專利名稱：一種用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)，具體涉及一種用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置。
背景技術(shù)：
旋轉(zhuǎn)涂布玻璃(spin on glass coating, SOG),也稱旋制氧化娃,它是半導(dǎo)體制程中主要的局部性平坦化技術(shù)，用于使金屬層間平坦化，以增加層與層之間的結(jié)合特性，避免空洞的形成以及膜的剝裂。具體地，SOG是將含有介電材料的液態(tài)溶劑以旋轉(zhuǎn)涂布的方式，均勻地涂布在晶圓的表面，以填補(bǔ)沉積介電層凹陷的孔洞，再經(jīng)過熱處理，以去除溶劑，從而在晶圓表面上留下固化后近似二氧化硅的介電材料。SOG的簡單流程如下旋轉(zhuǎn)平涂一加熱燒烤一高溫硬化。如圖I所示，其為現(xiàn)有的SOG制備工藝中的溶劑噴涂裝置，其中，溶劑4盛放在溶 劑瓶11中，溶劑瓶11通過固定支架19固定，溶劑4在氣動閥12的控制下，通過溶劑管路101傳送至噴嘴13，噴嘴13設(shè)置在待涂布的晶片3上方，由噴嘴13對晶片3進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布。在上述現(xiàn)有的溶劑噴涂裝置中，主要存在以下缺陷和危害(1)該裝置沒有任何探測溶劑噴涂回路中流量是否異常的機(jī)制，而該裝置中的電容式液位開關(guān)17只是用于探測溶劑是否用完；(2)在制備生產(chǎn)時，容易發(fā)生氣動閥因老化而無法打開或關(guān)閉，或產(chǎn)生溶劑結(jié)晶等問題，從而造成上述裝置無法噴涂或噴涂劑量不準(zhǔn)確。由于現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷和危害，常常會造成大批量產(chǎn)品報廢，又無法及時發(fā)現(xiàn)，從而給生產(chǎn)帶來巨大損失。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可準(zhǔn)確探測溶劑流量情況，可有效避免產(chǎn)品大批量報廢的用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置，包括盛有溶劑的溶劑瓶和與所述溶劑瓶通過管路連接的噴嘴，所述管路上設(shè)置有氣動閥，所述氣動閥上設(shè)置有用于控制所述氣動閥開關(guān)的電磁閥，其中，所述管路上串聯(lián)設(shè)置有液體流量計。進(jìn)一步地，所述液體流量計位于所述氣動閥和噴嘴之間。進(jìn)一步地，所述液體流量計的電源與所述電磁閥的電源并聯(lián)。進(jìn)一步地，所述溶劑噴涂裝置還包括蜂鳴器報警電路，所述蜂鳴器報警電路與所述液體流量計的報警信號輸出端連接。進(jìn)一步地，所述蜂鳴器報警電路為具有自鎖功能的蜂鳴器報警電路。進(jìn)一步地,所述液體流量計為具有傳感器的液位流量計。進(jìn)一步地,所述氣動閥為具有回吸功能的氣動閥。本發(fā)明提供的用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置，通過設(shè)置在管路上的液體流量計，來監(jiān)測溶劑管路中的溶劑流動情況，從而可探測噴涂回路中溶劑流量是否異常，若觀測到噴涂回路中溶劑流量超出預(yù)定的范圍，則說明溶劑流量出現(xiàn)異常，此時可及時對管路進(jìn)行處理，或調(diào)整流量。同時也可根據(jù)監(jiān)測得到的溶劑流量情況，及時處理溶劑結(jié)晶和氣動閥老化的問題，進(jìn)而保證了生產(chǎn)的穩(wěn)定性和持續(xù)性。因此，本發(fā)明的溶劑噴涂裝置可準(zhǔn)確地探測溶劑的流量情況，從而保證噴涂劑量的準(zhǔn)確性，有效地避免產(chǎn)品的大批量報廢，保證生產(chǎn)穩(wěn)定、持續(xù)、安全地進(jìn)行。


