啟動(dòng)加注處理方法以及啟動(dòng)加注處理裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠更大程度地減少在啟動(dòng)加注處理中使用的清洗液、縮短干燥處理時(shí)間以及延長(zhǎng)清洗處理用工具和/或干燥處理用工具的使用壽命的啟動(dòng)加注處理方法以及啟動(dòng)加注處理裝置。該啟動(dòng)加注處理裝置在啟動(dòng)加注輥（14）的周圍沿旋轉(zhuǎn)方向配置有具有清洗墊（20）的粗清洗處理部（18）、具有雙流體噴嘴（42）的精清洗處理部（38）、具有擦拭墊（52）的液滴去除部（48）、和包括間隙（58）以及氣體噴嘴（60）的干燥送風(fēng)部（50）。利用清洗墊移動(dòng)機(jī)構(gòu)（24）以及擦拭墊移動(dòng)機(jī)構(gòu)（56）在清洗墊（20）以及擦拭墊（52）與啟動(dòng)加注輥（14）的外周面接觸的第1位置、和清洗墊（20）以及擦拭墊（52）自啟動(dòng)加注輥（14）退避的第2位置之間切換清洗墊（20）以及擦拭墊（52）的位置。
【專利說(shuō)明】啟動(dòng)加注處理方法以及啟動(dòng)加注處理裝置
[0001]本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2010年6月28日、申請(qǐng)?zhí)枮?01010212346.X、發(fā)明名稱為啟動(dòng)加注處理方法以及啟動(dòng)加注處理裝置的申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及一種啟動(dòng)加注處理(priming)方法和啟動(dòng)加注處理裝置，用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備。
【背景技術(shù)】
[0003]在IXD等平板顯示器(FPD)的制造工藝中的光蝕刻工序中，多使用非旋轉(zhuǎn)法，該非旋轉(zhuǎn)法是使具有狹縫狀噴出口的長(zhǎng)條形的狹縫式噴嘴進(jìn)行掃描，從而在玻璃基板等被處理基板上涂敷抗蝕液。
[0004]在這樣的非旋轉(zhuǎn)法中，希望在防止抗蝕劑涂敷膜的膜厚的不均勻性和涂敷不均的基礎(chǔ)上，使在涂敷掃描中噴出到基板上的抗蝕液在掃描方向上繞到狹縫式噴嘴的背面?zhèn)榷纬傻膹澮好?meniscus)在噴嘴長(zhǎng)度方向上對(duì)齊成水平一條直線，因此，在涂敷掃描即將開(kāi)始之前，在狹縫式噴嘴的噴出口和基板之間的涂敷間隙中塞滿適量的抗蝕液而使該噴出口和基板之間不存在間隙是必要條件。為了滿足該必要條件，作為涂敷掃描的預(yù)先準(zhǔn)備，進(jìn)行從狹縫式噴嘴的噴出口到背面下端部形成抗蝕液的液膜的啟動(dòng)加注處理。
[0005]有代表性的啟動(dòng)加注處理法為，在涂敷處理部附近水平地設(shè)置具有與狹縫式噴嘴相同或相同以上長(zhǎng)度的圓筒狀的啟動(dòng)加注輥，使狹縫式噴嘴隔著微小的間隙接近到與啟動(dòng)加注輥的頂部相對(duì)的位置而噴出抗蝕液，之后立即使啟動(dòng)加注輥沿規(guī)定方向旋轉(zhuǎn)。于是，噴出到啟動(dòng)加注輥的頂部附近的抗蝕液繞到狹縫式噴嘴的背面下部而卷繞在啟動(dòng)加注輥的外周面上，抗蝕液的液膜以分開(kāi)成狹縫式噴嘴側(cè)和啟動(dòng)加注輥側(cè)的形式被分離。在狹縫式噴嘴上從噴嘴噴出口到背面下端部殘留有抗蝕液的液膜。
[0006]例如，如專利文獻(xiàn)I所示，以往一般的啟動(dòng)加注處理裝置不僅具有用于驅(qū)動(dòng)啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，還具有用于清潔啟動(dòng)加注輥的刮削器(或刮刀)、清洗噴嘴和干燥噴嘴等，當(dāng)I次啟動(dòng)加注處理結(jié)束時(shí)，作為其后處理，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn)，用刮削器從啟動(dòng)加注輥的外周面刮掉抗蝕液，利用清洗噴嘴和干燥噴嘴分別對(duì)啟動(dòng)加注輥的外周面噴射清洗液和干燥用氣體。
[0007]該種刮削器由長(zhǎng)度與啟動(dòng)加注輥相同或在啟動(dòng)加注輥以上的長(zhǎng)條狀的板體構(gòu)成，沿該刮削器的長(zhǎng)度方向延伸的一邊的邊緣部以與啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)方向逆向的傾斜角度與啟動(dòng)加注輥的外周面始終接觸的方式配置，能夠利用用于安裝刮削器的螺紋構(gòu)件的擰緊量調(diào)整該接觸壓力。
[0008]可是，在I次啟動(dòng)加注處理中，啟動(dòng)加注輥上用于接受從狹縫式噴嘴噴出的抗蝕液而卷繞使用的區(qū)域根據(jù)狹縫式噴嘴、啟動(dòng)加注輥的尺寸不同而不同，然而無(wú)需遍布啟動(dòng)加注輥的整周(360° )，而通常是半周(180° )以下，也可以是1/4周(90° )以下或1/5周(72° )以下。而且，以往一般的啟動(dòng)加注處理裝置每次進(jìn)行啟動(dòng)加注處理時(shí)，作為后處理，像上述那樣使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn),對(duì)啟動(dòng)加注輥的外周面整體(整周)噴射清洗液,因此，存在大量使用清洗液(通常為稀釋劑)的這種問(wèn)題。
[0009]另外，用于將被繞涂在啟動(dòng)加注輥的外周面上的抗蝕液刮落的刮削器存在下述問(wèn)題，即，該刮削器使被刮落的抗蝕液散落在周圍、或容易使抗蝕液附著并積存在刮削器本身上而在進(jìn)行清洗后的干燥處理時(shí)使抗蝕劑的顆粒轉(zhuǎn)移到啟動(dòng)加注輥的干凈的外周面上的問(wèn)題、難以將該刮削器與啟動(dòng)加注輥的接觸壓力調(diào)整或維持為最佳大小的問(wèn)題、以及加快刮削器的消耗劣化而縮短使用壽命的問(wèn)題等。
[0010]本 申請(qǐng)人:為了解決該問(wèn)題，在專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)有如下的啟動(dòng)加注處理法，即，為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使狹縫式噴嘴的噴出口和啟動(dòng)加注輥的上端隔開(kāi)規(guī)定的間隙地相對(duì)，從狹縫式噴嘴噴出恒定量的處理液或涂敷液(例如抗蝕液)，并且使啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度，在該啟動(dòng)加注處理中使用啟動(dòng)加注輥的半周以下的部分表面區(qū)域，在連續(xù)的規(guī)定次數(shù)的啟動(dòng)加注處理結(jié)束之后，遍及啟動(dòng)加注輥的外周面整周一并進(jìn)行清洗。
[0011]該啟動(dòng)加注處理法為，將啟動(dòng)加注輥的外周面沿其旋轉(zhuǎn)方向分開(kāi)成多個(gè)區(qū)域，在連續(xù)的規(guī)定次數(shù)的啟動(dòng)加注處理中依次分配地使用上述的分開(kāi)區(qū)域(部分的表面區(qū)域)，之后遍及啟動(dòng)加注輥的外周面整周一并進(jìn)行清洗。該一并清洗處理一邊利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn)一邊使清洗機(jī)構(gòu)和干燥部動(dòng)作，遍及啟動(dòng)加注輥的外周面整周一并進(jìn)行清洗，在各啟動(dòng)加注處理時(shí)，不需要用于刮掉卷繞在啟動(dòng)加注輥表面的涂敷液的液膜的刮削器，能節(jié)省在啟動(dòng)加注處理后的清洗處理中所消耗的清洗液，并且也能在清洗處理時(shí)防止微粒的產(chǎn)生。
[0012]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2004-167476
[0013]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2007-237046

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]本發(fā)明是本 申請(qǐng)人:在上述專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)的啟動(dòng)加注處理法的改良版，且目的在于根據(jù)個(gè)人觀點(diǎn)提供一種能夠更大程度地減少在啟動(dòng)加注處理中使用的清洗液、此外還能縮短干燥處理時(shí)間以及延長(zhǎng)清洗處理用工具和/或干燥處理用工具的使用壽命的啟動(dòng)加注處理方法以及啟動(dòng)加注處理裝置。
[0015]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的第I技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理方法用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，該方法包括下述工序，即、第I工序，為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該啟動(dòng)加注輥的頂部，使上述狹縫式噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥，從而將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；第2工序，一邊旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注棍一邊使清洗墊與上述啟動(dòng)加注棍的外周面上的繞涂有上述涂敷液的區(qū)域接觸而對(duì)該區(qū)域?qū)嵤┐智逑?第3工序，一邊旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥一邊將清洗液供給到被實(shí)施了上述粗清洗的上述啟動(dòng)加注輥的外周面上而對(duì)該外周面實(shí)施精清洗；第4工序，一邊旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注棍一邊干燥被實(shí)施了上述精清洗的上述啟動(dòng)加注棍的外周面。
[0016]在上述第I技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理方法中，作為在啟動(dòng)加注處理(第I工序)后馬上進(jìn)行的后處理，先在粗清洗工序(第2工序)中將清洗墊按壓在旋轉(zhuǎn)的啟動(dòng)加注輥的外周面上，然后利用附著在該外周面上的涂敷液的液膜與清洗墊的彈性面接觸的摩擦均勻且高效地洗掉該涂敷液。然后，在粗清洗處理后馬上在精清洗工序(第3工序)中利用清洗液徹底地洗掉在啟動(dòng)加注輥上殘留的較薄的液膜。采用該種2階段(粗清洗/精清洗)式清洗處理方式，不僅能夠通過(guò)在啟動(dòng)加注處理工序之后、精清洗工序之前進(jìn)行粗清洗工序而顯著減輕精清洗工序的負(fù)擔(dān)，而且在粗清洗工序中再利用在精清洗工序中用過(guò)的清洗液即可，因此相比以往的處理方法能夠大幅減少清洗液的總使用量。 [0017]在本發(fā)明優(yōu)選的一形態(tài)中，通過(guò)使啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)而使啟動(dòng)加注輥的外周面上的涂敷液在自啟動(dòng)加注輥的頂部位置向底部位置去的中途接受清洗墊的粗清洗。這樣，通過(guò)使在啟動(dòng)加注處理中被繞涂在啟動(dòng)加注棍的頂部附近的涂敷液的液I吳在啟動(dòng)加注棍旋轉(zhuǎn)半周的期間內(nèi)接受粗清洗處理，能夠防止涂敷液的液膜在啟動(dòng)加注輥上進(jìn)行不期望發(fā)生的擴(kuò)散。
