專利名稱：晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種防水結(jié)構(gòu)，尤其是一種晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)， 屬于半導(dǎo)體加工的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
晶圓切割工序主要進(jìn)行晶圓切割工程，在晶圓切割之前和切割過程中需要使用攝像機(jī)對(duì)晶圓切割進(jìn)行定位，從而能夠?qū)A切割的切口進(jìn)行檢查。由于切割過程中會(huì)使用離子水進(jìn)行冷卻和清潔，會(huì)有部分水進(jìn)入攝像機(jī)內(nèi)，造成攝像機(jī)的輸出圖像模糊，經(jīng)常出現(xiàn)設(shè)備圖像識(shí)別產(chǎn)生誤報(bào)警，或者由于長(zhǎng)期積水造成攝像機(jī)損壞等情況，從而降低了攝像機(jī)及切割設(shè)備的利用率，增加人工勞動(dòng)成本，提高設(shè)備采購(gòu)費(fèi)用，對(duì)晶圓切割的質(zhì)量難以保證。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，安裝使用方便，利用率高，減少人工操作量，降低了誤報(bào)警率，自動(dòng)化程度高，提高了切割質(zhì)量，安全可靠。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，包括切割工作臺(tái)；所述切割工作臺(tái)內(nèi)底板的一端端部設(shè)有隔水擋板。所述切割工作臺(tái)內(nèi)的底板上對(duì)應(yīng)于攝像機(jī)鏡頭照射部設(shè)有防水密封條。所述底板上對(duì)應(yīng)于設(shè)置防水密封條的部位設(shè)有干燥壓縮空氣輸出管。所述切割工作臺(tái)包括底板，所述底板上設(shè)有端板及對(duì)稱分布的側(cè)板，所述端板位于底板對(duì)應(yīng)于設(shè)置隔水擋板的另一端，所述側(cè)板的兩端分別與端板及隔水擋板相連。所述側(cè)板對(duì)應(yīng)于鄰近端板的一端設(shè)有臺(tái)階；側(cè)板與端板結(jié)合部一端的高度大于側(cè)板與隔水擋板一端的高度。所述側(cè)板對(duì)應(yīng)于與隔水擋板相連的一端設(shè)有定位槽，所述定位槽位于隔水擋板的上方。所述側(cè)板上設(shè)有若干安裝孔。所述定位槽從側(cè)板對(duì)應(yīng)于與隔水擋板結(jié)合部的一端向側(cè)板與端板的一端延伸。所述防水密封條呈圓形。所述隔水擋板呈矩形。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)切割工作臺(tái)的底板上設(shè)有隔水擋板，隔水擋板與LED攝像機(jī)內(nèi)的除水結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)，能夠避免水氣進(jìn)入LED攝像機(jī)的鏡頭部；同時(shí)在底板上對(duì)應(yīng)于LED攝像機(jī)的鏡頭照射部通過設(shè)置防水密封條來提高密封性能，進(jìn)一步避免冷卻水進(jìn)入LED攝像機(jī)內(nèi)；由于LED攝像機(jī)在晶圓切割中最大程度的減少了冷卻水的干擾，能夠延長(zhǎng)LED攝像機(jī)的使用壽命，減少晶圓切割過程中的對(duì)準(zhǔn)誤報(bào)警，提高了設(shè)備的利用率，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊， 安裝使用方便，減少人工操作量，降低了誤報(bào)警率，自動(dòng)化程度高，提高了切割質(zhì)量，安全可