圖I為現(xiàn)有SOG制程中的溶劑噴涂裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為在圖I所示的現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上改進(jìn)得到的本發(fā)明的用于SOG的溶劑噴涂裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，下面結(jié)合附圖及實施例，對 本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。如圖2所示，本發(fā)明提供一種用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置，包括盛有溶劑4的溶劑瓶11和與溶劑瓶11通過管路101連接的噴嘴13，管路101上設(shè)置有氣動閥12，氣動閥12上設(shè)置有用于控制氣動閥開關(guān)的電磁閥15，在管路101上串聯(lián)設(shè)置有液體流量計21。在工作時，氣動閥12由電磁閥控制，當(dāng)氣動閥12打開時，溶劑4通過管路101，流經(jīng)液體流量計21，傳送至噴嘴13，噴嘴13設(shè)置在待涂布的晶片3上方，由噴嘴13對晶片3進(jìn)行旋轉(zhuǎn)噴涂；當(dāng)需要結(jié)束旋轉(zhuǎn)噴涂時，關(guān)閉氣動閥12，則可結(jié)束工作。通過設(shè)置在管路101上的液體流量計21，來監(jiān)測溶劑管路中的溶劑流動情況，從而可探測噴涂回路中溶劑流量是否異常，若觀測到噴涂回路中溶劑流量超出預(yù)定的范圍，則說明溶劑流量出現(xiàn)異常，此時可及時對管路進(jìn)行處理，或調(diào)整流量。同時也可根據(jù)監(jiān)測的溶劑流量的情況，及時處理溶劑結(jié)晶和氣動閥老化的問題，進(jìn)而保證了生產(chǎn)的穩(wěn)定性和持續(xù)性。因此，本發(fā)明的溶劑噴涂裝置可準(zhǔn)確地探測溶劑的流量情況，從而保證噴涂劑量的準(zhǔn)確性，有效地避免產(chǎn)品的大批量報廢，保證生產(chǎn)穩(wěn)定、持續(xù)、安全地進(jìn)行。在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例中，液體流量計21可位于氣動閥12和噴嘴13之間的管路101上。這樣將液體流量計21設(shè)置在噴嘴13之前，從而可以更好地監(jiān)測整個溶劑噴涂回路中溶劑的流量，避免由于溶劑在到達(dá)噴嘴之前出現(xiàn)結(jié)晶或堵塞而無法被檢測出來，由此達(dá)到更好的監(jiān)測效果。為了使液體流量計只在溶劑噴涂過程中進(jìn)行監(jiān)測(如工作時，可2分鐘/次地進(jìn)行噴涂溶劑)，作為一個優(yōu)選方案，將液體流量計21的電源與電磁閥15的電源并聯(lián)。當(dāng)氣動閥12被開啟時,液體流量計21也同時被開啟；當(dāng)氣動閥12被關(guān)閉時,液體流量計21也同時被關(guān)閉，從而實現(xiàn)了液體流量計和氣動閥同步工作，使操作更加簡單，更加自動化。本發(fā)明的溶劑噴涂裝置還包括蜂鳴器報警電路22，該蜂鳴器報警電路與液體流量計21的報警信號輸出端連接。由此，可在上述液體流量計上設(shè)定流量范圍，當(dāng)管路101中溶劑的流量出現(xiàn)異常(即溶劑的流量超出設(shè)定的流量范圍)時，蜂鳴器報警電路22可收到液體流量計21輸送的報警信號，從而啟動揚聲器發(fā)出報警聲，以通知工作人員對溶劑流量異常情況進(jìn)行處理。為了達(dá)到更好的報警效果，上述蜂鳴器報警電路22可為具有自鎖功能的蜂鳴器報警電路。如圖2所示，該具有自鎖功能的蜂鳴器報警電路可以具體包括電磁繼電器A、電磁繼電器B和揚聲器224，上述電磁繼電器B與液體流量計的報警信號輸出端連接，在連接揚聲器224的線路中設(shè)有停止按鈕223。通過該具有自鎖功能的蜂鳴器報警電路，可實現(xiàn)只要溶劑流量發(fā)生異常，就持續(xù)報警，而不受液體流量計電源開或關(guān)的影響，從而進(jìn)一步地保證了對溶劑出現(xiàn)流量異常的及時處理。當(dāng)然，其他的具有自鎖功能的蜂鳴器報警電路 也可用于本發(fā)明中，此處不再贅述。作為一個優(yōu)選方案，液體流量計21可為具有傳感器的液位流量計。如此，采 用具有傳感器的液位流量計可更好地對溶劑的流量進(jìn)行檢測，并及時傳送檢測信號給蜂鳴器報警電路。