玻璃薄膜的切割方法及玻璃薄膜層疊體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的玻璃薄膜的切割方法具有整體切割工序，通過對(duì)厚度為200μm以下的玻璃薄膜(GF)進(jìn)行基于激光(9)的加熱及追隨于該加熱的冷卻，使初期裂縫(8)沿著切割預(yù)定線(4、5)進(jìn)展，從而對(duì)玻璃薄膜(GF)進(jìn)行整體切割，該方法中，具有層疊體制作工序，將玻璃薄膜(GF)及支承該玻璃薄膜(GF)的支承玻璃(GS)的、各自相互接觸的一側(cè)的表面的表面粗糙度Ra設(shè)為2.0nm以下，通過使該兩表面面接觸來制作玻璃薄膜層疊體(S)，在執(zhí)行層疊體制作工序之后，執(zhí)行整體切割工序。
【專利說明】玻璃薄膜的切割方法及玻璃薄膜層疊體
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種玻璃薄膜的切割方法及玻璃薄膜層疊體，詳細(xì)而言，涉及一種利用了激光加熱的玻璃薄膜的整體切割。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，在以平板顯示器等玻璃基板為代表的板狀玻璃產(chǎn)品的制造工序中，通過從大面積的板狀玻璃切出小面積的板狀玻璃、修剪沿著板狀玻璃的邊的邊緣部，從而進(jìn)行板狀玻璃的切割。作為其方法，舉出對(duì)板狀玻璃進(jìn)行切割的方法。
[0003]作為切割板狀玻璃的方法之一，已知有圖7所示那樣的、利用了激光加熱的切割的方法(以下，稱作激光切割法)。如圖7所示，該方法是，一邊使板狀玻璃G在沿著切割預(yù)定線4的方向X上移動(dòng)、一邊使激光9沿著切割預(yù)定線4而呈點(diǎn)狀地照射，并且使水等制冷劑10追隨于激光9而進(jìn)行噴射。
[0004]而且，還具有如下所述的方法:利用緣于由激光9加熱的加熱部6與借助制冷劑10冷卻了加熱部6的一部分的冷卻部7之間的溫度差而進(jìn)行作用的熱應(yīng)力，使刻于板狀玻璃G的端部的初期裂縫8沿著切割預(yù)定線4進(jìn)展，通過連續(xù)地形成切割部11而對(duì)板狀玻璃G進(jìn)行整體切割(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0005]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-116611號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]然而，近年來提出作為撓性顯示器、應(yīng)用部件的原材料而采用厚度為200 μ m以下的板狀玻璃、即玻璃薄膜的方案，板狀玻璃的薄壁化得以推進(jìn)。上述專利文獻(xiàn)I所公開的技術(shù)不僅以厚度較大的板狀玻璃為對(duì)象，還以上述那樣的玻璃薄膜的整體切割為對(duì)象，但當(dāng)使用上述專利文獻(xiàn)I所公開的技術(shù)來進(jìn)行玻璃薄膜的切割時(shí)，產(chǎn)生下述這樣的問題。
[0010]即，在利用激光切割法來切割厚度較大的板狀玻璃的情況下，因其厚度的大小的緣故，如圖8a所示，在板狀玻璃G的厚度方向D上，能夠容易生成加熱部6與冷卻部7這兩者。因此，利用緣于該加熱部6與冷卻部7之間的溫度差而進(jìn)行作用的熱應(yīng)力，使切割部11沿著厚度方向D進(jìn)展，由此能夠順利地進(jìn)行板狀玻璃G的切割。
[0011]另一方面，由于厚度為200 μ m以下的玻璃薄膜的厚度極薄，因此，如圖8b所示，不具有用于沿著厚度方向D而生成加熱部6與冷卻部7這兩者的足夠厚度，加熱部6的生成變得不充分。因此，在進(jìn)行玻璃薄膜GF的切割的情況下，如圖Sc所示，利用緣于沿著玻璃薄膜GF的表面生成的加熱部6與冷卻部7之間的溫度差而進(jìn)行作用的熱應(yīng)力，通過使切割部11沿著C方向進(jìn)展，由此進(jìn)行玻璃薄膜GF的切割。
