專利名稱：電路及包含該電路的水冷式硅片切片機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及用于水冷式硅片切片機的電路，更具體地涉及調(diào)節(jié)水冷式硅片切片機瞬時水壓的電路。本實用新型還涉及包括所述電路的水冷式硅片切片機。
背景技術(shù)：
隨著全球各國綠色能源的推廣和近年來半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的超常規(guī)發(fā)展，硅片市場的供給已極度不平衡，切割加工能力的落后和產(chǎn)能的嚴重地制約了產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。近年來出現(xiàn)的新型硅片多絲切割技術(shù)現(xiàn)已是硅片(晶圓)上游生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)，具有切割表面質(zhì)量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后續(xù)加工等特點。目前用于工業(yè)應(yīng)用的主流多線切割設(shè)備包括瑞士 HCT的B5型切片機、梅耶博格 (Meyer Burger)的DS264/271型切片機和日本NTC的MWM442D型切片機。這些設(shè)備均采用可編程控制器(PLC)作為控制部件，用于集中控制處理設(shè)備上的模擬量信號和數(shù)字量信號。上述切片機均采用冷卻水對設(shè)備進行冷卻，不同的設(shè)備對冷卻水壓力有不同的要求，例如，DS271/1型切片機對冷卻水的要求是進水水壓在2 ^ar之間，與出水管道的壓差不得低于1. 5bar0進水水壓過高或過低均會導(dǎo)致設(shè)備停機。但是供水系統(tǒng)水壓有時會發(fā)生瞬時波動，例如供水系統(tǒng)電源切換時，水壓通常會發(fā)生數(shù)秒鐘的瞬時波動。該數(shù)秒鐘的瞬時水壓波動通常不會對切片機的運行產(chǎn)生不利的影響，但是當(dāng)壓力傳感器將該水壓的瞬時波動信號輸送至切片機軟件控制系統(tǒng)后，控制系統(tǒng)會誤認為冷卻水水壓過低，會立即輸出停機信號而導(dǎo)致設(shè)備停機。

實用新型內(nèi)容因此在實際生產(chǎn)中，需要一種用于處理瞬時波動水壓信號裝置，防止因瞬時水壓波動導(dǎo)致設(shè)備停機，妨礙正常生產(chǎn)。本實用新型提供了一種處理瞬時波動水壓信號的電路，該電路安裝在切片機壓力傳感器和控制系統(tǒng)之間，屬于硬件控制，不改變原來設(shè)備的軟件控制系統(tǒng)，只是將原來的報警信號經(jīng)過適當(dāng)?shù)奶幚碓佥敵鲚斎氲娇刂葡到y(tǒng)。本實用新型的電路可使用任何時間繼電器，包括通電延時繼電器和斷電延時繼電器。本實用新型任選可在壓力傳感器和時間繼電器間連接使用中間繼電器，其中，壓力傳感器的輸出端與中間繼電器的線圈相連，中間繼電器的常閉觸點與通電延時繼電器線圈輸入端相連，通電延時繼電器輸出端與設(shè)備原壓力信號線相連。具體地，延時繼電器的延時時間設(shè)置為5 60秒。在使用斷電延時繼電器時，由于可不使用中間繼電器，減小了電路規(guī)模，避免電路出現(xiàn)故障的幾率，因此本實用新型優(yōu)選使用斷電延時繼電器。在生產(chǎn)實踐中，供水系統(tǒng)水壓瞬時波動時間通常在數(shù)秒至數(shù)十秒鐘之內(nèi)，例如 1 60秒、1 40秒、1 20秒、1 10秒、1 5秒、1 4秒、1 3秒和1 2秒，如此短暫的波動并不會對設(shè)備產(chǎn)生不利的影響。因此作為一種改進，本實用新型優(yōu)選使用精度為秒級的時間繼電器，該時間繼電器的預(yù)先設(shè)定的延時時間通常根據(jù)實際的水壓波動情況設(shè)置，例如1 60秒、1 40秒、1 20秒、1 10秒、1 5秒、1 4秒、1 3秒和1 2秒，優(yōu)選為設(shè)置在5 10秒，更優(yōu)選為5秒。在本實用新型中所述的水冷式硅片切片機是指任何使用循環(huán)水進行冷卻的硅片切片機，這類切片機均可使用本實用新型所述的電路來防止水壓瞬時波動造成的停機。這類水冷式硅片切片機包括，但不限于梅耶博格公司DS264型切片機、梅耶博格公司DS271 型切片機和應(yīng)用材料公司HCT-B5型切片機。

