專(zhuān)利名稱(chēng):金剛線切片機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及ー種多線切割技術(shù),特別是涉及一種用于同時(shí)對(duì)多個(gè)晶體硅棒進(jìn)行切割作業(yè)的金剛線切片機(jī)。
背景技術(shù):
現(xiàn)有的多線切割設(shè)備例如晶體硅棒切片機(jī)等通常至少包括有機(jī)架,用于固定エ件的工作臺(tái),用于收、放鋼線的貯絲筒,多個(gè)用于為鋼線進(jìn)行導(dǎo)向的導(dǎo)線輪以及跨設(shè)在工作臺(tái)相對(duì)兩側(cè)并可以升降作業(yè)的切割輥等,在對(duì)晶體硅棒的實(shí)際切割過(guò)程中,所述鋼線通過(guò)十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在工作臺(tái)相對(duì)兩側(cè)的切割輥上形成一張線網(wǎng),當(dāng)エ件被固定在所述 工作臺(tái)上時(shí),將工作臺(tái)相對(duì)兩側(cè)的切割輥降下來(lái),并在壓力泵在的作用下,裝配在設(shè)備上的研磨劑自動(dòng)噴灑裝置將研磨劑噴灑至鋼線和エ件的切削部位,由鋼線帶動(dòng)研磨劑往復(fù)告訴運(yùn)動(dòng),利用研磨砂對(duì)エ件產(chǎn)生切削,以將エ件一次同時(shí)切割為許多片。由此可知,工作臺(tái)相對(duì)兩側(cè)的切割輥的設(shè)置方式是關(guān)系到切割作業(yè)是否順利、切割精度是否精準(zhǔn)的一環(huán)尤其的重要。在現(xiàn)有技術(shù)中的晶體硅棒切片機(jī)上,位于工作臺(tái)相對(duì)兩側(cè)的切割輥被設(shè)置在機(jī)架的相對(duì)兩側(cè)立柱上,因而左、右切割輥之間的跨度很大,所以位于兩側(cè)切割輥之間的鋼線走線距離也很長(zhǎng),在實(shí)際的切片作業(yè)中,當(dāng)將工作臺(tái)相對(duì)兩側(cè)的切割輥降下來(lái),兩側(cè)的切割輥之間的鋼線壓迫到エ件時(shí),會(huì)使鋼線形成很大的繞曲度,因而鋼線也就始終受到最大的運(yùn)行阻力,由于エ件本身往往具有很高的硬度而不易切割,再加上針對(duì)エ件切片精準(zhǔn)度的要求又很?chē)?yán)格,所以上述因切割輥的設(shè)置方式而致使鋼線繞曲度過(guò)大很容易影響切割精準(zhǔn)度;而且,上述的晶體硅棒切片機(jī)由于切割區(qū)間單一,所以一次能夠切割晶體硅棒的數(shù)量也很少,效率很低。
實(shí)用新型內(nèi)容鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的在于提供ー種金剛線切片機(jī),以解決現(xiàn)有技術(shù)中因切割輥的設(shè)置方式而致使鋼線跨度大,進(jìn)而造成切割時(shí)鋼線繞曲度過(guò)大,容易造成切割不良的問(wèn)題。本實(shí)用新型的再一目的在于提供ー種金剛線切片機(jī),可以同時(shí)對(duì)多個(gè)晶體硅棒進(jìn)行切割作業(yè),以提高設(shè)備的運(yùn)行效率。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本實(shí)用新型提供ー種金剛線切片機(jī),其特征在于,所述金剛線切片機(jī)至少包括機(jī)架,第一切割輥,第二切割輥,第三切割輥,第四切割輥,以及金剛線。其中,所述機(jī)架具有一エ件切割區(qū);所述第一切割輥設(shè)置在所述エ件切割區(qū)的ー側(cè);所述第二切割輥設(shè)置在所述エ件切割區(qū)的另ー側(cè),與所述第一切割輥相對(duì)平行且位于同一水平面上;所述第三切割輥設(shè)置在所述第一切割輥與第二切割輥之間,位于所述第一切割輥與第二切割輥同一水平面的上側(cè),且所述第三切割輥至第一切割輥的間距小于第三切割輥至第二切割輥的間距;所述第四切割輥設(shè)置在所述第一切割輥與第二切割輥之間,與所述第三切割輥相對(duì)平行且位于同一水平面上,所述第四切割輥至第三切割輥的間距等于所述第三切割輥至第一切割輥的間距,以及所述第四切割輥至第三切割輥的間距等于所述第四切割輥至第二切割輥的間距;所述金剛線依次纏繞于所述第一切割輥、第三切割輥、第四切割輥與第二切割輥上,并在所述第一切割輥與第三切割輥之間、在所述第三切割輥與第四切割輥之間、以及在所述第四切割輥與第二切割輥之間分別形成三段等長(zhǎng)的切割線,在所述金剛線高速運(yùn)行時(shí),由該三段切割線同時(shí)對(duì)三個(gè)晶體硅棒進(jìn)行切割作業(yè)。 