[0018]另外，在本發(fā)明優(yōu)選的一形態(tài)中，在粗清洗處理結(jié)束后使清洗墊自啟動(dòng)加注輥離開(kāi)而位于退避位置。由此，能夠防止啟動(dòng)加注輥的外周面中的未用于進(jìn)行啟動(dòng)加注處理的干凈區(qū)域與清洗墊接觸而被弄臟，并且能夠減緩清洗墊的消耗劣化，延長(zhǎng)清洗墊的使用壽命O
[0019]在粗清洗工序中，為了提高由清洗墊進(jìn)行的接觸清洗的效果，優(yōu)選以在清洗墊中浸滲有清洗液的狀態(tài)將該清洗墊按壓到啟動(dòng)加注輥的外周面上。在該情況下，作為浸滲在清洗墊中的溶液，優(yōu)選使用在精清洗工序(第3工序)或干燥工序(第4工序)中回收的清洗液。
[0020]另外，通過(guò)擠壓清洗墊，能夠使清洗墊向外噴出之前吸入的涂敷液。優(yōu)選的一形態(tài)是，在剛剛清洗墊結(jié)束了粗清洗后且在該清洗墊還未離開(kāi)啟動(dòng)加注輥之前、以更大的按壓力將清洗墊按壓到啟動(dòng)加注輥的外周面上從而擠壓清洗墊。這樣,通過(guò)使清洗墊噴出涂敷液,能夠去除清洗墊中的污潰,穩(wěn)定地維持清洗墊的清洗能力。
[0021]在精清洗工序(第3工序)中，優(yōu)選將清洗液與氣體混合而以高壓的雙流體射流的方式將該清洗液噴射到啟動(dòng)加注輥的外周面上。在該情況下，通過(guò)將雙流體射流只噴射到啟動(dòng)加注輥的外周面上的繞涂有涂敷液的規(guī)定區(qū)域上，能夠減少精清洗用的新的清洗液的
消耗量。
[0022]在本發(fā)明優(yōu)選的一形態(tài)中，第4工序包括用于將附著在啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液擦除的第5工序、和用于使殘留在啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液揮發(fā)的第6工序。采用該種2階段(擦除/揮發(fā))式干燥處理方式，通過(guò)在精清洗工序(第3工序)之后、揮發(fā)工序(第6工序)之前進(jìn)行液滴去除工序(第5工序)，能夠大大減輕揮發(fā)工序(第6工序)的負(fù)擔(dān)，縮短干燥處理的總時(shí)間。
[0023]優(yōu)選采用使板狀的擦拭墊與啟動(dòng)加注輥的外周面接觸的方法來(lái)進(jìn)行液滴去除工序(第5工序)。更優(yōu)選使擦拭墊的一端部以朝向啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)方向去的傾斜角度與啟動(dòng)加注輥的外周面接觸。
[0024]另外，在本發(fā)明優(yōu)選的一形態(tài)中，在擦除了液滴后馬上使擦拭墊自啟動(dòng)加注輥離開(kāi)而位于退避位置。由此，不僅能夠防止因擦拭墊與啟動(dòng)加注輥的外周面上的干燥區(qū)域接觸而使該干燥區(qū)域沾上液滴(這會(huì)增加干燥送風(fēng)工序的負(fù)擔(dān)或增加處理時(shí)間)，而且還能減少擦拭墊中的污潰以及減緩擦拭墊的消耗劣化，從而能夠延長(zhǎng)擦拭墊的使用壽命。
[0025]優(yōu)選采用在沿周向的一定區(qū)間內(nèi)形成在啟動(dòng)加注輥的周圍的間隙中、以使干燥用氣體沿與啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向吹過(guò)的方式噴射該干燥用氣體的方法來(lái)進(jìn)行揮發(fā)工序(第6工序)。采用該揮發(fā)方法，能夠使啟動(dòng)加注輥上的殘留液膜均勻且高效地飛散或揮發(fā)，能夠更大程度地縮短干燥處理時(shí)間。
[0026]本發(fā)明第2技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理方法用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，該方法包括下述工序，即、第I工序，為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該啟動(dòng)加注輥的頂部，使上述狹縫式噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥，從而將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上;第2工序，將被繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的涂敷液干燥而形成干燥膜；第3工序，為了進(jìn)行另外I次的啟動(dòng)加注處理，去除上述干燥膜然后使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于上述啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該頂部，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液之后旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥，從而在與上述干燥膜的形成區(qū)域不同的區(qū)域上將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上述啟動(dòng)加注棍的外周面上；第4工序,一邊旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注棍一邊使清洗墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的繞涂有上述涂敷液的各區(qū)域接觸而對(duì)該區(qū)域?qū)嵤┐智逑矗坏?工序，一邊旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注棍一邊將清洗液供給到被實(shí)施了上述粗清洗的上述啟動(dòng)加注棍的外周面上而對(duì)該外周面實(shí)施精清洗;第6工序，一邊旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥一邊干燥被實(shí)施了上述精清洗的上述啟動(dòng)加注輥的外周面。
[0027]上述第2技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理方法不僅能在清洗處理工序(第4以及第5工序)中起到與上述第I技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理方法相同的作用效果，而且由于將啟動(dòng)加注輥的外周面沿該啟動(dòng)加注輥的周向分割成多個(gè)區(qū)域而將各分割區(qū)域分配地使用于連續(xù)的規(guī)定次數(shù)的啟動(dòng)加注處理中、之后對(duì)附著在啟動(dòng)加注輥的外周面上的液膜或干燥膜統(tǒng)一進(jìn)行批清洗處理以及批干燥處理，因此能夠更加大幅地減少清洗液的使用量。
[0028]在上述第2技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理方法中，作為使用啟動(dòng)加注輥的外周面上的期望區(qū)域?qū)嵤┑腎次啟 動(dòng)加注處理的結(jié)果，將殘留(附著)在該區(qū)域內(nèi)的涂敷液的液膜干燥而形成干燥膜，然后再使用啟動(dòng)加注輥的外周面上的與干燥膜的形成區(qū)域不同的區(qū)域?qū)嵤┖罄m(xù)的啟動(dòng)加注處理。由于干燥膜被固定在規(guī)定區(qū)域內(nèi)且被保持在該規(guī)定區(qū)域內(nèi)，因此即使在該干燥膜的附近實(shí)施啟動(dòng)加注處理也不會(huì)被該干燥膜影響(干擾)。
[0029]優(yōu)選利用自然干燥的方式以半干的狀態(tài)形成干燥膜。為此，優(yōu)選以在將涂敷液的一部分繞涂在啟動(dòng)加注輥上后仍然使啟動(dòng)加注輥保持旋轉(zhuǎn)的方式對(duì)涂敷液進(jìn)行自然干燥。利用該種自然干燥法，能夠在半干的狀態(tài)下對(duì)各干燥膜實(shí)施批清洗，從而易于洗掉干燥膜，減少清洗液的使用量。
[0030]本發(fā)明的第3技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理方法用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，該方法包括下述工序，即、第I工序，為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該啟動(dòng)加注輥的頂部，使上述狹縫式噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥，從而將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上述啟動(dòng)加注棍的外周面上；第2工序,一邊旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥一邊利用清洗液清洗上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的繞涂有上述涂敷液的區(qū)域；第3工序，為了將附著在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液擦除，一邊旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥一邊使擦拭墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面接觸；第4工序，為了使殘留在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液揮發(fā)，在沿周向的一定區(qū)間內(nèi)形成在上述啟動(dòng)加注輥的周圍的間隙中、以使干燥用氣體沿與上述啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向吹過(guò)的方式噴射該干燥用氣體。
[0031]在上述第3技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理方法中，作為在啟動(dòng)加注處理(第I工序)后馬上進(jìn)行的后處理而在清洗工序(第2工序)中附著在啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液的大部分先在液滴去除工序(第3工序)中被該清洗液所通過(guò)的擦拭墊擦除。然后，在該清洗液所在的區(qū)域完全通過(guò)了擦拭墊后馬上在干燥送風(fēng)工序(第4工序)中利用在間隙中以朝向與旋轉(zhuǎn)方向相反的方向疾速吹過(guò)的來(lái)自干燥噴嘴的干燥用氣體的氣流均勻且高效地使未被擦拭墊去除的啟動(dòng)加注輥上的較薄的液膜飛散或揮發(fā)。這樣，通過(guò)在清洗工序(第2工序)之后、干燥送風(fēng)工序(第4工序)之前進(jìn)行液滴去除工序(第3工序)，能夠大大減輕干燥送風(fēng)工序(第4工序)的負(fù)擔(dān)，并且能夠提高干燥送風(fēng)工序本身的揮發(fā)功能，因此能夠大幅縮短干燥處理的總時(shí)間。
