專利名稱：石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及ー種潔凈間傳遞窗，尤其是涉及ー種石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)。
背景技木公知的，石英坩堝作為拉制大直徑單晶硅是ー種必不可少的設(shè)備之一，目前的石英坩堝在1450度以下使用，大致分為透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當今，世界半導體エ業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫 性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點。在加工石英坩堝吋，由于石英坩堝具有怕污染的特殊性，需要在千級真空狀態(tài)下包裝，生產(chǎn)石英坩堝時需要把石英坩堝通過傳遞窗ロ送到潔凈間；現(xiàn)有的方式是要送石英坩堝進入潔凈間時，先通知潔凈間工作人員關(guān)閉內(nèi)窗ロ，由送料人打開外窗ロ送至擬隔離位置后緊閉外窗ロ，相互配合不好容易對石英坩堝造成污染，需要對石英坩堝進行二次清洗,增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容為了克服背景技術(shù)中的不足，本實用新型公開了ー種石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，通過將內(nèi)側(cè)窗、外側(cè)窗的自動回彈和磁鐵門吸與磁鐵的吸附功能，實現(xiàn)了內(nèi)側(cè)窗、外側(cè)窗的隨時關(guān)閉；本實用新型有效地克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。實現(xiàn)本實用新型的技術(shù)方案如下ー種石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，包括框架、自動回彈合頁、內(nèi)側(cè)窗、外側(cè)窗、磁鐵門吸和磁鐵，所述框架為方筒形結(jié)構(gòu)，在框架的外ロー側(cè)邊上通過自動回彈合頁與外側(cè)窗的ー側(cè)鉸接，框架的外ロ另ー側(cè)邊上設(shè)有對應(yīng)外側(cè)窗另一側(cè)磁鐵的磁鐵門吸；在框架的內(nèi)ロ ー側(cè)邊上通過自動回彈合頁與內(nèi)側(cè)窗的一側(cè)鉸接，框架的內(nèi)ロ另ー側(cè)邊上設(shè)有對應(yīng)內(nèi)側(cè)窗另ー側(cè)磁鐵的磁鐵門吸；在外側(cè)窗和內(nèi)側(cè)窗的中部分別設(shè)有玻璃。所述的石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，外側(cè)窗和內(nèi)側(cè)窗的面上玻璃一側(cè)分別設(shè)有把手。通過上述公開內(nèi)容，本實用新型的有益效果是本實用新型所述的石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，通過將內(nèi)側(cè)窗、外側(cè)窗的自動回彈和磁鐵門吸與磁鐵的吸附功能，實現(xiàn)了內(nèi)側(cè)窗、外側(cè)窗的隨時關(guān)閉；本實用新型有效地減少了由于人為失誤對石英坩堝造成的污染。

圖I是本實用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1、通過ロ ；2、自動回彈合頁；3、內(nèi)側(cè)窗；4、把手；5、磁鐵門吸；6、框架；7、夕卜側(cè)窗;8、玻璃;9、磁鐵。
