專利名稱：一種晶體材料用磨鉆孔裝置的制作方法
一種晶體材料用磨鉆孔裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶體材料的加工設(shè)備，具體涉及一種多晶硅、單晶硅、晶體寶石等晶體材料用的磨鉆孔裝置。
背景技術(shù)：
目前晶體材料加工，尤其是多晶硅、單晶硅在還原過(guò)程中，通常需要對(duì)晶體材料進(jìn)行先期加工處理。在使用西門子法生產(chǎn)多晶硅的過(guò)程中，硅芯搭接技術(shù)是非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，它主要應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)的還原反應(yīng)過(guò)程。這個(gè)環(huán)節(jié)的還原反應(yīng)過(guò)程的原理是所述還原反應(yīng)是在一個(gè)密閉的還原爐中進(jìn)行的，在裝爐前先在還原爐內(nèi)用硅芯搭接成若干個(gè)閉合回路，也就是行話中的“搭橋”;每個(gè)閉合回路都由兩根豎硅芯和一根橫硅芯組成；每一個(gè)閉合回路的兩個(gè)豎硅芯分別接在爐底上的兩個(gè)電極上，兩個(gè)電極分別連接直流電源的正負(fù)極， 向密閉的還原爐內(nèi)通入氫氣和三氯氫硅，然后對(duì)硅芯進(jìn)行加熱，加熱中一組搭接好的硅芯相當(dāng)于一個(gè)大電阻，進(jìn)行還原反應(yīng)；這樣，所需的多晶硅就會(huì)在硅芯表面生成。已知的，在西門子法生產(chǎn)多晶硅的過(guò)程中硅芯搭接是一項(xiàng)非常重要的技術(shù)，申請(qǐng)人在先申請(qǐng)的中國(guó)專利給出了一種可有效提高接觸面積和減小電阻的孔式硅芯搭接方法， 該專利公開(kāi)了在橫硅芯兩側(cè)的硅芯圓球體上打孔，然后由豎硅芯上端設(shè)置與橫硅芯兩側(cè)的硅芯圓球體上的孔相匹配的柱體連接，形成孔式硅芯搭接方法，以便實(shí)現(xiàn)有效提高硅芯的接觸面積和減小電阻的目的，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)在多晶硅生產(chǎn)中提高多晶硅的品質(zhì)。然，在目前的孔式硅芯搭接方法中，通常采用手持電鉆在硅芯上打孔或手持硅芯在鉆床上打孔，孔的圓度極不規(guī)范，所以使很多硅芯報(bào)廢；受到現(xiàn)有設(shè)備不能夠更好地在硅芯上鉆孔的影響，使得利用現(xiàn)有設(shè)備工作時(shí)，無(wú)法滿足工藝需求且成本很高。參考文獻(xiàn)中國(guó)專利；專利名稱、可有效提高接觸面積和減小電阻的孔式硅芯搭接方法，公開(kāi)號(hào)、CN101570890A，
公開(kāi)日、2009 年 11 月 4 日。

發(fā)明內(nèi)容為克服背景技術(shù)中的不足，本發(fā)明提供了一種晶體材料用磨鉆孔裝置，所述晶體材料用磨鉆孔裝置通過(guò)磨鉆孔機(jī)構(gòu)和晶棒的夾持機(jī)構(gòu)的配合，使晶棒固定在夾持機(jī)構(gòu)上， 由給進(jìn)機(jī)構(gòu)緩慢推進(jìn)磨鉆孔機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒進(jìn)行磨鉆孔作業(yè)，克服了現(xiàn)有技術(shù)的磨鉆孔不規(guī)范的弊端。為了實(shí)現(xiàn)所述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種晶體材料用磨鉆孔裝置，包括用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)；用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)； 所述用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)包括鉆頭、電機(jī)A、冷卻介質(zhì)容器、鉆頭固定軸，鉆頭固定在鉆頭固定軸的一端，所述鉆頭、鉆頭固定軸為空心結(jié)構(gòu)，鉆頭固定軸的另一端連接有冷卻介質(zhì)容器，冷卻介質(zhì)容器內(nèi)的冷卻介質(zhì)通過(guò)鉆頭固定軸供給鉆頭磨鉆中的冷卻，鉆頭固定軸與電機(jī)A連接，所述鉆頭對(duì)應(yīng)固定于夾持機(jī)構(gòu)上的晶棒的磨鉆部位，所述用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)設(shè)置在磨鉆孔機(jī)構(gòu)的鉆頭相對(duì)一側(cè)；所述磨鉆孔機(jī)構(gòu)或夾持機(jī)構(gòu)的其中任一為進(jìn)給，另一為靜止設(shè)置。