(fēng) 管道，通過(guò)控制風(fēng)柜來(lái)控制對(duì)應(yīng)的車間的風(fēng)壓。因此耗費(fèi)的鋼材非常多，并且所需的風(fēng)柜、 回風(fēng)管道和送風(fēng)管道的數(shù)量大，制造成本高、運(yùn)行成本也非常高、耗費(fèi)的電能也非常多。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是對(duì)現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)，提供一種凈化廠房，可以大幅降低制造成 本和運(yùn)行成本，采用的技術(shù)方案如下本發(fā)明的一種凈化廠房，包括房體和送風(fēng)系統(tǒng)，其特征在于所述房體的內(nèi)部空間 包括工作空間和位于工作空間周圍的循環(huán)送風(fēng)空間，循環(huán)送風(fēng)空間包括回風(fēng)區(qū)和位于工作 空間上方的靜壓區(qū)，所述工作空間的頂部開(kāi)有至少兩個(gè)進(jìn)風(fēng)口，底面開(kāi)有至少兩個(gè)出風(fēng)口， 所述送風(fēng)系統(tǒng)包括冷卻裝置、風(fēng)柜、送風(fēng)管道和至少兩個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組(FFU)，冷卻裝置的 冷卻水管穿過(guò)風(fēng)柜，風(fēng)柜通過(guò)送風(fēng)管道連接靜壓區(qū)，各進(jìn)風(fēng)口均設(shè)有一個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。也 就是說(shuō)進(jìn)風(fēng)口的數(shù)目與風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組的數(shù)目相同，并且一一對(duì)應(yīng)。所述回風(fēng)區(qū)還設(shè)有至少一個(gè)回風(fēng)冷卻設(shè)備。所述回風(fēng)冷卻設(shè)備對(duì)出風(fēng)口出來(lái)的回 風(fēng)進(jìn)行冷卻，減少回風(fēng)與新送入的風(fēng)溫差，使得新送入的風(fēng)與回風(fēng)混合后溫度不會(huì)明顯升
一種較佳的方案，所述回風(fēng)冷卻設(shè)備為冷水管道。冷水管道連接外來(lái)的冷水。所述工作空間分隔成至少兩個(gè)車間，每個(gè)車間均包括至少一個(gè)進(jìn)風(fēng)口、至少一個(gè) 出風(fēng)口、與進(jìn)風(fēng)口數(shù)目相同并且一一對(duì)應(yīng)的風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。為了有效的降低制造成本，所述車間由軟廉分隔而成。FFU英文全稱為Fan Filter Unit，其中文專業(yè)用語(yǔ)為風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。FFU設(shè)有初、 高效兩級(jí)過(guò)濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過(guò)濾器過(guò)濾，過(guò)濾后的潔凈空氣 在整個(gè)出風(fēng)面以0. 45米/秒左右的風(fēng)速勻速送出。適用于在各種環(huán)境中獲得高級(jí)別的潔 凈環(huán)境。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級(jí)的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在 新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級(jí)別，降低噪音和振動(dòng)，也可大大降 低造價(jià)，安裝維護(hù)方便，是潔凈環(huán)境的理想部件。FFU是一個(gè)自帶送風(fēng)機(jī)(無(wú)殼風(fēng)機(jī))的高效過(guò)濾器送風(fēng)口，F(xiàn)FU的使用方式是新 送入的風(fēng)經(jīng)過(guò)風(fēng)柜處理至所需狀態(tài)點(diǎn)后送入，在靜壓區(qū)內(nèi)與回風(fēng)混合后經(jīng)FFU的風(fēng)機(jī)加壓 后送入室內(nèi)，再流動(dòng)到回風(fēng)區(qū)，在此經(jīng)冷處理后送回至靜壓區(qū)完成循環(huán)。這樣的系統(tǒng)最為常 用于有超靜要求的潔凈室，如液晶顯示器(LCD)、大型集成電路晶圓的制造、尖端顯示器如 TFT, PDP等的制造、硬盤的制造等。本發(fā)明對(duì)照現(xiàn)有技術(shù)的有益效果是，由于送風(fēng)系統(tǒng)采用了 FFU，因此具備了以下優(yōu)占.