[0032]本發(fā)明的第4技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理裝置用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，該裝置包括:啟動(dòng)加注輥，其為水平配置在規(guī)定位置上的圓筒狀或圓柱狀；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使上述啟動(dòng)加注輥繞該啟動(dòng)加注輥的中心軸線旋轉(zhuǎn)；粗清洗處理部,其具有用于對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的外周面實(shí)施粗清洗的清洗墊，且能在清洗墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面接觸的第I位置、和清洗墊自上述啟動(dòng)加注輥的外周面退避的第2位置之間切換上述清洗墊的位置；精清洗處理部，其用于將清洗液供給到上述啟動(dòng)加注輥的外周面上而對(duì)該外周面實(shí)施精清洗；干燥處理部，其用于對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的外周面進(jìn)行強(qiáng)制性干燥；控制部，其用于控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、上述粗清洗處理部、上述精清洗處理部和上述干燥處理部的各動(dòng)作，該裝置為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該啟動(dòng)加注輥的頂部，在使上述狹縫式噴嘴噴出恒定量的涂敷液后利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥，從而將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上，然后一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥、一邊利用上述粗清洗處理部使上述清洗墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的繞涂有上述涂敷液的區(qū)域接觸而對(duì)該區(qū)域?qū)嵤┐智逑?，然后一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥、一邊利用上述精清洗處理部將清洗液供給到被實(shí)施了粗清洗的上述啟動(dòng)加注輥的外周面上而對(duì)該外周面實(shí)施精清洗，然后一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥、一邊利用上述干燥處理部干燥被實(shí)施了精清洗的上述啟動(dòng)加注輥的外周面。
[0033]上述第4技術(shù)方案的啟動(dòng)加注處理裝置利用上述結(jié)構(gòu)能夠?qū)嵤┥鲜龅贗以及第2技術(shù)方案的啟動(dòng)加注處理方法，由此能夠起到與上述第I以及第2技術(shù)方案的啟動(dòng)加注處理方法相同的作用效果。
[0034]在本發(fā)明優(yōu)選的一形態(tài)中，在粗清洗處理部中，將清洗墊的第I位置設(shè)在沿旋轉(zhuǎn)方向距離啟動(dòng)加注輥的頂部大約90°的位置附近。[0035]優(yōu)選粗清洗處理部具有用于以期望的壓力將清洗墊按壓到啟動(dòng)加注輥的外周面上的加壓機(jī)構(gòu)，且此外還具有用于直接或借助啟動(dòng)加注輥的外周面將清洗液補(bǔ)充到清洗墊中的清洗液補(bǔ)充部。
[0036]作為本發(fā)明優(yōu)選的一形態(tài)，清洗墊具有在水平方向上覆蓋啟動(dòng)加注輥的一端至另一端的長(zhǎng)度、和矩形的橫截面形狀，且清洗墊在第I位置與啟動(dòng)加注輥的外周面面接觸。精清洗部具有將清洗液與氣體混合而以射流的方式向啟動(dòng)加注輥的外周面噴射該清洗液的雙流體噴嘴。
[0037]本發(fā)明的第5技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理裝置用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，該裝置包括:啟動(dòng)加注輥，其為水平配置在規(guī)定位置上的圓筒狀或圓柱狀；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使上述啟動(dòng)加注輥繞該啟動(dòng)加注輥的中心軸線旋轉(zhuǎn)；清洗處理部，其用于使用清洗液對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的外周面進(jìn)行清洗；液滴去除部，其具有用于自上述啟動(dòng)加注輥的外周面擦除液滴的擦拭墊，且能在清洗墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面接觸的第I位置、和清洗墊自上述啟動(dòng)加注輥的外周面退避的第2位置之間切換擦拭墊的位置；干燥送風(fēng)部，其包括在沿周向的一定區(qū)間內(nèi)形成在上述啟動(dòng)加注輥周圍的間隙、和以使干燥用氣體在上述間隙中沿與上述啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向吹過(guò)的方式噴射該干燥用氣體的氣體噴嘴；控制部，其控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、上述清洗處理部、上述液滴去除部以及上述干燥送風(fēng)部的各動(dòng)作，該裝置為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該啟動(dòng)加注輥的頂部，在使上述狹縫式噴嘴噴出恒定量的涂敷液后利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，從而將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上，然后一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥、一邊利用上述清洗處理部洗掉被繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的涂敷液或該涂敷液的干燥膜，然后一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥、一邊利用上述液滴去除部使上述擦拭墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面接觸而將附著在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液擦除，然后一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)上述啟動(dòng)加注輥、一邊使上述干燥送風(fēng)部的氣體噴嘴噴射干燥用氣體而使殘留在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液揮發(fā)。
[0038]采用上述第5技術(shù)方案中的啟動(dòng)加注處理裝置，利用上述結(jié)構(gòu)能夠?qū)嵤┥鲜龅?技術(shù)方案的啟動(dòng)加注處理 方法，由此能夠起到與上述第3技術(shù)方案的啟動(dòng)加注處理方法相同的作用效果。
[0039]在本發(fā)明的啟動(dòng)加注處理裝置中，優(yōu)選設(shè)有通過(guò)進(jìn)行強(qiáng)制排氣而去除在啟動(dòng)加注輥周圍產(chǎn)生的霧的排氣機(jī)構(gòu)。
[0040]采用本發(fā)明的啟動(dòng)加注處理方法或啟動(dòng)加注處理裝置，利用上述那樣的結(jié)構(gòu)以及作用能夠更大程度地減少啟動(dòng)加注處理所用的清洗液，并且能夠縮短干燥處理時(shí)間以及能夠延長(zhǎng)清洗處理用工具和/或干燥處理用工具的使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0041]圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的啟動(dòng)加注處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0042]圖2是示意地表示在第I實(shí)施例中進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段的圖。
[0043]圖3是表示在粗清洗處理部中清洗墊將所吸入的涂敷液噴出到外部的動(dòng)作的局部放大剖視圖。
[0044]圖4是表示干燥處理部的結(jié)構(gòu)以及作用的局部放大剖視圖。
[0045]圖5是示意地表示在第2實(shí)施例中進(jìn)行第I次和第2次的啟動(dòng)加注處理以及該啟動(dòng)加注處理的后處理時(shí)的各階段的圖。
[0046]圖6是示意地表示在第2實(shí)施例中進(jìn)行第4次(最后I次)的啟動(dòng)加注處理以及該啟動(dòng)加注處理的后處理時(shí)的各階段的圖。[0047]圖7是表示回收在精清洗處理部中使用的清洗液而在粗清洗處理部中再利用該清洗液的結(jié)構(gòu)的一變形例的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0048]下面，參照所添加的【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0049]啟動(dòng)加注處理裝置的結(jié)構(gòu)
[0050]圖1表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的啟動(dòng)加注處理裝置的結(jié)構(gòu)。該啟動(dòng)加注處理裝置被組裝到例如在LCD制造處理用的光蝕刻工序中進(jìn)行非旋轉(zhuǎn)法的抗蝕劑涂敷處理的抗蝕劑涂敷裝置(未圖示)中，且配置于為了進(jìn)行抗蝕劑涂敷處理而載置或懸浮輸送被處理基板的涂敷臺(tái)(未圖示)的附近。
[0051]在圖示的啟動(dòng)加注處理裝置中，外殼10由在上表面具有狹縫狀的開(kāi)口部12的長(zhǎng)條形的框體構(gòu)成，使收容于外殼10中的啟動(dòng)加注輥14以其頂部經(jīng)由開(kāi)口部12在上方露出的方式水平且能旋轉(zhuǎn)地被軸承(未圖示)支承。
[0052]啟動(dòng)加注輥14例如是由不銹鋼構(gòu)成的圓筒狀或圓柱狀的輥，具有恒定的外徑和覆蓋后述的狹縫式噴嘴98的全長(zhǎng)的長(zhǎng)度。外殼10例如也可以由不銹鋼制作。
