專利名稱:一種多線切割機(jī)及其砂漿回流漏斗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及硅料切割領(lǐng)域,尤其涉及一種多線切割機(jī)及其砂漿回流漏斗。
背景技術(shù):
多線切割機(jī)是近年來發(fā)展極為迅速的高效切割設(shè)備,其主要特點(diǎn)是切割耗材較小,切割的硅片表面粗糙度、TTV值、彎曲度、翹曲度等性能指標(biāo)均好于其他的加工方式。因而,多線切割機(jī)除了在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體加工中廣泛應(yīng)用外,隨著太陽能行業(yè)的爆發(fā)式發(fā)展,也成為了太陽能級(jí)硅片切割的主要手段。多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng),把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨,將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。碳化硅和切割液組成的砂漿是多線切割的切割刃料。多線切割對(duì)砂漿的基本要求是碳化硅能夠均勻的懸浮在切割液內(nèi),不能夠發(fā)生團(tuán)聚現(xiàn)象。因此,在切割時(shí),砂漿缸除了擁有供給泵的工作外,還要負(fù)責(zé)攪拌泵的工作,保證砂漿的懸浮要求,一般情況下,攪拌泵在切割時(shí)和非切割時(shí)都不能停止工作。對(duì)于多線切割機(jī)而言,砂漿供給系統(tǒng)占有極為重要的位置。砂漿供給系統(tǒng)的工作原理是砂漿由砂漿供給泵抽到熱交換器內(nèi),在熱交換器內(nèi)對(duì)砂漿進(jìn)行恒溫到工藝要求的溫度,然后通過砂漿供給管道供給到砂漿噴嘴處,砂漿由噴嘴均勻噴覆到線網(wǎng)上,在主輥的帶動(dòng)下,由運(yùn)動(dòng)的鋼線帶到切割區(qū)進(jìn)行切割。在實(shí)際切割中,考慮到切割成本的問題,砂漿在一次切割過程中是循環(huán)使用的,脫離切割區(qū)的砂漿會(huì)回收到砂漿供給缸內(nèi),再由砂漿供給泵抽到熱交換器內(nèi)進(jìn)行冷卻,然后再次噴覆到線網(wǎng)上,直到切割完成后完成循環(huán)?,F(xiàn)有技術(shù)中多線切割機(jī)的砂漿的回流方式,是通過切割室底部的砂漿回流倉進(jìn)行收集的,砂漿回流倉與砂漿回流泵室相連通,把砂漿回流泵室的砂漿抽回到砂漿供給泵內(nèi)。 機(jī)器自身的砂漿回流倉是依靠機(jī)器底部的空間來設(shè)計(jì)的,具有三個(gè)豎直面,一個(gè)坡度面,且回流倉坡度面的坡度較小,一般為12°。在實(shí)際生產(chǎn)中,本實(shí)用新型的發(fā)明人發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉的砂漿回流速度慢,導(dǎo)致砂漿回流到砂漿收集室不及時(shí),切割時(shí)砂漿流量發(fā)生異常,同時(shí)由于砂漿在砂漿回流倉停頓時(shí)間較長,導(dǎo)致砂漿中切割刃料沉淀,影響切割能力。
實(shí)用新型內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種砂漿回流漏斗,該漏斗安裝在現(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉上,加快了砂漿回流速度,從而使得砂漿能夠及時(shí)回流到砂漿收集室,并且減少了切割刃料的沉淀量,提高了切割能力,從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問題。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型實(shí)施例提供了如下技術(shù)方案本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種砂漿回流漏斗,包括一個(gè)底面和至少四個(gè)側(cè)壁,所述側(cè)壁中至少兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角小于 90°,且至少一個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角大于12°。[0011]優(yōu)選的,所述側(cè)壁的數(shù)量為4個(gè),其中兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角為90°,另外兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角相同,且均大于12°。優(yōu)選的,所述另外兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角為20° -30°,更優(yōu)選的,所述另外兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角為22°。優(yōu)選的,所述砂漿回流漏斗還包括位于豎直壁的砂漿回流孔。本實(shí)用新型實(shí)施例還公開了一種多線切割機(jī),該多線切割機(jī)的砂漿回流倉上具有砂漿回流漏斗。優(yōu)選的,所述多線切割機(jī)中砂漿回流倉的砂漿回流孔與砂漿回流漏斗的砂漿回流孔之間具有連接管路。優(yōu)選的,所述多線切割機(jī)為采用動(dòng)力回收砂漿的多線切割機(jī)。優(yōu)選的,所述多線切割機(jī)的型號(hào)為PV800-H。