專(zhuān)利名稱(chēng)：一種用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶硅棒破方輔助設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置。
背景技術(shù)：
單晶硅片是一種廣泛使用的電子元器件，單晶硅片是在單晶硅棒的基礎(chǔ)上，通過(guò)滾磨、倒角等工藝切割出來(lái)的，目前，通過(guò)直拉法和區(qū)熔法生成的單晶硅棒多為圓柱形，在將單晶硅棒加工成單晶硅片的過(guò)程中，首先需要將圓柱形的單晶硅棒加工成方形，也即對(duì)單晶硅片進(jìn)行破方工藝。在對(duì)單晶硅棒破方時(shí)，首先將單晶硅棒的一端粘接在托盤(pán)上，而后將單晶硅棒放置在破方機(jī)的工作臺(tái)上，并擺放在合適的位置，通過(guò)破方機(jī)進(jìn)行破方，且一般是多根(根據(jù)破方機(jī)的加工能力，通常為16根)同時(shí)加工。在傳統(tǒng)的工藝中，需要通過(guò)人工搬運(yùn)的方式將單晶硅棒抬上工作臺(tái)，而每根單晶硅棒的質(zhì)量在35公斤左右，工作臺(tái)高I. O米，工人在不借助其他工具的條件下搬運(yùn)單晶硅棒，非常消耗工人體力，且搬運(yùn)過(guò)程很容易造成晶棒磕碰和工人受傷。在實(shí)際工作過(guò)程中，可以考慮借助電動(dòng)叉車(chē)等工程用起重設(shè)備輔助搬運(yùn)單晶硅棒，但是，由于單晶硅棒的質(zhì)地較脆，在用起重設(shè)備輔助搬運(yùn)時(shí)，單晶硅棒的固定較為困難，極易造成磕碰，導(dǎo)致單晶硅棒的損壞。因此，設(shè)計(jì)一種專(zhuān)用工裝，配合工程起重設(shè)備吊起單晶硅棒，從而降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)避免單晶硅棒在搬運(yùn)過(guò)程中發(fā)生磕碰，保證搬運(yùn)過(guò)程的可靠性和安全性，就成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其配合工程起重設(shè)備吊起單晶硅棒，從而降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)避免單晶硅棒在搬運(yùn)過(guò)程中發(fā)生磕碰，保證搬運(yùn)過(guò)程的可靠性和安全性。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，包括底座和豎直安裝于所述底座上的第一立柱和第二立柱，所述底座朝向兩立柱延伸方向的上表面通過(guò)安裝部件與待加工單晶硅棒固定連接，兩所述立柱在朝向工件安裝方向上的距離大于所述待加工單晶硅棒的外徑。優(yōu)選地，所述底座的橫截面形狀為圓形，兩所述立柱沿所述底座的直徑方向設(shè)置。優(yōu)選地，還包括第三立柱，所述第三立柱在所述底座周向上的位置位于所述第一立柱與所述第二立柱之間。優(yōu)選地，所述第一立柱、所述第二立柱和所述第三立柱的高度均大于所述待加工單晶硅棒的高度，且三個(gè)立柱在遠(yuǎn)離所述底座的一端通過(guò)橫梁固定連接。優(yōu)選地，各所述立柱與所述橫梁之間均設(shè)置有加強(qiáng)筋。優(yōu)選地，還包括設(shè)置于所述橫梁上方的吊環(huán)。[0012]優(yōu)選地，還包括緊固部件，所述緊固部件設(shè)置于遠(yuǎn)離所述第三立柱的一側(cè)，并貼合于所述待加工單晶娃棒。優(yōu)選地，所述緊固部件為垂直于各所述立柱設(shè)置的彈性索。優(yōu)選地，所述彈性索的數(shù)目為多個(gè)，各所述彈性索沿各所述立柱的軸向分散設(shè)置。本實(shí)用新型所提供的工裝裝置用于單晶硅棒破方工藝中，以輔助破方工藝中的單晶硅棒搬運(yùn)。該工裝裝置包括底座、第一立柱和第二立柱，其中，第一立柱和第二立柱豎直安裝于所述底座上，并相對(duì)于底座向上延伸，底座朝向兩立柱延伸方向的表面，即底座的上表面上具有安裝部件，并通過(guò)該安裝部件與待加工單晶硅棒固定連接，兩立柱在待加工單晶硅棒安裝方向上的距離大于待加工單晶硅棒的外徑，以保證待加工單晶硅棒的順利放入。