切削裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種切削裝置，其能夠抑制原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的電極端子的磨損及電導(dǎo)通不良。切削裝置（1）具備卡盤工作臺（10）、切削構(gòu)件（20）和原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)（90）。原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)（90）構(gòu)成為包括：在主軸外殼（23）的上方貫通形成的引導(dǎo)孔（91）；以能夠滑動的方式插入到該引導(dǎo)孔（91）中的電極端子（92）；和按壓該電極端子（92）的配重（93）。借助配重（93）以恒定的力將電極端子（92）按壓到主軸（22）的外周面（22a）。
【專利說明】切削裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具備用于對保持于卡盤工作臺的半導(dǎo)體晶片等被加工物進(jìn)行切削的切削刀具的切削裝置，更詳細(xì)地說，涉及具備用于檢測切削刀具的原點(diǎn)位置的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的切削裝置，所述切削刀具的原點(diǎn)位置作為設(shè)定切削刀具的切入量的基準(zhǔn)。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，利用被稱作切割器(dicer)的切削裝置進(jìn)行半導(dǎo)體晶片或光器件晶片等被加工物的沿著間隔道的切斷。這種切削裝置具備:卡盤工作臺，其具備用于保持被加工物的保持面；切削構(gòu)件，其具備用于對保持于所述卡盤工作臺的被加工物進(jìn)行切削的切削刀具；切入進(jìn)給構(gòu)件，其使所述切削刀具在相對于所述卡盤工作臺的保持面垂直的方向即切入進(jìn)給方向移動；分度進(jìn)給構(gòu)件，其使所述切削刀具在所述切削刀具的旋轉(zhuǎn)軸線方向即分度進(jìn)給方向移動；以及切削進(jìn)給構(gòu)件，其使所述卡盤工作臺在與所述切入進(jìn)給方向和所述分度進(jìn)給方向雙方正交的切削進(jìn)給方向移動。另外，這樣的切削裝置構(gòu)成為包括用于檢測切削刀具的原點(diǎn)位置的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)，所述切削刀具的原點(diǎn)位置作為用于設(shè)定切削刀具的切入量的基準(zhǔn)(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)I所示的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)具備:旋轉(zhuǎn)主軸，在其末端安裝有切削刀具；以及主軸外殼，其將所述旋轉(zhuǎn)主軸支承成能夠旋轉(zhuǎn)，并且，在所述主軸外殼設(shè)有朝向所述旋轉(zhuǎn)主軸的后端面貫通的連通孔，在所述連通孔以能夠滑動的方式插入有由碳制成的電極端子，通過彈簧對所述電極端子朝向旋轉(zhuǎn)主軸的后端面施力，來將該電極端子按壓到所述旋轉(zhuǎn)主軸的后端面，在所述連通孔的端部螺合有已安裝了導(dǎo)線的彈簧座，所述導(dǎo)線與原點(diǎn)檢測電路連接。
[0004]這樣構(gòu)成的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)一邊使切削刀具旋轉(zhuǎn)一邊使切削構(gòu)件朝向卡盤工作臺的保持面下降，當(dāng)所述切削刀具接觸所述卡盤工作臺時，在原點(diǎn)檢測電路中有電流流動，因此利用電流表檢測到該電流的流動，將檢測到該電流的時刻的切削刀具的切入位置設(shè)定為原點(diǎn)位置。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本實(shí)用新型登記第2597808號公報
