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      一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置的制作方法

      文檔序號(hào):1861319閱讀:278來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型為一種液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,特別涉及一種制作石英坩堝的坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,屬于液壓傳動(dòng)連接裝置技術(shù)領(lǐng)域。
      背景技術(shù)
      用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料,是作為太陽(yáng)能、半導(dǎo)體行業(yè)切克拉斯基法(cz)拉制單晶硅必不可少的容器。通常在制作石英坩堝時(shí),坩堝模具的操作通過(guò)液壓齒輪傳動(dòng)來(lái)控制,會(huì)經(jīng)常產(chǎn)生漏油的情況。且液壓齒輪傳動(dòng)行程小,使坩堝模具在操作過(guò)程中,轉(zhuǎn)動(dòng)角度不容易達(dá)到要求,往往導(dǎo)致新成型的石英坩堝從坩堝模具中取出困難,甚至產(chǎn)生石英坩堝在取出時(shí)產(chǎn)生破損的情況,造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。還有液壓齒輪傳動(dòng)不穩(wěn)定,增加了工人的操作難度,在一定程度上,對(duì)石英坩堝的制作質(zhì)量產(chǎn)生不利影響。

      實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中,坩堝模具在操作過(guò)程中,轉(zhuǎn)動(dòng)角度無(wú)法達(dá)到要求、傳動(dòng)不穩(wěn)定及容易漏油的缺陷,提供了一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,可達(dá)到坩堝模具在操作過(guò)程中,轉(zhuǎn)動(dòng)角度可精確控制、傳動(dòng)穩(wěn)定、并杜絕漏油的目的。為了實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,包括坩堝模具、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸套和支撐板側(cè)板;所述坩堝模具與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,轉(zhuǎn)動(dòng)軸與支撐板轉(zhuǎn)動(dòng)連接;所述軸套位于支撐板側(cè)板上部,與支撐板側(cè)板固定連接,所述坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置還包括液壓系統(tǒng)、轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿,所述液壓系統(tǒng)包括液壓缸和液壓桿,液壓系統(tǒng)位于轉(zhuǎn)動(dòng)軸下方,液壓系統(tǒng)的液壓缸與支撐板側(cè)板下部轉(zhuǎn)動(dòng)連接,轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿一端與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿另一端與液壓桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接。所述液壓桿伸出、坩堝模具轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具中心線與垂線的角度為 6-20° 。所述液壓桿伸出時(shí),坩堝模具轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具中心線與垂線的角度為6°。所述液壓桿伸出時(shí),坩堝模具轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具中心線與垂線的角度為 16°。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是(1)本實(shí)用新型在操作中,產(chǎn)生的行程大,坩堝模具的轉(zhuǎn)動(dòng)角度完全能達(dá)到要求, 使新成型的石英坩堝能方便地、完好無(wú)損地從坩堝模具中取出,確保了坩堝模具最后的生
      產(chǎn)質(zhì)量。(2)本實(shí)用新型在操作中傳動(dòng)穩(wěn)定,工人易操作、易控制,對(duì)生產(chǎn)過(guò)程、進(jìn)而對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量起到了保證作用。(3)本實(shí)用新型克服了常用液壓齒輪傳動(dòng)會(huì)經(jīng)常產(chǎn)生漏油的缺陷,杜絕了漏油情況的發(fā)生。
      附圖1 本實(shí)用新型液壓桿伸出時(shí)的主視圖;附圖2 本實(shí)用新型液壓桿縮回時(shí)的主視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1坩堝模具、2轉(zhuǎn)動(dòng)軸、3軸套、4支撐板側(cè)板、5轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿、6液壓缸、7液壓桿。
      具體實(shí)施方式
      以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明,但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。實(shí)施例1 如圖1-2所示,一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,包括坩堝模具1、轉(zhuǎn)動(dòng)軸2、軸套3 和支撐板側(cè)板4 ;所述坩堝模具1與轉(zhuǎn)動(dòng)軸2固定連接,轉(zhuǎn)動(dòng)軸2與軸套3轉(zhuǎn)動(dòng)連接;所述軸套3位于支撐板側(cè)板4上部,與支撐板側(cè)板4固定連接,所述坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置還包括液壓系統(tǒng)、轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿5,所述液壓系統(tǒng)包括液壓缸6和液壓桿7,液壓系統(tǒng)位于轉(zhuǎn)動(dòng)軸2下方,液壓系統(tǒng)的液壓缸6與支撐板側(cè)板4下部轉(zhuǎn)動(dòng)連接,轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿5 —端與轉(zhuǎn)動(dòng)軸 2固定連接,轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿5另一端與液壓桿7轉(zhuǎn)動(dòng)連接。所述液壓桿7伸出時(shí)、坩堝模具1轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具1中心線與垂線的角度α為6°。實(shí)施例2:如圖1-2所示,一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,包括坩堝模具1、轉(zhuǎn)動(dòng)軸2、軸套 3和支撐板側(cè)板4 ;所述液壓桿7伸出時(shí)、坩堝模具1轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具1中心線與垂線的角度α為16°。余同實(shí)施例1。以上所述的實(shí)施例,只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的具體實(shí)施方式
      的二種,本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
      權(quán)利要求1.一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,包括坩堝模具、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸套和支撐板側(cè)板;所述坩堝模具與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,轉(zhuǎn)動(dòng)軸與軸套轉(zhuǎn)動(dòng)連接;所述軸套位于支撐板側(cè)板上部,與支撐板側(cè)板固定連接,其特征在于所述坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置還包括液壓系統(tǒng)、轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿,所述液壓系統(tǒng)包括液壓缸和液壓桿,液壓系統(tǒng)位于轉(zhuǎn)動(dòng)軸下方,液壓系統(tǒng)的液壓缸與支撐板側(cè)板下部轉(zhuǎn)動(dòng)連接,轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿一端與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿另一端與液壓桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,其特征在于所述液壓桿伸出、坩堝模具轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具中心線與垂線的角度為6-20°。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,其特征在于所述液壓桿伸出時(shí),坩堝模具轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具中心線與垂線的角度為6°。
      4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,其特征在于所述液壓桿伸出時(shí),坩堝模具轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具中心線與垂線的角度為16°。
      專利摘要一種坩堝模具液壓油缸轉(zhuǎn)動(dòng)裝置,屬于液壓傳動(dòng)連接裝置技術(shù)領(lǐng)域,包括坩堝模具、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸套和支撐板側(cè)板;還包括液壓系統(tǒng)、轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿,所述液壓系統(tǒng)包括液壓缸和液壓桿,液壓系統(tǒng)位于轉(zhuǎn)動(dòng)軸下方,液壓系統(tǒng)的液壓缸與支撐板側(cè)板下部轉(zhuǎn)動(dòng)連接,轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿一端與轉(zhuǎn)動(dòng)軸固定連接,轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿另一端與液壓桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接。所述液壓桿伸出時(shí),坩堝模具轉(zhuǎn)到上方位置時(shí),坩堝模具中心線與垂線的角度為6-20°。本實(shí)用新型在操作中傳動(dòng)穩(wěn)定,工人易操作、易控制,且產(chǎn)生的行程大,坩堝模具的轉(zhuǎn)動(dòng)角度完全能達(dá)到要求,使新成型的石英坩堝能方便地從坩堝模具中取出。
      文檔編號(hào)C03B20/00GK202030647SQ20112016497
      公開(kāi)日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年5月13日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月13日
      發(fā)明者王定永, 王文慶 申請(qǐng)人:寧波寶斯達(dá)坩堝保溫制品有限公司
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