強(qiáng)化玻璃基板制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種強(qiáng)化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下的工序：使玻璃基板與第1槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸的化學(xué)強(qiáng)化工序；使完成了化學(xué)強(qiáng)化工序的前述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于玻璃基板的表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的除液工序，前述第1槽和前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液使用實(shí)質(zhì)上相同組成的化學(xué)強(qiáng)化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度T2低于第1槽的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強(qiáng)化鹽的熔點(diǎn)Tmp滿足Tmp<T2≤Tmp+50的關(guān)系，前述除液工序中的前述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp<T3≤Tmp+50的關(guān)系。
【專利說明】強(qiáng)化玻璃基板制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及強(qiáng)化玻璃基板的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]玻璃基板正在顯示器、太陽能電池用的蓋板玻璃等中使用。近年來，根據(jù)用途，要求玻璃基板的輕量化、薄型化以及強(qiáng)度的維持、提高。
[0003]作為提高玻璃基板的強(qiáng)度的一種方法，已知有進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化的方法。化學(xué)強(qiáng)化是指，通過使玻璃基板與化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸來改變玻璃基板表面的組成、并在表面形成壓縮應(yīng)力層的強(qiáng)化方法。
[0004]進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化的步驟的一例中，在化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液中浸潰玻璃基板而進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化后，在被保持為與化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液相同溫度下的環(huán)境中保持規(guī)定時(shí)間。該規(guī)定時(shí)間后，對(duì)附著于玻璃基板的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液進(jìn)行除液，然后進(jìn)行空氣冷卻。
[0005]然而，在除液工序期間，由于玻璃基板被保持在高溫下，因此有時(shí)會(huì)產(chǎn)生壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，強(qiáng)化程度降低。
[0006]為了抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，也可以考慮縮短除液的時(shí)間、或完全不進(jìn)行除液。然而，這些可考慮的方法的情況下，附著、殘留于玻璃基板的表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液在玻璃基板表面上凝固，因此變得無法回收，從資源保護(hù)、成本的觀點(diǎn)出發(fā)不優(yōu)選。進(jìn)而，此時(shí)，為了去除附著于玻璃基板表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的凝固物，對(duì)清洗玻璃基板的工序的負(fù)荷變大。
[0007]另外，除液工序后，利用空氣冷卻將玻璃基板冷卻至室溫左右的情況下，在直接接觸空氣的部分與不直接接觸空氣的部分之間產(chǎn)生溫度差。特別是在化學(xué)強(qiáng)化工序中，為了一次對(duì)多個(gè)玻璃基板進(jìn)行處理，在將玻璃基板安裝在被稱為載具(cassette)的架子的狀態(tài)下進(jìn)行強(qiáng)化處理。因此，冷卻工序中，根據(jù)安裝有玻璃基板的載具內(nèi)的位置，有時(shí)壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛程度產(chǎn)生差異、得到的強(qiáng)化玻璃的性能產(chǎn)生偏差。
[0008]作為在進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化工序后冷卻玻璃基板的方法，專利文獻(xiàn)I中提出了使玻璃基板接觸熔化有固化溫度低于化學(xué)強(qiáng)化鹽的物質(zhì)而得到的處理液的方法的一例。
[0009]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0010]專利文獻(xiàn)
[0011]專利文獻(xiàn)1:國(guó)際公開第2007/111149號(hào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]發(fā)明要解決的問題
[0013]然而，如專利文獻(xiàn)I中所提出的那樣冷卻玻璃基板的方法的情況下，由于使用與化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的組成、材料不同的冷卻用的處理液，因此有時(shí)在冷卻用的處理液中會(huì)混入化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的成分。另外，保持玻璃基板的載具被重復(fù)使用，因此有時(shí)附著于載具的冷卻用的處理液會(huì)混入到化學(xué)強(qiáng)化熔液中。因此，該提出的冷卻玻璃基板的方法中，化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液和冷卻處理液的組成容易變化，有時(shí)玻璃基板的強(qiáng)化程度根據(jù)批次而產(chǎn)生偏差。另外，若化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液和冷卻用的處理液容易發(fā)生組成變化，則需要以高頻率更換化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液和冷卻用的處理液，從資源保護(hù)、成本的觀點(diǎn)出發(fā)不優(yōu)選。進(jìn)而，由于更換化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液和冷卻用的處理液的期間需要停止生產(chǎn)，因此導(dǎo)致生產(chǎn)率降低。