[0053]用于使啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)的輥旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)16包括電動(dòng)機(jī)、旋轉(zhuǎn)控制部和編碼器等(均未圖示)。電動(dòng)機(jī)優(yōu)選由伺服電動(dòng)機(jī)構(gòu)成，該電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸借助例如皮帶輪、傳動(dòng)帶等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)軸相連接。旋轉(zhuǎn)控制部不僅能控制電動(dòng)機(jī)的基本動(dòng)作(旋轉(zhuǎn)、停止、控制速度等)、還能通過(guò)編碼器任意控制電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)量以及旋轉(zhuǎn)角度位置。
[0054]在外殼10內(nèi)，在從啟動(dòng)加注輥14的頂部(最上部)至底部(最下部)朝向正旋轉(zhuǎn)方向(圖中為逆時(shí)針?lè)较?去的中途、優(yōu)選在旋轉(zhuǎn)角為90°的附近的位置上配置有粗清洗處理部18的清洗墊20。
[0055]該清洗墊20由多孔質(zhì)的樹(shù)脂(優(yōu)選耐藥品性優(yōu)異的氟類樹(shù)脂)構(gòu)成，具有在水平方向上覆蓋啟動(dòng)加注輥14的一端至另一端的長(zhǎng)度、和矩形的橫截面形狀，且被保持在至少與啟動(dòng)加注棍14面對(duì)的面是開(kāi)口的箱狀的墊保持部22上。清洗墊移動(dòng)機(jī)構(gòu)24包括電動(dòng)機(jī)、旋轉(zhuǎn)控制部和編碼器等(均未圖示)，借助齒條齒輪(運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu))26以及墊保持部22使清洗墊20在啟動(dòng)加注輥14的徑向方向上移動(dòng)，且能在使清洗墊20以期望的壓力與啟動(dòng)加注輥14的外周面接觸的第I位置(接觸清洗位置)、和清洗墊20自啟動(dòng)加注輥14的外周面離開(kāi)的第2位置(退避位置)之間切換清洗墊20的位置。
[0056]在清洗墊20的附近例如正上方配置有清洗液補(bǔ)充噴嘴28。該清洗液補(bǔ)充噴嘴28由長(zhǎng)度與清洗墊20相同的長(zhǎng)條狀的狹縫式噴嘴構(gòu)成，以使該清洗液補(bǔ)充噴嘴28的噴出口朝向上述第I位置(接觸清洗位置)處的清洗墊20的前部(接觸部)20a、或朝向啟動(dòng)加注輥14的在周向上位于比該前部20a靠上游側(cè)的位置的外周面的方式配置清洗液補(bǔ)充噴嘴28。在進(jìn)行粗清洗處理時(shí)，被送液泵30自清洗液儲(chǔ)存罐32汲出的清洗液(例如稀釋劑)經(jīng)過(guò)配管34被輸送到清洗液補(bǔ)充噴嘴28中，然后清洗液補(bǔ)充噴嘴28噴出清洗液而輔助清洗墊20進(jìn)行接觸清洗。在配管34的中途設(shè)有開(kāi)閉閥37以及用于去除清洗液中的灰塵等雜質(zhì)的過(guò)濾器36。 [0057]在外殼10內(nèi)，在以啟動(dòng)加注輥14為中心在粗清洗處理部18的相反一側(cè)設(shè)有精清洗處理部38以及干燥處理部40。
[0058]精清洗處理部38在自啟動(dòng)加注輥14的頂部(最上部)沿正旋轉(zhuǎn)方向的優(yōu)選旋轉(zhuǎn)角為180°~270°的區(qū)間內(nèi)配置有清洗噴嘴42。該清洗噴嘴42優(yōu)選由長(zhǎng)條狀的雙流體噴嘴構(gòu)成，且以覆蓋啟動(dòng)加注輥14的全長(zhǎng)的長(zhǎng)度與啟動(dòng)加注輥14平行配置，該清洗噴嘴42借助配管44與清洗液/氣體供給部46相連接。在配管44的中途設(shè)有開(kāi)閉閥45。
[0059]干燥處理部40在自啟動(dòng)加注輥14的頂部(最上部)沿正旋轉(zhuǎn)方向優(yōu)選旋轉(zhuǎn)角為270°~360°的區(qū)間內(nèi)設(shè)有液滴去除部48和干燥送風(fēng)部50。
[0060]液滴去除部48包括用于從啟動(dòng)加注輥14的外周面擦除液滴的擦拭墊52、能轉(zhuǎn)動(dòng)地支承擦拭墊52的墊支承部54、和擦拭墊移動(dòng)機(jī)構(gòu)56，該擦拭墊移動(dòng)機(jī)構(gòu)56能在擦拭墊52與啟動(dòng)加注輥14的外周面接觸的第I位置(液滴去除位置)、和擦拭墊52自啟動(dòng)加注輥14的外周面離開(kāi)的第2位置(退避位置)之間切換擦拭墊52的位置。
[0061]擦拭墊52是由非多孔質(zhì)的材質(zhì)例如合成橡膠構(gòu)成的長(zhǎng)條狀的板體，其長(zhǎng)度與啟動(dòng)加注輥14相同，且在上述第I位置(液滴去除位置)上使沿該擦拭墊52的長(zhǎng)度方向延伸的一邊的邊緣部以朝向啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)方向去的傾斜角度(與切線所構(gòu)成的角度優(yōu)選為45°以下，最優(yōu)選為大約30° )與啟動(dòng)加注輥14的外周面以期望的壓力接觸。
[0062]干燥送風(fēng)部50包括間隙58和氣體噴嘴60 ;上述間隙58設(shè)置在位于沿正旋轉(zhuǎn)方向比液滴去除部48靠下游側(cè)的位置上、且在啟動(dòng)加注輥14的周圍遍及一定區(qū)間內(nèi)地形成；上述氣體噴嘴60以使干燥用氣體例如干燥空氣沿與啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向疾速吹過(guò)該間隙58中的方式將干燥用氣體噴出到間隙58中。該氣體噴嘴60是長(zhǎng)度與啟動(dòng)加注輥14相同的狹縫式噴嘴，且在間隙58的下游側(cè)端部附近被安裝在外殼10的上壁部上。氣體噴嘴60借助配管62與干燥用氣體供給部64相連接。在配管62的中途設(shè)有開(kāi)閉閥65。
[0063]自啟動(dòng)加注輥14觀察時(shí)在精清洗處理部38以及干燥處理部40的背后設(shè)有吸引口 66。該吸引口 66借助真空通路68以及霧收集器70與真空裝置72相連通。真空裝置72例如利用真空泵或吸氣扇構(gòu)成。霧收集器70用于收集自吸引口 66經(jīng)過(guò)真空通路68被輸送進(jìn)來(lái)的霧。被霧收集器70回收了的液體(清洗液)經(jīng)過(guò)配管74被輸送到清洗液儲(chǔ)存罐32中。
[0064]在外殼10的底部的位于啟動(dòng)加注棍14正下方的位置上形成有排液口 76。該排液口 76借助排液管78與排液儲(chǔ)存罐80相連通。利用泵82隨時(shí)或定期地將被該排液儲(chǔ)存罐80回收了的清洗液轉(zhuǎn)移到清洗液儲(chǔ)存罐32中。優(yōu)選在排液儲(chǔ)存罐80中或在排液儲(chǔ)存罐80周圍設(shè)有用于分離清洗液和與清洗液一起被輸送進(jìn)來(lái)的抗蝕劑的裝置。
[0065]在清洗液儲(chǔ)存罐32中不僅存在如上所述被霧收集器70以及排液儲(chǔ)存罐80回收了的使用過(guò)的清洗液，而且還根據(jù)需要打開(kāi)開(kāi)閉閥81而自新清洗液供給源84向清洗液儲(chǔ)存罐32補(bǔ)充未使用過(guò)的新清洗液(稀釋劑)。在打開(kāi)排液儲(chǔ)存罐80以及清洗液儲(chǔ)存罐32各自的排液口側(cè)的開(kāi)閉閥86、88時(shí)，排液儲(chǔ)存罐80以及清洗液儲(chǔ)存罐32內(nèi)的液體經(jīng)過(guò)廢液管90、92被輸送到廢液儲(chǔ)存罐(未圖示)中。[0066]利用清洗液儲(chǔ)存罐32、霧收集器70、排液儲(chǔ)存罐80以及它們周圍的泵類、配管類構(gòu)成用于將所回收到的使用過(guò)的清洗液再利用到粗清洗處理部18中的清洗液再利用系統(tǒng)94。
[0067]主控制部96具有按照規(guī)定的程序系統(tǒng)進(jìn)行動(dòng)作的微型計(jì)算機(jī)，用于總括性地控制該啟動(dòng)加注處理裝置內(nèi)的輥旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)16、粗清洗處理部18、精清洗處理部38、干燥處理部40、真空裝置72、清洗液再利用系統(tǒng)94以及開(kāi)閉閥(37、45、65等)的各動(dòng)作。
[0068]另外，主控制部96總括性地控制該啟動(dòng)加注處理裝置內(nèi)的整體順序，并且至少針對(duì)啟動(dòng)加注處理控制該抗蝕劑涂敷裝置所具有的抗蝕劑涂敷處理用的狹縫式噴嘴98的所有動(dòng)作。
[0069]即，在該抗蝕劑涂敷裝置中，狹縫式噴嘴98被噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)100支承且在預(yù)先設(shè)定的空間內(nèi)被輸送到任意位置上，并且被定位在任意位置上。另外，將抗蝕液自抗蝕劑供給部102經(jīng)過(guò)抗蝕劑供給管104供給到狹縫式噴嘴98中。在抗蝕劑供給管104中設(shè)有開(kāi)閉閥106。針對(duì)啟動(dòng)加注處理，主控制部96借助噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)100、抗蝕劑供給部102和開(kāi)閉閥106來(lái)移動(dòng)、定位狹縫式噴嘴98、以及控制抗蝕液噴出動(dòng)作。
[0070]啟動(dòng)加注處理方法的第I實(shí)施例
[0071]接下來(lái)，根據(jù)圖2~圖4說(shuō)明能用該啟動(dòng)加注處理裝置實(shí)施的啟動(dòng)加注處理方法的第I實(shí)施例。
[0072]在安裝有該啟動(dòng)加注處理裝置的該抗蝕劑涂敷裝置中，每當(dāng)在涂敷臺(tái)上結(jié)束了 I張基板的涂敷處理時(shí)，作為接下來(lái)的涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，利用該啟動(dòng)加注處理裝置進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理。
[0073]圖2表示在本實(shí)施例中進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段。
[0074]在馬上就要進(jìn)行啟動(dòng)加注處理時(shí)，啟動(dòng)加注輥14的整個(gè)圓周上的外周面都處于干凈的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，首先如圖1所示，借助噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)100定位狹縫式噴嘴98，使狹縫式噴嘴98的噴出口與啟動(dòng)加注輥14的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙(例如數(shù)百μ m)地與該頂部平行地相面對(duì)。
[0075]然后如圖2的S1 (噴出)所示，使啟動(dòng)加注輥14保持靜止?fàn)顟B(tài)而借助抗蝕劑供給部102將一定量的抗蝕液R噴出到狹縫式噴嘴98中。
[0076]在規(guī)定時(shí)間內(nèi)進(jìn)行該噴出抗蝕液的動(dòng)作。自狹縫式噴嘴98的噴出口噴出的抗蝕液R到達(dá)啟動(dòng)加注輥14的頂部附近后沿周向擴(kuò)散到周圍。
