專利名稱：一種玻璃鍍膜設備及其中的多組轉換室的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種玻璃鍍膜設備及抽真空裝置。
背景技術：
目前的玻璃鍍膜設備中真空抽氣系統(tǒng)均采用在真空泵兩端抽氣的方式，即在真空泵左右兩端設置抽氣端口，用于抽真空的抽氣室也稱為轉換室?，F(xiàn)有技術中，轉換室一般是兩個，一個是分子泵抽轉換室；另一個是粗抽、精抽轉換室，粗抽、精抽在同一個室里完成。 具體來說，就是當玻璃基片進入第一個轉換室即精抽、粗抽轉換室開始進行粗抽，待粗抽完畢，再進行精抽，共有兩個時間過程。精抽過后，再進入分子泵抽。采用這種方式的缺點如下1、生產(chǎn)效率低，產(chǎn)量小每次抽真空必須先進行粗抽，再進行精抽，這樣就造成了抽真空時間較長，從而限制了產(chǎn)量的提高。2、真空度低，產(chǎn)品質量存在瑕疵由于生產(chǎn)鍍膜玻璃需要在高真空的環(huán)境下進行，但現(xiàn)有技術中不能使真空度達到理想效果。所以，產(chǎn)品質量也達不到理想效果，有時還會導致一些列產(chǎn)品質量問題，例如膜層不均勻，光澤度、光滑度及平整度不夠，色差較大，產(chǎn)品性能不穩(wěn)定等等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術中玻璃鍍膜設備中的一大缺陷，即抽氣時間長、生產(chǎn)效
率低、產(chǎn)量小。本發(fā)明公開了一種玻璃鍍膜設備，其包括鍍膜室、等待室和多組轉換室，其中多組轉換室包括分子泵抽轉換室、精抽轉換室和粗抽轉換室，精抽轉換室和粗抽轉換室為兩個獨立的轉換室。本發(fā)明還公開了一種用于玻璃鍍膜設備的多組轉換室，其包括分子泵抽轉換室、 精抽轉換室和粗抽轉換室，精抽轉換室和粗抽轉換室為兩個獨立的轉換室。本發(fā)明的玻璃鍍膜設備的生產(chǎn)效率和產(chǎn)量高，真空度好，所生產(chǎn)的產(chǎn)品質量高。


圖1為本發(fā)明的用于玻璃鍍膜設備的多組轉換室的結構示意圖。
具體實施例方式為了使本領域技術人員更清楚地理解本發(fā)明的玻璃鍍膜設備以及其中的多組轉換室的技術方案，下面結合附圖描述其具體實施方式
。如圖1所示，玻璃鍍膜設備包括鍍膜室1、等待室2和多組轉換室3。多組轉換室包括分子泵抽轉換室4、精抽轉換室5和粗抽轉換室6，精抽轉換室5 和粗抽轉換室6為兩個獨立的轉換室。圖1中箭頭指示出了玻璃基片在玻璃鍍膜設備中各個處理室的順序。玻璃鍍膜設備啟動后，第一個玻璃基片先進入粗抽轉換室6進行粗抽，粗抽之后，進入精抽轉換室5進行精抽，此時，第二個玻璃基片已進入粗抽轉換室6進行粗抽。第一個玻璃基片在精抽之后，進入分子泵抽轉換室4進行分子泵抽，此時，第二個玻璃基片進入精抽轉換室5進行精抽，第三個玻璃基片進入粗抽轉換室6進行粗抽。玻璃基片經(jīng)過分子泵抽后，進入等待室，然后進入鍍膜室對玻璃基片進行鍍膜，例如通過磁控濺射等方法進行鍍膜。如此依次進行，粗抽工序和精抽工序即可同時進行，從而大大節(jié)省了抽真空的時間，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)量。另外，玻璃鍍膜設備需要在高真空的環(huán)境下進行，而本發(fā)明的多組轉換室能使真空度達到理想效果。所以，生產(chǎn)的鍍膜玻璃產(chǎn)品質量有保證，例如膜層均勻，光澤度、光滑度及平整度好，無色差，產(chǎn)品性能穩(wěn)定等等。上述具體實施方式
僅用于說明本發(fā)明的技術方案的優(yōu)選實施例，本領域技術人員在本發(fā)明精神的范圍內(nèi)，可以對其進行各種顯而易見的組合或變型，因此本發(fā)明的保護范圍以權利要求書為準。
權利要求
1.一種玻璃鍍膜設備，其包括鍍膜室、等待室和多組轉換室，其特征在于，所述多組轉換室包括分子泵抽轉換室、精抽轉換室和粗抽轉換室，所述精抽轉換室和所述粗抽轉換室為兩個獨立的轉換室。
2.一種用于玻璃鍍膜設備的多組轉換室，其特征在于，所述多組轉換室包括分子泵抽轉換室、精抽轉換室和粗抽轉換室，所述精抽轉換室和所述粗抽轉換室為兩個獨立的轉換室。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種玻璃鍍膜設備，其包括鍍膜室、等待室和多組轉換室，其中多組轉換室包括分子泵抽轉換室、精抽轉換室和粗抽轉換室，精抽轉換室和粗抽轉換室為兩個獨立的轉換室。該設備的生產(chǎn)效率和產(chǎn)量高，真空度好，所生產(chǎn)的產(chǎn)品質量高。
文檔編號C03C17/00GK102329084SQ20111017065
公開日2012年1月25日 申請日期2011年6月23日 優(yōu)先權日2011年6月23日
發(fā)明者王進東 申請人:江蘇宇天港玻新材料有限公司