[0006]在這樣的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)中，通過彈簧將電極端子始終按壓到旋轉(zhuǎn)主軸的后端面，因此在電極端子未磨損的狀態(tài)(初始狀態(tài))下，彈簧收縮到最短從而按壓力上升，電極端子有可能過多地磨損，在電極端子的磨損進(jìn)行的狀態(tài)(磨損狀態(tài))下，隨著電極端子的磨損的進(jìn)行，彈簧伸長從而按壓力降低，有可能產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)主軸與電極端子的電導(dǎo)通不良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種切削裝置，其能夠抑制原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的電極端子的磨損及電導(dǎo)通不良。
[0008]為解決上述課題，達(dá)成目的，本發(fā)明的切削裝置具備:卡盤工作臺，其用于保持被加工物；切削構(gòu)件，其包括旋轉(zhuǎn)軸線大致水平的主軸，在所述主軸的一端安裝有用于對保持于所述卡盤工作臺的被加工物進(jìn)行切削的切削刀具；和原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)，其使所述切削刀具和所述卡盤工作臺接觸，利用所述切削刀具與所述卡盤工作臺的電導(dǎo)通來檢測出所述切削刀具相對于該卡盤工作臺在切入方向的原點(diǎn)位置，所述切削裝置的特征在于，所述原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)構(gòu)成為包括:引導(dǎo)孔，其從主軸外殼的上方的外周面朝向所述主軸貫通形成至該主軸外殼的內(nèi)周面，所述主軸外殼將所述主軸支承成能夠旋轉(zhuǎn)；電極端子，其以能夠滑動的方式插入到所述引導(dǎo)孔中，并與所述主軸的外周面接觸；和配重，其由導(dǎo)電性材料形成為預(yù)定的重量，并將所述電極端子按壓到所述主軸的所述外周面，借助所述配重以恒定的力將所述電極端子按壓到所述主軸的所述外周面。
[0009]另外，在上述切削裝置中，優(yōu)選的是，在所述原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)中，所述配重經(jīng)由由導(dǎo)電性材料形成的彈性部件按壓所述電極端子，所述彈性部件抑制了由于所述主軸的旋轉(zhuǎn)及振動導(dǎo)致與該主軸的所述外周面接觸的所述電極端子彈起從而使電接觸斷開的情況。
[0010]另外，在上述切削裝置中，優(yōu)選的是，所述原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)具備測知所述電極端子的更換時機(jī)的測知構(gòu)件，所述測知構(gòu)件能夠測知隨著所述電極端子由于與旋轉(zhuǎn)的所述主軸接觸而磨損，所述配重下降到了預(yù)定的位置的情況，從而能夠檢測出所述電極端子磨損到了預(yù)定的長度的情況。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的切削裝置，利用配重將電極端子按壓到所述主軸的外周面，其中，所述電極端子以能夠滑動的方式插入到引導(dǎo)孔中，所述引導(dǎo)孔從主軸外殼的上方的外周面朝向主軸貫通形成至該主軸外殼的內(nèi)周面，因此，借助配重始終以恒定的力將電極端子按壓到主軸的外周面，起到了能夠抑制電極端子的多余的消耗及電極端子與主軸的電導(dǎo)通不良的效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是示出實(shí)施方式I涉及的切削裝置的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0013]圖2是示出實(shí)施方式I涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0014]圖3是示出實(shí)施方式I涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)孔的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0015]圖4是原點(diǎn)檢測時的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的說明圖。