[0014]本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，其目的之一在于，提供在進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化時(shí)能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛并生產(chǎn)率良好地制造品質(zhì)穩(wěn)定的強(qiáng)化玻璃基板的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法。
[0015]用于解決問題的方案
[0016]本發(fā)明提供一種強(qiáng)化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下的工序:使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸的化學(xué)強(qiáng)化工序；使完成了化學(xué)強(qiáng)化工序的前述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于前述玻璃基板的表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的除液工序，前述第I槽和前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液使用實(shí)質(zhì)上相同組成的化學(xué)強(qiáng)化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強(qiáng)化鹽的熔點(diǎn)Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系，前述除液工序中的前述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。
[0017]發(fā)明的效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，生產(chǎn)率良好地制造品質(zhì)穩(wěn)定的強(qiáng)化玻璃基板。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法的說明圖。

【具體實(shí)施方式】
[0020]以下，參照【專利附圖】

【附圖說明】用于實(shí)施本發(fā)明的方式，但本發(fā)明不限定于下述實(shí)施方式，可以不超出本發(fā)明的范圍地、對(duì)下述實(shí)施方式加以各種變形和替換。
[0021]本發(fā)明的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法具有如下的工序:使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸的化學(xué)強(qiáng)化工序；使完成了化學(xué)強(qiáng)化工序的玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于玻璃基板的表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的除液工序。此外，前述第I槽和第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液使用實(shí)質(zhì)上相同組成的化學(xué)強(qiáng)化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強(qiáng)化鹽的熔點(diǎn)Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系。另外，特征在于，前述除液工序中的玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。需要說明的是，本發(fā)明的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法可以在前述除液工序結(jié)束后接著準(zhǔn)備另外的玻璃基板來重復(fù)進(jìn)行前述化學(xué)強(qiáng)化工序、冷卻工序和除液工序。
[0022]使用示意性地示出本實(shí)施方式的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法的步驟的圖1進(jìn)行說明。
[0023]圖1的(a)中示出在放入有化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的第I槽11中浸潰保持有多個(gè)玻璃基板13的載具14并使玻璃基板13與第I槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸，進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化的化學(xué)強(qiáng)化工序。
[0024]此處，作為玻璃基板13，圖1中示出平坦的板形狀的基板，但并不限定于該形狀的基板，也可以制成具有曲面的形狀、或制成各種立體形狀。這是因?yàn)椋景l(fā)明中，如后所述在第2槽12中使用液體冷卻玻璃基板13，因此具有立體形狀的玻璃基板也能夠均勻冷卻，能夠制造性能穩(wěn)定的強(qiáng)化玻璃。
[0025]另外，對(duì)玻璃基板13的厚度也沒有特別限定，特別是從能夠優(yōu)選地用于要求薄型化的用途的玻璃基板出發(fā)，優(yōu)選為0.1mm以上且5mm以下、更優(yōu)選為0.3mm以上且3mm以下、特別優(yōu)選為0.5mm以上且2mm以下。I張玻璃基板的板厚局部不同時(shí)，優(yōu)選的是，玻璃基板的板厚的最大值和最小值均落入上述范圍內(nèi)。
[0026]對(duì)玻璃基板13的玻璃材料的組成也沒有限定，可以使用各種組成的玻璃基板。
[0027]例如，關(guān)于玻璃基板13中使用的玻璃材料的成分，可以優(yōu)選地使用以氧化物基準(zhǔn)的摩爾分?jǐn)?shù)計(jì)含有 Si0250%?80%、Al2O30.5%?20%、Na206%~ 20%, K2OO ?11%、MgOO?15%、CaOO?10%、ZrO2O?5%的玻璃材料。另外，玻璃基板13中可以更優(yōu)選地使用以氧化物基準(zhǔn)的摩爾分?jǐn)?shù)計(jì)含有Si0260%?80%、A12032%?15%、Na2OlO^?18%、K2OO ?6%、Mg02%?12%、CaOO ?5%、ZrO2O ~ 3% 的玻璃材料。
