專利名稱：靜電式吸盤(pán)的電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
靜電式吸盤(pán)的電極技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型是關(guān)于一種電極，尤其是指一種靜電式吸盤(pán)的電極。
技術(shù)背景[0002]圖1顯示陶瓷靜電式吸盤(pán)(E-chuck)的構(gòu)成示意圖，靜電式吸盤(pán)10包含外側(cè)陶瓷絕緣層11、電極層12、陶瓷絕緣層13、上基板14、下基板15、陶瓷絕緣蓋16、銅電極17、絕緣罩18 (可用例如PET制成)、轉(zhuǎn)接頭(可用例如POM制成)19。[0003]應(yīng)注意的是，本實(shí)用新型是針對(duì)電極層12的電極樣式加以改進(jìn)，因此，除非特別說(shuō)明，后文中所提“電極”皆為針對(duì)電極層12而言，而非銅電極17。[0004]靜電式吸盤(pán)的電極的樣式可分成兩大部分，一組是正電極，另一組是負(fù)電極。兩電極若太接近，則易產(chǎn)生電弧現(xiàn)象，使兩電極短路，進(jìn)而使電源供應(yīng)器的電壓下降，靜電式吸盤(pán)的吸力也將下降。因此，電極樣式的設(shè)計(jì)需考慮所使用電壓的大小，來(lái)決定電極的形狀、 寬度與正負(fù)電極間的間隙。[0005]圖2顯示既有靜電式吸盤(pán)的電極的示意圖。圖3a、圖北分別顯示既有靜電式吸盤(pán)的正電極與負(fù)電極的示意圖。如圖2所示，黑色部分為正電極21，斜線部分為負(fù)電極22， 白色部份為電極間的間隙觀。正電極21是通過(guò)穿過(guò)孔洞沈的銅電極(未圖標(biāo))而導(dǎo)電， 而負(fù)電極22是通過(guò)穿過(guò)孔洞27的銅電極(未圖標(biāo))而導(dǎo)電?？锥?3、24、25為提供頂針 (未圖標(biāo))穿越其中而頂住基材(未圖標(biāo))或縮回之用。既有靜電式吸盤(pán)的電極為圓環(huán)形的設(shè)計(jì)，當(dāng)提供例如2000V的電壓時(shí)，產(chǎn)生的靜電力可吸引8英寸的基材，例如晶圓或玻璃。 然而，其正電極21與負(fù)電極22之間的間隙不得小于2mm，以免產(chǎn)生前述電弧現(xiàn)象，使兩電極短路，進(jìn)而降低吸力。[0006]然而，若要提高所供應(yīng)的電壓(例如6000V)以提高吸引力，既有靜電式吸盤(pán)的電極會(huì)因產(chǎn)生電弧現(xiàn)象而無(wú)法達(dá)成提高吸引力的目的。因此，如何在提高所供應(yīng)的電壓的情形下，又可確保吸引力的提高，便為本實(shí)用新型所欲積極解決的問(wèn)題。實(shí)用新型內(nèi)容[0007]本實(shí)用新型人有鑒于上述既有靜電式吸盤(pán)的電極所存在的問(wèn)題，乃積極著手從事研究改良，以期可以解決上述問(wèn)題，經(jīng)過(guò)不斷的試驗(yàn)及努力，終于研究出本實(shí)用新型。[0008]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種靜電式吸盤(pán)的并列式電極，在提高所供應(yīng)的電壓的情形下，又可確保吸引力的提高。[0009]為了達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型的靜電式吸盤(pán)的電極包含一第一電極，具有一第一極性，其包含一第一條狀部分于其中央，與于該第一條狀部分的兩側(cè)垂直延伸的多個(gè)第二條狀部分；及一第二電極，具有與該第一極性相反的極性，其包含一環(huán)狀部分，與由該環(huán)狀部分向內(nèi)延伸且與所述多個(gè)第二條狀部分平行的多個(gè)第三條狀部分；當(dāng)該第一電極與該第二電極相疊合時(shí)，彼此不會(huì)接觸且保有一間隙。[0010]其中所述多個(gè)第二條狀部分越靠近該第一條狀部分的中心部分的長(zhǎng)度越長(zhǎng)。3[0011]其中該第一極性為正極。[0012]其中該第一極性為負(fù)極。[0013]其中該第一條狀部分的寬度為6mm。[0014]其中該第二條狀部分的寬度為6mm。[0015]其中該第三條狀部分的寬度為6mm。[0016]其中該環(huán)狀部分的寬度為6mm。[0017]其中該間隙為6mm。[0018]本實(shí)用新型的有益效果是通過(guò)靜電式吸盤(pán)的電極，在提高所供應(yīng)的電壓的情形下，又可確保吸引力的提高，且增加溫度分布的均勻性。


[0019]為讓本實(shí)用新型的上述目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉出較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下，其中[0020]圖1顯示陶瓷靜電式吸盤(pán)(E-chuck)的構(gòu)成示意圖；[0021]圖2顯示既有靜電式吸盤(pán)的電極的示意圖；[0022]圖3a、圖北分別顯示既有靜電式吸盤(pán)的正電極與負(fù)電極的示意圖；[0023]圖4顯示本實(shí)用新型靜電式吸盤(pán)的電極的示意圖；[0024]圖5^圖恥分別顯示本實(shí)用新型靜電式吸盤(pán)的正電極與負(fù)電極的示意圖。
具體實(shí)施方式
