噴霧裝置、噴霧方法、防油性玻璃基板的制造方法、以及防油性玻璃基板的制造裝置制造方法
【專利摘要】一種噴霧裝置、噴霧方法、防油性玻璃基板的制造方法、以及防油性玻璃基板的制造裝置。一種噴霧裝置，具備筒狀的主體部、旋轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動(dòng)部、管嘴部、液體供給路和噴吹空氣供給路；該旋轉(zhuǎn)軸可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述主體部?jī)?nèi)，該驅(qū)動(dòng)部對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力，該管嘴部可與該旋轉(zhuǎn)軸作為一體旋轉(zhuǎn)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸的前端，被做成其前端具有開口部的杯狀，并且所述開口部被做成從所述主體部的前端露出的噴霧口，該液體供給路向所述管嘴部供給噴霧液，該噴吹空氣供給路向所述管嘴部的周圍供給噴吹空氣，該噴吹空氣向從所述噴霧口噴霧的所述噴霧液噴吹；通過向所述管嘴部供給所述噴霧液，向所述管嘴部的周圍供給所述噴吹空氣，并且使所述管嘴部旋轉(zhuǎn)，由其離心力使所述噴霧液一邊呈放射狀地分散一邊霧化，從所述噴霧口朝前方噴霧。
【專利說明】噴霧裝置、噴霧方法、防油性玻璃基板的制造方法、以及防油性玻璃基板的制造裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及噴霧裝置、具備該噴霧裝置的防油性玻璃基板的制造裝置、噴霧方法和使用該噴霧方法的防油性玻璃基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，在平板顯示器等顯示設(shè)備、智能手機(jī)等高功能便攜式終端中，通過使人的手指、器具與顯示面接觸輸入信息的觸摸板的需求正在擴(kuò)大。此觸摸板的表面，由玻璃基板等透明基材和形成在該透明基材的表面上的保護(hù)膜構(gòu)成。這樣的保護(hù)膜，除了耐久性、視覺確認(rèn)性、膜厚的均勻性、納米尺寸的膜的薄度等外，還要求具備在使手指接觸到觸摸板的表面時(shí)的指紋附著難度，即防油性。
[0003]在專利文獻(xiàn)I中，公開了一種用于便攜式終端的顯示部等的透明保護(hù)材料的制造方法，該透明保護(hù)材料具備對(duì)指紋在表面上的附著進(jìn)行抑制的膜。在此制造方法中，將在溶劑中溶解了氟樹脂的氟樹脂液涂敷在透明基材上，形成對(duì)指紋在透明基材的表面上的附著進(jìn)行抑制的膜。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-136963號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明所要解決的課題
[0008]然而，在專利文獻(xiàn)的制造方法中，通過使用旋涂法涂敷氟樹脂液，在透明基材上形成膜，制造透明保護(hù)材料。如果這樣使用旋涂法在基材上形成膜，則因?yàn)樵谀さ闹行母浇c膜的端部附近之間，膜厚容易產(chǎn)生偏差，所以，難以在基材上以均勻的膜厚形成由涂敷液構(gòu)成的膜。
[0009]另外，作為用于在透明的基材上形成對(duì)指紋的附著進(jìn)行抑制的膜的方法，已知使用噴槍等噴霧裝置向基材上進(jìn)行涂敷液噴霧的方法。在此方法中使用的噴霧裝置，在裝置主體的前端以固定的狀態(tài)安裝了噴霧管嘴，從該噴霧管嘴進(jìn)行涂敷液噴霧。如果使用這樣的噴霧裝置進(jìn)行涂敷液噴霧，則因?yàn)殡y以使涂敷液均勻地分散在基材的表面上，所以，難以按照均勻的膜厚形成膜。
[0010]另外，作為用于在透明的基材上形成對(duì)指紋的附著進(jìn)行抑制的膜的其它方法，已知將基材直接浸潰在涂敷液中的方法。然而，在此方法中，因?yàn)槟ず褡兊眠^厚，所以，難以形成納米尺寸的薄膜。
[0011]在本發(fā)明中公開的技術(shù)，是鑒于上述的課題而做出的技術(shù)。在本說明書中公開的技術(shù)，目的在于提供一種通過進(jìn)行噴霧液的噴霧，能在基板上形成大致均勻的膜厚的薄膜的噴霧裝置及噴霧方法。進(jìn)而，目的還在于提供一種在表面上形成了防油性優(yōu)越并且大致均勻的膜厚的薄膜的防油性玻璃基板的制造裝置及這樣的防油性玻璃基板的制造方法。
[0012]為了解決課題的手段
[0013]在本說明書中公開的技術(shù)，涉及一種噴霧裝置，具備筒狀的主體部、旋轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動(dòng)部、管嘴部、液體供給路和噴吹空氣供給路；
[0014]該旋轉(zhuǎn)軸可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述主體部?jī)?nèi)，該驅(qū)動(dòng)部對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力，該管嘴部可與該旋轉(zhuǎn)軸作為一體旋轉(zhuǎn)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸的前端，被做成其前端具有開口部的杯狀，并且所述開口部被做成從所述主體部的前端露出的噴霧口，該液體供給路向所述管嘴部供給噴霧液，該噴吹空氣供給路向所述管嘴部的周圍供給噴吹空氣，該噴吹空氣向從所述噴霧口噴霧的所述噴霧液噴吹；通過向所述管嘴部供給所述噴霧液，向所述管嘴部的周圍供給所述噴吹空氣，并且使所述管嘴部旋轉(zhuǎn)，由其離心力使所述噴霧液一邊呈放射狀地分散一邊霧化，從所述噴霧口朝前方噴霧。 [0015]按照上述噴霧裝置，一邊通過管嘴部旋轉(zhuǎn)對(duì)噴霧液賦予離心力，一邊通過由噴吹空氣噴吹噴霧液，噴霧液一邊呈放射狀地分散一邊霧化，朝前方噴霧。因此，通過這樣一邊使管嘴部旋轉(zhuǎn)一邊朝前方進(jìn)行噴霧液的噴霧，與使用了不伴隨著管嘴部的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行噴霧液的噴霧的以往的噴霧裝置的情況相比，能以更薄的(數(shù)納米尺寸的)而且大致均勻的膜厚形成薄膜。另外，關(guān)于對(duì)旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力的方法不被限定。例如，也可以在旋轉(zhuǎn)軸的周圍設(shè)置空氣渦輪機(jī)，通過向該空氣渦輪機(jī)供給空氣，對(duì)旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力；也可以將旋轉(zhuǎn)軸與電動(dòng)馬達(dá)連接，通過由電力驅(qū)動(dòng)該電動(dòng)馬達(dá)，對(duì)旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力。