[0077]接下來(lái)，利用輥旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)16在規(guī)定的時(shí)刻使啟動(dòng)加注輥14開(kāi)始進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，從而如圖2的S2 (繞涂)所示，能使抗蝕液R在狹縫式噴嘴98的背面下部98a蔓延地將抗蝕液R繞涂在啟動(dòng)加注輥14的外周面上。這里，優(yōu)選繞涂抗蝕液R時(shí)的啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度是不會(huì)太快斷開(kāi)抗蝕液R的液膜的那樣比較慢的速度。
[0078]接下來(lái)，在規(guī)定的時(shí)刻瞬間提高啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度。由此，如圖2的S3(斷開(kāi))所示，抗蝕液R的液膜被斷開(kāi)而分開(kāi)在狹縫式噴嘴98側(cè)和啟動(dòng)加注輥14側(cè)。此時(shí)使狹縫式噴嘴98上升，則能夠在規(guī)定的部位更順利且可靠地分離抗蝕液的液膜。這樣，在狹縫式噴嘴98中從噴嘴噴出口到背面下端部98a殘留有抗蝕液的液膜RF。另一方面，在啟動(dòng)加注輥14的外周面上殘留有如上所述地被繞涂的抗蝕液的液膜RM。以旋轉(zhuǎn)角度的大小表示、可以將該抗蝕液的液膜RM的周向繞涂尺寸設(shè)定為例如70°~75°。 [0079]在本實(shí)施例中，在使抗蝕液的液膜RM斷開(kāi)后馬上暫停啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)，使粗清洗處理部18的清洗墊20自離開(kāi)啟動(dòng)加注輥14的退避位置(第2位置)移動(dòng)到接觸清洗位置(第I位置)而以期望的壓力與啟動(dòng)加注輥14的外周面接觸。可以幾乎在同一時(shí)刻自清洗液補(bǔ)充噴嘴28向接觸清洗位置附近噴出清洗液。最好使抗蝕液的液膜RM停止在即將來(lái)到接觸清洗位置的位置(在輥的周向上稍靠上游側(cè)的位置)上。
[0080]接下來(lái)，使啟動(dòng)加注輥14再次旋轉(zhuǎn)，從而如圖2的S4 (粗清洗)所示，將被繞涂在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的抗蝕液的液膜RM送到接觸清洗位置。清洗墊20以施加有適當(dāng)壓力的面接觸方式將通過(guò)接觸清洗位置的抗蝕液的液膜RM擦除。被擦除了的抗蝕液的液膜RM的一部分自啟動(dòng)加注輥14的外周面掉落而被輸送到排液口 76側(cè)，另一部分被吸入到清洗墊(多孔質(zhì)樹(shù)脂)20中。當(dāng)然，在抗蝕液的液膜RM中也存在未被擦除掉而殘留在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的液膜(RM’)，該殘留液膜RM’隨著啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)而向周向的下游側(cè)移動(dòng)。
[0081]這樣，在啟動(dòng)加注處理中被繞涂在啟動(dòng)加注輥的頂部附近的抗蝕液的液膜在啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)半周的期間內(nèi)接受上述那樣的粗清洗處理，從而能夠防止涂敷液的液膜在啟動(dòng)加注輥上進(jìn)行不期望發(fā)生的擴(kuò)散。
[0082]在本實(shí)施例中，如圖3所示，在殘留液膜RM’通過(guò)了接觸清洗位置后馬上暫停啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)，在粗清洗處理部18中清洗墊移動(dòng)機(jī)構(gòu)24進(jìn)一步向啟動(dòng)加注輥14驅(qū)動(dòng)清洗墊20而以更大的按壓力將清洗墊20按壓在啟動(dòng)加注輥的外周面上，清洗墊20被擠壓而將之前吸入的抗蝕液R噴出到外部。此時(shí)，也可以自清洗液補(bǔ)充噴嘴28將清洗液供給到清洗墊20中。
[0083]然后，清洗墊移動(dòng)機(jī)構(gòu)24使清洗墊20恢復(fù)動(dòng)作而解除按壓力，并進(jìn)一步使清洗墊20離開(kāi)啟動(dòng)加注輥14而返回到退避位置(第2位置)。幾乎在同一時(shí)刻，輥旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)16使啟動(dòng)加注棍14重新開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。
[0084]在通過(guò)使啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)而使上述殘留液膜RM’來(lái)到精清洗處理部38時(shí)，雙流體噴嘴42進(jìn)行動(dòng)作而將在未使用的新清洗液(稀釋劑)中混合有壓縮氣體(空氣或氮?dú)?的雙流體的噴流噴射到殘留液膜應(yīng)’上。主控制部96管理啟動(dòng)加注輥14的外周面的附著有殘留液膜應(yīng)’的區(qū)域(也就是在本次啟動(dòng)加注處理中繞涂有抗蝕液的液膜RM的區(qū)域)，并且還能借助輥旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)16控制該區(qū)域在當(dāng)下時(shí)刻的位置(在周向上的位置)。因而，能夠正好在附著有殘留液膜RT的區(qū)域通過(guò)精清洗處理部38附近的規(guī)定區(qū)間的期間內(nèi)使雙流體噴嘴42噴射雙流體噴流，在該區(qū)域通過(guò)了上述規(guī)定區(qū)域后停止噴射雙流體噴流。另外，在與附著有殘留液膜RM’的區(qū)域要通過(guò)精清洗處理部38的幾乎同一時(shí)刻開(kāi)啟真空裝置72。
[0085]當(dāng)然，當(dāng)如上所述在粗清洗處理部18中進(jìn)行了粗清洗處理后馬上清洗(噴出液體)清洗墊20的情況下，會(huì)稍微弄臟用于進(jìn)行該墊清洗操作的啟動(dòng)加注輥14的外周面上的區(qū)域(殘留液膜RM’之后連續(xù)的區(qū)域)，因此優(yōu)選在精清洗處理部38中利用雙流體噴嘴也將該被弄臟的區(qū)域徹底地清洗干凈。另外，也可以不在每次啟動(dòng)加注處理后都清洗(噴出液體)清洗墊20，定期清洗即可。[0086]這樣，如圖2的S5 (精清洗)所示，利用自雙流體噴嘴42噴射的雙流體噴流的強(qiáng)有力的沖擊力各易且完全地洗掉在啟動(dòng)加注棍14的外周面上附著的殘留液I旲RM’，被洗掉的殘留液膜RM’中的大部分混合在清洗液中而向下流到排液口 76中，其余的殘留液膜RM’變成霧而在精清洗處理部38附近飛散。飛散了的霧被吸入到吸氣口 66中，然后自該吸氣口66被排出到真空通路68中。另外，可以在配置于精清洗處理部38與吸氣口 66之間的構(gòu)件、即擦拭墊52、墊支承部54以及支架55等上設(shè)置供霧通過(guò)的通孔(未圖示)。
[0087]干燥處理部40在精清洗處理部38開(kāi)始進(jìn)行上述那樣的精清洗動(dòng)作后馬上開(kāi)始干燥處理動(dòng)作。即、如圖2的S6 (液滴去除/干燥送風(fēng))所示，液滴去除部48使擦拭墊52轉(zhuǎn)動(dòng)而將擦拭墊52的位置自離開(kāi)啟動(dòng)加注輥14的退避位置(第2位置)切換到液滴去除位置(第I位置)。另外，干燥送風(fēng)部50使氣體噴嘴60噴射干燥空氣。
[0088]由此，因精清洗處理而附著在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的清洗液的大部分在干燥處理部40中先通過(guò)液滴去除部58的擦拭墊52處被擦除掉。如圖4所示，被擦除了的清洗液的液滴qa中的一部分沿著擦拭墊52和墊支承部54的下表面落下到排液口 76側(cè)，剩余的液滴與霧一起被吸入到吸氣口 66中。
[0089]如圖4所示，在利用擦拭墊52的擦拭操作也未能去除的啟動(dòng)加注輥14上的較薄的液膜通過(guò)了擦拭墊52后，馬上在干燥送風(fēng)部50中利用在間隙58中以與旋轉(zhuǎn)方向相反的方向疾速吹過(guò)的來(lái)自氣體噴嘴60的干燥空氣的氣流使該較薄的液膜均勻且高效地飛散或揮發(fā)，然后變成霧ma而被吸引到吸氣口 66中。
[0090]另外，即使沒(méi)有干燥送風(fēng)部50中的干燥空氣的氣流，只要開(kāi)啟了真空裝置72就能使啟動(dòng)加注輥14上的液膜在間隙58中接受逆風(fēng)，促進(jìn)該液膜的揮發(fā)。但是，若間隙58的間隙尺寸在與啟動(dòng)加注輥14平行的長(zhǎng)度方向上稍微有些偏差，則液膜的揮發(fā)性產(chǎn)生強(qiáng)弱分布，從而存在干燥處理時(shí)間被揮發(fā)性較弱的位置的所需干燥時(shí)間控速而被拖長(zhǎng)的這一問(wèn)題。
[0091]在本實(shí)施例中， 即使間隙58的間隙尺寸存在偏差，也能夠利用干燥送風(fēng)部50中的干燥空氣的氣流補(bǔ)償由間隙尺寸的偏差帶來(lái)的影響，從而能夠使間隙58內(nèi)的揮發(fā)率變得均勻，甚至能夠幫助縮短干燥處理時(shí)間。
[0092]在液滴去除部48中，在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的被實(shí)施了精清洗處理的區(qū)域通過(guò)了該液滴去除部48后，馬上使擦拭墊52離開(kāi)啟動(dòng)加注輥14而返回到退避位置(第2位置)。
[0093]另一方面，如圖2的S7 (干燥送風(fēng))所示，干燥送風(fēng)部50在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的上述被實(shí)施了精清洗處理的區(qū)域通過(guò)了液滴去除部48后仍繼續(xù)噴射干燥空氣，在經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間(例如10秒左右)后停止噴射干燥空氣。另外，在干燥送風(fēng)部50關(guān)閉后馬上或經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間后關(guān)閉真空裝置72。
[0094]上述一連串的動(dòng)作作為啟動(dòng)加注處理后的后處理,是在使啟動(dòng)加注棍14旋轉(zhuǎn)I周的期間內(nèi)各實(shí)施I次利用粗清洗處理部18進(jìn)行的粗清洗、利用精清洗處理部38進(jìn)行的精清洗、利用干燥處理部40的液滴去除部48進(jìn)行的液滴去除處理的最短循環(huán)，通常經(jīng)過(guò)該循環(huán)能夠?qū)?dòng)加注輥14的外周面完全清潔干凈。當(dāng)然，也可以重復(fù)實(shí)施多次在使上述啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)I周的期間內(nèi)進(jìn)行的清潔循環(huán)。
[0095]如上所述，在本實(shí)施例中，作為啟動(dòng)加注處理后馬上進(jìn)行的后處理，先利用粗清洗處理部18將多孔質(zhì)樹(shù)脂的清洗墊20按壓在旋轉(zhuǎn)的啟動(dòng)加注輥14的外周面上，從而利用清洗墊20與附著在該外周面上的抗蝕液的液膜RM的彈性的面接觸的摩擦均勻且高效地洗掉該液膜應(yīng)。然后，在粗清洗處理后精清洗處理部38馬上利用雙流體噴流的精清洗操作容易且完全地洗掉在啟動(dòng)加注輥14上殘留的較薄的殘留液膜RM’。