[0025]圖4顯示本實(shí)用新型靜電式吸盤(pán)的電極的示意圖。圖5a、圖恥分別顯示本實(shí)用新型靜電式吸盤(pán)的正電極與負(fù)電極的示意圖。本實(shí)用新型的靜電式吸盤(pán)的電極包含一第一電極41，具有一第一極性，其包含一第一條狀部分44于其中央，與于該第一條狀部分44的兩側(cè)垂直延伸的多個(gè)第二條狀部分45 ；及一第二電極42，具有與該第一極性相反的極性， 其包含一環(huán)狀部分46，與由該環(huán)狀部分46向內(nèi)延伸的多個(gè)第三條狀部分47 ；當(dāng)該第一電極 41與該第二電極42相疊合時(shí)，彼此不會(huì)接觸且保有一間隙。白色部份為電極間的間隙43。[0026]應(yīng)注意的是，為清楚表達(dá)本實(shí)用新型的精神，次要元件例如前述孔洞、銅電極等并未于此顯示。所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者亦能了解到，為使本實(shí)用新型的靜電式吸盤(pán)的電極能有效地應(yīng)用，可因應(yīng)靜電式吸盤(pán)的結(jié)構(gòu)需求而對(duì)電極作出適當(dāng)修改。例如，為避開(kāi)前述頂針通過(guò)的孔洞，可對(duì)電極作出修改。相較于既有靜電式吸盤(pán)的電極所使用的例如 2000V的電壓，本實(shí)用新型靜電式吸盤(pán)的電極能使用高達(dá)例如6000V的電壓，可產(chǎn)生提高的靜電力以吸引基材，例如晶圓或玻璃。[0027]通過(guò)本實(shí)用新型靜電式吸盤(pán)的電極，在提高所供應(yīng)的電壓的情形下，又可確保吸引力的提高，且可增加溫度分布的均勻性。[0028]于一實(shí)施例中，所述多個(gè)第二條狀部分45越靠近該第一條狀部分44的中心部分者的長(zhǎng)度越長(zhǎng)。于另一實(shí)施例中，該第一極性為正極。于另一實(shí)施例中，該第一極性為負(fù)極。 于另一實(shí)施例中，該第一條狀部分的寬度為6mm。于另一實(shí)施例中，該第二條狀部分的寬度為6mm。于另一實(shí)施例中，該第三條狀部分的寬度為6mm。于另一實(shí)施例中，該環(huán)狀部分的寬度為6mm。于另一實(shí)施例中，該間隙43為6mm。[0029] 本實(shí)用新型雖以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型的范圍，任何熟習(xí)此項(xiàng)技術(shù)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可做些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求范圍所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，包含一第一電極，具有一第一極性，其包含一第一條狀部分于其中央，與于該第一條狀部分的兩側(cè)垂直延伸的多個(gè)第二條狀部分；及一第二電極，具有與該第一極性相反的極性，其包含一環(huán)狀部分，與由該環(huán)狀部分向內(nèi)延伸且與所述多個(gè)第二條狀部分平行的多個(gè)第三條狀部分；當(dāng)該第一電極與該第二電極相疊合時(shí)，彼此不會(huì)接觸且保有一間隙。
2.如權(quán)利要求1所述的靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，其中所述多個(gè)第二條狀部分越靠近該第一條狀部分的中心部分的長(zhǎng)度越長(zhǎng)。
3.如權(quán)利要求1所述的靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，其中該第一極性為正極。
4.如權(quán)利要求1所述的靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，其中該第一極性為負(fù)極。
5.如權(quán)利要求1所述的靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，其中該第一條狀部分的寬度為 6mm0
6.如權(quán)利要求1所述的靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，其中該第二條狀部分的寬度為 6mm0
7.如權(quán)利要求1所述的靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，其中該第三條狀部分的寬度為 6mm0
8.如權(quán)利要求1所述的靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，其中該環(huán)狀部分的寬度為6mm ο
9.如權(quán)利要求1所述的靜電式吸盤(pán)的電極，其特征在于，其中該間隙為6mm。
專利摘要一種靜電式吸盤(pán)的電極，包含一第一電極，具有一第一極性，其包含一第一條狀部分于其中央，與于該第一條狀部分的兩側(cè)垂直延伸的多個(gè)第二條狀部分；及一第二電極，具有與該第一極性相反的極性，其包含一環(huán)狀部分，與由該環(huán)狀部分向內(nèi)延伸且與所述多個(gè)第二條狀部分平行的多個(gè)第三條狀部分；當(dāng)該第一電極與該第二電極相疊合時(shí)，彼此不會(huì)接觸且保有一間隙。
文檔編號(hào)C03B35/00GK202307846SQ201120415798
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月27日
發(fā)明者王志斌 申請(qǐng)人:力鼎精密股份有限公司