[0028]載具14可以按照以將玻璃基板13保持于載具14內(nèi)的狀態(tài)來輸送的方式構(gòu)成。此時(shí)，優(yōu)選按照如下方式構(gòu)成:通過在第I槽11或第2槽12內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液中浸潰載具14，從而能夠不需要特別的操作地使保持于內(nèi)部的玻璃基板13與化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸。另夕卜，優(yōu)選按照在進(jìn)行除液時(shí)去除附著于玻璃基板13和載具14的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液方式構(gòu)成。
[0029]保持、輸送玻璃基板13的手段不限定于使用載具14的方式，只要按照在規(guī)定的時(shí)機(jī)與第I槽11和第2槽12中的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸并能進(jìn)行除液的方式構(gòu)成即可。
[0030]本發(fā)明中的化學(xué)強(qiáng)化工序通過使玻璃基板13與第I槽11內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸來進(jìn)行。通過玻璃基板13與化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸，從而玻璃基板13的表面附近的堿金屬(X)離子與化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液中的堿金屬(Y)離子進(jìn)行置換。此時(shí)，Y離子的離子半徑大于X離子的離子半徑。離子半徑大于X離子的Y離子進(jìn)入到玻璃基板13的表面，從而在玻璃基板13的表面產(chǎn)生壓縮應(yīng)力，玻璃基板13得到強(qiáng)化。
[0031]因此，通過重復(fù)化學(xué)強(qiáng)化工序，第I槽11中的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液中的Y離子減少，同時(shí)X離子增加，產(chǎn)生化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的劣化。因此，進(jìn)行多次化學(xué)強(qiáng)化工序后，化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的Y離子減少，玻璃基板13變得無法得到充分程度的化學(xué)強(qiáng)化時(shí)，優(yōu)選將第I槽11中的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液更換成未劣化的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液。
[0032]作為第I槽11內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液中使用的化學(xué)強(qiáng)化鹽，可以根據(jù)進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化的玻璃基板13的材料等來選擇，例如可以使用硝酸鉀、硝酸鈉等。特別優(yōu)選的是，化學(xué)強(qiáng)化鹽包含硝酸鉀。
[0033]對(duì)第I槽11中進(jìn)行玻璃基板13的化學(xué)強(qiáng)化的時(shí)間、溫度等條件沒有特別限定，可以根據(jù)所使用的玻璃基板13、化學(xué)強(qiáng)化鹽的種類、所要求的玻璃基板13的表面壓縮應(yīng)力的程度等來選擇。
[0034]然后，如圖1的(b)所示那樣，進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化工序后，利用輸送構(gòu)件15自第I槽11取出玻璃基板13。接著，通過在第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液內(nèi)浸潰玻璃基板13，從而使玻璃基板13與第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸。
[0035]由于優(yōu)選在化學(xué)強(qiáng)化工序后快速地冷卻玻璃基板13，因此自第I槽11取出的玻璃基板13不進(jìn)行除液地向第2槽12輸送，但優(yōu)選在以第I槽11的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的液位不會(huì)大幅降低的水平使附著于載具14和玻璃基板13的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液回落到第I槽11中之后進(jìn)行輸送。
[0036]第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液如上所述地使用將與第I槽11的情況實(shí)質(zhì)上相同組成的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔化而成的熔液。需要說明的是，第I槽11中的化學(xué)強(qiáng)化工序重復(fù)進(jìn)行時(shí)，第I槽11中的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液中的堿金屬離子與玻璃基板13中的堿金屬離子進(jìn)行置換，因此隨著重復(fù)進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化，化學(xué)強(qiáng)化熔融鹽劣化。