[0016]圖5是示出實(shí)施方式2涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)孔的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0017]圖6是示出實(shí)施方式3涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的測知構(gòu)件的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0018]圖7是用于檢測電極端子更換時機(jī)的測知構(gòu)件的說明圖。
[0019]標(biāo)號說明
[0020]1:切削裝置；
[0021]10:卡盤工作臺；
[0022]20:切削構(gòu)件；
[0023]21:切削刀具；
[0024]22:主軸；
[0025]22a:外周面；
[0026]23:主軸外殼；
[0027]23a:外周面；
[0028]23b:內(nèi)周面；[0029]90:原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)；
[0030]91:引導(dǎo)孔;
[0031]92:電極端子；
[0032]93:配重；
[0033]94:彈性部件；
[0034]99:測知構(gòu)件。
【具體實(shí)施方式】
[0035]參照附圖對用于實(shí)施本發(fā)明的方式(實(shí)施方式)進(jìn)行詳細(xì)說明。本發(fā)明不受以下的實(shí)施方式所記載的內(nèi)容限定。并且，在以下記載的結(jié)構(gòu)要素中，包括本領(lǐng)域技術(shù)人員容易想到的和實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)。而且，以下記載的結(jié)構(gòu)能夠適當(dāng)組合。另外，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行結(jié)構(gòu)的各種省略、置換或變更。
[0036][實(shí)施方式I]
[0037]圖1是示出實(shí)施方式I涉及的切削裝置的結(jié)構(gòu)例的圖。圖2是示出實(shí)施方式I涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)例的圖。圖3是示出實(shí)施方式I涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)孔的結(jié)構(gòu)例的圖。圖4是原點(diǎn)檢測時的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的說明圖。
[0038]圖1所示的實(shí)施方式I涉及的切削裝置I是通過使切削構(gòu)件20和卡盤工作臺10相對移動來對被加工物實(shí)施切削加工的、被稱為切割器的裝置，其中，所述切削構(gòu)件20具備切削刀具21，所述卡盤工作臺10保持有未圖示的被加工物。切削裝置I構(gòu)成為包括卡盤工作臺10、切削構(gòu)件20、攝像構(gòu)件30、X軸移動構(gòu)件40、Y軸移動構(gòu)件50、Z軸移動構(gòu)件60、0軸旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70、控制構(gòu)件80和原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90 (圖2中示出)。
[0039]這里，被加工物是被切削加工的加工對象，不特別限定，例如是以硅、砷化鎵(GaAs)等為母材的圓板狀的半導(dǎo)體晶片或光器件晶片、陶瓷、玻璃、藍(lán)寶石(Al2O3)類的圓板狀的無機(jī)材料基板、金屬或樹脂等的圓板狀的延展性材料等各種加工材料。
[0040]卡盤工作臺10的構(gòu)成保持部11的表面12 (相當(dāng)于保持面)的部分是由多孔性陶瓷等形成的圓盤形狀，利用未圖示的真空抽吸源來對在表面12載置的被加工物進(jìn)行抽吸保持。另外，包括與保持部11共面地形成的外周部分的卡盤工作臺10由不銹鋼等導(dǎo)電性材料構(gòu)成。
