一種多晶棒料車削夾具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種多晶棒料車削夾具。夾具包括左端固定盤和右端固定盤，左端固定盤為圓柱體，其一端為階梯狀，另一端孔內(nèi)底端為盲孔，孔內(nèi)上端為內(nèi)錐面，右端固定盤為圓柱體，其一端為平面，另一端為圓凸起面。本實(shí)用新型有益效果是：夾持穩(wěn)定，徑向跳動(dòng)小。多晶棒料與左端固定盤對(duì)中操作省時(shí)間，安全性高，提高了加工效率及產(chǎn)品合格率。按照工藝參數(shù)進(jìn)行棒料的車削，保證了加工精度要求，加工精度要求為：彎曲度<3mm、橢圓度<3mm、直徑偏差<3mm。
【專利說明】—種多晶棒料車削夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體行業(yè)多晶硅棒料機(jī)加工備料領(lǐng)域，特別涉及一種多晶棒料車削夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶棒料的加工是為拉制單晶提供原材料，對(duì)加工后棒料的幾何形狀有嚴(yán)格的尺寸要求。幾何形狀不規(guī)則的棒料在拉晶過程中經(jīng)常出現(xiàn)問題，不利于晶體的自動(dòng)生長(zhǎng)。
[0003]目前行業(yè)內(nèi)普遍采用進(jìn)口砂帶機(jī)加工多晶棒料，雖能保證較好的加工精度，但是采購(gòu)費(fèi)用高，加工效率低。國(guó)內(nèi)外均無用于多晶棒料的專用車削機(jī)床，需對(duì)現(xiàn)有普通車床進(jìn)行相應(yīng)的技術(shù)改造。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型提供了一種多晶棒料車削夾具，采用新設(shè)計(jì)的夾具配合加工方式，以解決多晶棒料在加工過程中容易出現(xiàn)幾何形狀不規(guī)則，達(dá)不到工藝要求的問題，以滿足對(duì)原材料的加工精度要求。
[0005]本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，所采用的技術(shù)方案是:一種多晶棒料車削夾具，其特征在于:所述夾具包括左端固定盤和右端固定盤，所述左端固定盤為圓柱體，其一端為階梯狀，另一端孔內(nèi)底端為盲孔，孔內(nèi)上端為內(nèi)錐面，所述右端固定盤為圓柱體，其一端為平面，另一端為圓凸起面。
[0006]本實(shí)用新型有益效果是:夾持穩(wěn)定，徑向跳動(dòng)小。多晶棒料與左端固定盤對(duì)中操作省時(shí)間，安全性高，提高了加工效率及產(chǎn)品合格率。按照工藝參數(shù)進(jìn)行棒料的車削，保證了加工精度要求，加工精度要求為:彎曲度<3mm、橢圓度<3mm、直徑偏差<3mm。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型使用狀態(tài)示意圖；
[0008]圖2為本實(shí)用新型左端固定盤的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖3為本實(shí)用新型右端固定盤的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖1、2、3所示，一種多晶棒料車削夾具，夾具包括左端固定盤1、右端固定盤2，左端固定盤I為圓柱體，其一端為階梯狀1-1，另一端孔內(nèi)底端為盲孔1-2，孔內(nèi)上端為內(nèi)錐面1-3，右端固定盤2為圓柱體，其一端為平面2-1，另一端為圓凸起面2-2。
[0011 ] 將多晶棒料3的左端按尺寸磨制一定錐度，將多晶棒料3右端切割成平面，且端面與多晶棒料3的中心線垂直度小于0.2_，然后將多晶棒料3的右端面與右端固定盤2的平面2-1膠粘在一起；將左端固定盤I的階梯狀1-1端用車床三爪卡盤4卡緊；將多晶棒料3一端的外錐面置于左端固定盤2的內(nèi)錐面1-3內(nèi)，配合好后可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)中，起到軸向、徑向定向作用，其多晶棒料3右端上的右端固定盤2圓凸起面2-2用車床尾座5頂尖頂緊，裝卡完畢；將選定的硬質(zhì)合金刀具卡緊，對(duì)好刀后，按優(yōu)選的工藝參數(shù)進(jìn)行棒料的車削，既切削速度為94m/min，縱向進(jìn)給比例0.2，進(jìn)刀量2mm，進(jìn)刀角度80°，同時(shí)開啟除塵冷卻裝置，既采用工業(yè)用吸塵器，將吸頭固定于車刀刀架上，吸口對(duì)準(zhǔn)車刀，車削時(shí)強(qiáng)大的氣流吸走粉塵的同時(shí)也帶走了熱量，起到除塵冷卻的作用，硅粉可直接收集；車削完成后，按加工精度要求:彎曲度〈3mm、橢圓度<3mm、直徑偏差<3mm檢驗(yàn)。
[0012]刀具的選型:
[0013]經(jīng)過對(duì)多種刀具的對(duì)比試驗(yàn)選定硬質(zhì)合金材料的刀具，其特點(diǎn)如下:
[0014]1、能夠加工多晶硅材料。
[0015]2、無冷卻情況下，車刀耐熱性穩(wěn)定，未發(fā)生軟化。
[0016]3、能進(jìn)行高轉(zhuǎn)速、大進(jìn)給量車削，加工效率高。
[0017]4、車刀使用壽命長(zhǎng)，間斷使用壽命在12小時(shí)以上。
[0018]5、車削后棒料表面光潔度較好。
[0019]工藝參數(shù)如下表:
[0020]
【權(quán)利要求】
1.一種多晶棒料車削夾具，其特征在于:所述夾具包括左端固定盤(I)和右端固定盤(2)，所述左端固定盤(I)為圓柱體，其一端為階梯狀(1-1)，另一端孔內(nèi)底端為盲孔(1-2)，孔內(nèi)上端為內(nèi)錐面(1-3)，所述右端固定盤(2)為圓柱體，其一端為平面(2-1)，另一端為圓凸起面(2-2)。
【文檔編號(hào)】B28D7/04GK203460334SQ201320532587
【公開日】2014年3月5日 申請(qǐng)日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】靳立輝, 于書翰, 賈弘源, 劉旭光, 閆耀東, 盧君, 姚長(zhǎng)娟, 李立偉, 楊春庚 申請(qǐng)人:天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司