[0037]因此，第I槽11中的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的組成在制造本發(fā)明的強(qiáng)化玻璃基板13的過程中發(fā)生變化。另外，在第2槽12中也會(huì)混入附著于自第I槽11輸送來的玻璃基板13、載具14等的包含X離子的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液，或者在冷卻工序中玻璃基板13的表面的X離子也會(huì)溶出到第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液中，由此存在X離子混入到第2槽12中的可能性。因此，本發(fā)明中，實(shí)質(zhì)上相同組成的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液是指:不考慮因進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化工序而產(chǎn)生的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的劣化和因進(jìn)行冷卻工序而產(chǎn)生的X離子向第2槽12中的混入所導(dǎo)致的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的組成的變化，未劣化的第I槽11中的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液與X離子混入前的第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液相同。
[0038]此外，為了在第I槽11中進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化后冷卻玻璃基板13，第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度T2被設(shè)定得低于第I槽11的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度(Tl)。特別是通過在進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化后快速地冷卻玻璃基板13的溫度，能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，因此第2槽12的溫度優(yōu)選設(shè)為盡可能低的溫度。但是，為化學(xué)強(qiáng)化鹽的熔點(diǎn)以下時(shí)，第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽變得無法以熔液的形式存在，無法與玻璃基板13接觸，因此設(shè)定為高于化學(xué)強(qiáng)化鹽的熔點(diǎn)Tmp的溫度。
[0039]因此，第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度T2設(shè)定為滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系，由于如上所述地優(yōu)選第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度低，因此更優(yōu)選滿足Tmp〈T2 ( Tmp+30。另外，由于優(yōu)選為了使化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液不凝固而設(shè)定為遠(yuǎn)離熔點(diǎn)的溫度，因此特別優(yōu)選為Tmp+10〈T2 ( Tmp+30。
[0040]此外，優(yōu)選在第2槽12內(nèi)強(qiáng)制地使化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液對(duì)流。這是因?yàn)?，通過使化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液在第2槽12內(nèi)對(duì)流而使熔液內(nèi)的溫度更均勻，不依賴于位置地均勻冷卻配置于第2槽12內(nèi)的玻璃基板13。通過在本工序中均勻地冷卻玻璃基板13，能夠抑制玻璃基板13的強(qiáng)化程度的偏差。
[0041]作為使熔液對(duì)流的方法，沒有特別限定，可以使用各種手段，例如可列舉出利用攪拌機(jī)攪拌熔液進(jìn)行對(duì)流的方法、利用循環(huán)裝置使第2槽12內(nèi)的熔液循環(huán)并進(jìn)行對(duì)流的方法、通過吹入氣體而進(jìn)行攪拌的方法等。
[0042]對(duì)于第2槽12中的進(jìn)行冷卻工序的時(shí)間也沒有特別限定，可以根據(jù)玻璃基板13的溫度等來選擇。
[0043]然后，如圖1的(C)所示，利用輸送手段15自第2槽12取出玻璃基板13，進(jìn)行除液工序。
[0044]除液工序是用于去除附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的工序，在除液工序期間，玻璃基板13的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。這是為了在除液工序期間防止附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液在玻璃基板13的表面凝固。另夕卜，由于將玻璃基板13的溫度保持在化學(xué)強(qiáng)化鹽的熔點(diǎn)附近的溫度，因此能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛。
[0045]在除液工序期間，玻璃基板13的周圍溫度滿足上述范圍即可，但由于優(yōu)選將玻璃基板13的溫度保持得盡量較低，因此更優(yōu)選為Tmp〈T3 ( Tmp+30。進(jìn)而，由于優(yōu)選為了使化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液不凝固而設(shè)定為遠(yuǎn)離熔點(diǎn)的溫度，因此特別優(yōu)選為Tmp+10〈T3 ( Tmp+30。
[0046]除液工序期間的玻璃基板13的周圍溫度T3可以與第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度T2無關(guān)地進(jìn)行選擇，但由于在第2槽12中進(jìn)行冷卻，因此進(jìn)一步優(yōu)選還滿足T3 ( T2的關(guān)系。
[0047]對(duì)于除液工序，只要按照能夠?qū)⒉ＡЩ?3的周圍保持在上述溫度范圍內(nèi)并對(duì)附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液進(jìn)行除液的方式構(gòu)成，就對(duì)具體的構(gòu)成沒有限定，例如可以采取圖1的(c)所示那樣的構(gòu)成。
[0048]圖1的(c)中，使用如下的構(gòu)成:利用輸送手段15將保持有玻璃基板13的載具14固定在第2槽12的上部，并能夠?qū)⑤d具14的周圍的溫度保持在上述溫度范圍內(nèi)。通過使用這種構(gòu)成，能夠?qū)⑼ㄟ^除液回收的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液直接返回到第2槽12中。另外，利用來自第2槽12的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的熱，能夠使玻璃基板13的周圍成為與第2槽12的溫度相同或其附近的溫度。因此，能夠容易地將除液工序期間的玻璃基板13的周圍溫度保持在上述范圍內(nèi)。