[0016]在本說明書中公開的技術(shù)的另一形態(tài)，涉及一種噴霧方法，該噴霧方法使用噴霧裝置進(jìn)行噴霧液的噴霧，其特征在于，該噴霧裝置具備筒狀的主體部、旋轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動(dòng)部、管嘴部、液體供給路和噴吹空氣供給路；該旋轉(zhuǎn)軸可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述主體部?jī)?nèi)，該驅(qū)動(dòng)部對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力，該管嘴部可與該旋轉(zhuǎn)軸作為一體旋轉(zhuǎn)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸的前端，被做成其前端具有開口部的杯狀，并且所述開口部被做成從所述主體部的前端露出的噴霧口，該液體供給路向所述管嘴部供給噴霧液，該噴吹空氣供給路向所述管嘴部的周圍供給噴吹空氣，該噴吹空氣向從所述噴霧口噴霧的所述噴霧液噴吹；通過向所述管嘴部供給所述噴霧液，向所述管嘴部的周圍供給所述噴吹空氣，并且使所述管嘴部旋轉(zhuǎn)，由其離心力使所述噴霧液一邊呈放射狀地分散一邊霧化，從所述噴霧口朝前方噴霧。
[0017]本說明書中公開的技術(shù)的另一形態(tài)，涉及一種防油性玻璃基板的制造方法，具備清洗工序、等離子處理工序、成膜工序和干燥工序；該清洗工序，通過對(duì)玻璃基板噴吹高壓的空氣，對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行清洗；該等離子處理工序，在所述清洗工序后，對(duì)所述玻璃基板照射等離子體，將所述玻璃基板上的有機(jī)物除去；該成膜工序，在所述等離子處理工序后，通過使用上述述的噴霧方法將含有具有全氟烷基醚基的氟系列化合物的涂敷劑作為所述噴霧液向所述玻璃基板上噴霧，在所述玻璃基板上形成由所述氟系列化合物構(gòu)成的薄膜；該干燥工序，在所述成膜工序后，使所述玻璃基板在干燥爐內(nèi)干燥。
[0018]按照上述防油性玻璃基板的制造方法，通過一邊使噴霧裝置的管嘴部旋轉(zhuǎn)，一邊將含有氟系列化合物的涂敷劑向玻璃基板上噴霧，涂敷劑一邊被霧化一邊呈放射狀地分散，向玻璃基板上噴霧。由此，與不伴隨旋轉(zhuǎn)地進(jìn)行涂敷劑的噴霧的情況相比，能在玻璃基板上形成更薄的(數(shù)納米尺寸的)而且大致均勻的膜厚的由氟系列化合物構(gòu)成的薄膜。另外，通過進(jìn)行上述一連串的工序，被成膜在玻璃基板上的薄膜被固定在玻璃基板上。并且，由具有全氟烷基醚基的氟系列化合物構(gòu)成的薄膜，防油性優(yōu)越。因此，由上述的制造方法制造的防油性玻璃基板，例如能有效地作為用于觸摸板的涂敷了指紋附著防止膜(防污膜)的玻璃基板利用。
[0019]在所述成膜工序中，也可以使所述噴霧裝置在所述玻璃基板上在該玻璃基板的板面方向移動(dòng)，并且一邊控制該玻璃基板上的每單位面積的所述涂敷劑的附著量，一邊進(jìn)行所述涂敷劑的噴霧。
[0020]按照這樣的制造方法，能在寬范圍的玻璃基板上形成由氟系列化合物構(gòu)成的薄膜。
[0021]在所述成膜工序中，也可以使直徑為IOmm至120_的所述管嘴部的所述噴霧口相對(duì)于所述玻璃基板的表面以5mm至200mm的范圍內(nèi)的距離接近,使所述管嘴部以1000Orpm至150000rpm的范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)，并且一邊使所述噴霧裝置以lm/min至100m/min的范圍內(nèi)的速度在所述玻璃基板的板面方向移動(dòng)，一邊以每單位面積lcc/min至500cc/min的范圍內(nèi)的量進(jìn)行所述涂敷劑的噴霧。
[0022]按照這樣的制造方法，能提供用于在玻璃基板上形成納米尺寸的大致均勻的膜厚的由氟系列化合物構(gòu)成的薄膜的具體的條件。
[0023]在所述成膜工序中，也可以通過將感應(yīng)電極配置在所述管嘴部的近旁，在該感應(yīng)電極與所述管嘴部之間施加電壓，使從被電氣性地進(jìn)行了接地的所述噴霧裝置噴霧的所述涂敷劑的液滴帶電，并且通過 將所述液滴向所述玻璃基板的表面上噴霧，由電介質(zhì)極化在所述玻璃基板的表面上感應(yīng)出與所述液滴相反極性的電荷，由靜電力使所述液滴附著在該玻璃基板的表面上。
[0024]按照這樣的制造方法，能一邊以旋轉(zhuǎn)霧化方式進(jìn)行涂敷劑的噴霧，一邊進(jìn)行所謂的感應(yīng)帶電式的靜電涂裝。由此，能提高涂敷劑的液滴的相對(duì)于玻璃基板的附著效率，能對(duì)涂敷劑的使用量進(jìn)行抑制。
[0025]本說明書中公開的技術(shù)的另一形態(tài)，涉及一種防油性玻璃基板的制造裝置，其特征在于，具備清洗裝置、等離子處理裝置、成膜裝置、移動(dòng)裝置、控制裝置和干燥裝置；該清洗裝置通過對(duì)玻璃基板噴吹高壓的空氣，對(duì)該玻璃基板進(jìn)行清洗；該等離子處理裝置對(duì)所述玻璃基板照射等離子體，將該玻璃基板上的有機(jī)物除去；該成膜裝置具備權(quán)利要求1所述的噴霧裝置，通過使用該噴霧裝置將含有具有全氟烷基醚基的氟系列化合物的涂敷劑向所述玻璃基板上噴霧，在該玻璃基板上形成由所述氟系列化合物構(gòu)成的薄膜；該移動(dòng)裝置使所述噴霧裝置在所述玻璃基板上在該玻璃基板的板面方向移動(dòng)；該控制裝置對(duì)所述噴霧裝置的移動(dòng)和所述玻璃基板上的每單位面積的所述涂敷劑的附著量進(jìn)行控制；該干燥裝置具有干燥爐，在該干燥爐內(nèi)使形成了所述薄膜的所述玻璃基板干燥。
[0026]所述成膜裝置，也可以具有感應(yīng)電極和電壓施加機(jī)構(gòu)，該感應(yīng)電極被配置在所述管嘴部的近旁，電壓施加機(jī)構(gòu)在該感應(yīng)電極與被電氣性地接地了的所述噴霧裝置之間施加電壓。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1為實(shí)施方式I中的噴霧裝置2的縱剖視圖。