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)，電機(jī)A固定在固定板的上部面，所述電機(jī)A與設(shè)置在軸筒內(nèi)的鉆頭固定軸連接，所述鉆頭固定軸通過(guò)軸承和壓蓋固定在軸筒內(nèi)，所述軸筒緊固在軸筒壓蓋與軸筒固定座內(nèi)，所述軸筒固定座固定在固定板的上部面，鉆頭固定軸的一端通過(guò)鉆頭鎖緊螺母固定鉆頭，鉆頭固定軸的另一端連接有冷卻介質(zhì)容器，所述冷卻介質(zhì)容器通過(guò)防轉(zhuǎn)固定座來(lái)防止跟隨鉆頭固定軸旋轉(zhuǎn)，所述防轉(zhuǎn)固定座固定在軸筒固定座一側(cè)形成一套磨鉆孔機(jī)構(gòu)。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述磨鉆孔機(jī)構(gòu)設(shè)置為一套或兩套，其中設(shè)置為一套為晶棒的一端磨鉆，在設(shè)置為兩套時(shí)為晶棒的兩端同步磨鉆；所述兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)由一臺(tái)或兩臺(tái)電機(jī)A供給動(dòng)力，也就是一臺(tái)電機(jī)A帶動(dòng)兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)或每一磨鉆孔機(jī)構(gòu)由一臺(tái)電機(jī)A供給動(dòng)力；其中兩臺(tái)電機(jī)A和兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)之間間距通過(guò)設(shè)置在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板上的長(zhǎng)圓孔結(jié)合緊固螺釘進(jìn)行橫向調(diào)整，以便適應(yīng)不同長(zhǎng)度的晶棒。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述電機(jī)A與鉆頭固定軸的連接方式為皮帶傳動(dòng)或鏈條傳動(dòng)，在電機(jī)A的鉆頭固定軸一側(cè)設(shè)置有電機(jī)項(xiàng)緊塊。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述一套或兩套用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)通過(guò)鎖緊手輪調(diào)節(jié)鎖緊的松緊度，夾持機(jī)構(gòu)固定在夾緊機(jī)構(gòu)固定座的上部，所述夾持機(jī)構(gòu)由夾緊機(jī)構(gòu)固定座上的長(zhǎng)圓孔結(jié)合緊固螺釘進(jìn)行橫向調(diào)整，以便適應(yīng)不同長(zhǎng)度的晶棒。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)，絲杠兩端分別通過(guò)軸承座固定在機(jī)架的上部，在絲杠的一端設(shè)有聯(lián)軸器A，所述聯(lián)軸器A與減速機(jī)動(dòng)力輸出軸的一端連接， 在減速機(jī)動(dòng)力輸入軸的端部設(shè)有手動(dòng)進(jìn)給手輪，所述手動(dòng)進(jìn)給手輪用于進(jìn)給機(jī)構(gòu)的手動(dòng)進(jìn)給或進(jìn)給機(jī)構(gòu)的微調(diào)，在減速機(jī)的動(dòng)力輸入軸的另一端通過(guò)聯(lián)軸器B與電機(jī)B連接，所述絲杠通過(guò)設(shè)置在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板下部的絲母形成絲接配合，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板的下部設(shè)置有至少兩個(gè)滑塊，所述滑塊與設(shè)置在機(jī)架上部的滑軌滑動(dòng)配和，在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板一側(cè)設(shè)有配合機(jī)架11上限位開(kāi)關(guān)的限位開(kāi)關(guān)擋板，在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板的另一側(cè)的間隔設(shè)有擋片固定座，在擋片固定座上分別設(shè)有前后調(diào)整的擋片，機(jī)架上固定設(shè)置的至少兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)處于擋片與擋片之間，所述限位開(kāi)關(guān)擋板通過(guò)限位開(kāi)關(guān)形成進(jìn)給機(jī)構(gòu)的保護(hù)；所述擋片通過(guò)設(shè)置在機(jī)架另一側(cè)邊上的光電開(kāi)關(guān)實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)給機(jī)構(gòu)的雙重保護(hù)。