專利名稱：坩堝成型模具的制作方法
技術(shù)領域：
坩堝成型模具
技術(shù)領域：
本實用新型涉及ー種模具，尤其是涉及ー種坩堝成型模具。
背景技木公知的，石英坩堝作為拉制大直徑單晶硅是ー種必不可少的設備之一，目前的石英坩堝在1450度以下使用，大致分為透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎材料。當今，世界半導體エ業(yè)發(fā)達
國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點。目前在生產(chǎn)石英坩堝過程中，所采用的エ藝步驟是，將模具固定并使模具旋轉(zhuǎn)，然后將石英粉附著到旋轉(zhuǎn)的模具內(nèi)壁以及模具的底表面，通過電弧加熱使所述石英粉融化形成石英坩堝，由于考慮成型模具的保護問題，通常在上料前會在模具內(nèi)側(cè)揚撒ー層石英砂，由石英砂來實現(xiàn)降低模具接觸溫度，延長模具使用壽命，但是揚撒石英砂過程中會出現(xiàn)揚塵，使得操作工人容易患肺塵病。

發(fā)明內(nèi)容為了克服背景技術(shù)中的不足，本實用新型公開了ー種坩堝成型模具，通過在模具上設置孔，由耐高溫陶瓷纖維填充在孔內(nèi)；本實用新型有效地克服了現(xiàn)有技術(shù)因揚撒石英砂造成污染的問題。實現(xiàn)本實用新型的技術(shù)方案如下一種坩堝成型模具，包括模具本體，在模具的內(nèi)凹陷底部和四壁均勻設有復數(shù)個貫通至外表面的孔，所述孔內(nèi)填充耐高溫陶瓷纖維。所述的坩堝成型模具，設置在模具的內(nèi)凹陷底部和四壁孔的直徑為內(nèi)大外小。所述的坩堝成型模具，所述孔為圓形或多角形。通過上述公開內(nèi)容，本實用新型的有益效果是本實用新型所述的坩堝成型模具，通過在模具上設置孔，由耐高溫陶瓷纖維填充在孔內(nèi)，本實用新型不但解決因揚撒石英砂造成的污染，又在不破壞模具整體性能的情況下，提高模具熱傳導率，増加使用時間，降低生產(chǎn)成本。

圖I是本實用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1、坩堝；2、內(nèi)凹陷；3、模具；4、耐高溫陶瓷纖維。
具體實施方式結(jié)合實施例對本實用新型進行進一步的說明；下面的實施例并不是對于本實用新型的限定，而是僅作為支持實現(xiàn)本實用新型的方式，在本實用新型所公開的技術(shù)框架內(nèi)的任意等同結(jié)構(gòu)替換，均為本實用新型的保護范圍；結(jié)合附圖I所述的坩堝成型模具，包括模具3本體，在模具3的內(nèi)凹陷2底部和四壁均勻設有復數(shù)個貫通至外表面內(nèi)大外小的孔，所述孔內(nèi)填充耐高溫陶瓷纖維4。實施本實用新型所述的坩堝成型模具，通過在模具3上設置復數(shù)個l_2mm的孔，由耐高溫陶瓷纖維4填充在所述孔內(nèi)，在生產(chǎn)坩堝I較為潔凈，解決了因揚撒石英砂造成的污 染問題，且不會破壞模具的整體性能，本實用新型模具熱傳導率也得到了有效地保證，模具的使用時間得到増加。本實用新型未詳述部分為現(xiàn)有技木。
權(quán)利要求1.一種坩堝成型模具，包括模具(3)本體，其特征是在模具(3)的內(nèi)凹陷(2)底部和四壁均勻設有復數(shù)個貫通至外表面的孔，所述孔內(nèi)填充耐高溫陶瓷纖維(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的坩堝成型模具，其特征是設置在模具(3)的內(nèi)凹陷(2)底部和四壁孔的直徑為內(nèi)大外小。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的坩堝成型模具，其特征是所述孔為圓形或多角形。
專利摘要坩堝成型模具，涉及一種模具，包括模具(3)本體，在模具(3)的內(nèi)凹陷(2)底部和四壁均勻設有復數(shù)個貫通至外表面的孔，所述孔內(nèi)填充耐高溫陶瓷纖維(4)；設置在模具(3)的內(nèi)凹陷(2)底部和四壁孔的直徑為內(nèi)大外小；本實用新型通過在模具上設置孔，由耐高溫陶瓷纖維填充在孔內(nèi)，本實用新型不但解決因揚撒石英砂造成的污染，又在不破壞模具整體性能的情況下，提高模具熱傳導率，增加使用時間，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號C03B20/00GK202449984SQ20112053829
公開日2012年9月26日 申請日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者沈福茂 申請人:樂山市澤爾匯科技有限公司