[0049]此時(shí)，如圖1的(C)所示，以熱不易自第2槽12的開口部經(jīng)載具14的周邊部分散失的方式設(shè)置覆蓋構(gòu)件(蓋部)。需要說明的是，圖1的(c)中，作為輸送手段15所附帶的設(shè)備，記載了覆蓋構(gòu)件，但并不限定于該方式。
[0050]進(jìn)而，也可以在覆蓋構(gòu)件內(nèi)部或其周邊配置用于將玻璃基板13的周圍溫度控制在規(guī)定的溫度的加熱器、絕熱材料等。
[0051]除了圖1的(C)以外，也可以采取如下的構(gòu)成:另行設(shè)置除液工序用的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液回收槽，在該槽內(nèi)將玻璃基板13的周圍溫度保持在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)并回收化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液。
[0052]通過本發(fā)明的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法得到的強(qiáng)化玻璃基板的表面壓縮應(yīng)力優(yōu)選為200MPa以上且1200MPa以下、更優(yōu)選為400MPa以上且900MPa以下。通過具有這種表面壓縮應(yīng)力，在謀求玻璃基板的輕量化、薄型化時(shí)也能夠制成在各種用途中具有充分的強(qiáng)度的玻璃基板。另外，表面壓縮應(yīng)力優(yōu)選在自強(qiáng)化玻璃基板的表面起5 μ m?60 μ m的深度處產(chǎn)生，進(jìn)一步優(yōu)選在15 μ m?50 μ m的深度處產(chǎn)生。通過使表面壓縮應(yīng)力在前述范圍的深度處產(chǎn)生，從而即使在玻璃基板的表面上產(chǎn)生劃痕等也能夠抑制強(qiáng)化玻璃基板的裂紋，故而優(yōu)選。
[0053]根據(jù)以上說明的本發(fā)明的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法，使用第2槽的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液冷卻進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化工序后的玻璃基板，然后進(jìn)行除液，從而能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，并且防止化學(xué)強(qiáng)化鹽在玻璃基板的表面凝固。進(jìn)而，冷卻玻璃基板時(shí)，利用第2槽的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液進(jìn)行冷卻，從而能夠均勻地冷卻，能夠抑制玻璃基板的強(qiáng)化程度產(chǎn)生偏差。
[0054]另外，第I槽和第2槽的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液使用實(shí)質(zhì)上相同組成的化學(xué)強(qiáng)化鹽，因此即使在一者的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液進(jìn)入到另一者時(shí)，也不易引起各槽的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的組成的變化，能夠使玻璃基板的強(qiáng)化程度大致均勻。進(jìn)而，能夠比以往減少化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的更換頻率，因此能夠提高生產(chǎn)率。
[0055]產(chǎn)業(yè)h的可利用件
[0056]本發(fā)明可以用于各種玻璃基板的制造。
[0057]本申請(qǐng)基于2012年4月27日向日本專利局申請(qǐng)的日本特愿2012-103245主張優(yōu)先權(quán),通過參照而包含該申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容。
[0058]附圖標(biāo)記說明
[0059]11 第 I槽
[0060]12 第 2 槽
[0061]13玻璃基板
【權(quán)利要求】
1.一種強(qiáng)化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下工序: 使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸的化學(xué)強(qiáng)化工序； 使完成了化學(xué)強(qiáng)化工序的所述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及 去除附著于所述玻璃基板的表面的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的除液工序， 所述第I槽和所述第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液使用實(shí)質(zhì)上相同組成的化學(xué)強(qiáng)化鹽，所述第2槽內(nèi)的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液的溫度，且與所述化學(xué)強(qiáng)化鹽的熔點(diǎn)Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系， 所述除液工序中的所述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述化學(xué)強(qiáng)化鹽包含硝酸鉀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述第2槽內(nèi)強(qiáng)制地使所述化學(xué)強(qiáng)化鹽熔液對(duì)流。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的強(qiáng)化玻璃基板的制造方法，其中，所述玻璃基板中使用的玻璃材料的成分以氧化物基準(zhǔn)的摩爾分?jǐn)?shù)計(jì)含有: Si0250 ?80%、
Al2O30.5 ?20%、 Na206 ?20%、 K2OO ?11%、 MgOO ?15%、 CaOO ?10%、 ZrO2O ?5%。
【文檔編號(hào)】C03C21/00GK104284871SQ201380021996
【公開日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2013年4月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月27日
【發(fā)明者】堀順士 申請(qǐng)人:旭硝子株式會(huì)社