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，或所述絲杠的另一端連接夾持機(jī)構(gòu)的下部，由所述絲杠聯(lián)動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)的給進(jìn)形成夾持機(jī)構(gòu)的進(jìn)給，所述夾持機(jī)構(gòu)下部設(shè)置滑道，所述一套或兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)為靜止設(shè)置。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，機(jī)架的下部分別設(shè)置有出水管接頭和進(jìn)水管接頭，所述進(jìn)水管接頭上分別設(shè)置有至少一個(gè)用于分流的快接接頭和閥門，其中所述閥門為總控制開(kāi)關(guān)，所述出水管接頭和進(jìn)水管接頭的一端分別與冷卻介質(zhì)循環(huán)儲(chǔ)存容器連接，進(jìn)水管接頭的另一端分別與冷卻介質(zhì)容器和冷卻介質(zhì)輸送管連接，所述卻介質(zhì)輸送管通過(guò)冷卻介質(zhì)輸送管固定座固定在夾緊機(jī)構(gòu)固定座上。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，在機(jī)架中設(shè)置有配電箱，所述配電箱與設(shè)置在機(jī)架上部的控制系統(tǒng)連接，在機(jī)架的內(nèi)部或外部設(shè)置有冷卻介質(zhì)循環(huán)儲(chǔ)存容器。
由于采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明具有如下有益效果本發(fā)明所述晶體材料用磨鉆孔裝置，通過(guò)將晶棒固定在夾持機(jī)構(gòu)上，根據(jù)需要由一個(gè)磨鉆孔機(jī)構(gòu)或兩個(gè)磨鉆孔機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒的一端或兩端磨鉆孔，并由磨鉆孔機(jī)構(gòu)和晶棒的夾持機(jī)構(gòu)的任一由給進(jìn)機(jī)構(gòu)使其進(jìn)行滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)磨鉆孔的規(guī)范進(jìn)行，由于晶棒的固定和磨鉆孔機(jī)構(gòu)由給進(jìn)機(jī)構(gòu)緩慢推進(jìn)磨鉆孔機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒進(jìn)行磨鉆孔作業(yè)，實(shí)現(xiàn)了磨鉆孔的規(guī)范進(jìn)行，對(duì)于后期的孔式硅芯搭接使用得到了有效的保證；本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，加工效果優(yōu)于現(xiàn)有方法，利于在多晶硅行業(yè)推廣應(yīng)用。

圖1是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明的左視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1、冷卻介質(zhì)輸送管；2、夾持機(jī)構(gòu)；3、鉆頭；4、軸筒；5、夾緊機(jī)構(gòu)固定座；6、 電機(jī)A ;7、固定板；8、手動(dòng)進(jìn)給手輪；9、進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板；10、配電箱；11、機(jī)架；12、絲杠；13、 護(hù)罩；14、軸筒固定座；15、冷卻介質(zhì)容器；16、皮帶；17、冷卻介質(zhì)輸送管固定座；18、支撐桿；19、控制系統(tǒng)；20、照明燈；21、鎖緊手輪；22、鉆頭鎖緊螺母；23、鉆頭固定軸；24、軸筒壓蓋、25、軸承座；26、電機(jī)B ;27、減速機(jī)；28、帶輪；29、電機(jī)頂緊塊；30、擋片固定座；31、光電開(kāi)關(guān)；32、聯(lián)軸器A ；33、滑塊；34、閥門；35、進(jìn)水管接頭；36、限位開(kāi)關(guān)擋板；37、限位開(kāi)關(guān)；38、出水管接頭；39、快接接頭；40、擋片；41、防轉(zhuǎn)固定座；42、聯(lián)軸器B。