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圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。如圖1所示本實(shí)用新型包括隔水擋板1、防水密封條2、底板3、切割工作臺(tái)4、臺(tái)階5、端板6、安裝孔7、側(cè)板8及定位槽9。如圖1所示所述切割工作臺(tái)4包括底板3，所述底板3呈矩形狀。所述底板3的一端設(shè)有端板6，底板3的兩側(cè)分別設(shè)有側(cè)板8，所述側(cè)板8與端板6對(duì)應(yīng)相連；從而側(cè)板8 與端板6及底板3圍合成現(xiàn)有的切割工作臺(tái)4結(jié)構(gòu)。切割工作臺(tái)4對(duì)應(yīng)于設(shè)置端板6的另一端設(shè)置開口端，用于將LED攝像機(jī)放置照射定位。側(cè)板8對(duì)應(yīng)于與端板6相連的另一端端部設(shè)有定位槽9，所述定位槽9位于側(cè)板8的下部；且定位槽9的槽口位于側(cè)板8的端部， 定位槽9的槽底鄰近端板6 ；定位槽9呈矩形；通過固定螺釘能夠?qū)ED攝像機(jī)安裝在側(cè)板 8上。為了避免在晶圓切割中，冷卻水的飛濺影響LED攝像機(jī)的攝像定位效果；在底板3 上設(shè)有隔水擋板1，所述隔水擋板1位于底板3對(duì)應(yīng)于設(shè)置端板6的另一端端部。隔水擋板1位于定位槽9的下方，即隔水擋板1的高度低于定位槽9，使安裝隔水擋板1后不影響 LED攝像機(jī)的安裝。隔水擋板1的兩端分別與側(cè)板8相連。隔水擋板1的形狀與底板3及側(cè)板8相對(duì)應(yīng)，并呈矩形裝。隔水擋板1能夠與LED攝像機(jī)的端蓋除水結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)，能夠避免冷卻水飛濺入LED攝像機(jī)內(nèi)。同時(shí)，底板3上設(shè)有LED攝像機(jī)的鏡頭照射處，現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中，底板3上LED攝像機(jī)鏡頭照射處的密封性差，水氣會(huì)進(jìn)入LED攝像機(jī)內(nèi)。為了避免水氣通過底板3上LED攝像機(jī)鏡頭照射部將進(jìn)入LED攝像機(jī)內(nèi)，底板3上設(shè)有防水密封條2，所述防水密封條2能夠使底板3上對(duì)應(yīng)LED攝像機(jī)鏡頭照射部具有良好的密封性能。防水密封條2鄰近端板6，且防水密封條2呈圓形。切割工作臺(tái)4內(nèi)設(shè)有干燥壓縮空氣輸出管，所述干燥壓縮空氣輸出管的端口與防水密封條2的位置相對(duì)應(yīng)。側(cè)板8上設(shè)有臺(tái)階5，所述臺(tái)階5鄰近端板6 ；側(cè)板8對(duì)應(yīng)于與端板6結(jié)合部一端的高度大于側(cè)板8對(duì)應(yīng)于與隔水擋板1結(jié)合部一端的高度。側(cè)板8上設(shè)有若干安裝孔7。如圖1所示使用時(shí)，將LED攝像機(jī)通過螺釘及定位槽9固定安裝于切割工作臺(tái)4 上；LED攝像機(jī)安裝定位后，隔水擋板1對(duì)應(yīng)于與底板3相連的另一側(cè)伸入LED攝像機(jī)內(nèi)，與 LED攝像機(jī)內(nèi)的除水結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)配合，能夠?qū)⒗鋮s水進(jìn)入LED攝像機(jī)鏡頭部的通道封堵，防止冷卻水進(jìn)入LED攝像機(jī)內(nèi)。同時(shí)，防水密封條2提高了底板3上相應(yīng)部位的密封性能，能最大程度的防止水氣進(jìn)入LED攝像機(jī)內(nèi)；干燥壓縮空氣輸出管能夠加快冷水水氣的排出， 能夠有效保證LED攝像機(jī)在晶圓切割過程中的定位作用。本實(shí)用新型切割工作臺(tái)4的底板3上設(shè)有隔水擋板1，隔水擋板1與LED攝像機(jī)內(nèi)的除水結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)，能夠避免水氣進(jìn)入LED攝像機(jī)的鏡頭部；同時(shí)在底板3上對(duì)應(yīng)于LED攝像機(jī)的鏡頭照射部通過設(shè)置防水密封條2來提高密封性能，進(jìn)一步避免冷卻水進(jìn)入LED攝像機(jī)內(nèi)；由于LED攝像機(jī)在晶圓切割中最大程度的減少了冷卻水的干擾，能夠延長(zhǎng)LED攝像機(jī)的使用壽命，減少晶圓切割過程中的對(duì)準(zhǔn)誤報(bào)警，提高了設(shè)備的利用率，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊， 安裝使用方便，減少人工操作量，降低了誤報(bào)警率，自動(dòng)化程度高，提高了切割質(zhì)量，安全可