通過閱讀參照以下附圖所作的對非限制性實施例所作的詳細描述，本發(fā)明的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更加明顯圖1是本實用新型電路的流程圖；圖2是本實用新型使用了斷電延時繼電器的電路圖；圖3是本實用新型使用了通電延時繼電器的電路圖。
具體實施方式
附圖1是本實用新型電路的流程圖，其中壓力回路表示由原設(shè)備自身的壓力傳感器回路，設(shè)備控制系統(tǒng)為原設(shè)備自身的控制系統(tǒng)。本實用新型電路包括時間繼電器，該時間繼電器的線圈輸入端與硅片切片機的壓力傳感器的輸出端相連，輸出端與所述硅片切片機的壓力傳感器的壓力信號線相連，形成信號延時回路。當(dāng)遇到瞬時的水壓波動，例如1 5 秒內(nèi)水壓從^ar下降到2bar，壓力傳感器將該壓力信號轉(zhuǎn)化為電信號并輸出。時間繼電器通常根據(jù)水壓波動的實際情況預(yù)先設(shè)定一個延時時間，例如1 60秒、1 40秒、1 20 秒、1 10秒、1 5秒、1 4秒、1 3秒和1 2秒，當(dāng)接受到來自壓力傳感器的電信號后，會自動截留在設(shè)定延時時間段內(nèi)的電信號，從而控制系統(tǒng)不會輸出停機的信號，保證了機器的正常運轉(zhuǎn)；若水壓波動為非瞬時波動，即波動的時間超過預(yù)先設(shè)定的延時時間，時間繼電器會輸出水壓波動信號到控制系統(tǒng)，從而控制設(shè)備停機，防止了設(shè)備的空轉(zhuǎn)。因此本發(fā)明的電路有效地對瞬時波動水壓進行了處理，保證了切片機的正常運行。附圖2說明了本實用新型的使用斷電延時繼電器的實施方案，其中回路1 壓力傳感器101—端與電源輸入端100相連，另一端與斷電延時繼電器線圈102相連，斷電延時繼電器線圈102另一端再與電源輸入端100相連，形成閉合回路?；芈? 斷電延時繼電器常閉觸點103—端與電源輸入端100相連，另一端與設(shè)備控制系統(tǒng)輸入點104相連，設(shè)備控制系統(tǒng)輸入點104另一端與電源輸入端100相連，形成閉合回路。在工作過程中，當(dāng)水壓正常時，回路1導(dǎo)通工作，斷電延時繼電器線圈102得電，則回路2中斷電延時繼電器常閉觸點103斷開，則回路2不工作，設(shè)備控制系統(tǒng)輸入點104無信號輸入，系統(tǒng)不產(chǎn)生水壓報警。當(dāng)水壓瞬間波動時，當(dāng)波動時間小于斷電延時繼電器設(shè)定時間時，則斷電延時繼電器線圈102得電，則回路2中斷電延時繼電器常閉觸點103斷開，則回路2不工作，設(shè)備
4控制系統(tǒng)輸入點104無信號輸入，系統(tǒng)不產(chǎn)生水壓報警。當(dāng)水壓瞬間波動時間在3 5秒，當(dāng)波動時間大于斷電延時繼電器設(shè)定時間時，則斷電延時繼電器線圈102失電，則回路2中斷電延時繼電器常閉觸點103閉合，則回路2工作，設(shè)備控制系統(tǒng)輸入點104有信號輸入，系統(tǒng)產(chǎn)生水壓報警。這樣就判斷水壓不是瞬間波動，而是水壓低，則正常報警。在此情況下，壓力傳感器安裝于DS271/1型切片機進水管道過濾器下端。斷電延時繼電器的預(yù)先設(shè)定的時間為10秒。供水泵電源切換時間一般在2 3秒，瞬時水壓波動時間在3 5秒，此時在時間繼電器的作用下未出現(xiàn)停機現(xiàn)象。附圖3說明了本實用新型的使用通電延時繼電器的實施方案，其中回路1 壓力傳感器201 —端與電源輸入端200相連，另一端與中間繼電器線圈 202相連，中間繼電器線圈202另一端再與電源輸入端200相連，形成閉合回路?；芈? 中間繼電器常閉觸點203 —端與電源輸入端200相連，另一端與通電延時繼電器線圈204相連，通電繼電器線圈204另一端再與電源輸入端200相連，形成閉合回路?