[0012]然而，如該圖所示，在切割的行進(jìn)方向C上的切割預(yù)定線4的終端部E，由于在切割預(yù)定線4的延長(zhǎng)線上不存在玻璃薄膜GF，因此存在能夠僅生成冷卻部7、而無法生成由雙點(diǎn)劃線表示的加熱部6這樣的問題。其結(jié)果是，在終端部E中，無法利用用于使切割部11進(jìn)展所需要的熱應(yīng)力，從而難以順利地進(jìn)行玻璃薄膜GF的切割。
[0013]因此，在利用激光切割法來切割厚度為200 μ m以下的玻璃薄膜的情況下，如上述那樣，現(xiàn)狀是以往使用的使切割部沿著玻璃薄膜的厚度方向進(jìn)展的方法、使切割部在沿著玻璃薄膜的表面的方向上進(jìn)展的方法中的任一種方法都難以適宜地進(jìn)行切割。
[0014]本發(fā)明鑒于上述情況，其技術(shù)性課題在于，利用激光切割法順利地切割厚度為200 μ m以下的玻璃薄膜。
[0015]解決方案
[0016]為了解決上述課題而完成的本發(fā)明所涉及的方法是一種玻璃薄膜的切割方法，該玻璃薄膜的切割方法具有整體切割工序，在該整體切割工序中，通過對(duì)于厚度為200μπι以下的玻璃薄膜進(jìn)行基于激光的加熱及追隨于該加熱的冷卻，使初期裂縫沿著切割預(yù)定線進(jìn)展，從而對(duì)所述玻璃薄膜進(jìn)行整體切割，所述玻璃薄膜的切割方法的特征在于，具有層疊體制作工序，在該層疊體制作工序中，將所述玻璃薄膜及支承該玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接觸的一側(cè)的表面的表面粗糙度Ra設(shè)為2.0nm以下，通過使該兩表面面接觸來制作玻璃薄膜層疊體，在所述層疊體制作工序的執(zhí)行后，執(zhí)行所述整體切割工序。
[0017]根據(jù)上述方法，在玻璃薄膜與支承玻璃各自中，接觸一側(cè)的面成為表面粗糙度為
2.0nm以下的平滑的面，由此在層疊體制作工序中層疊的玻璃薄膜與支承玻璃之間產(chǎn)生適度的密接力。在此，該密接力被假定為基于氫鍵而產(chǎn)生。由此，原本應(yīng)作為玻璃薄膜層疊體的不同構(gòu)成要素的玻璃薄膜與支承玻璃形成為厚度較大的一片板狀玻璃。而且，通過充分確保厚度的大小，能夠在層疊體的厚度方向上容易地生成由激光加熱的加熱部、和對(duì)加熱部的一部分進(jìn)行了冷卻的冷卻部這兩者。其結(jié)果是，在整體切割工序中，利用緣于加熱部與冷卻部之間的溫度差而進(jìn)行作用的熱應(yīng)力，能夠使形成于玻璃薄膜的切割部沿著厚度方向進(jìn)展，從而能夠順利地進(jìn)行玻璃薄膜的切割。
[0018]以上述的方法為基礎(chǔ)，所述支承玻璃也可以以沿著所述切割預(yù)定線延伸的方式排列。
[0019]如此一來，通過使玻璃薄膜與支承玻璃之間的接觸面的面積變窄，與使兩片玻璃在整面的范圍內(nèi)接觸而進(jìn)行層疊的情況相比，能夠在層疊體制作工序中避免玻璃薄膜局部地從支承玻璃浮起且產(chǎn)生皺褶那樣的情況。因此，能夠減少因該浮起而在玻璃薄膜產(chǎn)生變形的可能性。另外，在整體切割工序結(jié)束之后，在將玻璃薄膜從支承玻璃剝離的情況下，變得容易剝離玻璃薄膜。此外，在將玻璃薄膜從支承玻璃剝離之后，在進(jìn)行支承玻璃的清洗、干燥或檢查異物的殘留的有無的情況下，能夠減少這些操作所需要的時(shí)間、勞力。
[0020]以上述的方法為基礎(chǔ)，優(yōu)選所述切割預(yù)定線包括:沿著所述玻璃薄膜的第一方向延伸的第一切割預(yù)定線；以及沿著與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二切割預(yù)定線。
[0021]如此一來，由于能夠?qū)⒄w切割工序后的玻璃薄膜設(shè)為矩形，因此能夠獲得使用頻率高的玻璃薄膜。另外，通過本申請(qǐng)的
