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      具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī)的制作方法

      文檔序號(hào):1796335閱讀:413來(lái)源:國(guó)知局
      專(zhuān)利名稱(chēng):具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備,是一種多線切割機(jī),具體地說(shuō)是涉 及具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī)。
      背景技術(shù)
      [0002]切割半導(dǎo)體晶塊是在多線切割機(jī)上進(jìn)行的,現(xiàn)有技術(shù)中的切割機(jī)是這樣的它具 有機(jī)架,機(jī)架上具有固定框,固定框用以固定半導(dǎo)體晶棒,機(jī)架上具有線輪,線輪纏繞切割 線,現(xiàn)有技術(shù)中,在半導(dǎo)體晶棒切割時(shí)沒(méi)有冷卻裝置,影響了晶棒的切割效率。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn),提供一種生產(chǎn)效率高、切割線經(jīng)久耐用的 切割機(jī)——具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī)。[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī),包括機(jī)架,機(jī) 架上具有固定框,其特征是所述的固定框下面設(shè)置有接水盤(pán),接水盤(pán)下面有出水管,出水 管連接有水泵,水泵連接噴頭,噴頭朝著固定框。[0005]本實(shí)用新型的有益效果是這樣的具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī)具有生產(chǎn)效率高、 切割線經(jīng)久耐用的優(yōu)點(diǎn)。


      [0006]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。[0007]其中1、機(jī)架 2、固定框 3、接水盤(pán) 4、出水管 5、水泵[0008]6、噴頭。
      具體實(shí)施方式
      [0009]
      以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。[0010]如圖1所示,具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī),包括機(jī)架1,機(jī)架I上具有固定框2,其 特征是所述的固定框2下面設(shè)置有接水盤(pán)3,接水盤(pán)3下面有出水管4,出水管4連接有水 泵5,水泵5連接噴頭6,噴頭6朝著固定框。[0011]使用時(shí),循環(huán)水可以添加碳化硅粉末和乙二醇,這樣增加切割的效率,還具有冷卻作用。
      權(quán)利要求1.具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī),包括機(jī)架,機(jī)架上具有固定框,其特征是所述的固定框下面設(shè)置有接水盤(pán),接水盤(pán)下面有出水管,出水管連接有水泵,水泵連接噴頭,噴頭朝著固定框。
      專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的設(shè)備,是具有循環(huán)淋水裝置的切割機(jī),包括機(jī)架,機(jī)架上具有固定框,其特征是所述的固定框下面設(shè)置有接水盤(pán),接水盤(pán)下面有出水管,出水管連接有水泵,水泵連接噴頭,噴頭朝著固定框,使用時(shí),循環(huán)水可以添加碳化硅粉末和乙二醇,這樣增加切割的效率,還具有冷卻作用,還具有生產(chǎn)效率高、切割線經(jīng)久耐用的優(yōu)點(diǎn)。
      文檔編號(hào)B28D7/02GK202826114SQ20122041106
      公開(kāi)日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月20日
      發(fā)明者劉寶成 申請(qǐng)人:河南恒昌電子有限公司
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