專利名稱：具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機的制作方法
技術領域：
本實用新型 涉及一種多線切割技術，特別是涉及一種采用雙貯絲滾筒的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機。
背景技術：
多線切割技術是目前世界上比較先進的硅片加工技術，它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼線上的切割刃料對半導體等硬脆材料進行摩擦，從而達到切割目的。線切割技術與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內圓切割相比有具有效率高，產能高，精度高等優(yōu)點。在對工件的切割過程中，鋼線通過十幾個導線輪的引導，在主線輥上形成一張線網，而待加工工件通過工作臺的上升下降實現(xiàn)工件的進給，并在壓力泵在的作用下，裝配在設備上的研磨劑自動噴灑裝置將研磨劑噴灑至鋼線和工件的切削部位，由鋼線帶動研磨劑往復運動，利用研磨砂對工件產生切削，以將半導體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片，在上述的作業(yè)中，鋼線的作用舉足輕重，但即便最好的鋼線，其延伸度及耐磨度也是有限度的，也就是說鋼線在帶動研磨劑往復運動中會逐漸變細，直至最終被拉斷。在現(xiàn)有技術中，常見的線切割設備(機床)都會設計鋼線張力補償機構，為彌補鋼線往返行走中的延伸度，例如，業(yè)內常見的單貯絲滾筒的截斷機，其采用采用了單一貯絲筒及電機，并配合有切割線的張力補償裝置，用以克服鋼線在左、右運動中產生的張力，然該種切割設備雖然因采用單貯絲滾筒而降低了設備的構造成本，然，所述單貯絲滾筒的截斷機中鋼線的產生的張力往往不能被其補償裝置完全吸收，因而對鋼線的張力控制而言，其穩(wěn)定性較差，也很容易導致鋼線被拉斷或者松弛而影響到切割作業(yè)；再者，其響應速度也很慢，且單貯絲滾筒的調節(jié)難度也比較大，操作步驟也相當繁瑣，增加了調節(jié)的技術難度。另外，現(xiàn)有技術中采用的鋼線往往需要配合研磨劑才能進行切割作業(yè)，不但增加了用料成本，也會導致后續(xù)對設備及工件的清洗十分不便，而且研磨液的回收難度很大，對工件的污染也比較嚴重，實為不容忽視的一大問題。所以，如何提供一種線切割設備，以避免以上所述的缺點，實為相關領域之業(yè)者目前亟待解決的問題。
發(fā)明內容鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，以解決現(xiàn)有技術中的設備張力穩(wěn)定性差、調節(jié)不夠便利以及響應速度慢等問題。本實用新型的另一目的在于提供一種具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，以降低用料的成本、解決工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題。為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于，所述具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機至少包括機架，第一貯絲筒，第二貯絲筒，金剛線，以及張力監(jiān)測裝置。所述機架具有用于放置工件的切割工作臺面，設于所述機架上的多個導向輪，以及位于所述切割工作臺面上側之兩個切割輥；所述第一貯絲筒設置于所述機架一側，并軸接有用于驅動所述第一貯絲筒于正向或逆向旋轉的第一電機；所述第二貯絲筒設置于所述機架之另一側并于所述第一貯絲筒相對平行，并軸接有用于驅動所述第二貯絲筒于正向或逆向旋轉的第二電機；所述金剛線之一端單層纏繞于所述第一貯絲筒，其另一端單層纏繞于所述第二貯絲筒，所述金剛線經由所述多個導向輪導向后于所述兩個切割輥間形成切割網，對所述工件進行切割作業(yè)；所述張力監(jiān)測裝置電性連接于所述第一電機及第二電機，用以在金剛線產生張力時，藉由所述第一電機或第二電機驅動第一貯絲筒或第二貯絲筒將所述張力吸收。本實用新型之具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機中，所述切割輥相對可升降地設置于所述機架，于進行切割作業(yè)時，所述切割輥降下來以對放置在切割 工作臺面上的工件進行切割。所述金剛線的表層具有金剛砂，于切割過程中不需配合研磨劑。所述第一貯絲筒為放線筒，所述第二貯絲筒為收線筒，換言之，所述第一貯絲筒正向旋轉時，所述第二貯絲筒逆向旋轉。如上所述，本實用新型的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，采用雙貯絲筒進行收放線并配合有張力監(jiān)測裝置技術，以解決現(xiàn)有技術中的設備張力穩(wěn)定性差、調節(jié)不夠便利以及響應速度慢等問題；再者，本實用新型之具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機中，采用表層具有金剛砂的金剛線作為切割線，避免了浪費用料、解決了工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題，進而提高產品合格率也提高了設備的運行效率，即有效克服了現(xiàn)有技術中的種種缺點。