[0041]切削構(gòu)件20用于基于由攝像構(gòu)件30攝像得到的被加工物的圖像數(shù)據(jù)，對保持于卡盤工作臺10的被加工物一邊供給切削液一邊在應(yīng)加工的區(qū)域?qū)嵤┣邢骷庸ぁＧ邢鳂?gòu)件20被Y軸移動構(gòu)件50和Z軸移動構(gòu)件60支承成能夠相對于卡盤工作臺10分別沿Y軸方向及Z軸方向相對移動。切削構(gòu)件20具備切削刀具21、主軸22、主軸外殼23及切削液供給噴嘴24。切削刀具21是由導(dǎo)電性材料形成為極薄的環(huán)形形狀的切削磨具，通過高速旋轉(zhuǎn)對保持于卡盤工作臺10的被加工物進(jìn)行切削。切削刀具21以裝卸自如的方式安裝于主軸22的Y軸方向的正方向側(cè)的一端(末端)。主軸22的旋轉(zhuǎn)軸線大致水平。這里所謂的大致水平包括主軸22的旋轉(zhuǎn)軸線為水平的情況，是指在利用切削刀具21進(jìn)行的被加工物的切削加工中不會出現(xiàn)問題的水平度。主軸22由導(dǎo)電性材料形成，如圖2所示，其一體地具有主軸主體部24、轉(zhuǎn)子部25和止推板部26。主軸22由主軸主體部24及止推板部26構(gòu)成，并被空氣軸承機(jī)構(gòu)支承成旋轉(zhuǎn)自如。主軸外殼23形成為筒狀，將插入到其內(nèi)部的主軸22支承成旋轉(zhuǎn)自如。在主軸外殼23形成有供給通道27，從氣體供給構(gòu)件100經(jīng)由供給配管101對供給通道27供給高壓空氣。被供給到供給通道27的高壓空氣在主軸主體部24及止推板部26處，在主軸22和主軸外殼23之間形成空氣層，成為空氣軸承來支承主軸22。轉(zhuǎn)子部25是電動機(jī)29的結(jié)構(gòu)要素，在轉(zhuǎn)子部25的徑向外側(cè)配設(shè)有定子28。定子28固定于主軸外殼23，利用通電來產(chǎn)生磁場，產(chǎn)生驅(qū)動轉(zhuǎn)子部25旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)力，從而驅(qū)動切削刀具21旋轉(zhuǎn)。
[0042]攝像構(gòu)件30是例如使用CO) (Charge Couple Device:電荷稱合器件)圖像傳感器的照相機(jī)等，其對保持于卡盤工作臺10的被加工物進(jìn)行攝像從而生成圖像。
[0043]X軸移動構(gòu)件40利用由X軸脈沖電動機(jī)42產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力來驅(qū)動X軸滾珠絲杠43旋轉(zhuǎn)，由此一邊利用一對X軸導(dǎo)軌44引導(dǎo)搭載有卡盤工作臺10的X軸移動基座41，一邊利用X軸位置檢測用標(biāo)尺45和X軸位置檢測用傳感器46檢測X軸方向的相對位置，從而相對于裝置主體2將X軸移動基座41移動至X軸方向的預(yù)定位置。X軸方向是與主軸22的軸向(Y軸方向)及豎直方向(Z軸方向)雙方正交的方向。
[0044]Y軸移動構(gòu)件50利用由Y軸脈沖電動機(jī)52產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力來驅(qū)動Y軸滾珠絲杠53旋轉(zhuǎn)，由此一邊利用一對Y軸導(dǎo)軌54引導(dǎo)Y軸移動基座51，一邊利用Y軸位置檢測用標(biāo)尺55和Y軸位置檢測用傳感器56檢測Y軸方向的相對位置，從而相對于裝置主體2將Y軸移動基座51移動至Y軸方向的預(yù)定的位置。Y軸方向是切削刀具21的旋轉(zhuǎn)軸線的方向，是與豎直方向(Z軸方向)正交的方向。
[0045]Z軸移動構(gòu)件60利用由Z軸脈沖電動機(jī)62產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力來驅(qū)動Z軸滾珠絲杠63旋轉(zhuǎn)，由此一邊利用一對Z軸導(dǎo)軌64引導(dǎo)固定有切削構(gòu)件20的Z軸移動部件61，一邊利用未圖示的Z軸位置檢測用傳感器檢測Z軸方向的相對位置，從而相對于裝置主體2將Z軸移動部件61移動至Z軸方向的預(yù)定的位置。Z軸方向在本實(shí)施方式中為豎直方向。
[0046]0軸旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70構(gòu)成為能夠利用0軸旋轉(zhuǎn)電動機(jī)71相對于切削刀具21使搭載有卡盤工作臺10的工作臺72旋轉(zhuǎn)任意的角度或連續(xù)旋轉(zhuǎn)。工作臺72構(gòu)成為經(jīng)由0軸旋轉(zhuǎn)電動機(jī)71支承于X軸移動基座41，并且能夠以卡盤工作臺10的中心軸線為中心旋轉(zhuǎn)。
[0047]控制構(gòu)件80是具有計(jì)算機(jī)的電子控制裝置，其與X軸移動構(gòu)件40、Y軸移動構(gòu)件50、Z軸移動構(gòu)件60、0軸旋轉(zhuǎn)構(gòu)件70及氣體供給構(gòu)件100 (圖2中示出)分別連接，并控制各構(gòu)件 40、50、60、70、100。
