一種帶有刻度的壓靶模具的制作方法
【專利摘要】針對靶材壓制過程中的厚度控制問題，本實用新型提供一種帶有刻度的壓靶模具，包括模具套、下模具、上模具、上模具桿、刻度尺，其中，上模具和下模具安裝在模具套的中心孔內(nèi)，且上模具的上模具桿上安裝有刻度尺。本實用新型在上模具的上模具桿上安裝有刻度尺，能夠保證每次壓制得到的靶材具有相同的厚度，保證了生產(chǎn)上對厚度的一致性要求。
【專利說明】 一種帶有刻度的壓靶模具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及模具領(lǐng)域，尤其是涉及到一種帶有刻度的壓靶模具。
【背景技術(shù)】
[0002]使用脈沖激光沉積、磁控濺射等設(shè)備制備氧化物、陶瓷薄膜的時候都需要靶材。一般來說，氧化物、陶瓷靶材是通過粉末壓制而成。壓制靶材的過程是將粉末放入模具內(nèi)進(jìn)行壓制。在工業(yè)化生產(chǎn)靶材的時候，靶材的厚度要求是一定的，如何保證壓制靶材的厚度均勻性是關(guān)鍵問題。
實用新型內(nèi)容
[0003]針對靶材壓制過程中的厚度控制問題，本實用新型提供一種帶有刻度的壓靶模具，能夠保證每次壓制得到的靶材具有相同的厚度，保證了生產(chǎn)上對厚度的一致性要求。本實用新型所采取的技術(shù)方案為，一種帶有刻度的壓靶模具，包括模具套、下模具、上模具、上模具桿、刻度尺，其中，上模具和下模具安裝在模具套的中心孔內(nèi)，且上模具的上模具桿上安裝有刻度尺。
[0004]本實用新型在上模具的上模具桿上安裝有刻度尺，能夠保證每次壓制得到的靶材具有相同的厚度，保證了生產(chǎn)上對厚度的一致性要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0005]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0006]圖中:1模具套、2下模具、3上模具、4上模具桿、5刻度尺。
【具體實施方式】
[0007]以下結(jié)合附圖實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0008]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，模具套1、下模具2、上模具3、上模具桿4、刻度尺5，其中，上模具3和下模具2安裝在模具套I的中心孔內(nèi)，且上模具3的上模具桿4上安裝有刻度尺5。本實用新型在上模具3的上模具桿4上安裝有刻度尺5，能夠保證每次壓制得到的靶材具有相同的厚度，保證了生產(chǎn)上對厚度的一致性要求。
[0009]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1.一種帶有刻度的壓靶模具，包括模具套、下模具、上模具、上模具桿、刻度尺，其特征在于:所述的上模具和下模具安裝在模具套的中心孔內(nèi)，且上模具的上模具桿上安裝有刻度尺。
【文檔編號】B28B7/02GK203566825SQ201320322140
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年5月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月20日
【發(fā)明者】舒?zhèn)c 申請人:舒?zhèn)c