具體實(shí)施方式參考下面實(shí)施例，可以更詳細(xì)的解釋本發(fā)明，但是本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例的組合方式。結(jié)合附圖1 4中所述的一種晶體材料用磨鉆孔裝置，包括用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)，用來(lái)裝夾鉆頭，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒進(jìn)行磨鉆孔；用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)2，以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒的牢固固定，同時(shí)該夾持機(jī)構(gòu)2位置可調(diào)，以滿足不同長(zhǎng)度的晶棒；所述用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)包括鉆頭3、電機(jī)A6、冷卻介質(zhì)容器15、鉆頭固定軸23，鉆頭3固定在鉆頭固定軸23的一端， 所述鉆頭3、鉆頭固定軸23為空心結(jié)構(gòu)，鉆頭固定軸23的另一端連接有冷卻介質(zhì)容器15， 冷卻介質(zhì)容器15內(nèi)的冷卻介質(zhì)通過(guò)鉆頭固定軸23供給鉆頭3磨鉆中的冷卻，冷卻介質(zhì)以水添加冷卻液為常用冷卻介質(zhì)，鉆頭固定軸23與電機(jī)A6連接，所述鉆頭3對(duì)應(yīng)固定于夾持機(jī)構(gòu)2上的晶棒的磨鉆部位，所述用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)2設(shè)置在磨鉆孔機(jī)構(gòu)的鉆頭3相對(duì)一側(cè)；所述磨鉆孔機(jī)構(gòu)或夾持機(jī)構(gòu)2的其中任一為進(jìn)給，另一為靜止設(shè)置。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)，電機(jī)A6通過(guò)螺絲固定在固定板7的上部面，所述電機(jī)A6與設(shè)置在軸筒4內(nèi)的鉆頭固定軸23通過(guò)設(shè)置在電機(jī) A6和鉆頭固定軸23上的帶輪觀或鏈輪使用皮帶或鏈條連接，所述鉆頭固定軸23通過(guò)兩端設(shè)置的軸承和軸承壓蓋固定在軸筒4內(nèi)，所述軸筒4通過(guò)螺栓緊固在軸筒壓蓋M與軸筒固定座14內(nèi)，所述軸筒固定座14固定在固定板7的上部面，鉆頭固定軸23的一端通過(guò)鉆頭鎖緊螺母22固定鉆頭3，鉆頭固定軸23的另一端連接有冷卻介質(zhì)容器15，冷卻介質(zhì)容器15為常用標(biāo)準(zhǔn)件，所以本發(fā)明未對(duì)其詳述，所述冷卻介質(zhì)容器15通過(guò)防轉(zhuǎn)固定座41來(lái)防止跟隨鉆頭固定軸23旋轉(zhuǎn)，冷卻介質(zhì)容器15與冷卻介質(zhì)循環(huán)儲(chǔ)存容器通過(guò)管道連接，為鉆頭 3提供冷卻介質(zhì)，當(dāng)冷卻介質(zhì)到達(dá)磨鉆孔位置后通過(guò)循環(huán)通道流入冷卻介質(zhì)循環(huán)儲(chǔ)存容器， 所述防轉(zhuǎn)固定座41固定在軸筒固定座14 一側(cè)形成一套磨鉆孔機(jī)構(gòu)。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述磨鉆孔機(jī)構(gòu)設(shè)置為一套或兩套，其中設(shè)置為一套為晶棒的一端磨鉆，在設(shè)置為兩套時(shí)為晶棒的兩端同步磨鉆；所述兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)由一臺(tái)或兩臺(tái)電機(jī)A6供給動(dòng)力，也就是一臺(tái)電機(jī)A6帶動(dòng)兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)或每一磨鉆孔機(jī)構(gòu)由一臺(tái)電機(jī)A6供給動(dòng)力；其中兩臺(tái)電機(jī)A6和兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)之間間距通過(guò)設(shè)置在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板9上的長(zhǎng)圓孔結(jié)合緊固螺釘進(jìn)行橫向調(diào)整，以便適應(yīng)不同長(zhǎng)度的晶棒。