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權(quán)利要求1.一種晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，包括切割工作臺(tái)(4)；其特征是所述切割工作臺(tái)(4)內(nèi)底板(3)的一端端部設(shè)有隔水擋板(1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述切割工作臺(tái)(4)內(nèi)的底板(3)上對(duì)應(yīng)于攝像機(jī)鏡頭照射部設(shè)有防水密封條(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述底板(3) 上對(duì)應(yīng)于設(shè)置防水密封條(2)的部位設(shè)有干燥壓縮空氣輸出管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述切割工作臺(tái)(4)包括底板(3)，所述底板(3)上設(shè)有端板(6)及對(duì)稱分布的側(cè)板(8)，所述端板(6) 位于底板(3)對(duì)應(yīng)于設(shè)置隔水擋板(1)的另一端，所述側(cè)板(8)的兩端分別與端板(6)及隔水擋板(1)相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述側(cè)板(8) 對(duì)應(yīng)于鄰近端板(6)的一端設(shè)有臺(tái)階(5);側(cè)板(8)與端板(6)結(jié)合部一端的高度大于側(cè)板 (8 )與隔水擋板(1) 一端的高度。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述側(cè)板(8) 對(duì)應(yīng)于與隔水擋板(1)相連的一端設(shè)有定位槽(9)，所述定位槽(9)位于隔水擋板(1)的上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述側(cè)板(8) 上設(shè)有若干安裝孔(7)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述定位槽 (9)從側(cè)板(8)對(duì)應(yīng)于與隔水擋板(1)結(jié)合部的一端向側(cè)板(8)與端板(6)的一端延伸。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述防水密封條(2)呈圓形。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其特征是所述隔水擋板(1)呈矩形。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種晶圓切割中切割工作臺(tái)的防水結(jié)構(gòu)，其包括切割工作臺(tái)；所述切割工作臺(tái)內(nèi)底板的一端端部設(shè)有隔水擋板。本實(shí)用新型切割工作臺(tái)的底板上設(shè)有隔水擋板，隔水擋板與LED攝像機(jī)內(nèi)的除水結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)，能夠避免水氣進(jìn)入LED攝像機(jī)的鏡頭部；同時(shí)在底板上對(duì)應(yīng)于LED攝像機(jī)的鏡頭照射部通過設(shè)置防水密封條來提高密封性能，進(jìn)一步避免冷卻水進(jìn)入LED攝像機(jī)內(nèi)；由于LED攝像機(jī)在晶圓切割中最大程度的減少了冷卻水的干擾，能夠延長(zhǎng)LED攝像機(jī)的使用壽命，減少晶圓切割過程中的對(duì)準(zhǔn)誤報(bào)警，提高了設(shè)備的利用率，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，安裝使用方便，減少人工操作量，降低了誤報(bào)警率，自動(dòng)化程度高，提高了切割質(zhì)量，安全可靠。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202021705SQ20112011515
公開日2011年11月2日 申請(qǐng)日期2011年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月18日
發(fā)明者嚴(yán)銘海, 朱建綱 申請(qǐng)人:海太半導(dǎo)體(無錫)有限公司