[0048]這里，對實(shí)施方式I涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90進(jìn)行說明。原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90是用于檢測切削刀具21的原點(diǎn)位置的機(jī)構(gòu)，所述切削刀具21的原點(diǎn)位置作為用于設(shè)定切削刀具21的切入量的基準(zhǔn)。如圖2所示，原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90構(gòu)成為具備引導(dǎo)孔91、電極端子92、配重93和彈性部件94，并包括原點(diǎn)檢測電路95和控制構(gòu)件80。
[0049]如圖2及圖3所示，引導(dǎo)孔91與主軸外殼23的上方的外周面23a和該主軸外殼23的上方的內(nèi)周面23b連通并朝向主軸22貫通形成。引導(dǎo)孔91在與主軸22的旋轉(zhuǎn)軸線正交的豎直方向(Z軸方向)上貫通形成，例如形成為圓形形狀的貫通孔。在引導(dǎo)孔91的上端形成有與該引導(dǎo)孔91在一條直線上連通的中空圓筒狀的筒狀部96。電極端子92、配重93和彈性部件94在連結(jié)的狀態(tài)下，以能夠滑動的方式插入到引導(dǎo)孔91及筒狀部96中。
[0050]電極端子92由摩擦系數(shù)低、耐磨性優(yōu)秀、并具有耐熱性的導(dǎo)電性材料形成。在本實(shí)施方式中，電極端子92使用碳刷。電極端子92的外形形成為比引導(dǎo)孔91稍小，并且電極端子92以能夠滑動的方式插入到引導(dǎo)孔91中。電極端子92在上端側(cè)連結(jié)有彈性部件94，并與該彈性部件94電連接。電極端子92的下端側(cè)與主軸22的外周面22a接觸并與所述主軸22電連接。
[0051]配重93經(jīng)由彈性部件94對電極端子92作用有自重，從而始終以恒定的力將電極端子92按壓到主軸22的外周面22a。配重93由金屬等導(dǎo)電性材料構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，配重93具有10克(g)左右的預(yù)定的重量。這里所謂的預(yù)定的重量是能夠抑制電極端子92與主軸22的電導(dǎo)通不良、并且抑制電極端子92的多余的消耗的重量，是相對于電極端子92合適的重量。配重93的外形形成為比引導(dǎo)孔91稍小，并且配重93以能夠滑動的方式插入到筒狀部96中。配重93在下端側(cè)連結(jié)有彈性部件94并且在上端側(cè)連結(jié)有原點(diǎn)檢測電路95的導(dǎo)線97，并與彈性部件94及導(dǎo)線97電連接。當(dāng)配重93隨著電極端子92的磨損而下降到引導(dǎo)孔91中時，該配重93以能夠滑動的方式插入到該引導(dǎo)孔91中。
[0052]彈性部件94抑制了與主軸22的外周面22a接觸的電極端子92由于所述主軸22的旋轉(zhuǎn)及振動而彈起的情況，抑制了電極端子92與主軸22之間的電接觸斷開的情況。在本實(shí)施方式中，彈性部件94是將金屬線等導(dǎo)電性材料卷繞成螺旋狀而形成的壓縮螺旋彈簧。彈性部件94在下端側(cè)與電極端子92連結(jié)，并在上端側(cè)與配重93連結(jié)，并且與電極端子92及配重93電連接。彈性部件94的外形形成為比引導(dǎo)孔91稍小，并且彈性部件94以能夠滑動的方式插入到引導(dǎo)孔91中。彈性部件94具有吸收電極端子92的振動并且不隨著電極端子92的振動而發(fā)生固有振動的倔強(qiáng)系數(shù)，所述電極端子92與由于稍稍偏心等而振動的主軸22的外周面22a接觸。
[0053]原點(diǎn)檢測電路95構(gòu)成為包括導(dǎo)線97、第一開關(guān)98a、電流表98b、第二開關(guān)98c和電源98d。導(dǎo)線97將配重93、電流表98b、第二開關(guān)98c、電源98d和卡盤工作臺10串聯(lián)地電連接，在所述配重93和所述電流表98b之間配設(shè)用于切斷和連接接地線的開關(guān)即第一開關(guān)98a，并將所述配重93、所述第一開關(guān)98a和所述接地線串聯(lián)地電連接。第一開關(guān)98a、電流表98b和第二開關(guān)98c分別與控制構(gòu)件80電連接?？刂茦?gòu)件80構(gòu)成為，其控制第一開關(guān)98a及第二開關(guān)98c，并能夠取得示出電流表98b的檢測結(jié)果的信號。