[0028]圖2為噴霧裝置2的橫剖視圖。[0029]圖3為放大了噴霧裝置2中的管嘴部30的放大剖視圖。
[0030]圖4為表示噴霧裝置2的使用形態(tài)的一例的模式圖。
[0031]圖5為實(shí)施方式2中的成膜裝置的主視圖。
[0032]圖6為成膜裝置100的側(cè)視圖。
[0033]圖7為成膜裝置100的俯視剖視圖。
[0034]圖8為成膜裝置100的側(cè)剖視圖。
[0035]圖9為在成膜裝置100中表示噴霧裝置2與玻璃基板的位置關(guān)系的主視圖。
[0036]圖10為在成膜裝置100中表示噴霧裝置2與玻璃基板的位置關(guān)系的俯視圖。
[0037]圖11為在實(shí)施方式3中的感應(yīng)帶電式的噴霧裝置202中表示管嘴部230的開口部232近旁的剖視圖。
[0038]圖12為表示噴霧裝置的外觀結(jié)構(gòu)的照片。
[0039]圖13為表示清洗裝置的外觀結(jié)構(gòu)的照片。
[0040]圖14為表示等離子處理裝置的外觀結(jié)構(gòu)的照片。
[0041]圖15為表示恒溫槽的外觀結(jié)構(gòu)的照片。`【具體實(shí)施方式】
[0042]<實(shí)施方式1>
[0043]參照附圖對(duì)實(shí)施方式I進(jìn)行說明。實(shí)施方式I對(duì)噴霧裝置2進(jìn)行例示，該噴霧裝置2用于對(duì)玻璃基板等基材進(jìn)行噴霧液的噴霧。另外，在圖1、圖2、及圖3中，將圖的左側(cè)作為噴霧裝置2的前側(cè)，將圖的右側(cè)作為噴霧裝置2的后側(cè)。如圖1及圖2所示，噴霧裝置2具備構(gòu)成其外觀的圓筒狀的主體部22。主體部22中的前端部區(qū)域由被做成了細(xì)頭狀的空氣蓋15和設(shè)在該空氣蓋15的內(nèi)側(cè)的空氣導(dǎo)向件42構(gòu)成。在空氣導(dǎo)向件42的內(nèi)側(cè)設(shè)置了作為整體構(gòu)成筒狀的管嘴部30?？諝馍w15和空氣導(dǎo)向件42，都被做成了在內(nèi)周及外周都構(gòu)成與管嘴部30同心的圓形的筒狀。管嘴部30，構(gòu)成了其前端朝外側(cè)打開的杯狀，其開口部成為前側(cè)的方式配置。管嘴部30的開口部，成為噴霧液被噴霧的噴霧口 32，從主體部22的前端露出。
[0044]在主體部22內(nèi)設(shè)置了在主體部22的中心在前后方向延伸的液體供給路24、在前后方向延伸的構(gòu)成圓筒狀的固定軸20和空氣供給路6。固定軸20，相對(duì)于主體部22以被限制旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被支承。固定軸20的內(nèi)部被做成了空心，成為液體供給路24的一部分。在固定軸20的前端，以朝前方突出的形式相對(duì)于固定軸20固定了比固定軸20細(xì)而且被做成了與固定軸20同心的供給管12。噴霧裝置2，與后述的液體供給源50 (參照?qǐng)D4)和空氣供給源(未圖示)連接。從液體供給源50被壓送到噴霧裝置2的噴霧液，通過固定軸20內(nèi)的液體供給路24向供給管12供給。
[0045]從空氣供給源被壓送到噴霧裝置2的加壓空氣，通過空氣供給路6，在主體部22內(nèi)分支成流向渦輪機(jī)空氣供給路(未圖示)的空氣和流向后述的噴吹空氣供給路14的空氣。流向渦輪機(jī)供給路的加壓空氣被作為渦輪機(jī)空氣，用于驅(qū)動(dòng)后述的驅(qū)動(dòng)部8。另一方面，流向噴吹空氣供給路14的加壓空氣被作為噴吹空氣。噴吹空氣，從被設(shè)在管嘴部30的外周端的空氣噴出口 17噴出，由此使從噴霧口 32噴霧的噴霧液朝前方分散，并且，用于整理從噴霧口 32噴霧的噴霧液的圖案。另外，在噴霧裝置2的后端上安裝了空氣調(diào)整閥4。通過使此空氣調(diào)整閥4轉(zhuǎn)動(dòng)，能對(duì)流過空氣供給路6的加壓空氣的流量進(jìn)行調(diào)整。
[0046]在固定軸20的外周上，設(shè)置了在主體部22內(nèi)在前后方向延伸并且構(gòu)成與固定軸20同心的圓筒狀的空心的旋轉(zhuǎn)軸16。旋轉(zhuǎn)軸16，由設(shè)在該旋轉(zhuǎn)軸16的外側(cè)的軸承10支承成可繞其軸心可旋轉(zhuǎn)。另外，向旋轉(zhuǎn)軸16的周圍，從空氣供給路6供給加壓空氣的一部分，旋轉(zhuǎn)軸16由該加壓空氣以懸浮的狀態(tài)支承。在旋轉(zhuǎn)軸16的外周，與旋轉(zhuǎn)軸16作為一體地設(shè)置了被作為空氣渦輪機(jī)的驅(qū)動(dòng)部8。驅(qū)動(dòng)部8，由渦輪機(jī)葉片9和承壓部18構(gòu)成。通過向此驅(qū)動(dòng)部8的承壓部18排出從空氣供給路6供給的渦輪機(jī)空氣，渦輪機(jī)葉片9由其排出的渦輪機(jī)空氣壓力開始旋轉(zhuǎn)。由此，做成了對(duì)旋轉(zhuǎn)軸16賦予旋轉(zhuǎn)力，旋轉(zhuǎn)軸16以高速被進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。此旋轉(zhuǎn)軸16的旋轉(zhuǎn)方向，是朝前方成為逆時(shí)針方向的方向，即左轉(zhuǎn)方向。在旋轉(zhuǎn)軸16的前端，固定了上述管嘴部30的后端(與噴霧口 32側(cè)相反側(cè)的端部)。因此，管嘴部30與旋轉(zhuǎn)軸16進(jìn)行一體旋轉(zhuǎn)。因此，此管嘴部30的旋轉(zhuǎn)方向，與旋轉(zhuǎn)軸16的旋轉(zhuǎn)方向同樣地成為左轉(zhuǎn)。
[0047]在主體部22中的設(shè)在前端部區(qū)域的空氣蓋15的內(nèi)周前端部，如圖3所示，形成了朝前方內(nèi)徑變小的錐狀內(nèi)周面44。在前后方向內(nèi)徑一定的定徑內(nèi)周面46連接在錐狀內(nèi)周面44的后端。此定徑內(nèi)周面46，成為與錐狀內(nèi)周面44的后端的內(nèi)徑同一尺寸。另外，在定徑內(nèi)周面46的后端，呈臺(tái)階狀相連地形成了內(nèi)徑比定徑內(nèi)周面46大、內(nèi)徑在前后方向一定的擴(kuò)徑內(nèi)周面11。
[0048]在空氣導(dǎo)向件42的外周前端部，形成了內(nèi)徑朝前方變小并且被做成了與錐狀內(nèi)周面44相同的錐度的錐狀外周面40。錐狀外周面40的前端，被作為與錐狀內(nèi)周面44的前端大體相同的位置。另一 方面，在前后方向外徑一定的定徑外周面45連接在錐狀外周面40的后端。此定徑外周面45的內(nèi)徑，是與錐狀外周面40的后端的外徑相同的尺寸，被做成了比定徑內(nèi)周面46小的直徑。在前后方向，定徑外周面45的后端被做成了與定徑內(nèi)周面46的前端即錐狀內(nèi)周面44的后端相同的位置。