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述電機(jī)A6與鉆頭固定軸23的連接方式為皮帶 16傳動(dòng)或鏈條傳動(dòng)，在電機(jī)A6的鉆頭固定軸23 —側(cè)設(shè)置有電機(jī)頂緊塊四。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述一套或兩套用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)2通過(guò)鎖緊手輪21調(diào)節(jié)鎖緊的松緊度，夾持機(jī)構(gòu)2固定在夾緊機(jī)構(gòu)固定座5的上部，所述夾持機(jī)構(gòu)2 由夾緊機(jī)構(gòu)固定座5上的長(zhǎng)圓孔結(jié)合緊固螺釘進(jìn)行橫向調(diào)整，以便適應(yīng)不同長(zhǎng)度的晶棒。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)，絲杠12兩端分別通過(guò)軸承座25固定在機(jī)架11的上部，在絲杠12的一端設(shè)有聯(lián)軸器A32，所述聯(lián)軸器A32與減速機(jī)27動(dòng)力輸出軸的一端連接，所述動(dòng)力輸出軸為自制的軸，可通過(guò)螺母將其固定在減速機(jī)27的內(nèi)孔中，在減速機(jī)27動(dòng)力輸入軸的端部設(shè)有手動(dòng)進(jìn)給手輪8，所述手動(dòng)進(jìn)給手輪8用于進(jìn)給機(jī)構(gòu)的手動(dòng)進(jìn)給或進(jìn)給機(jī)構(gòu)的微調(diào)，在減速機(jī)27的動(dòng)力輸入軸的另一端通過(guò)聯(lián)軸器B42與電機(jī) B26連接，所述電機(jī)似6為可調(diào)速電機(jī)，通過(guò)調(diào)整電機(jī)的速度來(lái)調(diào)整進(jìn)給機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)速度， 所述絲杠12通過(guò)設(shè)置在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板9下部的絲母形成絲接配合，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板9的下部設(shè)置有至少兩個(gè)滑塊33，所述滑塊33與設(shè)置在機(jī)架11上部的滑軌滑動(dòng)配和，在滑軌上部設(shè)置有護(hù)罩13，用來(lái)防止粉塵或其它物質(zhì)的落入，保證滑軌與滑塊33的精密配合，在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板9 一側(cè)設(shè)有配合機(jī)架11上限位開(kāi)關(guān)37的限位開(kāi)關(guān)擋板36，在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板 9的另一側(cè)的間隔設(shè)有擋片固定座30，在擋片固定座30上分別設(shè)有前后調(diào)整的擋片40，機(jī)架11上固定設(shè)置的至少兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)31處于擋片40與擋片40之間，所述限位開(kāi)關(guān)擋板 36通過(guò)限位開(kāi)關(guān)37形成進(jìn)給機(jī)構(gòu)的保護(hù)；所述擋片40通過(guò)設(shè)置在機(jī)架11另一側(cè)邊上的光電開(kāi)關(guān)31實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)給機(jī)構(gòu)的雙重保護(hù)，同時(shí)還可以通過(guò)使用任意一組光電開(kāi)關(guān)31來(lái)實(shí)現(xiàn)進(jìn)給機(jī)構(gòu)的進(jìn)給距離。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，或所述絲杠12的另一端連接夾持機(jī)構(gòu)2的下部， 由所述絲杠12聯(lián)動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)2的給進(jìn)形成夾持機(jī)構(gòu)2的進(jìn)給，所述夾持機(jī)構(gòu)2下部設(shè)置滑道，所述一套或兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)為靜止設(shè)置。