[0096]采用該種2階段(粗清洗/精清洗)式清洗處理方式，不僅能夠利用粗清洗處理部18的作用大大減輕精清洗處理部38的負(fù)擔(dān)，而且在粗清洗處理部18中再利用在精清洗處理部38中使用過(guò)的清洗液即可，因此相比以往的處理方法還能大幅減少清洗液的總使用量。
[0097]另外，在粗清洗處理部18中，清洗墊20由多孔質(zhì)樹(shù)脂構(gòu)成，利用圖3所示的擠壓操作使該清洗墊20快速向外噴出在與啟動(dòng)加注輥14的外周面面接觸的摩擦?xí)r吸入的抗蝕液，因此不會(huì)使清洗墊20積存抗蝕液的污潰，能夠穩(wěn)定地維持粗清洗處理的性能。
[0098]此外，清洗墊20只在進(jìn)行粗清洗處理時(shí)以第I位置(接觸清洗位置)與啟動(dòng)加注輥14的外周面接觸，原則上在進(jìn)行其他處理時(shí)是離開(kāi)啟動(dòng)加注輥14而處于退避狀態(tài)的。由此，能夠防止出現(xiàn)啟動(dòng)加注輥14的外周面上的未被實(shí)施啟動(dòng)加注處理的干凈的區(qū)域與清洗墊20接觸而被抗蝕液弄臟的那樣的情況(由此增大精清洗以及干燥處理的負(fù)擔(dān)或增加處理時(shí)間)，并且能夠減緩清洗墊20的消耗劣化，延長(zhǎng)清洗墊20的使用壽命。
[0099]另外，在本實(shí)施例中，為了在利用清洗處理去除在啟動(dòng)加注輥14的外周面上附著的清洗液后進(jìn)行干燥，在干燥處理部40的液滴去除部48使非多孔質(zhì)的擦拭墊52與啟動(dòng)加注輥14的外周面接觸而擦除液滴后，干燥處理部40的干燥送風(fēng)部50使氣體噴嘴60向與輥的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向噴射干燥空氣，在間隙58中以及間隙58的出口附近將反向的疾速的干燥空氣的氣流吹到啟動(dòng)加注輥14的外周面上。
[0100]采用該種2階段(擦除/氣流)的干燥處理方式，不僅能夠利用液滴去除部48的作用大大減輕干燥送風(fēng)部50的負(fù)擔(dān)，而且由于干燥送風(fēng)部50本身的干燥處理效率較高，因此相比以往的處理方法還能大幅縮短干燥處理的總時(shí)間。
[0101]另外，液滴去除部48的擦拭墊52只在擦除精清洗后的液滴時(shí)在第I位置(液滴去除位置)與啟動(dòng)加注輥14的外周面接觸，原則上在進(jìn)行其他處理時(shí)是離開(kāi)啟動(dòng)加注輥14而處于退避狀態(tài)的。由此，不僅能夠防止出現(xiàn)啟動(dòng)加注輥14的外周面上的干燥區(qū)域與擦拭墊52接觸而沾上液滴的這一不期望發(fā)生的現(xiàn)象(這會(huì)增大干燥送風(fēng)處理的負(fù)擔(dān)或增加處理時(shí)間)，還能減少擦拭墊52中的污潰以及減緩擦拭墊52的消耗劣化，從而能夠延長(zhǎng)擦拭墊52的使用壽命。
[0102]啟動(dòng)加注處理方法的第2實(shí)施例
[0103]接下來(lái)，根據(jù)圖5以及圖6說(shuō)明能利用該啟動(dòng)加注處理裝置實(shí)施的啟動(dòng)加注處理方法的第2實(shí)施例。
[0104]同樣在該第2實(shí)施例中， 在安裝有啟動(dòng)加注處理裝置的該抗蝕劑涂敷裝置中，每當(dāng)在涂敷臺(tái)上結(jié)束了 I張基板的涂敷處理時(shí)，作為接下來(lái)的涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，利用該啟動(dòng)加注處理裝置進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理。
[0105]圖5表示在第2實(shí)施例中將啟動(dòng)加注輥14的外周面在整周范圍內(nèi)重新設(shè)置成干凈的狀態(tài)后進(jìn)行第I次以及第2次的啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段。
[0106]在第I次的啟動(dòng)加注處理中，首先如圖1所示，借助噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)100定位狹縫式噴嘴98，以使狹縫式噴嘴98的噴出口與啟動(dòng)加注輥14的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙(例如數(shù)百μ m)而平行地面對(duì)該頂部。
[0107]然后如圖5的Sh (噴出)所示，使啟動(dòng)加注輥14保持靜止?fàn)顟B(tài)而借助抗蝕劑供給部102將一定量的抗蝕液R噴出到狹縫式噴嘴98中。
[0108]在規(guī)定時(shí)間內(nèi)進(jìn)行該噴出抗蝕液的動(dòng)作。自狹縫式噴嘴98的噴出口噴出的抗蝕液R到達(dá)啟動(dòng)加注輥14的頂部附近后沿周向擴(kuò)散到周圍。
[0109]接下來(lái)，利用輥旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)16在規(guī)定的時(shí)刻使啟動(dòng)加注輥14開(kāi)始進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，從而如圖5的Sm (繞涂)所示，能使抗蝕液R在狹縫式噴嘴98的背面下端部98a蔓延地將抗蝕液R繞涂在啟動(dòng)加注輥14的外周面上。這里，優(yōu)選繞涂抗蝕液R時(shí)的啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度是不會(huì)太快斷開(kāi)抗蝕液R的液膜的那樣比較慢的速度。
[0110]接下來(lái)，在規(guī)定的時(shí)刻瞬間提高啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度。由此，如圖5的Sp3(斷開(kāi))所示，抗蝕液R的液膜被斷開(kāi)而分開(kāi)在狹縫式噴嘴98側(cè)和啟動(dòng)加注輥14側(cè)。此時(shí)使狹縫式噴嘴98上升，則能夠在規(guī)定的部位更順利且可靠地分離抗蝕液的液膜。這樣，在狹縫式噴嘴98中從噴嘴噴出口到背面下端部98a均殘留有抗蝕液的液膜RF。另一方面，在啟動(dòng)加注輥14的外周面上殘留有如上所述地被繞涂的抗蝕液的液膜RM115以旋轉(zhuǎn)角度的范圍表示、可以將該抗蝕液的液膜RM1的周向繞涂尺寸設(shè)定為例如70°~75°的尺寸。
[0111]在本實(shí)施例中，在使抗蝕液的液膜RM1斷開(kāi)后如圖5的Sy (自然干燥)所示仍然使啟動(dòng)加注輥14繼續(xù)旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，作為啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度，可以繼續(xù)維持在使抗蝕液的液膜斷開(kāi)后不久的速度，或者也可以切換到不同的速度。另外，在該自然干燥(Sy)的期間內(nèi)真空裝置72同樣處于關(guān)閉狀態(tài)。另外，在這之前的所有工序Sw~Sy中，粗清洗處理部18、精清洗處理部 38、干燥處理部40 (液滴去除部48、干燥送風(fēng)部50)都處于關(guān)閉狀態(tài)。
[0112]在本實(shí)施例中，利用在如上所述使被繞涂在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液的液膜RMi斷開(kāi)后仍然使啟動(dòng)加注輥14繼續(xù)旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作，可以起到下述值得注目的2個(gè)效果。
[0113]第I效果是能夠防止被繞涂在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液的液膜RM1落下。即、在繞涂(Sp2)以及斷開(kāi)(Sp3)的動(dòng)作中，啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液的液膜RM1自啟動(dòng)加注輥14的頂部沿周向移動(dòng)到底部。
[0114]如果在此時(shí)使啟動(dòng)加注輥14停止旋轉(zhuǎn)，則在抗蝕液的液膜RM1上因本身的重力而持續(xù)作用有向周向下方的力，從而抗蝕液的液膜RM1在啟動(dòng)加注輥14的外周面上發(fā)生下垂(擴(kuò)散)。在使用狹縫式噴嘴的非旋轉(zhuǎn)式涂敷法中，由于通常使用20cp以下的低粘度的抗蝕液，因此容易在啟動(dòng)加注輥上發(fā)生上述那樣的抗蝕液的液膜下垂的現(xiàn)象。
[0115]然而，在本實(shí)施例中，通過(guò)使啟動(dòng)加注輥14不停止地持續(xù)旋轉(zhuǎn)，能夠?qū)嵸|(zhì)性地消除作用在抗蝕液的液膜RM1上的重力的作用(誘發(fā)下垂的力)，從而不會(huì)使被繞涂在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液的液膜RM1因發(fā)生下垂而在啟動(dòng)加注輥14上擴(kuò)散地利用表面張力將該抗蝕液的液膜RM1控制在規(guī)定區(qū)域(分割區(qū)域)內(nèi)。
[0116]作為第2效果，通過(guò)保持排氣機(jī)構(gòu)即真空裝置72的關(guān)閉狀態(tài)地使啟動(dòng)加注輥14持續(xù)旋轉(zhuǎn)，從而能夠在短時(shí)間內(nèi)高效地自然干燥被繞涂在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液的液膜 RMlt=
[0117]即、當(dāng)在開(kāi)啟真空裝置72后使啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)時(shí)，即使讓干燥送風(fēng)部50的氣體噴嘴60停止噴射氣體，啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液的液膜RM1在間隙58中仍會(huì)受到逆風(fēng)的較大的壓力，從而容易降低膜厚均勻性。特別是在因間隙58存在間隙尺寸的偏差而由此使施加在抗蝕液的液膜RM1上的逆風(fēng)的壓力沿軸向存在偏差時(shí)，容易在抗蝕液的液膜RM1的表面上產(chǎn)生沿周向延伸的條狀凹凸。在預(yù)先關(guān)閉真空裝置72時(shí)，在啟動(dòng)加注輥14的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，該啟動(dòng)加注輥14的外周面上的抗蝕液的液膜RM1即使在通過(guò)間隙58時(shí)也不會(huì)受到逆風(fēng)的壓力，能夠接受與以靜止?fàn)顟B(tài)被置于大氣中的情況相同效果的自然干燥。
[0118]這樣，利用自然干燥使啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液的液膜RM1形成為膜的內(nèi)部仍是液態(tài)而膜的表層部是干燥固化了的半干或未干透的狀態(tài)。在達(dá)到該種半干的狀態(tài)時(shí)，即使啟動(dòng)加注輥14停止旋轉(zhuǎn)，也不會(huì)使抗蝕液的液膜RM1發(fā)生下垂。