本實(shí)用新型之金剛線切片機(jī)中,所述第三切割輥與第一切割輥之間的金剛線與所述第一切割輥與第二切割輥之間的金剛線所成的夾角等于所述第四切割輥與第二切割輥之間的金剛線與所述第一切割輥與第二切割輥之間的金剛線所成的夾角。具體的,所述的夾角為10°至30°之間的夾角。本實(shí)用新型之金剛線切片機(jī)還包括多個(gè)送件治具,分別設(shè)置在所述機(jī)架上,用于運(yùn)送所述晶體硅棒壓迫所述第一切割輥與第三切割輥之間、所述第三切割輥與第四切割輥之間、以及所述第四切割輥與第二切割輥之間的三段切割線以對(duì)三個(gè)晶體硅棒同時(shí)進(jìn)行切割。如上所述,本實(shí)用新型主要是在分別位于エ件切割區(qū)相對(duì)兩側(cè)的第一、第二切割輥之間再設(shè)置兩個(gè)相對(duì)平行且位于同一水平面的第三、第四切割輥,以在第一與第二切割輥之間上側(cè)形成多段等長(zhǎng)的切割線,達(dá)到了一次對(duì)多個(gè)晶體硅棒切割的目的,如此設(shè)計(jì),不但解決了現(xiàn)有技術(shù)中因兩側(cè)切割輥的設(shè)置間距大,致使鋼線跨度大,進(jìn)而造成切割時(shí)鋼線繞曲度過(guò)大,容易造成切割不良的問(wèn)題,提高產(chǎn)品合格率,而且可以同時(shí)對(duì)多個(gè)晶體硅棒進(jìn)行切割作業(yè),也提高了設(shè)備的運(yùn)行效率,即有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)。
圖I顯示為本實(shí)用新型金剛線切片機(jī)的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)示意圖。圖2顯示為本實(shí)用新型金剛線切片機(jī)的切割原理示意圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖I及圖2,圖I顯示為本實(shí)用新型金剛線切片機(jī)的簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)示意圖;圖2顯示為本實(shí)用新型金剛線切片機(jī)的切割原理示意圖。需要說(shuō)明的是,本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想,遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制,其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為ー種隨意的改變,且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。如圖所示,本實(shí)用新型提供ー種金剛線切片機(jī)1,用于同時(shí)對(duì)多個(gè)晶體硅棒16進(jìn)行切割作業(yè),在本實(shí)施例中,所述晶體硅棒15為單晶硅棒、多晶硅棒或藍(lán)寶石硅棒,在本實(shí)施方式中,所述金剛線切片機(jī)I至少包括機(jī)架10,第一切割輥11,第二切割輥12,第三切割輥13,第四切割輥13,金剛線15以及送件治具17。所述機(jī)架10具有一エ件切割區(qū)100 ;所述第一切割輥11設(shè)置在所述エ件切割區(qū)100的ー側(cè);所述第二切割12輥設(shè)置在所述エ件切割區(qū)100的另ー側(cè),所述第二切割12與所述第一切割輥11相對(duì)平行且位于同一水平面上;在本實(shí)施方式中,所述第一切割輥11與所述第二切割輥12位于同一水平高度。[0015]所述第三切割輥13設(shè)置在所述第一切割輥11與第二切割輥12之間,而且,所述第三切割輥13位于所述第一切割輥11與第二切割輥12同一水平面的上側(cè),且所述第三切割輥13至第一切割輥11的間距小于第三切割輥13至第二切割輥12的間距,而且,在本實(shí)施方式中,所述第三切割輥13至第一切割輥11的間距小于第一切割輥11至第二切割輥12的間距。