^ \\\ ·1、系統(tǒng)非常靈活，可隨時(shí)調(diào)整。由于潔凈室的壁板都以天花板格子的模數(shù)來(lái)布置， 并且由于其特殊的節(jié)點(diǎn)構(gòu)造，潔凈室的壁板可以隨時(shí)調(diào)整位置，以此改變房間的布局。同時(shí) 如果房間的潔凈度需要調(diào)整，可以通過(guò)增減FFU數(shù)量的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。這對(duì)于通常集中送風(fēng) 的凈化系統(tǒng)來(lái)說(shuō)幾乎是不可能的。2、出風(fēng)均勻穩(wěn)定。FFU由于自帶風(fēng)機(jī)，出風(fēng)均勻而穩(wěn)定。避免了集中送風(fēng)系統(tǒng)各送 風(fēng)口風(fēng)量平衡的問(wèn)題。對(duì)于垂直單向流潔凈室尤為有利。3、節(jié)能顯著。FFU系統(tǒng)風(fēng)管很少，除新送入的風(fēng)通過(guò)送風(fēng)管道送達(dá)外，大量的回風(fēng) 以小循環(huán)的方式在運(yùn)行，因此大大減少了風(fēng)管的阻力消耗。同時(shí)由于FFU的面風(fēng)速一般為 0. 35 0. 45米/秒，過(guò)濾器阻力小，F(xiàn)FU的無(wú)殼風(fēng)機(jī)功率很小，新型的FFU采用了高效率電 動(dòng)機(jī)，同時(shí)對(duì)風(fēng)機(jī)葉輪形狀也進(jìn)行了改進(jìn)，其綜合效率已大為提高。FFU系統(tǒng)一般可比集中 送風(fēng)的凈化系統(tǒng)節(jié)能30%以上，使FFU系統(tǒng)在二、三年內(nèi)就可通過(guò)節(jié)省電費(fèi)把增加的初投 資部分(與集中送風(fēng)的凈化系統(tǒng)相比)省回來(lái)。4、節(jié)省空間。由于省去了巨大的送、回風(fēng)管，故可節(jié)省安裝空間。對(duì)于層高緊張的 改建項(xiàng)目非常合適。帶來(lái)的另一個(gè)好處因風(fēng)管很少空間相對(duì)寬敞而使工期縮短。5、負(fù)壓 密封。FFU送風(fēng)系統(tǒng)的靜壓區(qū)為負(fù)壓，因此即使風(fēng)口安裝存在泄漏，也是從 潔凈室向靜壓區(qū)泄漏，不會(huì)形成對(duì)潔凈室的污染。6、個(gè)別FFU出現(xiàn)故障對(duì)潔凈度幾乎沒(méi)有影響。FFU系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)數(shù)量大，因?yàn)閿?shù)量眾 多而分散，通常少量的FFU出現(xiàn)故障，并不能對(duì)潔凈度造成嚴(yán)重的破壞。甚至可以在對(duì)潔凈 度幾乎沒(méi)有影響的情況下發(fā)現(xiàn)并修復(fù)故障單元。而集中送風(fēng)系統(tǒng)只要一臺(tái)AHU出現(xiàn)故障， 就會(huì)造成大面積的潔凈室停止運(yùn)行，對(duì)生產(chǎn)的影響很大。在幾乎所有的項(xiàng)目中，冷凍機(jī)、空 壓機(jī)、純水設(shè)備、水泵、真空泵搶救無(wú)效都可以做到備份，盡量減少設(shè)備故障對(duì)生產(chǎn)的影響。唯獨(dú)空氣處理系統(tǒng)的備份幾乎沒(méi)用，而FFU系統(tǒng)則在某種程度上達(dá)到了這個(gè)目的。


圖1是本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，本優(yōu)選實(shí)施例中的凈化廠房，包括房體5和送風(fēng)系統(tǒng)，房體5的內(nèi)部空間包括工作空間52和位于工作空間52周圍的循環(huán)送風(fēng)空間51，循環(huán)送風(fēng)空間51包括回 風(fēng)區(qū)511和位于工作空間52上方的靜壓區(qū)512，所述工作空間52的頂部開(kāi)有多個(gè)進(jìn)風(fēng)口， 底面開(kāi)有多個(gè)出風(fēng)口。所述送風(fēng)系統(tǒng)包括冷卻裝置1、風(fēng)柜2、送風(fēng)管道3和多個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾 機(jī)組4 (FFU)，冷卻裝置1的冷卻水管穿過(guò)風(fēng)柜2，風(fēng)柜2通過(guò)送風(fēng)管道3連接靜壓區(qū)512， 各進(jìn)風(fēng)口均設(shè)有一個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組4。也就是說(shuō)進(jìn)風(fēng)口的數(shù)目與風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組4的數(shù)目相 同，并且一一對(duì)應(yīng)。所述回風(fēng)區(qū)511還設(shè)有多個(gè)回風(fēng)冷卻設(shè)備6。所述回風(fēng)冷卻設(shè)備6對(duì)出風(fēng)口出來(lái) 的回風(fēng)進(jìn)行冷卻，減少回風(fēng)與新送入的風(fēng)溫差，使得新送入的風(fēng)與回風(fēng)混合后溫度不會(huì)明