【發(fā)明者】等的深入研究而判明了，在進(jìn)行了沿著第一切割預(yù)定線的整體切割工序(以下，稱作第一切割工序)之后，在進(jìn)行沿著第二切割預(yù)定線的整體切割工序(以下，稱作第二切割工序)時(shí)獲得下述那樣的優(yōu)選方式。即，一直以來，為了進(jìn)行第二切割工序，需要在通過第一切割工序切割了的各玻璃薄膜的端部與第二切割預(yù)定線之間的交點(diǎn)逐一地刻有初期裂縫。然而，根據(jù)本發(fā)明所涉及的方法判明了:只要在上述交點(diǎn)中、僅在位于第二切割預(yù)定線的最始端側(cè)的交點(diǎn)刻有初期裂縫，便能夠進(jìn)行第二切割工序，從制造效率的觀點(diǎn)出發(fā)非常有利。該優(yōu)選方式被假定為通過以下那樣的理由獲得。換句話說，利用在玻璃薄膜與支承玻璃之間產(chǎn)生的密接力，層疊的玻璃薄膜與支承玻璃難以錯(cuò)動(dòng)。因此，在通過第一切割工序而形成的玻璃薄膜的切割部中，在切割了的玻璃薄膜彼此的對(duì)置的切割面間形成的間隙變小為被看作是基本不存在的程度。由此，假定為這是為了能夠使在第二切割工序中形成的切割部橫跨該間隙而進(jìn)展。其結(jié)果是，在第二切割工序中，也能夠順利地切割玻璃薄膜。
[0022]另外，本發(fā)明所涉及的玻璃薄膜層疊體的特征在于，厚度為200 μ m以下的玻璃薄膜與支承該玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接觸的一側(cè)的表面的表面粗糙度Ra為2.0nm以下，且使該兩表面面接觸而層疊，并且，所述玻璃薄膜通過基于激光的加熱及追隨于該加熱的冷卻而使初期裂縫進(jìn)展，由此被整體切割。
[0023]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，關(guān)于上述的玻璃薄膜的切割方法，能夠獲得與已經(jīng)說過的事項(xiàng)相同的作用效果，玻璃薄膜處于被順利地切割的狀態(tài)。因此，在進(jìn)行了整體切割之后，在使切割好的玻璃薄膜彼此相互分離的情況下，能夠良好地進(jìn)行玻璃薄膜的切割。
[0024]發(fā)明效果
[0025]如上所述，根據(jù)本發(fā)明，能夠利用激光切割法順利地切割厚度為200μπι以下的玻
璃薄膜。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1a是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的層疊體制作工序的立體圖。
[0027]圖1b是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的層疊體制作工序的立體圖。
[0028]圖2是表示在本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中使用的玻璃薄膜的切割裝置的立體圖。
[0029]圖3a是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的整體切割工序的俯視圖。
[0030]圖3b是圖3a所示的A-A中的剖視圖。
[0031]圖4a是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的整體切割工序的俯視圖。
[0032]圖4b是圖4a所示的B點(diǎn)的放大圖。
[0033]圖5是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的層疊體制作工序的立體圖。
[0034]圖6是表示玻璃薄膜的彎曲斷裂應(yīng)力的測(cè)定方法的側(cè)視圖。
[0035]圖7是表示現(xiàn)有的板狀玻璃的切割方法的立體圖。
[0036]圖8a是表示現(xiàn)有的板狀玻璃的切割方法的剖視圖。