所述第四切割輥14設(shè)置在所述第一切割輥11與第二切割輥12之間,且所述第四切割輥14與所述第三切割輥13相對(duì)平行且位于同一水平面上,所述第四切割輥14至第三切割輥13的間距等于所述第三切割輥13至第一切割輥11的間距,以及所述第四切割輥14至第三切割輥13的間距等于所述第四切割輥14至第二切割輥12的間距;換言之,所述第四切割輥14至第三切割輥13的間距、所述第三切割輥13至第一切割輥11的間距、以及所述第四切割輥14至第二切割輥12的間距是相同的。所述金剛線15依次纏繞于所述第一切割輥11、第三切割輥13、第四切割輥14與第二切割輥12上,并在所述第一切割輥11與第三切割輥13之間,在所述第三切割輥13與 第四切割輥14之間,以及在所述第四切割輥14與第二切割輥12之間分別形成三段等長(zhǎng)的切割線,在所述金剛線15高速運(yùn)行時(shí),由該三段切割線同時(shí)對(duì)三個(gè)晶體硅棒16進(jìn)行切割作業(yè)。在本實(shí)施方式中,所述第三切割輥13與第一切割輥11之間的金剛線15延長(zhǎng)線與所述第一切割輥11與第二切割輥12之間的金剛線15所成的夾角等于所述第四切割輥14與第二切割輥12之間的金剛線15與所述第一切割輥11與第二切割輥12之間的金剛線所成的夾角。在本實(shí)施方式中,所述夾角(呈如圖2中虛線所示的a角)是有各段金剛線15的延長(zhǎng)線(即圖2所示的虛線)所形成的夾角得出的。具體的,所述的夾角為10°至30°之間的夾角。即10° < a <30°,這樣才能保證所述三段等長(zhǎng)的切割線小于第一切割輥11至第二切割輥12的之間的金剛線15長(zhǎng)度。在本實(shí)施方式中,所述金剛線15纏繞于所述第一切割輥11、第三切割輥13、第四切割輥14與第二切割輥12之間分別形成三段等長(zhǎng)的切割線,在高速運(yùn)行時(shí)可對(duì)晶體硅棒16進(jìn)行切割作業(yè),更詳細(xì)的,在實(shí)際的金剛線切片機(jī)I上,還有貯絲筒(未圖示)以及驅(qū)動(dòng)所述貯絲筒的電機(jī)(未圖示),藉由該電機(jī)帶動(dòng)所述貯絲筒旋轉(zhuǎn),進(jìn)而使其收線或放線而使得所述金剛線14高速運(yùn)行。如圖I所示,本實(shí)用新型之金剛線切片機(jī)I還包括三個(gè)送件治具17,分別設(shè)置在所述機(jī)架10上,用于運(yùn)送所述晶體硅棒16壓迫所述第一切割輥11與第三切割輥13之間、所述第三切割輥13與第四切割輥14之間、以及所述第四切割輥14與第二切割輥12之間的三段切割線以對(duì)三個(gè)晶體硅棒16同時(shí)進(jìn)行切割。在本實(shí)施方式中,送件治具17具有用以黏合所述晶體硅棒16 —側(cè)面的黏合介質(zhì),具體地,所述送件治具17的黏合介質(zhì)為黏合膠,該黏合膠將一塊玻璃(未標(biāo)不)一同黏合在晶體娃棒16 —側(cè)面上,待切片完成后,用熱水溶化黏合膠而分離硅片和玻璃。請(qǐng)參閱圖2,圖2顯示為本實(shí)用新型金剛線切片機(jī)的切割原理示意圖。在實(shí)際的切割過(guò)程中,所述送件治具17運(yùn)送所述晶體硅棒16壓迫所述第一切割輥11與第三切割輥13之間、所述第三切割輥13與第四切割輥14之間、以及所述第四切割輥14與第二切割輥12之間的三段切割線以對(duì)三個(gè)晶體硅棒16同時(shí)進(jìn)行切割。由于上述三段等長(zhǎng)的切割線均小于第一切割輥11至第二切割輥12的之間的金剛線15長(zhǎng)度,所以,當(dāng)所述晶體硅棒16并壓迫使這段較短的切割線時(shí),切割線所產(chǎn)生的繞曲度就會(huì)很小,就不會(huì)像現(xiàn)有技術(shù)中那樣因鋼線的繞曲度過(guò)大而容易造成切割不良的問(wèn)題;再者,由于一條金剛線15的走線系統(tǒng)中就設(shè)置了四個(gè)切割 輥,形成了三段切割線,因而,可以一次性對(duì)三個(gè)晶體硅棒16同時(shí)進(jìn)行切割,與現(xiàn)有技術(shù)相比也增加了切割工件的數(shù)量,提高了設(shè)備的工作效率。