優(yōu)選的,所述多線切割機(jī)的砂漿回流漏斗的底面的面積小于常規(guī)PV800-H型號(hào)多線切割機(jī)的砂漿回流倉的底面的面積,所述多線切割機(jī)的砂漿回流漏斗的容積小于常規(guī) PV800-H型號(hào)多線切割機(jī)的砂漿回流倉的容積。與現(xiàn)有技術(shù)相比,上述技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種砂漿回流漏斗,該砂漿回流漏斗采用漏斗式砂漿回流方式替代了現(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉回流方式。由于該漏斗擁有兩面斜壁,相較于現(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉,增加了一個(gè)坡度面,而且坡度面的坡度也相應(yīng)的增加了,將其安裝在砂漿回流倉上,使得砂漿回流裝置底部的沉積面積較小了,從而一方面加快了砂漿的回流速度,另一方面減少了砂漿在砂漿回流裝置內(nèi)的沉積量,砂漿從砂漿回流裝置頂部回流到底部的時(shí)間就減少了,砂漿在砂漿回流裝置底部沉積到砂漿回流孔所需高度的時(shí)間也會(huì)減少,使得砂漿能夠及時(shí)回流到砂漿收集室,解決了切割時(shí)砂漿供給不足的問題,從而提高了切割能力。
為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉的結(jié)構(gòu)圖;圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的本實(shí)用新型實(shí)施例中砂漿回流漏斗的結(jié)構(gòu)圖;圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的本實(shí)用新型實(shí)施例中的砂漿回流漏斗在多線切割機(jī)中的側(cè)面圖;圖4為本實(shí)用新型另一實(shí)施例提供的多線切割機(jī)的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型達(dá)到上述目的,特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加顯著,下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型,但是本實(shí)用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣,因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。其次,本實(shí)用新型結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述,在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí),為便于說明,表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大,而且所述示意圖只是示例,其在此不應(yīng)限制本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。此外,在實(shí)際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。正如背景部分所述,現(xiàn)有技術(shù)中多線切割機(jī)的砂漿回流倉會(huì)帶來砂漿回流到砂漿收集室不及時(shí),切割時(shí)砂漿流量發(fā)生異常的問題,以及砂漿中切割刃料發(fā)生沉淀,降低切割能力的問題。發(fā)明人發(fā)現(xiàn),這是因?yàn)楝F(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉具有三個(gè)豎直面,一個(gè)坡度面,且砂漿回流倉坡度面的坡度較小,約為12°,砂漿從砂漿回流倉頂部流入底部的速度必然會(huì)較慢,而砂漿回流孔設(shè)置在砂漿回流倉的側(cè)面,這就必然導(dǎo)致砂漿回流倉底部的砂漿需沉積到一定高度后才能快速流出,又由于砂漿回流倉底部的沉積面較大,因此在砂漿回流倉底部沉積到所需高度的砂漿過程,所需的沉積時(shí)間必然就較長,進(jìn)而延誤了砂漿的回流,使砂漿回流到砂漿收集室不及時(shí),切割時(shí)砂漿流量發(fā)生異常,并且長時(shí)間的沉積,必然導(dǎo)致砂漿中切割刃料的沉淀,降低切割能力?;谏鲜鲈?,發(fā)明人考慮,如果加快砂漿回流的速度,并減小砂漿回流倉底部的沉積面積,就能夠減少砂漿在砂漿回流倉內(nèi)的沉積時(shí)間,進(jìn)而解決砂漿回流到砂漿收集室不及時(shí),切割時(shí)砂漿流量發(fā)生異常的問題,并且緩解由于切割刃料的沉淀而引起的切割能力降低的問題。綜合上述思想,本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種砂漿回流漏斗,該漏斗安裝在現(xiàn)有技術(shù)中提供的多線切割機(jī)中的砂漿回流倉上,包括一個(gè)底面和至少四個(gè)側(cè)壁,所述側(cè)壁中至少兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角小于90°,且至少一個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角大于12°。需要說明的是,所述砂漿回流漏斗的砂漿回流孔與所述多線切割機(jī)中砂漿回流倉的砂漿回流孔之間通過連接管路進(jìn)行連接,以避免砂漿溢出到砂漿回流漏斗與砂漿回流倉的縫隙中。