[0037]圖8b是表示現(xiàn)有的玻璃薄膜的切割方法的剖視圖。[0038]圖8c是表示現(xiàn)有的玻璃薄膜的切割方法的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法進(jìn)行說明。需要說明的是，在以下的實(shí)施方式中，對(duì)利用激光切割法從一片玻璃薄膜(基樣玻璃)切割為九片玻璃薄膜的情況進(jìn)行說明。
[0040]圖la、圖1b是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的層疊體制作工序的立體圖。如圖1a和圖1b所示，玻璃薄膜GF與支承玻璃GS各自的接觸一側(cè)的面具有相等的面積，并且成為表面粗糙度Ra為2.0nm以下的平滑的面。另外，玻璃薄膜GF的厚度為200 μ m,支承玻璃薄膜GF的支承玻璃的厚度為500 μ m。此外，玻璃薄膜GF、支承玻璃GS的玻璃的種類都是無堿玻璃。需要說明的是，作為玻璃薄膜GF的厚度而優(yōu)選為I~200 μ m，作為支承玻璃GS的厚度而優(yōu)選為300~1100 μ m。
[0041]通過層疊玻璃薄膜GF與支承玻璃GS，當(dāng)制作玻璃薄膜層疊體S (以下，僅稱作層疊體S)時(shí)，在玻璃薄膜GF與支承玻璃GS之間產(chǎn)生適度的密接力。該密接力被假定為基于氫鍵而產(chǎn)生的。由此，原本應(yīng)作為層疊體S的不同構(gòu)成要素的玻璃薄膜GF與支承玻璃GS形成為厚度較大的一片板狀玻璃(一體構(gòu)件)。在此，在本實(shí)施方式中使用的層疊體S的厚度為700 μ m(玻璃薄膜GF:200 μ m，支承玻璃GS:500 μ m)，但并不局限于此，可以使用300~1300 μ m的層疊體。
[0042]圖2是表示在本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中使用的玻璃薄膜的切割裝置I (以下，僅稱為切割裝置I)的立體圖。切割裝置I具備:支承層疊體S且在水平面上移動(dòng)的未圖示的加工臺(tái)；向支承于加工臺(tái)的層疊體S的玻璃薄膜GF照射激光9的激光照射裝置2 ;追隨于激光9而向玻璃薄膜GF噴射制冷劑10的制冷劑噴射噴嘴3。
[0043]加工臺(tái)能夠沿著圖2所示的X方向和與X方向正交的Y方向而在水平面上移動(dòng)。
[0044]激光照射裝置2固定于定點(diǎn),加工臺(tái)伴隨著沿著X方向、Y方向移動(dòng)而沿著玻璃薄膜GF的第一切割預(yù)定線4和與第一切割預(yù)定線4正交的第二切割預(yù)定線5呈點(diǎn)狀地照射激光9，由此加熱玻璃薄膜GF而生成加熱部6。
[0045]制冷劑噴射噴嘴3與激光照射裝置2相同地固定于定點(diǎn)，追隨著激光9而將制冷劑10向加熱部6噴射，由此冷卻加熱部6的一部分而在玻璃薄膜GF生成冷卻部7。
[0046]以下，對(duì)使用了上述切割裝置I的玻璃薄膜的切割方法進(jìn)行說明。
[0047]首先，如圖3a所示，使未圖示的加工臺(tái)沿著X方向移動(dòng)。然后，利用緣于在沿著玻璃薄膜GF的面的方向上生成的加熱部6與冷卻部7之間的溫度差而進(jìn)行作用的熱應(yīng)力，使用金剛石刀具等而使刻于玻璃薄膜GF的端部的初期裂縫8進(jìn)展。然后，通過沿著第一切割預(yù)定線4而連續(xù)地形成切割部11，進(jìn)行第一方向上的玻璃薄膜GF的整體切割工序。
[0048]在該情況下，在第一切割預(yù)定線4的終端部E處，由于在第一切割預(yù)定線4的延長(zhǎng)線上不存在玻璃薄膜GF，因此在沿著玻璃薄膜GF的面的方向上僅生成冷卻部7，而不生成由雙點(diǎn)劃線表示的加熱部6。
[0049]然而，通過層疊玻璃薄膜GF與支承玻璃GS而使厚度的大小得以充分確保，并且通過玻璃薄膜GF與支承玻璃GS形成為厚度較大的一片板狀玻璃(一體構(gòu)件)，從而如圖3b所示，加熱部6與冷卻部7這兩者能夠在層疊體S的厚度方向上容易地生成。其結(jié)果是，利用緣于加熱部6與冷卻部7之間的溫度差而進(jìn)行作用的熱應(yīng)力，能夠使形成于玻璃薄膜GF的切割部11沿著圖3b所示的D方向進(jìn)展，因此在終端部E也能夠順利地進(jìn)行玻璃薄膜GF的切割。