[0119]在本實(shí)施方式中，為了與自然干燥工序前的完全處于液體狀態(tài)的液膜進(jìn)行區(qū)別，將自然干燥工序后的處于半干狀態(tài)的抗蝕液的液膜RMi (i=l、2、3……)稱作抗蝕干燥膜[RMi]。
[0120]在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行上述那樣的通過(guò)使啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)而自然干燥抗蝕液的液膜RM1的操作(Sm)。在該期間內(nèi)，狹縫式噴嘴98被噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)100輸送到涂敷臺(tái)上而在該涂敷臺(tái)上被用于進(jìn)行I張基板的抗蝕劑涂敷處理。然后，在抗蝕劑涂敷處理結(jié)束時(shí)，使狹縫式噴嘴98再次返回到啟動(dòng)加注處理裝置中，從而如圖1所示以使該狹縫式噴嘴98的噴出口相對(duì)于啟動(dòng)加注輥14的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該頂部的方式定位狹縫式噴嘴98。
[0121]在第2次的啟動(dòng)加注處理中，如圖5的Sy1 (噴出)所示，在避開(kāi)在前次(第I次)的啟動(dòng)加注處理中被繞涂在啟動(dòng)加注輥14上的第I抗蝕干燥膜[RMi]后使啟動(dòng)加注輥14的頂部面對(duì)狹縫式噴嘴98的噴出口，在該狀態(tài)下使狹縫式噴嘴98噴出一定量的抗蝕液R。
[0122]接下來(lái)，以與第I次啟動(dòng)加注處理相同的動(dòng)作以及時(shí)刻依次進(jìn)行抗蝕液R的繞涂(s2_2)工序、斷開(kāi)(s2_3)工序、自然干燥(s2_4)工序。
[0123]同樣在該情況下，與第I次的啟動(dòng)加注處理相同，利用繞涂(S2_2)工序以及斷開(kāi)(S2_3)工序在啟動(dòng)加注輥14的外周面上以規(guī)定的周向尺寸(以旋轉(zhuǎn)角度的范圍表示為70°~75° )繞涂抗蝕液R而形成抗蝕液的液膜RM2。然后，使啟動(dòng)加注輥14繼續(xù)旋轉(zhuǎn)而自斷開(kāi)(S2_3)工序過(guò)渡到自然干燥(S2_4)工序，不會(huì)引發(fā)下垂地將抗蝕液的液膜RM2在規(guī)定區(qū)域內(nèi)自然干燥。這樣，在啟動(dòng)加注輥14的外周面上，作為隨著本次(第2次)啟動(dòng)加注處理產(chǎn)生的殘留物在與第I抗蝕干燥膜[RM1]不同的區(qū)域、通常是沿旋轉(zhuǎn)方向設(shè)在下游側(cè)附近的分割區(qū)域內(nèi)以規(guī)定的周向尺寸(70°~75° )形成第2抗蝕干燥膜[RM2]。
[0124]同樣以與上述第I次以及第2次的啟動(dòng)加注處理相同的順序以及動(dòng)作進(jìn)行第3次的啟動(dòng)加注處理(未圖示)。結(jié)果，作為隨著第3次的啟動(dòng)加注處理產(chǎn)生的殘留物在與第I以及第2抗蝕干燥膜[RM1]、[RM2]不同的區(qū)域、通常是沿旋轉(zhuǎn)方向設(shè)在第2抗蝕干燥膜[RM2]的下游側(cè)附近的分割區(qū)域內(nèi)以規(guī)定的周向尺寸(70°~75° )形成第3抗蝕干燥膜[RM3]。
[0125]另外，在第3次的啟動(dòng)加注處理結(jié)束的時(shí)刻，第3抗蝕干燥膜[RM3]如上所述被自然干燥而形成半干狀態(tài)，第I以及第2抗蝕干燥膜[RM1]、[RM2]也仍然保持半干狀態(tài)。即，由于第I以及第2抗蝕干燥膜[RM1]、[RM2]在啟動(dòng)加注輥14上完全沒(méi)有接受強(qiáng)制干燥處理、加熱處理，因此即使進(jìn)行數(shù)倍時(shí)間的自然干燥，第I以及第2抗蝕干燥膜[RMJ、[RM2]仍保持半干狀態(tài)。[0126]在該第2實(shí)施例中，在將啟動(dòng)加注輥14的外周面在整周范圍內(nèi)重新設(shè)置成干凈的狀態(tài)后連續(xù)進(jìn)行規(guī)定次數(shù)例如4次的啟動(dòng)加注處理，然后馬上對(duì)啟動(dòng)加注輥14進(jìn)行批清洗(在整個(gè)圓周上將外周面清洗干凈)。
[0127]圖6表示在啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)進(jìn)行最后(第4次)的啟動(dòng)加注處理以及在該啟動(dòng)加注處理后馬上進(jìn)行批清洗/干燥處理時(shí)的各階段。
[0128]如圖6所示，在最后(第4次)的啟動(dòng)加注處理中，同樣與第I次~第3次的各啟動(dòng)加注處理的動(dòng)作以及時(shí)刻相同地進(jìn)行抗蝕液R的噴出(Sm)工序、繞涂(S4_2)工序以及斷開(kāi)(S4_3)工序，從而在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的沿旋轉(zhuǎn)方向位于第3抗蝕干燥膜[RM3]的下游側(cè)附近的分割區(qū)域內(nèi)繞涂抗蝕液的液膜應(yīng)4。
[0129]但是，在斷開(kāi)(S4_3)工序后馬上跳過(guò)自然干燥工序而過(guò)渡到粗清洗(S4_5)工序。在該粗清洗(S4_5)工序中，與上述第I實(shí)施例相同地將清洗墊20的位置自離開(kāi)啟動(dòng)加注輥14的退避位置(第2位置)切換到與啟動(dòng)加注輥14的外周面接觸的第I位置。
[0130]然后，將清洗墊20保持在接觸清洗位置(第I位置)，旋轉(zhuǎn)啟動(dòng)加注輥14。在啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)I周的期間內(nèi)，附著在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]以及抗蝕液的液膜RM4按照[RM1] — [RM2] — [RM3] — RM4的順序被送到接觸清洗位置(第I位置)。清洗墊20以施加有適當(dāng)壓力的彈性面接觸方式將通過(guò)接觸清洗位置的抗蝕干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]以及抗蝕液的液膜RM4擦除。
[0131]這里，剛剛附著在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的抗蝕液的液膜RM4肯定比半干狀態(tài)的抗蝕干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]容易擦除。被擦除了的抗蝕干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]或抗蝕液的液膜RM4的一部分自啟動(dòng)加注輥14的外周面掉落而被輸送到排液口 76側(cè)，另一部分被吸入到清洗墊(多孔質(zhì)樹(shù)脂)20中。
[0132]另外，在抗蝕干燥膜[RM1]、[RM2]、[RM3]或抗蝕液的液膜RM4中還有一些沒(méi)被擦除而殘留在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的液膜或干燥膜(RM’)。這些殘留液膜RM/、觀2’、觀3’、RM/隨著啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)而向周向的下游側(cè)移動(dòng)。在粗清洗處理部18中，可以在對(duì)最后的抗蝕液的液膜RM4進(jìn)行的粗清洗結(jié)束后使清洗墊20返回到退避位置。
[0133]在使啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)而使各殘留液膜RM/來(lái)到精清洗處理部38時(shí)，如圖6的S4_6 (粗清洗/精清洗)所示，雙流體噴嘴42將雙流體噴流噴射到殘留液膜RM’上。利用主控制部96的控制可以只將雙流體噴流噴射到啟動(dòng)加注輥14的外周面上的附著有各殘留液膜觀’的區(qū)域上，但也可以從最初的殘留液膜RM/來(lái)到了精清洗處理部38后到最后的殘留液膜觀4’通過(guò)精清洗處理部38為止、不間斷地持續(xù)噴射雙流體噴流。另外，在與利用精清洗處理部38開(kāi)始噴射雙流體噴流的時(shí)刻幾乎同一時(shí)刻開(kāi)啟真空裝置72。
[0134]這樣，利用自雙流體噴嘴42噴射的雙流體噴流的強(qiáng)有力的沖擊力容易且完全地洗掉在啟動(dòng)加注輥14的外周面上附著的殘留液膜RM’，被洗掉的殘留液膜RM’中的大部分混合在清洗液中而向下流到排液口 76中，其余的殘留液膜RM’變成霧而在精清洗處理部38附近飛散。飛散了的霧被吸入到吸氣口 66中，然后自該吸氣口 66被排出到真空通路68中。
[0135]干燥處理部40在精清洗處理部38開(kāi)始進(jìn)行上述那樣的精清洗動(dòng)作后馬上開(kāi)始干燥處理動(dòng)作。如圖6的S4_7 (精清洗/液滴去除/干燥送風(fēng))所示，在精清洗工序中附著在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的清洗液的液滴馬上在干燥處理部40中被液滴去除部48的擦拭墊52擦除掉大部分，然后在上述外周面通過(guò)了擦拭墊52后馬上利用在間隙58中向與旋轉(zhuǎn)方向相反的方向疾速吹過(guò)的干燥空氣的氣流使上述液滴的其余部分均勻且高效地?fù)]發(fā)，然后變成霧ma而被吸引到吸氣口 66中。
[0136]優(yōu)選在液滴去除部48中，在最初的殘留液膜來(lái)到了擦拭墊52所處的位置后、在啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)I周的期間內(nèi)在液滴去除位置(第I位置)保持擦拭墊52的與啟動(dòng)加注輥14的外周面接觸的狀態(tài)。
[0137]在該第2實(shí)施例中，也可以與上述第I實(shí)施例相同地在液滴去除部48使擦拭墊52退避后，如圖6的S4_8 (干燥送風(fēng))所示，使干燥送風(fēng)部50仍繼續(xù)噴射一會(huì)兒干燥空氣，在經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間后停止噴射干燥空氣。另外，在關(guān)閉了干燥送風(fēng)部50后馬上或經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間后關(guān)閉真空裝置72。
[0138]這樣，采用該第2實(shí)施例，將啟動(dòng)加注輥14的外周面沿該啟動(dòng)加注輥14的周向分割成多個(gè)(例如4個(gè))而將各分割區(qū)域分配使用于連續(xù)的規(guī)定次數(shù)(4次)的啟動(dòng)加注處理中，在除最后(第4次)的啟動(dòng)加注處理之外的各啟動(dòng)加注處理中，利用在繞涂了抗蝕液的液膜RMi后仍使啟動(dòng)加注輥14繼續(xù)旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作能夠防止抗蝕液的液膜RMi下垂從而能夠?qū)⒖刮g液的液膜RMi保持在各分割(分配)區(qū)域內(nèi)，并且能夠使抗蝕液的液膜RMi在短時(shí)間內(nèi)高效地自然干燥而形成半干狀態(tài)的抗蝕干燥膜[RMi]。
[0139]這樣，在啟動(dòng)加注輥14上，由于能夠防止抗蝕液的液膜RMi下垂，因此不會(huì)弄臟該抗蝕液的液膜RMi附近的未使用的分割區(qū)域，因而后續(xù)的啟動(dòng)加注處理不會(huì)被前面的啟動(dòng)加注處理影響，從而能夠提高啟動(dòng)加注處理的再現(xiàn)性以及可靠性。