以下結(jié)合附圖對(duì)該砂漿回流漏斗進(jìn)行詳細(xì)的描述。如圖所示,圖1為現(xiàn)有技術(shù)中砂漿回流倉的結(jié)構(gòu)圖,該砂漿回流倉的側(cè)壁數(shù)量為4 個(gè),其中3個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角為90°,另外一個(gè)側(cè)壁與底面的夾角為12°。圖中各標(biāo)號(hào)分別表示11、砂漿回流倉;12、斜壁;13、砂漿回流孔;14、豎直壁。其中斜壁12和豎直壁14均為砂漿回流倉的側(cè)壁。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的砂漿回流漏斗的結(jié)構(gòu)圖,該砂漿回流漏斗的側(cè)壁的數(shù)量為4個(gè),其中兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角為90°,另外兩個(gè)側(cè)壁與底面的夾角相同,且均大于12°。圖中各標(biāo)號(hào)分別表示21、砂漿回流漏斗;22、斜壁; 23、砂漿回流孔;24、豎直壁。其中斜壁22和豎直壁M均為砂漿回流漏斗的側(cè)壁。顯而易見,本實(shí)用新型實(shí)施例中提供的砂漿回流漏斗(如圖2),相較于現(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉 (如圖1)而言,增加了斜壁的數(shù)量和坡度,減小了砂漿回流裝置底部的沉積面積。目前,多線切割機(jī)砂漿回流系統(tǒng)主要有兩種方式1、利用切割液自身重力回流到砂漿供給泵內(nèi),這種多線切割機(jī)的特點(diǎn)是切割室底部高于砂漿供給泵,方便回流;2、采用動(dòng)力方式把切割室內(nèi)的砂漿抽回到砂漿供給泵內(nèi)。本實(shí)用新型實(shí)施例中砂漿回流裝置主要是應(yīng)用在采用動(dòng)力回收砂漿的多線切割機(jī)內(nèi)。本實(shí)用新型實(shí)施例公開的砂漿回流漏斗裝置包括砂漿回流漏斗21和斜壁22。需要說明的是,砂漿回流漏斗21的容積相較于現(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉11容積減小了 ;砂漿回流漏斗21的斜壁22和豎直壁M理論上可為多個(gè),斜壁22的坡度也有多個(gè)選擇,但是若有多個(gè)坡度面會(huì)增加加工的難度,本實(shí)用新型實(shí)施例中優(yōu)選2個(gè)坡度面,2個(gè)豎直面,并且為了保證砂漿回流漏斗21具有一定的容積,方便存儲(chǔ)一定的砂漿量,本實(shí)用新型實(shí)施例中斜壁22的坡度優(yōu)選為20° -30°,更優(yōu)選為22°。另外,本實(shí)用新型實(shí)施例還包括砂漿回流孔23和豎直壁M。優(yōu)選的,砂漿回流孔23位于豎直壁24上,并且與砂漿回流漏斗21的底部平齊。由于砂漿回流漏斗21擁有兩面斜壁22,相較于現(xiàn)有技術(shù)中的砂漿回流倉11,增加了一個(gè)坡度面,而且坡度面的坡度較現(xiàn)有技術(shù)中砂漿回流倉11的坡度也相應(yīng)的增加了,這樣回流速度就會(huì)相應(yīng)的加快,砂漿從砂漿回流漏斗21頂部回流到底部的時(shí)間就減少了,砂漿在砂漿回流漏斗21底部沉積到砂漿回流孔23所需高度的時(shí)間也會(huì)減少,使得砂漿能夠及時(shí)回流到砂漿收集室,解決了切割時(shí)砂漿流量供給不足的問題。在實(shí)際應(yīng)用中,砂漿回流漏斗21由于只是鋼板的簡(jiǎn)單焊接,因此對(duì)尺寸和角度沒有嚴(yán)格定義,只要保證最上面的漏斗口能夠卡到砂漿回流倉11的上沿即可。此外,本實(shí)用新型實(shí)施例中的砂漿回流漏斗質(zhì)量輕,安裝到多線切割機(jī)上后,不改變多線切割機(jī)的工作重心和運(yùn)轉(zhuǎn)特性。本實(shí)用新型另一實(shí)施例公開了具有上述砂漿回流漏斗的多線切割機(jī),下面以 PV800-H型號(hào)的多線切割機(jī)為例對(duì)本實(shí)施例的多線切割機(jī)進(jìn)行詳細(xì)描述。如圖所示,圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中提供的多線切割機(jī)中的砂漿回流漏斗在所述多線切割機(jī)中的側(cè)面圖,圖中各標(biāo)號(hào)為31、連接管路;32、砂漿回流倉;33、砂漿;34、砂漿回流漏斗。圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的多線切割機(jī)的結(jié)構(gòu)圖。圖中各標(biāo)號(hào)分別表示 41、主輥;42、噴嘴;43、熱交換器;44、供給管道;45、線網(wǎng);46、砂漿回流泵;47、砂漿缸;48、 砂漿供給泵。該多線切割機(jī)的工作過程為砂漿33由砂漿供給泵48抽到熱交換器43內(nèi),對(duì)砂漿33進(jìn)行恒溫到工藝要求的溫度,然后通過供給管道44供給到砂漿噴嘴42處,砂漿33由噴嘴42均勻噴覆到線網(wǎng)45上,在主輥41的帶動(dòng)下,由運(yùn)動(dòng)的鋼線帶到切割區(qū)進(jìn)行切割,由切割區(qū)的金屬線對(duì)硅料進(jìn)行切割。在實(shí)際切割中,考慮到切割成本的問題,砂漿33在一次切割過程中是循環(huán)使用的,脫離切割區(qū)的砂漿33會(huì)通過砂漿回流漏斗34進(jìn)行收集,通過連接管路31進(jìn)入砂漿回流泵46,再由砂漿回流泵46抽到砂漿缸47中,然后由砂漿缸47上方的砂漿供給泵48抽到熱交換器43內(nèi)進(jìn)行冷卻,最后再次噴覆到線網(wǎng)45上,直到切割完成后完成循環(huán)。