所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，機(jī)架11的下部分別設(shè)置有出水管接頭38和進(jìn)水管接頭35，所述進(jìn)水管接頭35上分別設(shè)置有至少一個(gè)用于分流的快接接頭39和閥門34， 所述快接接頭39分別連接冷卻介質(zhì)輸送管1或冷卻介質(zhì)容器15，其中所述閥門34為總控制開(kāi)關(guān)，所述總控制開(kāi)關(guān)，當(dāng)磨鉆孔機(jī)構(gòu)不需要冷卻介質(zhì)時(shí)，可以關(guān)閉總控制開(kāi)關(guān)，對(duì)設(shè)備檢修或進(jìn)行其它工作，所述出水管接頭38和進(jìn)水管接頭35的一端分別與冷卻介質(zhì)循環(huán)儲(chǔ)存容器連接，進(jìn)水管接頭35的另一端分別與冷卻介質(zhì)容器15和冷卻介質(zhì)輸送管1連接，所述卻介質(zhì)輸送管1通過(guò)冷卻介質(zhì)輸送管固定座17固定在夾緊機(jī)構(gòu)固定座5上。
所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，在機(jī)架11中設(shè)置有配電箱10，所述配電箱10與設(shè)置在機(jī)架11上部的控制系統(tǒng)19連接，所述控制系統(tǒng)19通過(guò)支撐桿18固定在機(jī)架11上部，在控制系統(tǒng)19的上部設(shè)置有照明燈20，在機(jī)架11的內(nèi)部或外部設(shè)置有冷卻介質(zhì)循環(huán)儲(chǔ)
存容器。實(shí)施本發(fā)明所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，通過(guò)將晶棒固定在夾持機(jī)構(gòu)上，根據(jù)需要由一個(gè)磨鉆孔機(jī)構(gòu)或兩個(gè)磨鉆孔機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒的一端或兩端磨鉆孔，并由磨鉆孔機(jī)構(gòu)和晶棒的夾持機(jī)構(gòu)的任一由給進(jìn)機(jī)構(gòu)使其進(jìn)行滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)磨鉆孔的規(guī)范進(jìn)行，其中所使用的鉆頭為空心結(jié)構(gòu)，使晶棒磨鉆孔的溫度得到降低，由于晶棒的固定和磨鉆孔機(jī)構(gòu)由給進(jìn)機(jī)構(gòu)緩慢推進(jìn)磨鉆孔機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒進(jìn)行磨鉆孔作業(yè)，實(shí)現(xiàn)了磨鉆孔的規(guī)范進(jìn)行，對(duì)于后期的孔式硅芯搭接使用得到了有效的保證。本發(fā)明未詳述部分為現(xiàn)有技術(shù)。為了公開(kāi)本發(fā)明的目的而在本文中選用的實(shí)施例，當(dāng)前認(rèn)為是適宜的，但是應(yīng)了解的是，本發(fā)明旨在包括一切屬于本構(gòu)思和本發(fā)明范圍內(nèi)的實(shí)施例的所有變化和改進(jìn)。
權(quán)利要求
1.一種晶體材料用磨鉆孔裝置，包括用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)；用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu) O)，其特征是所述用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)包括鉆頭(3)、電機(jī)A(6)、冷卻介質(zhì)容器(15)、 鉆頭固定軸(23)，鉆頭C3)固定在鉆頭固定軸的一端，所述鉆頭(3)、鉆頭固定軸03) 為空心結(jié)構(gòu)，鉆頭固定軸03)的另一端連接有冷卻介質(zhì)容器(15)，冷卻介質(zhì)容器(15)內(nèi)的冷卻介質(zhì)通過(guò)鉆頭固定軸03)供給鉆頭(3)磨鉆中的冷卻，鉆頭固定軸03)與電機(jī)A(6) 