在破方開(kāi)始之前，需要先將待加工單晶硅棒搬運(yùn)至工作臺(tái)上，此時(shí)，先將待加工單·晶硅棒放置在工裝裝置上，并令其底面與底座的上表面固定連接，通過(guò)第一立柱和第二立柱限制待加工單晶硅棒在橫向的自由度，避免硅棒移動(dòng)，同時(shí)也避免其他物體與硅棒發(fā)生碰撞，而后通過(guò)電動(dòng)叉車(chē)等工程起重設(shè)備起吊工裝裝置，將工裝裝置連同待加工單晶硅棒一起搬運(yùn)至破方機(jī)的工作臺(tái)上。這樣，在搬運(yùn)過(guò)程中無(wú)需人工抬起待加工單晶硅棒，降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度；同時(shí)，工裝裝置降低了起吊設(shè)備吊起單晶硅棒的難度，避免了待加工單晶硅棒在搬運(yùn)過(guò)程中發(fā)生碰撞，提高了搬運(yùn)過(guò)程的可靠性和安全性。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型所提供的工裝裝置還包括第三立柱，第三立柱在底座周向上的位置位于所述第一立柱與所述第二立柱之間，以便進(jìn)一步保證待加工單晶硅棒的搬運(yùn)安全性。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型所提供工裝裝置還包括緊固部件，該緊固部件設(shè)置于遠(yuǎn)離第三立柱的一側(cè)，并貼合于待加工單晶硅棒；這樣，在硅棒放入工裝裝置后，工裝裝置沒(méi)有防護(hù)立柱的開(kāi)口一端通過(guò)緊固部件封閉，以便保證待加工單晶硅棒在搬運(yùn)過(guò)程中的安全性。

圖I為本實(shí)用新型所提供的工裝裝置一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I所示工裝裝置與待加工單晶硅棒的裝配圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心是提供一種用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其配合工程起重設(shè)備吊起單晶硅棒，從而降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)避免單晶硅棒在搬運(yùn)過(guò)程中發(fā)生磕碰，保證搬運(yùn)過(guò)程的可靠性和安全性。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖I和圖2，圖I為本實(shí)用新型所提供的工裝裝置一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I所示工裝裝置與待加工單晶娃棒的裝配圖。在一種具體實(shí)施方式
中，實(shí)用新型所提供的工裝裝置用于單晶硅棒破方工藝中，以輔助破方工藝中的單晶硅棒搬運(yùn)。該工裝裝置包括底座I、第一立柱21和第二立柱22，其中，第一立柱21和第二立柱22豎直安裝于所述底座I上，并相對(duì)于底座I向上延伸，底座I朝向兩立柱延伸方向的表面，即底座I的上表面上具有安裝部件，并通過(guò)該安裝部件與待加工單晶硅棒3固定連接，第一立柱21和第二立柱22之間要形成一個(gè)能夠容納待加工單晶硅棒3的開(kāi)口，即兩立柱在待加工單晶硅棒3安裝方向上的距離大于待加工單晶硅棒3的外徑，以保證待加工單晶硅棒3的順利放入和取出。第一立柱21與第二立柱22之間形成的開(kāi)口大小應(yīng)根據(jù)實(shí)際匹配的硅棒確定，只要兩者之間的開(kāi)口能夠使得硅棒順利通過(guò)即可，開(kāi)口的具體大小，即兩立柱之間的具體距離在此不作限定。