[0140]另外，附著在啟動(dòng)加注輥14上的各抗蝕液的液膜RMi在被自然干燥后形成半干狀態(tài)的抗蝕干燥膜[RMi]而被清洗、或在完全液狀的狀態(tài)下被清洗，因此容易被洗掉，從而能夠減輕清洗機(jī)構(gòu)(粗清洗處理部18、精清洗處理部38)的負(fù)擔(dān)，減少清洗液的使用量。
[0141]此外，針對(duì)利用多次啟動(dòng)加注處理以期望的間隔形成在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的抗蝕干燥膜或液膜，采用的是利用批清洗處理以及批干燥處理一次性將它們?nèi)コ那鍧嵎ǎ虼讼啾壬鲜龅贗實(shí)施例能夠進(jìn)一步減少清洗液的使用量。
[0142]另外，在圖示的例子中，將啟動(dòng)加注輥14的外周面分割成4個(gè)區(qū)域，且將I次啟動(dòng)加注處理中的在周向上的抗蝕液繞涂尺寸設(shè)為70°~75°。但是，本發(fā)明可以是任意的分割數(shù)量以及任意的繞涂尺寸，例如也可以將每次啟動(dòng)加注處理中的在周向上的抗蝕液繞涂尺寸設(shè)為70°以下，將啟動(dòng)加注輥14的外周面分割成5個(gè)區(qū)域而連續(xù)進(jìn)行5次啟動(dòng)加注處理。另外，在啟動(dòng)加注輥14的外周面上圍繞一周設(shè)置的多個(gè)分割區(qū)域之間，用于啟動(dòng)加注處理的順序是任意(不按順序進(jìn)行)的，可以不按照分割區(qū)域的排列順序進(jìn)行啟動(dòng)加注處理。
[0143]其他實(shí)施例
[0144]在粗清洗處理部18中使用的再利用的清洗液除了利用排液存儲(chǔ)罐80、霧收集器70回收之外，還可以采用圖7所示的方法回收得到。即、不使在精清洗處理部38的精清洗(利用新清洗液進(jìn)行的清洗)中用過(guò)的清洗液(稀釋劑)流到排液存儲(chǔ)罐中、而是將該清洗液收集并回收在設(shè)于清洗噴嘴42下方的盤(pán)110中，然后自盤(pán)110將該清洗液轉(zhuǎn)運(yùn)到粗清洗處理部18中。在該情況下，通過(guò)將粗清洗處理部18的清洗墊20以及墊保持部22設(shè)在低于盤(pán)110的位置上，不使用泵、利用重力就能自動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)再利用的清洗液。
[0145]啟動(dòng)加注處理裝置內(nèi)的其他處理部的結(jié)構(gòu)或功能也不限定于上述實(shí)施方式。例如，在粗清洗處理部18中，可以對(duì)墊保持部22、清洗墊移動(dòng)機(jī)構(gòu)24、齒條齒輪(運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu))26的結(jié)構(gòu)或功能進(jìn)行各種變形。在精清洗處理部38中也可以使用雙流體噴嘴以外的
清洗工具。
[0146]作為本發(fā)明中的涂敷液，除抗蝕液之外，例如還可以使用層間絕緣材料、電介質(zhì)材料、布線材料等的涂敷液，此外還可以使用各種藥液、顯影劑、刷洗劑等。本發(fā)明中的被處理基板并不限定于LCD基板，也可以使用其他種類的平板顯示器用基板、半導(dǎo)體晶圓、CD基板、光掩模、印刷基板等 。
【權(quán)利要求】
1.一種啟動(dòng)加注處理方法，該方法用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，其中， 該方法包括下述工序: 第I工序，為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該啟動(dòng)加注輥的頂部，使上述狹縫式噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，從而將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上； 第2工序，一邊使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)一邊利用清洗液清洗上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的繞涂有上述涂敷液的區(qū)域； 第3工序，為了將附著在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液擦除，一邊使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)一邊使板狀的擦拭墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面接觸； 第4工序，為了使殘留在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液揮發(fā)，在沿周向的一定區(qū)間內(nèi)形成在上述啟動(dòng)加注棍的周圍的間隙中、以使干燥用氣體沿與上述啟動(dòng)加注棍的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向吹過(guò)的方式噴射該干燥用氣體。
2.一種啟動(dòng)加注處理方法，該方法用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，其中， 該方法包括下述工序: 第I工序，為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該啟動(dòng)加注輥的頂部，使上述狹縫式噴嘴噴出恒定量的涂敷液之后使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，從而將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上.述啟動(dòng)加注輥的外周面上； 第2工序，對(duì)繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的涂敷液進(jìn)行干燥而形成干燥膜； 第3工序，一邊使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)一邊利用清洗液清洗上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的繞涂有上述涂敷液的各區(qū)域； 第4工序，為了將附著在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液擦除，一邊使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)一邊使擦拭墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面接觸； 第5工序，為了使殘留在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液揮發(fā)，在沿周向的一定區(qū)間內(nèi)形成在上述啟動(dòng)加注棍的周圍的間隙中、以使干燥用氣體沿與上述啟動(dòng)加注棍的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向吹過(guò)的方式噴射該干燥用氣體。
3.一種啟動(dòng)加注處理裝置，該裝置用于在非旋轉(zhuǎn)法的涂敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，其中， 該裝置包括: 啟動(dòng)加注輥，其為圓筒狀或圓柱狀，且水平地配置在規(guī)定位置上； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使上述啟動(dòng)加注棍繞該啟動(dòng)加注棍的中心軸線旋轉(zhuǎn)； 清洗處理部，其用于使用清洗液對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的外周面進(jìn)行清洗； 液滴去除部，其具有用于自上述啟動(dòng)加注輥的外周面擦除液滴的擦拭墊，且能在該擦拭墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面接觸的第I位置、和該擦拭墊自上述啟動(dòng)加注輥的外周面退避的第2位置之間切換該擦拭墊的位置； 干燥送風(fēng)部，其包括在沿周向的一定區(qū)間內(nèi)形成在上述啟動(dòng)加注輥周圍的間隙、和以使干燥用氣體在上述間隙中沿與上述啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向吹過(guò)的方式噴射該干燥用氣體的氣體噴嘴； 控制部，其用于控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、上述清洗處理部、上述液滴去除部以及上述干燥送風(fēng)部的各動(dòng)作； 該裝置為了進(jìn)行I次啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部空出規(guī)定間隙而平行地面對(duì)該啟動(dòng)加注輥的頂部，在使上述狹縫式噴嘴噴出恒定量的涂敷液后利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，從而將上述被噴出的涂敷液的一部分繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上； 一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)、一邊利用上述清洗處理部洗掉被繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的涂敷液或該涂敷液被干燥而成的膜； 一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)、一邊利用上述液滴去除部使上述擦拭墊與上述啟動(dòng)加注輥的外周面接觸而將附著在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液擦除； 一邊利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)、一邊使上述干燥送風(fēng)部的氣體噴嘴噴射干燥用氣體而使殘留在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的清洗液揮發(fā)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的啟動(dòng)加注處理裝置，其中， 該裝置設(shè)有用于通過(guò)進(jìn)行強(qiáng)制排氣而去除在上述啟動(dòng)加注輥周圍產(chǎn)生的霧的排氣機(jī)構(gòu)。.
【文檔編號(hào)】C03C17/00GK103466956SQ201310376565
【公開(kāi)日】2013年12月25日 申請(qǐng)日期:2010年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2009年6月26日
【發(fā)明者】宮崎文宏, 中滿孝志, 山崎剛, 鬼塚靖之, 永田義壽 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社, 平田機(jī)工株式會(huì)社