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      改進的石英爐臺遮熱板的制作方法

      文檔序號:1796421閱讀:282來源:國知局
      專利名稱:改進的石英爐臺遮熱板的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實用新型涉及遮熱板裝置,具體為一種改進的石英爐臺遮熱板。
      背景技術(shù)
      單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料,隨著國內(nèi)和國際市場對單晶硅片需求量的快速增加,單晶硅棒的市場需求也呈快速增長趨勢,制作單晶硅棒所使用的石英坩堝的需求量也快速增加。現(xiàn)在制作石英坩堝采用電弧法,期間要使用石英爐臺遮熱板,但是現(xiàn)有的石英爐臺遮熱板,由四塊方形板組成,中間形成一個方形的孔,不易安裝,而且因為電弧不穩(wěn)定,在放電的時候容易對遮熱板產(chǎn)生水銹點而造成產(chǎn)品報廢,降低了產(chǎn)品的合格率。

      實用新型內(nèi)容本實用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種改進的石英爐臺遮熱板,以解決上述背景技術(shù)中的缺點。本實用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)改進的石英爐臺遮熱板,包括板體,所述板體上設(shè)有遮熱板孔,所述遮熱板孔為錐度孔,所述板體的側(cè)面開有觀察孔,所述板體的厚度為100mm。本實用新型中,所述錐度孔的上口徑為300mm,下口徑為500mm。有益效果本實用新型易于安裝,而且解決了電弧不穩(wěn)定造成的產(chǎn)品報廢問題,提高了產(chǎn)品的合格率。

      圖1為改進的石英爐臺遮熱板的俯視圖。圖2為圖1的B-B方向截面圖。
      具體實施方式
      為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解,下面結(jié)合具體圖示,進一步闡述本實用新型。參見圖1和圖2,改進的石英爐臺遮熱板的俯視圖和圖1的B-B方向截面圖,現(xiàn)有的遮熱板孔徑為300mm,厚度為500mm,生產(chǎn)過程中,電弧的不穩(wěn)定性直接對遮熱板放電造成產(chǎn)品產(chǎn)生水銹點,造成產(chǎn)品報廢,如果單純得把孔 徑改大又會影響保溫作用。改進的石英爐臺遮熱板,包括板體3,所述板體上設(shè)有遮熱板孔1,所述遮熱板孔I為錐度孔,所述板體3的側(cè)面開有觀察孔2。所述錐度孔的上口徑為300mm,下口徑為500mm,所述板體3的厚度為100mm,解決了電弧不穩(wěn)定造成的產(chǎn)品報廢問題,在原產(chǎn)品合格率基礎(chǔ)上提高了 2%。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征及本實用新型的優(yōu)點,本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進,這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi),本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán) 利要求書及其等效物界定。
      權(quán)利要求1.改進的石英爐臺遮熱板,包括板體,所述板體上設(shè)有遮熱板孔,其特征在于,所述遮熱板孔為錐度孔,所述板體的側(cè)面開有觀察孔,所述板體的厚度為100mm。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進的石英爐臺遮熱板,其特征在于,所述錐度孔的上口徑為 300mm,下口徑為 500mm。
      專利摘要改進的石英爐臺遮熱板,包括板體,所述板體上設(shè)有遮熱板孔,所述遮熱板孔為錐度孔,所述板體的側(cè)面開有觀察孔,所述板體的厚度為100mm,所述錐度孔的上口徑為300mm,下口徑為500mm。本實用新型易于安裝,而且解決了電弧不穩(wěn)定造成的產(chǎn)品報廢問題,提高了產(chǎn)品的合格率。
      文檔編號C03B20/00GK202898219SQ20122041533
      公開日2013年4月24日 申請日期2012年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月21日
      發(fā)明者羅松波, 張啟達, 鄧寅 申請人:江西中昱新材料科技有限公司
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