連接，所述鉆頭(3)對(duì)應(yīng)固定于夾持機(jī)構(gòu)(2)上的晶棒的磨鉆部位，所述用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)⑵設(shè)置在磨鉆孔機(jī)構(gòu)的鉆頭⑶相對(duì)一側(cè)；所述磨鉆孔機(jī)構(gòu)或夾持機(jī)構(gòu)⑵的其中任一為進(jìn)給，另一為靜止設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是所述用于晶棒的磨鉆孔機(jī)構(gòu)，電機(jī)A(6)固定在固定板(7)的上部面，所述電機(jī)A(6)與設(shè)置在軸筒內(nèi)的鉆頭固定軸連接，所述鉆頭固定軸通過(guò)軸承和壓蓋固定在軸筒內(nèi)，所述軸筒(4)緊固在軸筒壓蓋04)與軸筒固定座(14)內(nèi)，所述軸筒固定座(14)固定在固定板(7)的上部面，鉆頭固定軸的一端通過(guò)鉆頭鎖緊螺母0 固定鉆頭(3)，鉆頭固定軸的另一端連接有冷卻介質(zhì)容器(15)，所述冷卻介質(zhì)容器(1 通過(guò)防轉(zhuǎn)固定座Gl)來(lái)防止跟隨鉆頭固定軸旋轉(zhuǎn)，所述防轉(zhuǎn)固定座Gl)固定在軸筒固定座(14) 一側(cè)形成一套磨鉆孔機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是所述磨鉆孔機(jī)構(gòu)設(shè)置為一套或兩套，其中設(shè)置為一套為晶棒的一端磨鉆，在設(shè)置為兩套時(shí)為晶棒的兩端同步磨鉆； 所述兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)由一臺(tái)或兩臺(tái)電機(jī)A(6)供給動(dòng)力，也就是一臺(tái)電機(jī)A(6)帶動(dòng)兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)或每一磨鉆孔機(jī)構(gòu)由一臺(tái)電機(jī)A(6)供給動(dòng)力；其中兩臺(tái)電機(jī)A(6)和兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)之間間距通過(guò)設(shè)置在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板(9)上的長(zhǎng)圓孔結(jié)合緊固螺釘進(jìn)行橫向調(diào)整，以便適應(yīng)不同長(zhǎng)度的晶棒。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3任一權(quán)利要求所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是所述電機(jī)A(6)與鉆頭固定軸03)的連接方式為皮帶(16)傳動(dòng)或鏈條傳動(dòng)，在電機(jī)A(6)的鉆頭固定軸—側(cè)設(shè)置有電機(jī)頂緊塊09)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是所述一套或兩套用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)( 通過(guò)鎖緊手輪調(diào)節(jié)鎖緊的松緊度，夾持機(jī)構(gòu)( 固定在夾緊機(jī)構(gòu)固定座(5)的上部，所述夾持機(jī)構(gòu)(2)由夾緊機(jī)構(gòu)固定座(5)上的長(zhǎng)圓孔結(jié)合緊固螺釘進(jìn)行橫向調(diào)整，以便適應(yīng)不同長(zhǎng)度的晶棒。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)，絲杠(12) 兩端分別通過(guò)軸承座05)固定在機(jī)架(11)的上部，在絲杠(12)的一端設(shè)有聯(lián)軸器A(32)， 所述聯(lián)軸器A(3》與減速機(jī)(XT)動(dòng)力輸出軸的一端連接，在減速機(jī)(XT)動(dòng)力輸入軸的端部設(shè)有手動(dòng)進(jìn)給手輪(8)，所述手動(dòng)進(jìn)給手輪(8)用于進(jìn)給機(jī)構(gòu)的手動(dòng)進(jìn)給或進(jìn)給機(jī)構(gòu)的微調(diào)，在減速機(jī)(XT)的動(dòng)力輸入軸的另一端通過(guò)聯(lián)軸器^4 與電機(jī)B 06)連接，所述絲杠(1 通過(guò)設(shè)置在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板(9)下部的絲母形成絲接配合，所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板(9)的下部設(shè)置有至少兩個(gè)滑塊(33)，所述滑塊(3 與設(shè)置在機(jī)架(11)上部的滑軌滑動(dòng)配和， 