底座I、第一立柱21和第二立柱22的材料可以均為鑄鐵材料，第一立柱21和第 二立柱22焊接在底座I上，鑄鐵具有足夠的強(qiáng)度和硬度，且成本較低，便于焊接加工 ；顯然地，底座I、第一立柱21和第二立柱22的材料也不局限于鑄鐵，其也可以為本領(lǐng)域中常規(guī)使用的其他金屬材料，例如不銹鋼等。上述底座I的橫截面形狀可以為圓形，兩立柱沿底座I的直徑方向設(shè)置，由于單晶硅棒為圓柱形，令底座I的表面為圓形能夠更好地與待加工單晶硅棒3相契合，且立柱更加容易布置。顯然地，底座I的橫截面形狀也不局限于圓形，從理論上來(lái)講，底座I的橫截面可以為任何規(guī)則或者不規(guī)則的形狀，例如方形、橢圓形等。需要指出的是，通常在待加工單晶硅棒3搬運(yùn)上工作上之前，都會(huì)在硅棒的一端安裝托盤(pán)8，通過(guò)托盤(pán)8安裝在工作臺(tái)上；因此，在使用本實(shí)用新型所提供的工裝裝置時(shí)，一般是通過(guò)托盤(pán)8與底座I的固定連接，實(shí)現(xiàn)待加工單晶硅棒3與底座I的固定連接。托盤(pán)8與底座I的固定連接方式可以為粘接，也可以為本領(lǐng)域中常規(guī)使用的其他固定連接方式，例如卡裝等。在破方開(kāi)始之前，需要先將待加工單晶硅棒3搬運(yùn)至工作臺(tái)上，此時(shí)，先將待加工單晶硅棒3放置在工裝裝置上，并令其底面與底座I的上表面固定連接，通過(guò)第一立柱21和第二立柱22限制待加工單晶硅棒3在橫向的自由度，避免硅棒移動(dòng)，同時(shí)也避免其他物體與硅棒發(fā)生碰撞，而后通過(guò)電動(dòng)叉車(chē)等工程起重設(shè)備起吊工裝裝置，將工裝裝置連同待加工單晶娃棒3 —起搬運(yùn)至破方機(jī)的工作臺(tái)上。這樣，在搬運(yùn)過(guò)程中無(wú)需人工抬起待加工單晶硅棒3，降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度；同時(shí)，工裝裝置降低了起吊設(shè)備吊起單晶硅棒的難度，避免了待加工單晶硅棒3在搬運(yùn)過(guò)程中發(fā)生碰撞，提高了搬運(yùn)過(guò)程的可靠性和安全性。在上述具體實(shí)施方式
的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型所提供的工裝裝置還包括第三立柱，第三立柱在底座I周向上的位置位于所述第一立柱21與所述第二立柱22之間，以便進(jìn)一步保證待加工單晶硅棒3的搬運(yùn)安全性。上述第三立柱的數(shù)目可以為多個(gè)，即在第一立柱21與第二立柱22之間可以有多個(gè)立柱；或者，上述第三立柱的功能可以由弧形面取代，即設(shè)置連接第一立柱21和第二立柱22的弧形面。第一立柱21、第二立柱22和第三立柱的高度均大于待加工單晶硅棒3的高度，且三個(gè)立柱在遠(yuǎn)離所述底座I的一端通過(guò)橫梁4固定連接，以提高三立柱形成的安裝架的強(qiáng)度。優(yōu)選地，上述三個(gè)立柱的高度相等，顯然地，也不局限于三個(gè)立柱的高度相等。各立柱與橫梁4之間可以均設(shè)置有加強(qiáng)筋5，以便進(jìn)一步提高三個(gè)立柱和橫梁4形成的安裝架的強(qiáng)度。上述工裝裝置還可以包括設(shè)置于所述橫梁4上方的吊環(huán)6，這樣，通過(guò)電葫蘆等吊裝設(shè)備時(shí)，通過(guò)勾住吊環(huán)6起吊工裝裝置和硅棒，以方便吊裝作業(yè)。本實(shí)用新型所提供工裝裝置還包括緊固部件7，該緊固部件7設(shè)置于遠(yuǎn)離第三立柱的一側(cè)，并貼合于待加工單晶硅棒；這樣，在硅棒放入工裝裝置后，工裝裝置沒(méi)有防護(hù)立柱的開(kāi)口一端通過(guò)緊固部件7封閉，以便保證待加工單晶硅棒3在搬運(yùn)過(guò)程中的安全性。緊固部件7可以為垂直于各立柱設(shè)置的彈性索，或者皮筋等，當(dāng)硅棒未安裝與工裝裝置中時(shí)，彈性索或者皮筋一端掛在立柱上，硅棒安裝后，彈性索或者皮筋圍住立柱，并與娃棒貼合。彈性索的數(shù)目為多個(gè)，各彈性索沿各立柱的軸向分散設(shè)置，以提高其防護(hù)性能。