圖I顯示為本實用新型的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機的走絲原理示意圖。圖2顯示為本實用新型的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機的簡化結構示意圖。元件標號的簡單說明11 機架111切割工作臺面112 立柱12導向輪13切割輥131導絲輪132滑動件14第一貯絲筒141 第一電機15第二貯絲筒151 第二電機16金剛線17張力監(jiān)測裝置具體實施方式
以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭示的內容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的具體實方式加以實施或應用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應用，在不背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。請參閱圖I及圖2，圖 I顯示為本實用新型的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機的走絲原理示意圖。圖2顯示為本實用新型的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機的簡化結構示意圖。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實用新型的基本構想，遂圖式中僅顯示與本實用新型的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機有關的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復雜。如圖所示，本實用新型提供一種具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，用于對例如晶體硅等工件2進行切割或截斷作業(yè)，在本實施例中，所述具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機至少包括機架11，第一貯絲筒14，第二貯絲筒15，金剛線16，以及張力監(jiān)測裝置17。所述機架11具有用于放置工件2的切割工作臺面111，設于所述機架11上的多個導向輪12，以及位于所述切割工作臺面111上側之兩個切割輥13 ;在本實施例中，所述多個
導向輪12分別為橫向導向輪、縱向導向輪、以及斜向導向輪等，在圖示中并未--展示，特
此述明。所述機架11還包括有四根互相平行的立柱112，所述兩個切割輥13藉由一滑動件132相對可升降地跨設于所述立柱11上2，于進行切割作業(yè)時，所述切割輥13降下來以對放置在切割工作臺面111上的工件2進行切割。具體的實施方式中，所述切割輥13上具有對應所述導向輪12的導絲輪131，更為具體的，所述導絲輪131具有一個即用切割槽及多個備用切割槽(均未圖示)，所述金剛線16經由所述導絲輪131引導并纏繞在所述切割輥的即用切割槽中，以確保所述金剛線16在反復運行中不發(fā)生跳絲現(xiàn)象。所述第一貯絲筒14設置于所述機架11的一側，并軸接有用于驅動所述第一貯絲筒14于正向或逆向旋轉的第一電機141 ;所述第二貯絲筒15設置于所述機架11之另一側，并于所述第一貯絲筒14相對平行，所述第二貯絲筒15軸接有用于驅動所述第二貯絲筒15于正向或逆向旋轉的第二電機152 ;在本實施例中，當所述第一貯絲筒14為放線筒時，所述第二貯絲筒15為收線筒，換言之，所述第一貯絲筒14正向旋轉時，所述第二貯絲筒15逆向旋轉。本實用新型采用雙貯絲筒進行收放線的技術，于切割過程中，容易調節(jié)，再者，當所述金剛線16由于受力被拉長時，尤其該延伸增長的部分過長時，可藉由其中一只貯絲筒將延伸增長的一部分鋼線卷取，具有很好的張力穩(wěn)定性，且調節(jié)非常便利，響應速度也很快。