在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板(9) 一側(cè)設(shè)有配合機(jī)架(11)上限位開(kāi)關(guān)(37)的限位開(kāi)關(guān)擋板(36)，在進(jìn)給機(jī)構(gòu)托板(9)的另一側(cè)的間隔設(shè)有擋片固定座(30)，在擋片固定座(30)上分別設(shè)有前后調(diào)整的擋片(40)，機(jī)架(11)上固定設(shè)置的至少兩個(gè)光電開(kāi)關(guān)(31)處于擋片00)與擋片GO)之間，所述限位開(kāi)關(guān)擋板(36)通過(guò)限位開(kāi)關(guān)(37)形成進(jìn)給機(jī)構(gòu)的保護(hù)；所述擋片 (40)通過(guò)設(shè)置在機(jī)架(11)另一側(cè)邊上的光電開(kāi)關(guān)(31)實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)給機(jī)構(gòu)的雙重保護(hù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是所述絲杠(1 的另一替換結(jié)構(gòu)為，所述絲杠(12)的另一端連接夾持機(jī)構(gòu)(2)的下部，由所述絲杠(12)聯(lián)動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)(2)的給進(jìn)形成夾持機(jī)構(gòu)( 的進(jìn)給，所述夾持機(jī)構(gòu)( 下部設(shè)置滑道，所述一套或兩套磨鉆孔機(jī)構(gòu)為靜止設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是機(jī)架(11)的下部分別設(shè)置有出水管接頭(38)和進(jìn)水管接頭(35)，所述進(jìn)水管接頭(3 上分別設(shè)置有至少一個(gè)用于分流的快接接頭(39)和閥門(34)，其中所述閥門(34)為總控制開(kāi)關(guān)，所述出水管接頭 (38)和進(jìn)水管接頭(3 的一端分別與冷卻介質(zhì)循環(huán)儲(chǔ)存容器連接，進(jìn)水管接頭(3 的另一端分別與冷卻介質(zhì)容器(1 和冷卻介質(zhì)輸送管(1)連接，所述卻介質(zhì)輸送管(1)通過(guò)冷卻介質(zhì)輸送管固定座(17)固定在夾緊機(jī)構(gòu)固定座( 上。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體材料用磨鉆孔裝置，其特征是在機(jī)架(11)中設(shè)置有配電箱(10)，所述配電箱(10)與設(shè)置在機(jī)架(11)上部的控制系統(tǒng)(19)連接，在機(jī)架(11)的內(nèi)部或外部設(shè)置有冷卻介質(zhì)循環(huán)儲(chǔ)存容器。
全文摘要
一種晶體材料用磨鉆孔裝置，涉及一種晶體材料的加工設(shè)備，鉆頭(3)固定在鉆頭固定軸(23)的一端，所述鉆頭(3)、鉆頭固定軸(23)為空心結(jié)構(gòu)，鉆頭固定軸的另一端連接有冷卻介質(zhì)容器(15)，冷卻介質(zhì)容器(15)內(nèi)的冷卻介質(zhì)通過(guò)鉆頭固定軸供給鉆頭(3)磨鉆中的冷卻，鉆頭固定軸(23)與電機(jī)A(6)連接，所述鉆頭對(duì)應(yīng)固定于夾持機(jī)構(gòu)(2)上的晶棒的磨鉆部位，所述用于晶棒的夾持機(jī)構(gòu)(2)設(shè)置在磨鉆孔機(jī)構(gòu)的鉆頭(3)相對(duì)一側(cè)；所述磨鉆孔機(jī)構(gòu)或夾持機(jī)構(gòu)的其中任一為進(jìn)給，另一為靜止設(shè)置；本發(fā)明通過(guò)磨鉆孔機(jī)構(gòu)和晶棒的夾持機(jī)構(gòu)的配合，使晶棒固定在夾持機(jī)構(gòu)上，由給進(jìn)機(jī)構(gòu)緩慢推進(jìn)磨鉆孔機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒進(jìn)行磨鉆孔作業(yè)。
文檔編號(hào)B28D1/14GK102248605SQ201110221618
公開(kāi)日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2011年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者劉朝軒, 朱清奎 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)金諾機(jī)械工程有限公司