以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的一種用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的·說(shuō)明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，包括底座(I)和豎直安裝于所述底座(I)上的第一立柱(21)和第二立柱(22)，所述底座(I)朝向兩立柱延伸方向的上表面通過(guò)安裝部件與待加工單晶硅棒(3)固定連接，兩所述立柱在朝向工件安裝方向上的距離大于所述待加工單晶硅棒(3)的外徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，所述底座(I)的橫截面形狀為圓形，兩所述立柱沿所述底座(I)的直徑方向設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，還包括第三立柱(23 )，所述第三立柱在所述底座(I)周向上的位置位于所述第一立柱(21)與所述第二立柱(22)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，所述第一立柱(21)、所述第二立柱(22)和所述第三立柱的高度均大于所述待加工單晶硅棒(3)的高度，且三個(gè)立柱在遠(yuǎn)離所述底座(I)的一端通過(guò)橫梁(4)固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，各所述立柱與所述橫梁(4)之間均設(shè)置有加強(qiáng)筋(5)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，還包括設(shè)置 于所述橫梁(4)上方的吊環(huán)(6)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3至6任一項(xiàng)所述的用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，還包括緊固部件(7)，所述緊固部件(7)設(shè)置于遠(yuǎn)離所述第三立柱的一側(cè)，并貼合于所述待加工單晶硅棒(3)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，所述緊固部件(7)為垂直于各所述立柱設(shè)置的彈性索。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，其特征在于，所述彈性索的數(shù)目為多個(gè)，各所述彈性索沿各所述立柱的軸向分散設(shè)置。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于單晶硅棒破方工藝的工裝裝置，包括底座和豎直安裝于所述底座上的第一立柱和第二立柱，所述底座朝向兩立柱延伸方向的上表面通過(guò)安裝部件與待加工單晶硅棒固定連接，兩所述立柱在安裝方向的距離大于所述待加工單晶硅棒的外徑。在破方開(kāi)始之前，先將待加工單晶硅棒放置在工裝裝置上，并令其底面與底座的上表面固定連接，而后通過(guò)電動(dòng)叉車(chē)等工程起重設(shè)備起吊工裝裝置，將工裝裝置連同待加工單晶硅棒一起搬運(yùn)至破方機(jī)的工作臺(tái)上；這樣，通過(guò)第一立柱和第二立柱限制待加工單晶硅棒在橫向的自由度，避免其他物體與硅棒發(fā)生碰撞，提高了搬運(yùn)過(guò)程的可靠性和安全性；同時(shí)，無(wú)需人工抬起待加工單晶硅棒，降低了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。
文檔編號(hào)B28D7/04GK202764059SQ201220438298
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月30日
發(fā)明者郭月明, 李雙江, 郭釗, 胡禹銘, 安亮, 史偉, 莫春光 申請(qǐng)人:英利能源(中國(guó))有限公司