綜上所述,本實(shí)用新型主要是在分別位于工件切割區(qū)相對(duì)兩側(cè)的第一、第二切割輥之間再設(shè)置兩個(gè)相對(duì)平行且位于同一水平面的第三、第四切割輥,以在第一與第二切割輥之間上側(cè)形成多段等長(zhǎng)的切割線,達(dá)到了一次對(duì)多個(gè)晶體硅棒切割的目的,如此設(shè)計(jì),不但解決了現(xiàn)有技術(shù)中因兩側(cè)切割輥的設(shè)置間距大,致使鋼線跨度大,進(jìn)而造成切割時(shí)鋼線繞曲度過(guò)大,容易造成切割不良的問(wèn)題,提高產(chǎn)品合格率,而且可以同時(shí)對(duì)多個(gè)晶體硅棒進(jìn)行切割作業(yè),也提高了設(shè)備的運(yùn)行效率,即有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效,而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟習(xí)此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下,對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由后述的權(quán)利要求所涵蓋。
權(quán)利要求1.一種金剛線切片機(jī),其特征在于,至少包括 機(jī)架,具有一工件切割區(qū); 第一切割輥,設(shè)置在所述工件切割區(qū)的一側(cè); 第二切割輥,設(shè)置在所述工件切割區(qū)的另一側(cè),與所述第一切割輥相對(duì)平行且位于同一水平面上; 第三切割輥,設(shè)置在所述第一切割輥與第二切割輥之間,位于所述第一切割輥與第二切割輥同一水平面的上側(cè),且所述第三切割輥至第一切割輥的間距小于第三切割輥至第二切割輥的間距; 第四切割輥,設(shè)置在所述第一切割輥與第二切割輥之間,與所述第三切割輥相對(duì)平行且位于同一水平面上,所述第四切割輥至第三切割輥的間距等于所述第三切割輥至第一切割輥的間距,以及所述第四切割輥至第三切割輥的間距等于所述第四切割輥至第二切割輥的間距;以及 金剛線,依次纏繞于所述第一切割輥、第三切割輥、第四切割輥與第二切割輥上,并在所述第一切割輥與第三切割輥之間、在所述第三切割輥與第四切割輥之間、以及在所述第四切割輥與第二切割輥之間分別形成三段等長(zhǎng)的切割線,在所述金剛線高速運(yùn)行時(shí),由該三段切割線同時(shí)對(duì)三個(gè)晶體硅棒進(jìn)行切割作業(yè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的金剛線切片機(jī),其特征在于所述第三切割輥與第一切割輥之間的金剛線與所述第一切割輥與第二切割輥之間的金剛線所成的夾角等于所述第四切割輥與第二切割輥之間的金剛線與所述第一切割輥與第二切割輥之間的金剛線所成的夾角。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金剛線切片機(jī),其特征在于所述的夾角為10°至30°之間的夾角。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的金剛線切片機(jī),其特征在于還包括多個(gè)送件治具,分別設(shè)置在所述機(jī)架上,用于運(yùn)送所述晶體硅棒壓迫所述第一切割輥與第三切割輥之間、所述第三切割輥與第四切割輥之間、以及所述第四切割輥與第二切割輥之間的三段切割線以對(duì)三個(gè)晶體硅棒同時(shí)進(jìn)行切割。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種金剛線切片機(jī),其至少包括具有一工件切割區(qū)的機(jī)架,分別設(shè)置在工件切割區(qū)兩側(cè)的第一、第二切割輥,設(shè)置在第一、第二切割輥之間的第三及第四切割輥以及金剛線,該第三及第四切割輥相對(duì)平行地位于第一、第二切割輥同一水平面的上側(cè),該金剛線在第一與第三切割輥之間,在第三與第四切割輥之間,以及在第四與第二切割輥之間分別形成三段等長(zhǎng)的切割線,在所述金剛線高速運(yùn)行時(shí),由該三段切割線同時(shí)對(duì)三個(gè)晶體硅棒進(jìn)行切割作業(yè),以此解決現(xiàn)有技術(shù)中因切割輥的設(shè)置方式而致使鋼線繞曲度過(guò)大造成切割不良以及切割工件量少等問(wèn)題。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202412499SQ20122005381
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2012年2月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月19日
發(fā)明者盧建偉 申請(qǐng)人:上海日進(jìn)機(jī)床有限公司