所述金剛線16之一端單層纏繞于所述第一貯絲筒14，其另一端單層纏繞于所述第二貯絲筒15，具體的，所述金剛線16經由所述多個導向輪12導向后于所述兩個切割輥13間形成切割網，對所述工件2進行切割作業(yè)；本實用新型還要重點指出的是，本實用新型之具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機所采用的切割絲為表層具有金剛砂的金剛線16，選用該種金剛線16在加工過程中避免使用具有研磨砂的研磨液，不但減少了用料成本，也解決了工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題。所述張力監(jiān)測裝置17電性連接于所述第一電機141及第二電機151，用以在金剛線15產生張力時，藉由所述第一電機141或第二電機151驅動第一貯絲筒14或第二貯絲筒15將所述張力吸收。于具體的實施方式中，所述張力監(jiān)測裝置17由一機械式張力檢測臂及與之相連的張力傳感器(均未圖示)組成，由所述傳感器輸出反映收線張力大小的電流或電壓信號，并配合有例如由電源電路，A/D轉換器或D/A轉換器、可編程序控制器PLC、通訊接口等計算控制系統(tǒng)對所述第一電機141或第二電機151發(fā)出指令，藉由所述第一電機141或第二電機151驅動第一貯絲筒14或第二貯絲筒15將產生的張力吸收掉，進而保持切割作業(yè)中的金剛線15的張力平衡，解決了以前截斷機中常出現(xiàn)的鋼絲張力不穩(wěn)定、易斷絲、易壓絲等問題。綜上所述，本實用新型的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，采用雙貯絲筒進行收放線并配合有張力監(jiān)測裝置技術，以解決現(xiàn)有技術中的設備張力穩(wěn)定性差、調節(jié)不夠便利以及響應速度慢等問題；再者，本實用新型之具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機中，采用表層具有金剛砂的金剛線作為切割線，避免了浪費用料、解決了工件清洗不方便、研磨液回收難度大，以及對工件污染嚴重的問題，進而提高產品合格率也提高了設備的運行效率，即有效 克服了現(xiàn)有技術中的種種缺點而具高度產業(yè)利用價值。上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟習此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由后述的權利要求所涵蓋。
權利要求1.一種具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于，所述具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機至少包括 機架，具有用于放置工件的切割工作臺面，設于所述機架上的多個導向輪，以及位于所述切割工作臺面上側之兩個切割輥； 第一貯絲筒，設置于所述機架一側，并軸接有用于驅動所述第一貯絲筒于正向或逆向旋轉的第一電機； 第二貯絲筒，設置于所述機架之另一側并于所述第一貯絲筒相對平行，并軸接有用于驅動所述第二貯絲筒于正向或逆向旋轉的第二電機； 金剛線，其一端單層纏繞于所述第一貯絲筒，其另一端單層纏繞于所述第二貯絲筒，所述金剛線經由所述多個導向輪導向后于所述兩個切割輥間形成切割網，對所述工件進行切割作業(yè)；以及 張力監(jiān)測裝置，電性連接于所述第一電機及第二電機，用以在金剛線產生張力時，藉由所述第一電機或第二電機驅動第一貯絲筒或第二貯絲筒將所述張力吸收。
2.如權利要求I所述的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述切割輥相對可升降地設置于所述機架。
3.如權利要求I所述的具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，其特征在于所述金剛線的表層具有金剛砂。
專利摘要本實用新型提供一種具有雙貯絲滾筒的金剛線截斷機，其至少包括具有切割工作臺面、多個導向輪及兩個切割輥的機架；藉由第一及第二電機驅動于正向或逆向旋轉的第一貯絲筒及第二貯絲筒；一端單層纏繞于第一貯絲筒另一端單層纏繞于第二貯絲筒的金剛線；及電性連接于第一及第二電機的張力監(jiān)測裝置，該金剛線由多個導向輪導向后在兩個切割輥間形成切割網，對工件進行切割作業(yè)；該張力監(jiān)測裝置用以在金剛線產生張力時，由第一或第二電機驅動第一或第二貯絲筒將張力吸收。本實用新型解決了現(xiàn)有技術中的設備張力穩(wěn)定性差、調節(jié)不夠便利及響應速度慢等問題；再者所采用的金剛線避免了浪費用料、工件清洗不方便、研磨液回收難及對工件污染嚴重的問題。
文檔編號B28D5/04GK202412500SQ20122005381
公開日2012年9月5日 申請日期2012年2月19日 優(yōu)先權日2012年2月19日
發(fā)明者盧建偉 申請人:上海日進機床有限公司