[0054]這里，對通過切削刀具21與卡盤工作臺10接觸時的電導(dǎo)通來檢測切削刀具21相對于所述卡盤工作臺10在切入方向(Z軸方向)的原點(diǎn)位置的設(shè)置(set up)進(jìn)行說明。另夕卜，原點(diǎn)位置是用于設(shè)定切削刀具21的切入量的基準(zhǔn)。
[0055]如圖4所示，在設(shè)置時，控制構(gòu)件80斷開第一開關(guān)98a，閉合第二開關(guān)98c，一邊使切削刀具21旋轉(zhuǎn)一邊使切削構(gòu)件20朝向卡盤工作臺10的表面12下降?？刂茦?gòu)件80將以下位置設(shè)定為原點(diǎn)位置:該位置是由于切削刀具21與卡盤工作臺10的接觸而利用電流表98b檢測到了在包括原點(diǎn)檢測電路95的閉合電路中流動的電流的時刻的、切削刀具21的切入位置。
[0056]而且，如圖2所示，在設(shè)置時以外，控制構(gòu)件80閉合第一開關(guān)98a，斷開第二開關(guān)98c，使主軸22、電極端子92、配重93、彈性部件94、導(dǎo)線97、第一開關(guān)98a和接地線電連接，從而將主軸22接地。
[0057]如上所述，根據(jù)實(shí)施方式I涉及的切削裝置1，利用配重93將電極端子92按壓到主軸22的外周面22a，其中，所述電極端子92以能夠滑動的方式插入到引導(dǎo)孔91中，所述引導(dǎo)孔91從主軸外殼23的上方的外周面23a朝向所述主軸22貫通形成至該主軸外殼23的內(nèi)周面23b，因此，借助配重93始終以恒定的力將電極端子92按壓到主軸22的外周面22a，起到能夠抑制電極端子92的多余的消耗及電極端子92與主軸22的電導(dǎo)通不良的效果。
[0058]另外，根據(jù)實(shí)施方式I涉及的切削裝置1，配重93經(jīng)由彈性部件94將電極端子92按壓到主軸22的外周面22a，因此抑制了電極端子92由于主軸22的旋轉(zhuǎn)及振動而彈起，并能夠抑制電極端子92和主軸22的電接觸的斷開。
[0059]另外，根據(jù)實(shí)施方式I涉及的切削裝置1，通過預(yù)定重量的配重93將電極端子92以恒定的力按壓到主軸22，因此在電極端子92未磨損的狀態(tài)(初始狀態(tài))及電極端子92的磨損進(jìn)行的狀態(tài)(磨損狀態(tài))下，能夠抑制電極端子92的多余的消耗及電極端子92與主軸22的電導(dǎo)通不良。
[0060]另外，根據(jù)實(shí)施方式I涉及的切削裝置1，電極端子92接觸主軸22的外周面22a，因此能夠使切削構(gòu)件20的軸向(Y軸方向)的尺寸小型化。從而，能夠?qū)崿F(xiàn)切削裝置I的省空間化。
[0061]而且，在上述實(shí)施方式I中，切削裝置I是具有一個主軸22的切割器，但也可以是具有兩個主軸22的切割器，換句話說為雙切割器(例如對置雙切割器或并列雙切割器)。
[0062]另外，在上述實(shí)施方式I中，配重93具有10克(g)左右的重量，但只要是能夠抑制電極端子92與主軸22的電導(dǎo)通不良、且抑制電極端子92的多余的消耗的重量即可，因此也可以是通過將多個配重93插入到引導(dǎo)孔91 (包括筒狀部96)中來形成10克左右的重量。
[0063]另外，在上述實(shí)施方式I中，彈性部件94是將金屬線等卷繞成螺旋狀而形成的壓縮螺旋彈簧，但可以使用以下部件:其具有作為能夠吸收電極端子92的振動的減震器的功能，且具有導(dǎo)電性。
[0064][實(shí)施方式2]
[0065]接著，對實(shí)施方式2涉及的切削裝置I的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90進(jìn)行說明。實(shí)施方式2涉及的切削裝置I的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90的基本結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式I涉及的切削裝置I的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90相同，因此省略了相同部分的結(jié)構(gòu)的說明。實(shí)施方式2涉及的切削裝置I的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90能夠在豎直方向(Z軸方向)上實(shí)現(xiàn)省空間化。
[0066]圖5是示出實(shí)施方式2涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)孔的結(jié)構(gòu)例的圖。