在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例中，上述氣動閥為具有回吸功能的氣動閥。這樣可以更好地控制溶劑的流動，尤其是在關(guān)閉氣動閥時，可將管路中殘留的溶劑回吸到溶劑瓶中，避免了由于溶劑殘留而產(chǎn)生的溶劑結(jié)晶從而將管路堵塞的情況。在本發(fā)明溶劑噴涂裝置的電磁閥電源處可設(shè)置PLC控制器，以用于控制溶劑噴涂裝置的運行。在本發(fā)明的另一個優(yōu)選實施例中，具有傳感器的液位流量計為CKDWFK5000-A2型號，該液位流量計具有4個引腳，第一引腳I經(jīng)含有開關(guān)的PLC控制器與電源連接，第三引腳3 (即報警信號輸出端)與上述具有自鎖功能的蜂鳴器報警電路的電磁繼電器B連接，第四腳4接地。采用該型號的液位流量計，可在該液位流量計上設(shè)定流量范圍，當(dāng)發(fā)生溶劑流量異常時，可更及時準(zhǔn)確地進(jìn)行報警提醒。同時由于該液位流量計與上述具有自鎖功能的蜂鳴器報警電路連接，可使其不受該流量傳感器電源2分鐘/次開啟的影響，從而進(jìn)行持續(xù)報警。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并非用來限定本發(fā)明的實施范圍；如果不脫離本發(fā)明的精神和范圍，對本發(fā)明進(jìn)行修改或者等同替換，均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求
1.一種用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置，包括盛有溶劑的溶劑瓶和與所述溶劑瓶通過管路連接的噴嘴，所述管路上設(shè)置有氣動閥，所述氣動閥上設(shè)置有用于控制所述氣動閥開關(guān)的電磁閥，其特征在于，所述管路上串聯(lián)設(shè)置有液體流量計。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的溶劑噴涂裝置，其特征在于，所述液體流量計位于所述氣動閥和噴嘴之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的溶劑噴涂裝置，其特征在于，所述液體流量計的電源與所述電磁閥的電源并聯(lián)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的溶劑噴涂裝置，其特征在于，所述溶劑噴涂裝置還包括蜂鳴器報警電路，所述蜂鳴器報警電路與所述液體流量計的報警信號輸出端連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的溶劑噴涂裝置，其特征在于，所述蜂鳴器報警電路為具有自鎖功能的蜂鳴器報警電路。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的溶劑噴涂裝置，其特征在于，所述液體流量計為具有傳感器的液位流量計。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的溶劑噴涂裝置，其特征在于，所述氣動閥為具有回吸功能的氣動閥。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置，包括盛有溶劑的溶劑瓶和與所述溶劑瓶通過管路連接的噴嘴，管路上設(shè)置有氣動閥，氣動閥上設(shè)置有用于控制氣動閥開關(guān)的電磁閥，在管路上串聯(lián)設(shè)置有液體流量計。本發(fā)明的溶劑噴涂裝置可準(zhǔn)確地探測溶劑的流量情況，從而保證了噴涂劑量的準(zhǔn)確性，有效地避免了產(chǎn)品的大批量報廢，從而保證生產(chǎn)穩(wěn)定、持續(xù)、安全地進(jìn)行。
文檔編號C03C17/00GK102951846SQ201110237810
公開日2013年3月6日 申請日期2011年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月18日
發(fā)明者劉剛, 程光中, 劉濤, 儲著飛, 安禮余 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司