[0049]在錐狀內(nèi)周面44與定徑外周面45之間，形成了遍及全周地連續(xù)的圓形的噴吹空氣供給路14。另外，在空氣蓋15與空氣導(dǎo)向件42之間，形成了與噴吹空氣供給路14的前端連通，并且遍及全周地連續(xù)的狹小的狹縫31。狹縫31的前端，成為在噴霧裝置2的前端遍及全周地開口的圓形的空氣噴出口 17。前后方向的空氣噴出口 17的位置，與管嘴部30的噴霧口 32相比處于后方。被壓送到噴吹空氣供給路14的噴吹空氣，通過狹縫31，從空氣噴出口 17朝噴霧裝置2的前方噴出。
[0050]接下來，對(duì)設(shè)在管嘴部30的前端的杯狀的部位進(jìn)行說明。在管嘴部20的被做成了杯狀的部位的內(nèi)部，如圖3所示，設(shè)置了儲(chǔ)存室38。在儲(chǔ)存室38內(nèi)，連接了供給管12的前端，并與供給管12連通。在管嘴部30的前面上設(shè)置了構(gòu)成同心圓形的盤狀的凹部33，凹部33的內(nèi)周成為朝前方擴(kuò)徑的錐面34。在分隔凹部33與儲(chǔ)存室38的分隔壁上，在周向空開間隔地形成了多個(gè)從儲(chǔ)存室38的外周貫通到錐面34的小直徑的連通孔36。
[0051 ] 以上為噴霧裝置2的結(jié)構(gòu)，接下來，對(duì)使用此噴霧裝置2進(jìn)行噴霧液的噴霧的方法進(jìn)行說明。在使用噴霧裝置2進(jìn)行噴霧液的噴霧的情況下，如圖4所示，將噴霧裝置2與液體供給源50和未圖示的空氣供給源連接。由泵52從液體供給源50汲上來的噴霧液，通過液體供給管54內(nèi)，被壓送到噴霧裝置2。另外，在液體供給管54的途中，安裝了過濾器56。另外，從空氣供給源供給的加壓空氣，通過未圖示的空氣供給管被壓送到噴霧裝置2。另外，當(dāng)向噴霧裝置2供給噴霧液及加壓空氣時(shí)，由未圖示的控制裝置預(yù)先調(diào)整從空氣供給源向噴霧裝置2壓送的加壓空氣的供給量和從液體供給源向噴霧裝置2壓送的噴霧液的
供給量。
[0052]從空氣供給源供給到噴霧裝置2的加壓空氣，通過空氣供給路6，被分成渦輪機(jī)空氣和噴吹空氣。作為渦輪機(jī)空氣的加壓空氣，被壓送到驅(qū)動(dòng)部8，如上述的那樣排出到驅(qū)動(dòng)部8的承壓部18，由此，對(duì)旋轉(zhuǎn)軸16賦予旋轉(zhuǎn)力，固定在旋轉(zhuǎn)軸16上的管嘴部30以高速進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。另一方面，作為噴吹空氣的加壓空氣，被壓送到噴吹空氣供給路14，在通過狹縫31后，從空氣噴出口 17噴出。
[0053]從液體供給源40供給到噴霧裝置2的噴霧液，依次通過液體供給路24內(nèi)、供給管12內(nèi)。到達(dá)了供給管12內(nèi)的噴霧液，從供給管12的前端向管嘴部30的儲(chǔ)存室38內(nèi)滴下。滴下到儲(chǔ)存室38內(nèi)的噴霧液，由伴隨著管嘴部30的旋轉(zhuǎn)的離心力，通過連通孔36送往凹部33的錐面34。送到錐面34的噴霧液，同樣由伴隨著管嘴部30的旋轉(zhuǎn)的離心力沿錐面34朝前方移動(dòng)，到達(dá)錐面34的外周端(管嘴部30的噴霧口 32)，一邊從錐面34的外周端呈放射狀地分散一邊霧化，朝噴霧裝置2的前方放出。另外，管嘴部30的每單位時(shí)間的轉(zhuǎn)速，由上述控制裝置預(yù)先進(jìn)行調(diào)整。
[0054]如以上的那樣，在本實(shí)施方式的噴霧裝置2中，通過管嘴部30旋轉(zhuǎn)，一邊對(duì)噴霧液賦予離心力，一邊由噴吹空氣噴吹噴霧液，噴霧液一邊呈放射狀地分散一邊霧化，朝前方噴霧。此時(shí)，霧化了的噴霧液，通過在放出的同時(shí)被噴吹空氣噴吹，被整理成遍及全周地均勻的圖案。由此，被進(jìn)行了噴霧的霧狀的噴霧液，以一邊收斂一邊被整理成了規(guī)定形狀的圖案的狀態(tài)被涂敷在基材的表面上。通過這樣涂敷劑形成在基材的表面上的膜，與使用了不伴隨著管嘴部的旋轉(zhuǎn)地進(jìn)行噴霧液的噴霧的以往的噴霧裝置的情況相比，成為更薄的(數(shù)納米尺寸的)而且大致均勻的膜厚。因此，通過使用本實(shí)施方式的噴霧裝置2向玻璃基板等的表面上進(jìn)行含有氟系列化合物的涂敷劑等的具有防油性的噴霧液的噴霧，能在玻璃基板上形成在具有防油性的同時(shí)被做`成了納米尺寸的大致均勻的膜厚的薄膜。形成了這樣的薄膜的玻璃基板，能用作構(gòu)成觸摸板的表面等的構(gòu)件。
[0055]<實(shí)施方式2>
[0056]參照【專利附圖】

【附圖說明】實(shí)施方式2。實(shí)施方式2，例示防油性玻璃基板的制造裝置。另外，在本實(shí)施方式中使用了的噴霧裝置2，因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)及作用與在實(shí)施方式I中說明了的裝置相同，所以，省略其說明。本裝置是通過在成為被成膜對(duì)象的玻璃基板150 (參照?qǐng)D8~圖10)上形成薄膜制造具有防油性的玻璃基板150的裝置。本制造裝置具備清洗裝置(未圖示)、等離子處理裝置(未圖示)、作為干燥裝置的恒溫槽(未圖示)和成膜裝置100。
[0057]清洗裝置，是通過使高壓的空氣相對(duì)于玻璃基板150接觸，將玻璃基板150上的粉塵等除去，清洗玻璃基板150的裝置。等離子處理裝置，是通過對(duì)玻璃基板150照射等離子體，將玻璃基板150上的有機(jī)物除去的裝置。恒溫槽，是用于使形成了薄膜后的玻璃基板150干燥的裝置。清洗裝置、等離子處理裝置、恒溫槽，都可使用公知的裝置。
[0058]成膜裝置100，具備圖5~圖8所示的那樣的外觀結(jié)構(gòu)及內(nèi)部結(jié)構(gòu)。成膜裝置100，構(gòu)成了大致箱狀的外觀，如圖5及圖6所示，具備移動(dòng)裝置102、噴霧部104、排氣部106和控制裝置108。移動(dòng)裝置102，被設(shè)在成膜裝置100的上層。在移動(dòng)裝置102上，安裝了噴霧裝置2，設(shè)置了用于使噴霧裝置2相對(duì)于作為被成膜對(duì)象的玻璃基板150可相對(duì)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。噴霧部104，被設(shè)在成膜裝置100的中層。在噴霧部104上，安裝了用于載置玻璃基板150的臺(tái)120。由噴霧部104，在將玻璃基板150安放在臺(tái)120上的狀態(tài)下，進(jìn)行涂敷劑的朝玻璃基板150的噴霧。排氣部106,被設(shè)在成膜裝置100的下層。排氣部106,設(shè)置了用于將通過在噴霧部104內(nèi)進(jìn)行涂敷劑的向玻璃基板150的噴霧而充滿在噴霧部104內(nèi)的空氣等排出到成膜裝置100的外部的機(jī)構(gòu)?？刂蒲b置108，被設(shè)在成膜裝置100的下方端部?？刂蒲b置108，與移動(dòng)裝置102電氣性地連接。由控制裝置108，能對(duì)被安裝在移動(dòng)裝置102上的噴霧裝置2的移動(dòng)和被載置在臺(tái)120上的玻璃基板150中的每單位面積的涂敷劑的附著量進(jìn)行控制。