由于砂漿回流漏斗34(相較于砂漿回流倉)的斜壁的坡度增加了,斜壁的數(shù)量也增加了,從而使砂漿回流漏斗34底部的沉積面積就較小了,進(jìn)而使得本實(shí)用新型實(shí)施例中公開的多線切割機(jī)的砂漿回流漏斗34的容積小于常規(guī)PV800-H型號(hào)多線切割機(jī)的砂漿回倉32的容積,這樣就更加減少了砂漿在砂漿回流漏斗34內(nèi)的沉積時(shí)間,從而緩解了現(xiàn)有技術(shù)中由于砂漿長時(shí)間在砂漿回流倉32沉積,切割刃料發(fā)生沉淀的問題,提高了多線切割機(jī)的切割能力。本說明書中各個(gè)部分采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)部分重點(diǎn)說明的都是與其他部分的不同之處,各個(gè)部分之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的實(shí)施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種砂漿回流漏斗,其特征在于,該漏斗包括一個(gè)底面和至少四個(gè)側(cè)壁,所述側(cè)壁中至少兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角小于90°,且至少一個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角大于12°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的砂漿回流漏斗,其特征在于,所述側(cè)壁的數(shù)量為4個(gè),其中兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角為90°,另外兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角相同,且均大于12°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的砂漿回流漏斗,其特征在于,所述另外兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角為20° -30°。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的砂漿回流漏斗,其特征在于,所述另外兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角為22°。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的砂漿回流漏斗,其特征在于,所述砂漿回流漏斗還包括位于豎直壁的砂漿回流孔。
6.一種具有權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的砂漿回流漏斗的多線切割機(jī),其特征在于,該多線切割機(jī)的砂漿回流倉上具有砂漿回流漏斗。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多線切割機(jī),其特征在于,所述多線切割機(jī)中砂漿回流倉的砂漿回流孔與砂漿回流漏斗的砂漿回流孔之間具有連接管路。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多線切割機(jī),其特征在于,所述多線切割機(jī)為采用動(dòng)力回收砂漿的多線切割機(jī)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多線切割機(jī),其特征在于,所述多線切割機(jī)的型號(hào)為 PV800-H。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多線切割機(jī),其特征在于,所述多線切割機(jī)的砂漿回流漏斗的底面的面積小于常規(guī)PV800-H型號(hào)多線切割機(jī)的砂漿回流倉的底面的面積,所述多線切割機(jī)的砂漿回流漏斗的容積小于常規(guī)PV800-H型號(hào)多線切割機(jī)的砂漿回流倉的容積。
專利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種多線切割機(jī)及其砂漿回流漏斗,所述多線切割機(jī)為具有本實(shí)用新型實(shí)施例中公開的砂漿回流漏斗的多線切割機(jī),所述砂漿回流漏斗包括一個(gè)底面和至少四個(gè)側(cè)壁,所述側(cè)壁中至少兩個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角小于90°,且至少一個(gè)側(cè)壁與所述底面的夾角大于12°。本實(shí)用新型在現(xiàn)有多線切割機(jī)的砂漿回流倉上增加了砂漿回流漏斗,共同組成砂漿回流裝置,增加了砂漿回流裝置的斜面數(shù)量以及斜面的坡度,從而加快了砂漿的回流速度,減少了砂漿在回流裝置底部的沉積時(shí)間,進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)中砂漿回流不及時(shí)以及切割刃料沉淀影響切割能力的問題。
文檔編號(hào)B28D5/04GK202192694SQ20112028774
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月9日
發(fā)明者周長青 申請(qǐng)人:浙江思博恩新材料科技有限公司