；芈? 通電延時繼電器常開觸點205 —端以電源輸入端200相連，另一端與設(shè)備控制系統(tǒng)輸入點206相連，設(shè)備控制系統(tǒng)另一端再于電源輸入端200相連，形成閉合回路。此時，壓力傳感器安裝于切片機進水管道過濾器下端。通電延時繼電器的預(yù)先設(shè)定的時間為10秒。供水泵電源切換時間一般在2 3秒，瞬時水壓波動時間在3 5秒， 此時在時間繼電器的作用下未出現(xiàn)停機現(xiàn)象。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)能理解，上述實施例均是示例性而非限制性的。在不同實施例中出現(xiàn)的不同技術(shù)特征可以進行組合，以取得有益效果。本領(lǐng)域技術(shù)人員在研究附圖、說明書及權(quán)利要求書的基礎(chǔ)上，應(yīng)能理解并實現(xiàn)所揭示的實施例的其他變化的實施例。在權(quán)利要求書中，術(shù)語“包括”并不排除其他裝置或步驟；不定冠詞“一個”不排除多個；術(shù)語“第一”、“第二”用于標示名稱而非用于表示任何特定的順序。權(quán)利要求中的任何附圖標記均不應(yīng)被理解為對保護范圍的限制。權(quán)利要求中出現(xiàn)的多個部分的功能可以由一個單獨的硬件或軟件模塊來實現(xiàn)，某一部分的功能也可以由多個不同的硬件或軟件模塊來實現(xiàn)。某些技術(shù)特征出現(xiàn)在不同的從屬權(quán)利要求中并不意味著不能將這些技術(shù)特征進行組合以取得有益效果。
權(quán)利要求1.一種用于水冷式硅片切片機的電路，其特征在于所述電路包括一個時間繼電器，所述時間繼電器的線圈輸入端與所述硅片切片機的壓力傳感器的輸出端相連，所述時間繼電器的輸出端與所述硅片切片機的壓力傳感器的壓力信號線相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路，其特征在于所述時間繼電器為通電延時繼電器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路，其特征在于所述時間繼電器為斷電延時繼電器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電路，其特征在于在所述硅片切片機的壓力傳感器與所述時間繼電器之間還連接有中間繼電器，所述壓力傳感器的輸出端與所述中間繼電器的線圈相連，所述中間繼電器的常閉觸點與所述通電延時繼電器線圈輸入端相連，所述通電延時繼電器輸出端與設(shè)備原壓力信號線相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3任一項所述的電路，其特征在于所述時間繼電器的精度為秒級。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電路，其特征在于所述延時繼電器的延時時間設(shè)置為5 60秒。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電路，其特征在于所述延時繼電器的延時時間設(shè)置為5秒。
8.一種水冷式硅片切片機，其特征在于包括根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項所述的電路。
專利摘要本實用新型公開了一種用于水冷式硅片切片機的電路及包含該電路的水冷式硅片切片機，所述電路包括一個時間繼電器，所述時間繼電器的線圈輸入端與所述硅片切片機的壓力傳感器的輸出端相連，輸出端與所述硅片切片機的壓力傳感器的壓力信號線相連。本實用新型所述的電路可用于任何水冷式的硅片切片機。
文檔編號B28D5/00GK202200408SQ201120102020
公開日2012年4月25日 申請日期2011年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月8日
發(fā)明者繆海波 申請人:蘇州協(xié)鑫光伏科技有限公司