[0067]如圖5所不,原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90具有以相對于豎直方向傾斜的方式貫通形成的引導(dǎo)孔91、和與該引導(dǎo)孔91在一條直線上連通的筒狀部96，電極端子92、配重93和彈性部件94在傾斜的狀態(tài)下以能夠滑動的方式插入到引導(dǎo)孔91及筒狀部96中。
[0068]弓丨導(dǎo)孔91與主軸22的旋轉(zhuǎn)軸線正交，并在相對于豎直方向(Z軸方向)向X軸方向的負(fù)方向以傾斜角a傾斜的方向貫通形成。在本實(shí)施方式中，傾斜角a設(shè)定為向X軸方向的負(fù)方向傾斜的-30度。
[0069]筒狀部96與引導(dǎo)孔91在一條直線上連通，并且在本實(shí)施方式中，其傾斜角a設(shè)定為相對于豎直方向(Z軸方向)向X軸方向的負(fù)方向傾斜的-30度。
[0070]如上所述，根據(jù)實(shí)施方式2涉及的切削裝置1，使筒狀部96相對于豎直方向傾斜，因此能夠減少筒狀部96在豎直方向的突出量H。從而，實(shí)施方式2涉及的切削裝置I能夠?qū)崿F(xiàn)豎直方向上的省空間化。[0071]另外，引導(dǎo)孔91的傾斜角a是向X軸方向的負(fù)方向傾斜的-30度，因此不會增大配重93與引導(dǎo)孔91 (包括筒狀部96)之間的摩擦力，能夠?qū)⑴渲?3的重量充分地作用于電極端子92，能夠抑制電極端子92與主軸22之間的電導(dǎo)通不良。
[0072]另外，在上述實(shí)施方式2中，傾斜角a形成為向X軸方向的負(fù)方向傾斜的-30度，但只要是在能夠忽略配重93與引導(dǎo)孔91 (包含筒狀部96)之間的摩擦力的范圍、且不需要非常多的個數(shù)的配重93的范圍內(nèi)即可，因此傾斜角a能夠設(shè)定在從向X軸方向的正方向傾斜的+45度至向X軸方向的負(fù)方向傾斜的-45度的范圍內(nèi)，優(yōu)選的是，能夠設(shè)定在從向X軸方向的正方向傾斜的+30度至向X軸方向的負(fù)方向傾斜的-30度的范圍內(nèi)。
[0073]另外，在上述實(shí)施方式2中，引導(dǎo)孔91及筒狀部96向X軸方向傾斜，但只要能夠?qū)崿F(xiàn)筒狀部96的豎直方向的省空間化即可，因此也可以向Y軸方向傾斜，另外也可以向X軸方向及Y軸方向雙方傾斜。
[0074][實(shí)施方式3]
[0075]接著，對本實(shí)施方式3涉及的切削裝置I的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90進(jìn)行說明。實(shí)施方式3涉及的切削裝置I的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90的基本的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式I涉及的切削裝置I的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90相同，因此省略了相同部分的結(jié)構(gòu)的說明。實(shí)施方式3涉及的切削裝置I的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90能夠檢測電極端子92的更換時機(jī)。
[0076]圖6是示出實(shí)施方式3涉及的原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)的測知構(gòu)件的結(jié)構(gòu)例的圖。圖7是檢測電極端子的更換時機(jī)的測知構(gòu)件的說明圖。
[0077]如圖6所示，原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)90具備測知構(gòu)件99，測知構(gòu)件99用于測知配重93隨著電極端子92的磨損而下降到了預(yù)定位置的情況。這里所謂的配重93下降到了預(yù)定位置是指配重93下降到了當(dāng)電極端子92的磨損達(dá)到未圖示的磨損邊界線時的位置。測知構(gòu)件99例如構(gòu)成為包括:標(biāo)記部件99a，其比配重93的表面容易反射光；以及傳感器99b，其用于向配重93照射光并測知由標(biāo)記部件99a反射來的光。標(biāo)記部件99a配設(shè)在當(dāng)所述電極端子92的磨損到達(dá)在電極端子92的外表面形成的未圖示的磨損邊界線時傳感器99b能夠檢測到的位置。在本實(shí)施方式中，傳感器99b配設(shè)于筒狀部96，并與控制構(gòu)件80電連接?？刂茦?gòu)件80構(gòu)成為能夠取得表示傳感器99b的測知結(jié)果的信號。