[0059]在構(gòu)成成膜裝置100的移動(dòng)裝置102上，設(shè)置了用于使噴霧裝置2在上下方向可移動(dòng)的上下方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)112和用于使噴霧裝置2在玻璃基板150的板面方向可移動(dòng)的板面方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)114。噴霧裝置2，在該噴霧口 32朝向下側(cè)(臺(tái)120側(cè))的狀態(tài)下，經(jīng)具有多個(gè)關(guān)節(jié)的臂110支承在上下方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)112上。另外，噴霧裝置2，與設(shè)在成膜裝置100的外部的未圖示的液體供給源和空氣供給源連接。另外，在本方法中使用的噴霧裝置2，其噴霧口 32的直徑處在IOmm至120mm的范圍內(nèi)。 [0060]在構(gòu)成成膜裝置100的噴霧部104的正面?zhèn)龋O(shè)置了可開閉的搬入門122。另外，臺(tái)120，在成膜裝置100的前后方向(由圖7及圖8的箭頭所示的方向)可滑動(dòng)。在將成為被成膜對(duì)象的玻璃基板150安放在噴霧部104內(nèi)的情況下，在以打開了搬入門122的狀態(tài)使臺(tái)120朝成膜裝置100的前方滑動(dòng)后，將玻璃基板150載置在臺(tái)120上。此后，通過使臺(tái)120朝后方(噴霧部104內(nèi))滑動(dòng)，并關(guān)閉搬入門122，放置玻璃基板150。
[0061]在構(gòu)成成膜裝置100的排氣部106，設(shè)置了從排氣部106朝上側(cè)(噴霧部104側(cè))遍及排氣部106的整個(gè)面地開口的排出開口 130。排出開口 130與向成膜裝置100的外部開口的排氣口 132連通。成為充滿在噴霧部104內(nèi)的空氣從排出開口 130流入，從排氣口132排氣的結(jié)構(gòu)。
[0062]接下來，對(duì)使用本實(shí)施方式的制造裝置制造防油性玻璃基板的方法進(jìn)行說明。在本方法中，首先，將成為被成膜對(duì)象的玻璃基板150投入清洗裝置內(nèi)，向玻璃基板150上噴吹高壓的空氣。由此，將玻璃基板150上的粉塵等除去，清洗玻璃基板150 (清洗工序)。接著，將玻璃基板150投入等離子處理裝置內(nèi)，對(duì)玻璃基板150照射等離子體。由此，將玻璃基板150上的有機(jī)物除去(等離子處理工序)。另外，通過進(jìn)行等離子處理工序，能使在玻璃基板150上成膜的薄膜的耐久性提高。
[0063]然后，將進(jìn)行了等離子處理的玻璃基板150設(shè)置在成膜裝置100的臺(tái)120上，安放在成膜裝置100的噴霧部104內(nèi)。接著，由設(shè)在成膜裝置100內(nèi)的控制裝置108，對(duì)噴霧裝置2的相對(duì)于玻璃基板150的相對(duì)速度和向噴霧裝置2供給的涂敷劑的供給量進(jìn)行調(diào)整。接著，以由控制裝置108調(diào)整了的供給量向噴霧裝置2供給涂敷劑。另外，在本方法中，作為涂敷劑，使用了含有具有全氟烷基醚基的氟系列化合物的涂敷劑。接著，一邊以由控制裝置108調(diào)整了的相對(duì)速度使噴霧裝置2相對(duì)于玻璃基板150相對(duì)移動(dòng)，一邊向玻璃基板150上進(jìn)行涂敷劑的噴霧。由此，在玻璃基板150上形成由涂敷劑構(gòu)成的薄膜(成膜工序)。
[0064]在這里，圖9及圖10中的位置A表示噴霧開始時(shí)的噴霧裝置2的位置，位置B表示噴霧結(jié)束時(shí)的噴霧裝置2的平面方向的位置。具體地說，一邊按照?qǐng)D3所示的箭頭(按照A1、A2、B1、B2的順序)以從lm/min至100m/min的相對(duì)速度使噴霧裝置2在平面方向移動(dòng)，一邊進(jìn)行涂敷劑的噴霧。此時(shí)，將實(shí)際進(jìn)行噴霧的區(qū)域作為以橫向?qū)挾萖為220_、以縱向?qū)挾萗為300mm的玻璃基板150周圍的區(qū)域，將重疊涂敷寬度(使噴霧裝置2在圖橫向移動(dòng)時(shí)的距離)Wl作為8mm。另外，在本實(shí)施方式的制造方法中，以使噴霧裝置2與玻璃基板150之間的距離Hl (參照?qǐng)D9)接近到5mm至200mm的范圍內(nèi)的距離的狀態(tài)，進(jìn)行涂敷劑的噴霧。另外，在本方法中，使噴霧裝置2的管嘴部30 (參照實(shí)施方式I)的旋轉(zhuǎn)速度處于1000Orpm至150000rpm的范圍內(nèi)，按照使涂敷劑的相對(duì)于玻璃基板150的每單位面積的噴霧量為lcc/min至500cc/min的方式進(jìn)行調(diào)整。
[0065]最后，將成膜工序結(jié)束了的玻璃基板150投入恒溫槽內(nèi)，使在玻璃基板150上成膜了的薄膜干燥(干燥工序)。由此，能使玻璃基板150與薄膜之間的密接度提高。由以上的工序，能制造由含有具有全氟烷基醚基的氟系列化合物的涂敷劑構(gòu)成的薄膜被成膜了的玻璃基板150，即防油性玻璃基板。
[0066]如以上的那樣，在本實(shí)施方式的制造方法中，在成膜裝置100中，通過一邊使噴霧裝置2的管嘴部30旋轉(zhuǎn)，一邊向玻璃基板150上進(jìn)行含有氟系列化合物的涂敷劑的噴霧，涂敷劑一邊呈放射狀地被分散一邊霧化，被噴霧在玻璃基板150上。由此，與不伴隨著管嘴部30的旋轉(zhuǎn)地進(jìn)行涂敷劑的噴霧的情況相比，能在玻璃基板150上形成更薄的(數(shù)納米尺寸的)大致均勻的膜厚的由氟系列化合物構(gòu)成的薄膜。另外，通過進(jìn)行上述一連串的工序，形成在玻璃基板150上的薄膜被固定在玻璃基板150上。進(jìn)而，由具有全氟烷基醚基的氟系列化合物構(gòu)成的薄膜，防油性優(yōu)越。因此，由本實(shí)施方式制造的防油性玻璃基板，例如可有效地作為用于觸摸板的涂敷了指紋附著防止膜(防污膜)的玻璃基板使用。