[0050]如上述那樣，當(dāng)?shù)谝环较蛏系牟ＡП∧F的整體切割工序結(jié)束時(shí)，如圖4a所示，使未圖示的加工臺(tái)沿著Y方向移動(dòng)，沿著第二切割預(yù)定線5而連續(xù)地形成切割部12，由此進(jìn)行第二方向上的玻璃薄膜GF的整體切割工序。
[0051]該情況下，一直以來，為了進(jìn)行第二方向上的整體切割工序，需要在第一方向上的整體切割工序時(shí)切割好的各玻璃薄膜GF的端部與第二切割預(yù)定線5之間的交點(diǎn)逐一地刻有初期裂縫8。
[0052]然而，根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的方法判明:只要在上述交點(diǎn)中的、僅在位于第二切割預(yù)定線5的最始端側(cè)的交點(diǎn)刻有初期裂縫8，便能夠進(jìn)行第二方向上的整體切割工序，從制造效率的觀點(diǎn)出發(fā)非常有利。該優(yōu)選的方式被假定為通過以下那樣的理由而獲得。
[0053]即，通過玻璃薄膜GF與支承玻璃GS之間的密接力，而使層疊的玻璃薄膜GF與支承玻璃GS難以錯(cuò)動(dòng)。因此，在由第一方向上的整體切割工序形成的玻璃薄膜的切割部11中，在切割了的玻璃薄膜GF彼此的對(duì)置的切割面間形成的間隙變小為被看作是基本不存在的程度。由此，如圖4b所示，假定為這是為了能夠橫跨該間隙而使切割部12進(jìn)展。其結(jié)果是，在第二方向上的整體切割工序中也能夠順利地切割玻璃薄膜。
[0054]另外，根據(jù)以上那樣的方法，由于在層疊玻璃薄膜GF與支承玻璃GS并使其密接時(shí)無需使用粘合劑等，因此還能夠防止玻璃薄膜GF中的與支承玻璃GS接觸一側(cè)的面被污染。此外，由于玻璃薄膜GF與支承玻璃GS并不是以原子等級(jí)穩(wěn)固地結(jié)合，因此能夠避免切割部 11、12不僅進(jìn)展至玻璃薄膜GF，還進(jìn)展至支承玻璃GS的情況。因此，在整體切割工序中，能夠防止在支承玻璃GS產(chǎn)生傷痕，由此能夠再利用支承玻璃GS。其結(jié)果是，該方法從制造成本的觀點(diǎn)出發(fā)非常有利。
[0055]此外，如上述那樣，在使完成了整體切割工序的玻璃薄膜GF彼此相互分離的情況下，由于玻璃薄膜GF被順利地切割，因此能夠良好地進(jìn)行玻璃薄膜的切割。
[0056]需要說明的是，在上述的整體切割工序中，優(yōu)選將層疊的玻璃薄膜GF與支承玻璃GS各自之中接觸一側(cè)的面的溫度設(shè)為低于250°C。當(dāng)這些溫度上升至250°C以上時(shí)，在整體切割工序結(jié)束之后，變得難以將玻璃薄膜GF從支承玻璃GS剝離。這被假定為是由于，伴隨著兩玻璃中的接觸一側(cè)的面的溫度上升，使玻璃薄膜GF與支承玻璃GS密接的力的來源從氫鍵向產(chǎn)生更為強(qiáng)力的密接力的共價(jià)鍵變化。
[0057]圖5是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的層疊體制作工序的立體圖。該第二實(shí)施方式所涉及的玻璃薄膜的切割方法中的層疊體制作工序與上述第一實(shí)施方式的不同之處在于，支承玻璃GS以沿著第一切割預(yù)定線4、及第二切割預(yù)定線5延伸的方式排列。
[0058]支承玻璃GS由在沿著第一切割預(yù)定線4的方向上延伸的兩根較長(zhǎng)的支承玻璃GS、和在沿著第二切割預(yù)定線5的方向上延伸的六根較短的支承玻璃GS構(gòu)成。較短的支承玻璃GS的兩端部或單側(cè)端部與較長(zhǎng)的支承玻璃GS抵接，并且夾著較長(zhǎng)的支承玻璃GS而在與較長(zhǎng)的支承玻璃GS正交的方向上排列。