[0078]這里，對電極端子92的更換時機(jī)的檢測進(jìn)行說明。如圖7所示，在配重93隨著電極端子92的磨損而下降到了預(yù)定的位置時，控制構(gòu)件80基于表示傳感器99b檢測到了配重93的標(biāo)記部件99a這一測知結(jié)果的信號，檢測出電極端子92磨損到了預(yù)定的長度。接著，控制構(gòu)件80在切削裝置I的未圖示的操作畫面等中發(fā)出通知電極端子92的更換時機(jī)的警報，從而催促操作者等作業(yè)員更換電極端子92。
[0079]如上所述，根據(jù)實(shí)施方式3涉及的切削裝置I，利用傳感器99b檢測到配重93隨著電極端子92的磨損而下降到了預(yù)定的位置的情況，因此能夠利用測知構(gòu)件99檢測出電極端子92磨損至預(yù)定的長度而到達(dá)該電極端子92的更換時機(jī)的情況。從而，實(shí)施方式3涉及的切削裝置I根據(jù)電極端子92的磨損量，能夠在適當(dāng)?shù)臅r機(jī)更換電極端子92。
[0080]另外，在上述實(shí)施方式3中，測知構(gòu)件99構(gòu)成為包括配重93的標(biāo)記部件99a和測知從該標(biāo)記部件99a反射來的光的傳感器99b，但也可以構(gòu)成為，在配重93隨著電極端子92的磨損而下降至預(yù)定的位置時，設(shè)于該配重93的凸部按壓開關(guān)從而檢測出上述電極端子92的更換時機(jī)，也可以構(gòu)成為通過與配重93的電導(dǎo)通來檢測出電極端子92的更換時機(jī)，只要是能夠通過檢測配重93的移動量或位置等來檢測電極端子92的更換時機(jī)的結(jié)構(gòu)即可。
【權(quán)利要求】
1.一種切削裝置，其具備: 卡盤工作臺，其用于保持被加工物； 切削構(gòu)件，其包括旋轉(zhuǎn)軸線大致水平的主軸，在所述主軸的一端安裝有用于對保持于所述卡盤工作臺的被加工物進(jìn)行切削的切削刀具；和 原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)，其使所述切削刀具和所述卡盤工作臺接觸，利用所述切削刀具與所述卡盤工作臺的電導(dǎo)通來檢測出所述切削刀具相對于該卡盤工作臺在切入方向的原點(diǎn)位置，所述原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)構(gòu)成為包括: 引導(dǎo)孔，其從主軸外殼的上方的外周面朝向所述主軸貫通形成至該主軸外殼的內(nèi)周面，所述主軸外殼將所述主軸支承成能夠旋轉(zhuǎn)； 電極端子，其以能夠滑動的方式插入到所述引導(dǎo)孔中，并與所述主軸的外周面接觸；和配重，其由導(dǎo)電性材料形成為預(yù)定的重量，并將所述電極端子按壓到所述主軸的所述外周面， 借助所述配重以恒定的力將所述電極端子按壓到所述主軸的所述外周面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的切削裝置，其中， 在所述原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)中， 所述配重經(jīng)由由導(dǎo)電性材料形成的彈性部件按壓所述電極端子， 所述彈性部件抑制了由于所述主軸的旋轉(zhuǎn)及振動導(dǎo)致與該主軸的所述外周面接觸的所述電極端子彈起從而使電接觸斷開的情況。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的切削裝置，其中， 所述原點(diǎn)檢測機(jī)構(gòu)具備測知所述電極端子的更換時機(jī)的測知構(gòu)件， 所述測知構(gòu)件能夠測知隨著所述電極端子由于與旋轉(zhuǎn)的所述主軸接觸而磨損，所述配重下降到了預(yù)定的位置的情況，從而能夠檢測出所述電極端子磨損到了預(yù)定的長度的情況。
【文檔編號】B28D7/00GK103660049SQ201310449812
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月23日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月24日
【發(fā)明者】押田邦雄 申請人:株式會社迪思科