[0067]另外， 按照本實(shí)施方式的制造方法，在成膜工序中，使噴霧裝置2在玻璃基板150上在玻璃基板150的板面方向移動(dòng)，并且，一邊控制玻璃基板150上的每單位面積的涂敷劑的附著量，一邊進(jìn)行涂敷劑的噴霧。因此，能在寬范圍的玻璃基板150上形成由氟系列化合物構(gòu)成的薄膜。
[0068]<實(shí)施方式3>
[0069]下面，參照附圖對(duì)實(shí)施方式3進(jìn)行說明。實(shí)施方式3，例示感應(yīng)帶電式的噴霧裝置202。本實(shí)施方式的噴霧裝置202，是在由實(shí)施方式I說明了的噴霧裝置2的噴霧口 232的周圍配置了感應(yīng)電極260的裝置。另外，在圖11中，將數(shù)字200加在圖3的參照符號(hào)上的部位，因?yàn)槭桥c在實(shí)施方式I中說明了的部位同樣的結(jié)構(gòu)，所以，省略其說明。另外，在本實(shí)施方式中，將被成膜對(duì)象作為玻璃基板150，將噴霧的涂敷劑作為含有具有全氟烷基醚基的氟系列化合物而且介電常數(shù)高的導(dǎo)電性的涂敷劑。在本實(shí)施方式中，被供給到噴霧裝置202的涂敷劑，經(jīng)未圖示的液體供給源進(jìn)行了接地。
[0070]在本實(shí)施方式中，噴霧裝置202的主體部222的大體整個(gè)區(qū)域由絕緣性的材料形成。另外，在噴霧裝置202中的管嘴部230的噴霧口 232的周圍，以包圍該噴霧口 232的形式配置了環(huán)狀的感應(yīng)電極260。感應(yīng)電極260，與未圖示的電路機(jī)構(gòu)連接，可施加從數(shù)千至數(shù)萬伏的電壓。另外，感應(yīng)電極260由絕緣性的電介質(zhì)體覆蓋。因此，配置在噴霧口 232的周圍的狀態(tài)的感應(yīng)電極260，其表面不會(huì)露出到外部，防止了從感應(yīng)電極260發(fā)生電暈放電。
[0071]在使用本實(shí)施方式的噴霧裝置202在作為被成膜對(duì)象的玻璃基板150上成膜的情況下，由電路機(jī)構(gòu)在感應(yīng)電極260上施加負(fù)的電壓，并且在管嘴部230施加正的電壓，或使管嘴部230接地。于是，在感應(yīng)電極260與管嘴部230之間產(chǎn)生強(qiáng)的電場(chǎng)。由此，在即將從噴霧口 232離開而霧化之前的涂敷劑的液滴262表面上，因靜電感應(yīng)而大量地感應(yīng)出作為與感應(yīng)電極260相反極性的正的電荷。因此，從噴霧口 232離開而霧化了的涂敷劑的液滴262，成為帶了正電的狀態(tài)。
[0072]從管嘴部230離開而帶了正電的狀態(tài)的涂敷劑的液滴262，因?yàn)樵诟袘?yīng)電極260與管嘴部230之間產(chǎn)生的電場(chǎng)的原因，受到朝向感應(yīng)電極260側(cè)的力。然而，從噴霧口 232離開了的涂敷劑的液滴262，由高速旋轉(zhuǎn)的管嘴部230和從空氣噴出口 217噴出的噴吹空氣，受到朝向管嘴部230的前方的強(qiáng)的力。因此，從噴霧口 232離開了的涂敷劑的液滴262，不會(huì)朝向感應(yīng)電極260側(cè)，而是被輸送到位于管嘴部230的前方的作為被成膜對(duì)象的玻璃基板150的近旁。
[0073]在這里，因?yàn)樽鳛楸怀赡?duì)象的玻璃基板150為絕緣體，所以，如果帶了正電的涂敷劑被噴霧到其表面上，則由電介質(zhì)極化而在已經(jīng)附著在玻璃基板150表面上的涂敷劑表面上感應(yīng)出負(fù)的電荷。于是，在涂敷劑的液滴262的正電荷與在玻璃基板150表面上被感應(yīng)出的負(fù)電荷之間由靜電產(chǎn)生的吸引力發(fā)揮作用，涂敷劑的液滴262受到朝向玻璃基板150上的涂敷劑表面的力。依靠由該靜電產(chǎn)生的吸引力和從噴霧裝置2的管嘴部230受到的強(qiáng)的力這兩者，涂敷劑的液滴262附著在玻璃基板150的表面上。附著在玻璃基板150的表面上的涂敷劑的液滴262部分地接地，涂敷劑的液滴262中的正電荷消失。
[0074]如本實(shí)施方式的那樣，通過一邊使噴霧裝置2的管嘴部230高速旋轉(zhuǎn)，一邊進(jìn)行涂敷劑的液滴262的噴霧，能使涂敷劑的液滴262 —邊呈放射狀地分散一邊霧化而進(jìn)行噴霧，能在玻璃基板150的表面上形成納米尺寸的大致均勻的膜厚的薄膜。進(jìn)而，通過伴隨著所謂的感應(yīng)帶電式的靜電涂裝，與不伴隨靜電涂裝的情況相比，能提高涂敷劑的液滴262的相對(duì)于玻璃基板150的附著效率。因此，能對(duì)涂敷劑的使用量進(jìn)行抑制。
[0075]另外，如本實(shí)施方式的那樣，因?yàn)榧词箤⒆鳛榻^緣體的玻璃基板150作為被成膜對(duì)象進(jìn)行噴霧，電荷也沿玻`璃基板150上的涂敷劑表面朝接地側(cè)移動(dòng)，所以，與非感應(yīng)帶電時(shí)相比能使噴涂效率提高。進(jìn)而，在將可能帶電的元件配置在玻璃基板150上的情況下，因?yàn)殡姾刹粫?huì)從作為絕緣體的玻璃基板150向該元件移動(dòng),所以，能防止該元件過度地帶電。因此，本實(shí)施方式的噴霧裝置202，在將薄膜形成在用于電子設(shè)備等的玻璃基板150上的情況下有效。
[0076]以下列舉上述各實(shí)施方式的變形例(其它實(shí)施方式)。
[0077]( I)在上述各實(shí)施方式中，例示了通過由渦輪機(jī)空氣對(duì)在噴霧裝置內(nèi)被做成了空氣渦輪機(jī)的驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)方法，但旋轉(zhuǎn)軸的驅(qū)動(dòng)方法不被限定。例如，也可是通過將電動(dòng)馬達(dá)與旋轉(zhuǎn)軸連接，由電力驅(qū)動(dòng)該電動(dòng)馬達(dá)，對(duì)旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力的結(jié)構(gòu)。
[0078](2)在上述實(shí)施方式3中，例示了使從噴霧裝置噴霧的涂敷劑的液滴帶正電的結(jié)構(gòu)，但也可是通過在感應(yīng)電極上施加正的電壓，使涂敷劑的液滴帶負(fù)電的結(jié)構(gòu)。
[0079](3)除了上述各實(shí)施方式以外，噴霧裝置的結(jié)構(gòu)、形狀等，可適當(dāng)變更。