顯升高。所述回風(fēng)冷卻設(shè)備6為冷水管道。冷水管道連接外來(lái)的冷水。所述工作空間52分隔成多個(gè)車間521，所述車間521由軟廉7分隔而成。下面介紹一下工作過(guò)程新送入的風(fēng)經(jīng)過(guò)風(fēng)柜2，被冷卻裝置1冷卻處理至所需狀態(tài)點(diǎn)后，通過(guò)送風(fēng)管道3 送到靜壓區(qū)512，在靜壓區(qū)512內(nèi)與回風(fēng)混合后經(jīng)FFU的風(fēng)機(jī)加壓后送入各車間521內(nèi)，再 流動(dòng)到回風(fēng)區(qū)511，在此經(jīng)回風(fēng)冷卻設(shè)備6冷處理后送回至靜壓區(qū)512完成循環(huán)。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用來(lái)限定本發(fā)明的實(shí)施范圍；即凡依本 發(fā)明的權(quán)利要求范圍所做的等同變換，均為本發(fā)明權(quán)利要求范圍所覆蓋。
權(quán)利要求
一種凈化廠房，包括房體和送風(fēng)系統(tǒng)，其特征在于所述房體的內(nèi)部空間包括工作空間和位于工作空間周圍的循環(huán)送風(fēng)空間，循環(huán)送風(fēng)空間包括回風(fēng)區(qū)和位于工作空間上方的靜壓區(qū)，所述工作空間的頂部開(kāi)有至少兩個(gè)進(jìn)風(fēng)口，底面開(kāi)有至少兩個(gè)出風(fēng)口，所述送風(fēng)系統(tǒng)包括冷卻裝置、風(fēng)柜、送風(fēng)管道和至少兩個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組，冷卻裝置的冷卻水管穿過(guò)風(fēng)柜，風(fēng)柜通過(guò)送風(fēng)管道連接靜壓區(qū)，各進(jìn)風(fēng)口均設(shè)有一個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。
2.如權(quán)利要求1所述的凈化廠房，其特征在于所述回風(fēng)區(qū)還設(shè)有至少一個(gè)回風(fēng)冷卻 設(shè)備。
3.如權(quán)利要求2所述的凈化廠房，其特征在于所述回風(fēng)冷卻設(shè)備為冷水管道。
4.如權(quán)利要求3所述的凈化廠房，其特征在于所述工作空間分隔成至少兩個(gè)車間，每 個(gè)車間均包括至少一個(gè)進(jìn)風(fēng)口、至少一個(gè)出風(fēng)口、與進(jìn)風(fēng)口數(shù)目相同并且一一對(duì)應(yīng)的風(fēng)機(jī) 過(guò)濾機(jī)組。
5.如權(quán)利要求4所述的凈化廠房，其特征在于所述車間由軟廉分隔而成。
全文摘要
一種凈化廠房，包括房體和送風(fēng)系統(tǒng)，其特征在于所述房體的內(nèi)部空間包括工作空間和位于工作空間周圍的循環(huán)送風(fēng)空間，循環(huán)送風(fēng)空間包括回風(fēng)區(qū)和位于工作空間上方的靜壓區(qū)，所述工作空間的頂部開(kāi)有至少兩個(gè)進(jìn)風(fēng)口，底面開(kāi)有至少兩個(gè)出風(fēng)口，所述送風(fēng)系統(tǒng)包括冷卻裝置、風(fēng)柜、送風(fēng)管道和至少兩個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組，冷卻裝置的冷卻水管穿過(guò)風(fēng)柜，風(fēng)柜通過(guò)送風(fēng)管道連接靜壓區(qū)，各進(jìn)風(fēng)口均設(shè)有一個(gè)風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。本發(fā)明對(duì)照現(xiàn)有技術(shù)的有益效果是，由于送風(fēng)系統(tǒng)采用了FFU，因此具備了以下優(yōu)點(diǎn)系統(tǒng)非常靈活，可隨時(shí)調(diào)整；出風(fēng)均勻穩(wěn)定；節(jié)能顯著；節(jié)省空間；負(fù)壓密封；個(gè)別FFU出現(xiàn)故障對(duì)潔凈度幾乎沒(méi)有影響。
文檔編號(hào)E04H5/02GK101967893SQ201010502369
公開(kāi)日2011年2月9日 申請(qǐng)日期2010年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月11日
發(fā)明者孫名偉, 林秀娜, 林銳群 申請(qǐng)人:汕頭市銳科電子有限公司