[0059]即便如上述那樣將玻璃薄膜GF與支承玻璃GS層疊，與上述第一實(shí)施方式相同地，也能夠順利地進(jìn)行玻璃薄膜GF的整體切割。另外，如此一來，通過使玻璃薄膜GF與支承玻璃GS之間的接觸面的面積變窄，與使兩玻璃GF、GS在整面的范圍內(nèi)接觸而進(jìn)行層疊的情況相比，能夠在層疊體制作工序中避免玻璃薄膜GF局部地從支承玻璃GS浮起并產(chǎn)生皺褶這樣的情況。因此，能夠減小出自于該浮起而在玻璃薄膜GF產(chǎn)生變形的可能性。
[0060]另外，在完成了整體切割工序之后，在將玻璃薄膜GF從支承玻璃GS剝離的情況下，變得容易剝離玻璃薄膜GF。此外，在將玻璃薄膜GF從支承玻璃GS剝離之后，在進(jìn)行支承玻璃GS的清洗、干燥或檢查異物的殘留的有無的情況下，能夠減少這些操作所需要的時(shí)間、勞力。
[0061]在此，本發(fā)明所涉及的玻璃薄膜的切割方法并不局限于上述的各實(shí)施方式。例如，在上述的各實(shí)施方式中，玻璃薄膜GF與支承玻璃GS都為無堿玻璃，但也可以使用堿石灰玻璃等各個(gè)種類的玻璃。然而，從強(qiáng)度、耐久性的觀點(diǎn)出發(fā)，最優(yōu)選采用無堿玻璃。另外，玻璃薄膜GF與支承玻璃GS也可以是不同種類的玻璃。
[0062]此外，支承玻璃薄膜GF的支承玻璃GS的端部整周上也可以從玻璃薄膜GF的端部整周上向第一方向及第二方向伸出。另外，在上述的第二實(shí)施方式中，支承玻璃GS由較長(zhǎng)的支承玻璃GS與較短的支承玻璃構(gòu)成，但也可以將這些較長(zhǎng)的支承玻璃GS與較短的支承玻璃形成為一體而用作支承玻璃GS。
[0063]此外，在上述的各實(shí)施方式中，通過將激光照射裝置2及制冷劑噴射噴嘴3固定于定點(diǎn)并使層疊體S移動(dòng)，從而在玻璃薄膜GF生成加熱部6與冷卻部7，但也可以通過固定層疊體S而使激光照射裝置2及制冷劑噴射噴嘴3移動(dòng)，從而在玻璃薄膜GF生成加熱部6與冷卻部7。
[0064]實(shí)施例
[0065]作為本發(fā)明的實(shí)施例，在下述所示的條件(實(shí)施例7個(gè)，比較例4個(gè))之下嘗試?yán)眉す馇懈罘▉磉M(jìn)行玻璃薄膜的第一方向上的整體切割和與第一方向正交的第二方向上的整體切割(以下，稱作交錯(cuò)切割)，并調(diào)查各條件下的交錯(cuò)切割的成功與否。
[0066]使用的玻璃薄膜及支承玻璃是日本電氣硝子株式會(huì)社制的無堿玻璃(產(chǎn)品名:OA-10G) ο其尺寸為縱向:300_、橫向:300mm,厚度分別如下述的表1那樣。當(dāng)未研磨地使用利用溢流下拉法而成形的玻璃、或?qū)靡缌飨吕ǘ尚蔚牟ＡнM(jìn)行研磨及化學(xué)蝕刻時(shí)，通過調(diào)整蝕刻液的濃度、液溫、處理時(shí)間來控制玻璃薄膜的表面粗糙度Ra。
[0067]表面粗糙度Ra的測(cè)定使用SII公司制掃描式探測(cè)顯微鏡(NanoNaviIl/S-1mage)，且在掃描區(qū)域:2000nm、掃描頻率:0.95Hz、掃描數(shù)據(jù)數(shù)X(第一方向):256、Y(第二方向):256的條件下進(jìn)行測(cè)定。然后，在支承玻璃與玻璃薄膜各自之中，在中央部一點(diǎn)與角部一點(diǎn)合計(jì)兩點(diǎn)處測(cè)定表面粗糙度Ra，并將其平均值設(shè)為表面粗糙度Ra。
[0068]玻璃薄膜與支承玻璃在無塵室內(nèi)清洗、干燥，使用東麗工程公司制(HS-830)對(duì)這些分別接觸一側(cè)的面進(jìn)行檢查，存在于玻璃上的尺寸為I μ m以上的異物的數(shù)量達(dá)到500個(gè)M2以下。并且，在檢查后層疊玻璃薄膜與支承玻璃，并以下述的表1的組合制作玻璃薄膜層疊體。
[0069]當(dāng)進(jìn)行玻璃薄膜的整體切割時(shí)，首先，使玻璃薄膜層疊體吸附于切割用的常盤(常盤)。然后，使用三星金剛石公司制的燒結(jié)金剛石制劃線輪(直徑:2.5mm，刃的厚度:
0.65mm， 刃尖角度:100° )并以0.05MPa的按壓壓力對(duì)玻璃薄膜的端部進(jìn)行劃線，由此刻有初期裂縫。