[0080]在上述各實(shí)施方式中，例示了為了在被成膜對(duì)象上形成薄膜而使用噴霧裝置的結(jié)構(gòu)，但噴霧裝置，也可以是用于進(jìn)行涂裝的裝置，也可以是用于進(jìn)行清洗的裝置，也可以是用于其它目的的裝置。[0081]以上，詳細(xì)地說明了本發(fā)明的各實(shí)施方式，但它們不過是例示，是不對(duì)權(quán)利要求進(jìn)行限定的。在權(quán)利要求記載的技術(shù)中，包含對(duì)以上例示的具體例進(jìn)行了各種各樣的變形、變更的技術(shù)。
[0082]另外，在本說明書或附圖中說明了的技術(shù)要素，是單獨(dú)或由各種組合發(fā)揮技術(shù)的有用性的技術(shù)要素，不限于申請(qǐng)時(shí)權(quán)利要求記載的組合。另外，在本說明書或附圖中例示了的技術(shù)是可同時(shí)達(dá)到多個(gè)目的的技術(shù)，是通過達(dá)到其中的一個(gè)目的而自身具有技術(shù)的有用性的技術(shù)。
[0083]實(shí)施例
[0084]以下，列舉實(shí)施例，更詳細(xì)地說明本發(fā)明。另外，本發(fā)明不限于以下的實(shí)施例。在本實(shí)施例中，通過使用一邊使管嘴部旋轉(zhuǎn)一邊進(jìn)行噴霧的噴霧裝置(涂裝機(jī))向玻璃基板上進(jìn)行涂敷劑的噴霧，在玻璃基板上形成了薄膜。而且，在對(duì)成膜后的薄膜實(shí)施了劃痕試驗(yàn)后，通過向薄膜上滴下純水，測(cè)定其接觸角，間接地測(cè)定了薄膜的膜厚的均勻性。在本實(shí)施例中，將薄膜的要求膜厚作為3~5nm，將要求的接觸角設(shè)定為110°以上。
[0085]<使用裝置等>
[0086]旭沙那克(公司制涂裝機(jī)(NC貝爾(NC《>)ASG — 10)，旭沙那克公司制注射泵(PCF — 10)，旭沙那克公司制成膜裝置(PCS3747)，弘田電機(jī)公司制等離子處理裝置(AT-3000)，旭沙那克公司制單片式清洗裝置，雅馬托()科學(xué)公司制恒溫槽(DHS42)，Coat Well公司制耐磨試驗(yàn)(劃痕試驗(yàn))裝置(F — 339)，協(xié)和界面科學(xué)公司制手提式接觸角儀(PCA -1 )，實(shí)驗(yàn)環(huán)境(溫度25.6°C，濕度43.5%)
[0087]<材料等>
[0088]東麗?達(dá)烏柯寧(東> ?夕' 々2 — 二 > 7)公司制涂敷劑(DOW CORNING (R) 2634COATING)，鈉鈣玻璃(橫 55mmX 縱 IlOmmX 厚 1.1_)，異丙醇(IPA)。
[0089]<液體供給路的清洗和排出量的確認(rèn)>
[0090]使用注射泵，由IPA對(duì)液體供給路內(nèi)進(jìn)行了清洗。然后，置換成涂敷劑，使涂敷劑從噴涂機(jī)的噴霧口排出。然后，使用計(jì)量容器確認(rèn)了從NC貝爾的排出量。
[0091 ] <清洗工序和等離子處理工序>
[0092]將成為被成膜對(duì)象的玻璃基板投入清洗裝置(參照?qǐng)D13)內(nèi)，由高壓的空氣進(jìn)行了清洗。然后，將該玻璃基板投入等離子處理裝置(參照?qǐng)D14)內(nèi)，對(duì)玻璃基板照射等離子體，由此，將玻璃基板上的有機(jī)物除去。
[0093]<玻璃基板的設(shè)置>
[0094]將進(jìn)行了等離子處理后的玻璃基板設(shè)置在成膜裝置內(nèi)的臺(tái)上中央，由遮蔽膠帶進(jìn)行了固定。
[0095]<成膜工序>
[0096]使用在實(shí)施方式2中說明了的成膜裝置(安裝了旭沙那克公司制噴涂機(jī)(參照?qǐng)D12)的裝置)，以與實(shí)施方式2同樣的方法在玻璃基板上形成了薄膜。另外，將在實(shí)施方式2中說明了的條件中的、噴霧裝置的管嘴部的旋轉(zhuǎn)速度作為50000rpm，將噴霧裝置2與玻璃基板之間的距離Hl (參照?qǐng)D9)作為20mm，將噴霧裝置的移動(dòng)速度作為30m/min，其它條件與在實(shí)施方式2中說明了的條件同樣。
[0097]<干燥工序>[0098]將成膜工序后的玻璃基板從成膜裝置取出，投入恒溫槽內(nèi)，使其干燥(參照?qǐng)D15)。干燥條件為100度、60分鐘。另外，在玻璃基板的投入的同時(shí)，向恒溫槽內(nèi)投入200CC的純水，產(chǎn)生了水蒸氣。
[0099]<劃痕試驗(yàn)>
[0100]干燥工序后，將玻璃基板在一般環(huán)境下放置一晚以上，使玻璃基板上的薄膜固定。然后，為了考察膜的耐久性，對(duì)作為樣品的玻璃基板進(jìn)行了劃痕試驗(yàn)。在劃痕試驗(yàn)中，使用鋼絲棉，將載荷作為250g/lcm，將行程作為5cm，將摩擦速度作為50往返/min，分別進(jìn)行了1500往返和3000往返。
[0101]〈接觸角測(cè)定〉
[0102]對(duì)進(jìn)行了劃痕試驗(yàn)后的玻璃基板上的薄膜，使用接觸角計(jì)測(cè)定了接觸角。接觸角是關(guān)于I個(gè)樣品進(jìn)行5次測(cè)定，算出了其平均值。
[0103]〈結(jié)果〉
[0104]在劃痕試驗(yàn)中，關(guān)于進(jìn)行了 1500往返的樣品，獲得了 110°以上的接觸角。進(jìn)而，關(guān)于進(jìn)行了 3000往返的樣品，獲得了 110°以上的接觸角。從該結(jié)果能推定在玻璃基板上形成了具備耐久性并且膜厚為3~5nm的大致均勻的膜厚的、具有防油性的薄膜。形成了這樣的薄膜的玻璃基板，可期待被用作觸摸板前面用的玻璃基板。
[0105]符號(hào)說明:
[0106]2:噴 霧裝置，4:空氣調(diào)整閥，6:空氣供給路，8:驅(qū)動(dòng)部，9:渦輪機(jī)葉片，12:供給管，14:噴吹空氣供給路，15:空氣蓋，16:旋轉(zhuǎn)軸，18:承壓部，20:固定軸，22:主體部，24:液體供給路，30:管嘴部，32:噴霧口，34:錐面，38:儲(chǔ)存室，42:空氣導(dǎo)向件，50:液體供給源,100:成膜裝置，108:控制裝置，120:臺(tái)，150:玻璃基板，260:感應(yīng)電極。
【權(quán)利要求】