具體實施方式結(jié)合實施例對本實用新型進行進一步的說明；下面的實施例并不是對于本實用新型的限定，而是僅作為支持實現(xiàn)本實用新型的方式，在本實用新型所公開的技術(shù)框架內(nèi)的任意等同結(jié)構(gòu)替換，均為本實用新型的保護范圍；結(jié)合附圖I所述的石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，包括框架6、自動回彈合頁2、內(nèi)側(cè)窗3、外側(cè)窗7、磁鐵門吸5和磁鐵9,所述框架6為方筒形結(jié)構(gòu),在框架6的外ロ一側(cè)邊上通過自動回彈合頁2與外側(cè)窗7的ー側(cè)鉸接,框架6的外ロ另ー側(cè)邊上設(shè)有對應(yīng)外側(cè)窗7另一側(cè)磁鐵9的磁鐵門吸5 ;在框架6的內(nèi)ロー側(cè)邊上通過自動回彈合頁2與內(nèi)側(cè)窗3的一側(cè)鉸接，框架6的內(nèi)ロ另ー側(cè)邊上設(shè)有對應(yīng)內(nèi)側(cè)窗3另ー側(cè)磁鐵9的磁鐵門吸5 ;在外側(cè)窗7和內(nèi)側(cè)窗3的中部分別設(shè)有玻璃8 ;外側(cè)窗7和內(nèi)側(cè)窗3的面上玻璃8 一側(cè)分別設(shè)有把手4。 實施本實用新型所述的石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，本實用新型所述的石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，通過將內(nèi)側(cè)窗3、外側(cè)窗7的合頁改為彈簧式自動回彈合頁2，并借助磁鐵門吸5與磁鐵9的吸附功能，實現(xiàn)了內(nèi)側(cè)窗3、外側(cè)窗7的隨時關(guān)閉，由內(nèi)側(cè)窗3、外側(cè)窗7上分別設(shè)置的玻璃8進行提醒，當框架6中部通過ロ I中有了石英坩堝吋，工作人員便可及時發(fā)現(xiàn)；本實用新型有效地減少了或杜絕了由于人為失誤對石英坩堝造成的污染，既確保產(chǎn)品安全性，又提高了產(chǎn)品加工率，間接為公司降低生產(chǎn)成本，増加企業(yè)效益。本實用新型未詳述部分為現(xiàn)有技木。
權(quán)利要求1.ー種石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，包括框架(6)、自動回彈合頁(2)、內(nèi)側(cè)窗(3)、外側(cè)窗(7)、磁鐵門吸(5)和磁鐵(9)，其特征是所述框架(6)為方筒形結(jié)構(gòu)，在框架(6)的外ロー側(cè)邊上通過自動回彈合頁(2)與外側(cè)窗(7)的ー側(cè)鉸接，框架￠)的外ロ另ー側(cè)邊上設(shè)有對應(yīng)外側(cè)窗(7)另ー側(cè)磁鐵(9)的磁鐵門吸(5);在框架(6)的內(nèi)ロー側(cè)邊上通過自動回彈合頁(2)與內(nèi)側(cè)窗(3)的ー側(cè)鉸接，框架(6)的內(nèi)ロ另ー側(cè)邊上設(shè)有對應(yīng)內(nèi)側(cè)窗(3)另ー側(cè)磁鐵(9)的磁鐵門吸(5);在外側(cè)窗(7)和內(nèi)側(cè)窗(3)的中部分別設(shè)有玻璃(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，其特征是外側(cè)窗(7)和內(nèi)側(cè)窗(3)的面上玻璃(8) —側(cè)分別設(shè)有把手(4)。
專利摘要石英坩堝潔凈間傳遞窗結(jié)構(gòu)，涉及一種潔凈間傳遞窗，所述框架(6)為方筒形結(jié)構(gòu)，在框架(6)的外口一側(cè)邊上通過自動回彈合頁(2)與外側(cè)窗(7)的一側(cè)鉸接，框架(6)的外口另一側(cè)邊上設(shè)有對應(yīng)外側(cè)窗(7)另一側(cè)磁鐵(9)的磁鐵門吸(5)；在框架(6)的內(nèi)口一側(cè)邊上通過自動回彈合頁(2)與內(nèi)側(cè)窗(3)的一側(cè)鉸接，框架(6)的內(nèi)口另一側(cè)邊上設(shè)有對應(yīng)內(nèi)側(cè)窗(3)另一側(cè)磁鐵(9)的磁鐵門吸(5)；在外側(cè)窗(7)和內(nèi)側(cè)窗(3)的中部分別設(shè)有玻璃(8)；本實用新型通過將內(nèi)側(cè)窗、外側(cè)窗的自動回彈和磁鐵門吸與磁鐵的吸附功能，實現(xiàn)了內(nèi)側(cè)窗、外側(cè)窗的隨時關(guān)閉；本實用新型有效地克服了現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。
文檔編號C03B35/00GK202449992SQ201120538328
公開日2012年9月26日 申請日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者沈福茂 申請人:樂山市澤爾匯科技有限公司