[0070]向玻璃薄膜照射的激光是，使用光學(xué)透鏡將相干公司制的二氧化碳?xì)怏w激光設(shè)為沿著切割預(yù)定線的方向成為長(zhǎng)徑的橢圓形的光束。另外，激光的輸出為160W,以400mm/sec的速度沿著切割預(yù)定線照射，由此進(jìn)行了玻璃薄膜層疊體的加熱。然后，通過追隨于激光而噴出噴射壓力:0.4MPa、噴射量:2CC/min的水來進(jìn)行冷卻，利用緣于加熱部與冷卻部之間的溫度差而進(jìn)行作用的熱應(yīng)力使初期裂縫(切割部)進(jìn)展。
[0071]如以上那樣，嘗試在第一方向及第二方向各自之中對(duì)縱向:300mm、橫向:300mm的玻璃薄膜以10mm間隔實(shí)施整體切割，來進(jìn)行交錯(cuò)切割。需要說明的是，在比較例4中不設(shè)置支承玻璃而嘗試玻璃薄膜的交錯(cuò)切割。
[0072]另外，對(duì)交錯(cuò)切割成功的玻璃薄膜實(shí)施彎曲斷裂試驗(yàn)。該彎曲斷裂試驗(yàn)如圖6所示，將交錯(cuò)切割好的玻璃薄膜GF依次由兩片板狀體22夾住且以使其呈U字狀地產(chǎn)生彎曲的方式逐漸壓彎，根據(jù)所謂兩點(diǎn)彎曲來評(píng)價(jià)強(qiáng)度?；谝驂簭澏茐臅r(shí)的兩片板狀體22的間隔Z來計(jì)算彎曲斷裂應(yīng)力，由此進(jìn)行該評(píng)價(jià)。
[0073]表1表示在各個(gè)條件下的交錯(cuò)切割的成功與否、及彎曲斷裂應(yīng)力的值。
[0074][表 I]
[0075]
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃薄膜的切割方法，該方法具有整體切割工序，在該整體切割工序中，通過對(duì)于厚度為200 μ m以下的玻璃薄膜進(jìn)行基于激光的加熱及追隨于該加熱的冷卻，使初期裂縫沿著切割預(yù)定線進(jìn)展，從而對(duì)所述玻璃薄膜進(jìn)行整體切割， 所述玻璃薄膜的切割方法的特征在于， 具有層疊體制作工序，在該層疊體制作工序中，將所述玻璃薄膜及支承該玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接觸的一側(cè)的表面的表面粗糙度Ra設(shè)為2.0nm以下，通過使該兩表面面接觸來制作玻璃薄膜層疊體， 在所述層疊體制作工序的執(zhí)行后，執(zhí)行所述整體切割工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃薄膜的切割方法，其特征在于， 所述支承玻璃以沿著所述切割預(yù)定線延伸的方式排列。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃薄膜的切割方法，其特征在于， 所述切割預(yù)定線包括:沿著所述玻璃薄膜的第一方向延伸的第一切割預(yù)定線；以及沿著與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二切割預(yù)定線。
4.一種玻璃薄膜層疊體,其特征在于， 厚度為200 μ m以下的玻璃薄膜與支承該玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接觸的一側(cè)的表面的表面粗糙度Ra為2.0nm以下，且使該兩表面面接觸而層疊，并且， 所述玻璃薄膜通過基于激光的加熱及追隨于該加熱的冷卻而使初期裂縫進(jìn)展，由此被整體切割。
【文檔編號(hào)】C03C27/06GK104039719SQ201380004902
【公開日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2013年4月3日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月5日
【發(fā)明者】松本保弘, 八木直彥 申請(qǐng)人:日本電氣硝子株式會(huì)社