1.一種噴霧裝置，具備筒狀的主體部、旋轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動(dòng)部、管嘴部、液體供給路和噴吹空氣供給路； 該旋轉(zhuǎn)軸可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述主體部?jī)?nèi)， 該驅(qū)動(dòng)部對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力， 該管嘴部可與該旋轉(zhuǎn)軸作為一體旋轉(zhuǎn)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸的前端，被做成其前端具有開口部的杯狀，并且所述開口部被做成從所述主體部的前端露出的噴霧口， 該液體供給路向所述管嘴部供給噴霧液， 該噴吹空氣供給路向所述管嘴部的周圍供給噴吹空氣，該噴吹空氣向從所述噴霧口噴霧的所述噴霧液噴吹； 通過向所述管嘴部供給所述噴霧液，向所述管嘴部的周圍供給所述噴吹空氣，并且使所述管嘴部旋轉(zhuǎn)，由其離心力使所述噴霧液一邊呈放射狀地分散一邊霧化，從所述噴霧口朝前方噴霧。
2.一種噴霧方法，該噴霧方法使用噴霧裝置進(jìn)行噴霧液的噴霧，其特征在于，該噴霧裝置具備筒狀的主體部、旋轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動(dòng)部、管嘴部、液體供給路和噴吹空氣供給路；該旋轉(zhuǎn)軸可繞其軸心旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述主體部?jī)?nèi)，該驅(qū)動(dòng)部對(duì)所述旋轉(zhuǎn)軸賦予旋轉(zhuǎn)力，該管嘴部可與該旋轉(zhuǎn)軸作為一體旋轉(zhuǎn)地安裝在所述旋轉(zhuǎn)軸的前端，被做成其前端具有開口部的杯狀，并且所述開口部被做成從所述主體部的前端露出的噴霧口，該液體供給路向所述管嘴部供給噴霧液，該噴吹空氣供給路向所述管嘴部的周圍供給噴吹空氣，該噴吹空氣向從所述噴霧口噴霧的所述噴霧液噴吹； 通過向所述管嘴部供給所述噴霧液，向所述管嘴部的周圍供給所述噴吹空氣，并且使所述管嘴部旋轉(zhuǎn)，由其離心力使所述噴霧液一邊呈放射狀地分散一邊霧化，從所述噴霧口朝前方噴霧。
3.一種防油性玻璃基板的制造方法，具備清洗工序、等離子處理工序、成膜工序和干燥工序； 該清洗工序，通過對(duì)玻璃基板噴吹高壓的空氣，對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行清洗； 該等離子處理工序，在所述清洗工序后，對(duì)所述玻璃基板照射等離子體，將所述玻璃基板上的有機(jī)物除去； 該成膜工序，在所述等離子處理工序后，通過使用權(quán)利要求2所述的噴霧方法將含有具有全氟烷基醚基的氟系列化合物的涂敷劑作為所述噴霧液向所述玻璃基板上噴霧，在所述玻璃基板上形成由所述氟系列化合物構(gòu)成的薄膜； 該干燥工序，在所述成膜工序后，使所述玻璃基板在干燥爐內(nèi)干燥。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防油性玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述成膜工序中，使所述噴霧裝置在所述玻璃基板上在該玻璃基板的板面方向移動(dòng)，并且一邊控制該玻璃基板上的每單位面積的所述涂敷劑的附著量，一邊進(jìn)行所述涂敷劑的噴霧。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防油性玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述成膜工序中，使直徑為IOmm至120mm的所述管嘴部的所述噴霧口相對(duì)于所述玻璃基板的表面以5mm至200mm的范圍內(nèi)的距離接近,使所述管嘴部以1000Orpm至150000rpm的范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)，并且一邊使所述噴霧裝置以lm/min至100m/min的范圍內(nèi)的速度在所述玻璃基板的板面方向移動(dòng)，一邊以每單位面積lcc/min至500cc/min的范圍內(nèi)的量進(jìn)行所述涂敷劑的噴霧。
6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任一項(xiàng)所述的防油性玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述成膜工序中，通過將感應(yīng)電極配置在所述管嘴部的近旁，在該感應(yīng)電極與所述管嘴部之間施加電壓，使從被電氣性地進(jìn)行了接地的所述噴霧裝置噴霧的所述涂敷劑的液滴帶電，并且通過將所述液滴向所述玻璃基板的表面上噴霧，由電介質(zhì)極化在所述玻璃基板的表面上感應(yīng)出與所述液滴相反極性的電荷，由靜電力使所述液滴附著在該玻璃基板的表面上。
7.一種防油性玻璃基板的制造裝置，其特征在于，具備清洗裝置、等離子處理裝置、成膜裝置、移動(dòng)裝置、控制裝置和干燥裝置； 該清洗裝置通過對(duì)玻璃基板噴吹高壓的空氣，對(duì)該玻璃基板進(jìn)行清洗； 該等離子處理裝置對(duì)所述玻璃基板照射等離子體，將該玻璃基板上的有機(jī)物除去； 該成膜裝置具備權(quán)利要求1所述的噴霧裝置，通過使用該噴霧裝置將含有具有全氟烷基醚基的氟系列化合物的涂敷劑向所述玻璃基板上噴霧，在該玻璃基板上形成由所述氟系列化合物構(gòu)成的薄膜； 該移動(dòng)裝置使所述噴霧裝置在所述玻璃基板上在該玻璃基板的板面方向移動(dòng)； 該控制裝置對(duì)所述噴霧裝置的移動(dòng)和所述玻璃基板上的每單位面積的所述涂敷劑的附著量進(jìn)行控制； 該干燥裝置具有干燥爐，在該干燥爐內(nèi)使形成了所述薄膜的所述玻璃基板干燥。`
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防油性玻璃基板的制造裝置，其特征在于，所述成膜裝置具有感應(yīng)電極和電壓施加機(jī)構(gòu)，該感應(yīng)電極被配置在所述管嘴部的近旁，電壓施加機(jī)構(gòu)在該感應(yīng)電極與被電氣性地接地了的所述噴霧裝置之間施加電壓。
【文檔編號(hào)】C03C17/00GK103771718SQ201210394742
【公開日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2012年10月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月17日
【發(fā)明者】清家善之, 宮地計(jì)二, 小林義典, 明永裕樹 申請(qǐng)人:旭燦納克株式會(huì)社