一種涂布裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種涂布裝置，該涂布裝置包括噴嘴和基臺，所述涂布裝置還包括檢測單元，所述檢測單元用于檢測所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離。本發(fā)明能夠檢測噴嘴與基臺之間的間隙距離是否異常，并且能夠調(diào)節(jié)噴嘴高度至正常范圍，從而能夠保證涂布工藝正常進(jìn)行。
【專利說明】一種涂布裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種涂布裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶顯示面板的制作工藝中，需要在玻璃基板上涂布感光材料，之后進(jìn)行曝光顯影，以使感光材料形成相應(yīng)的圖案，并且，可以根據(jù)該圖案進(jìn)行后續(xù)刻蝕工藝以得到相應(yīng)的電路圖案。
[0003]現(xiàn)有的感光材料涂布裝置如圖1和圖2所示，噴嘴I能夠在外部壓力的作用下，均勻地將裝在其內(nèi)部的感光材料涂布在基板5上?，F(xiàn)有結(jié)構(gòu)中，噴嘴I的兩端固定在固定板3上，固定板3穿過固定支架2的中部的孔隙，并通過可調(diào)緊固件4與固定支架2的下部連接。可調(diào)緊固件4可以用于調(diào)節(jié)固定板3與固定支架2下部之間的距離，從而能夠調(diào)節(jié)噴嘴I與基板5之間的間隙距離。噴嘴I能夠隨固定支架2移動，從而能夠從基板5的一端向另一端涂布感光材料。
[0004]現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中，由于噴嘴I是通過兩端支撐，噴嘴I的中部位置可能會受其自身的重力影響而下垂，使得噴嘴I中部位置與基板5之間的間隙變小，從而導(dǎo)致基板5中間位置的感光材料涂布異常，進(jìn)而影響后續(xù)的曝光顯影工藝。可見，現(xiàn)有的涂布裝置中缺乏檢測噴嘴的下端面與基臺之間間隙距離的檢測方式，無法保證感光材料的涂布正常進(jìn)行。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種涂布裝置，以能夠檢測噴嘴與基板之間的間隙距離，從而保證感光材料的涂布正常進(jìn)行。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種涂布裝置，所述涂布裝置包括噴嘴和基臺，所述涂布裝置還包括檢測單元，所述檢測單元用于檢測所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離。
[0007]優(yōu)選地，所述檢測單元包括光發(fā)射器和光接收器，所述光發(fā)射器和所述光接收器分別設(shè)置在所述基臺的兩端，所述光接收器能夠接收所述光發(fā)射器發(fā)射的光線，所述涂布裝置還包括控制單元，所述控制單元用于根據(jù)所述光接收器是否接受到所述光發(fā)射器發(fā)射的光線判斷所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離是否異常。
[0008]優(yōu)選地，所述光發(fā)射器包括下部光發(fā)射器，所述光接收器包括與所述下部光發(fā)射器對應(yīng)的下部光接收器，所述下部光發(fā)射器和所述下部光接收器設(shè)置在所述噴嘴的下端面的下方的預(yù)設(shè)位置；
[0009]或者，所述光發(fā)射器包括上部光發(fā)射器，所述光接收器包括與所述上部光發(fā)射器對應(yīng)的上部光接收器，所述上部光發(fā)射器和所述上部光接收器設(shè)置在所述噴嘴的下端面的上方的預(yù)設(shè)位置。
[0010]優(yōu)選地，所述檢測單元包括多個(gè)所述光發(fā)射器和與多個(gè)所述光發(fā)射器對應(yīng)的多個(gè)所述光接收器，以能夠檢測所述噴嘴的下端面的不同位置與所述基臺之間的間隙距離。[0011]優(yōu)選地，所述檢測單元包括距離傳感器，用于檢測所述距離傳感器與所述基臺之間的距離，所述涂布裝置還包括控制單元，所述控制單元用于根據(jù)所述距離傳感器的檢測結(jié)果判斷所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離是否異常。
[0012]優(yōu)選地，所述涂布裝置還包括固定件，所述固定件包括第一固定板和固定支架，所述第一固定板的一端與所述噴嘴連接，所述第一固定板的另一端與所述固定支架相連，所述固定件能夠從所述基臺的一端移動到所述基臺的另一端。
[0013]優(yōu)選地，所述固定支架包括豎直部和水平部，所述豎直部上設(shè)置有孔，所述第一固定板的另一端穿過所述豎直部上的孔，通過第一連接件與所述水平部連接，且所述第一連接件能夠調(diào)節(jié)所述第一固定板與所述水平部之間的距離。
[0014]優(yōu)選地，所述固定件還包括第二固定板，所述第二固定板與所述固定支架固定連接并位于所述噴嘴上方，且所述第二固定板通過第二連接件與所述噴嘴連接。
[0015]優(yōu)選地，所述第二連接件能夠調(diào)節(jié)所述噴嘴與所述第二固定板之間的距離，所述涂布裝置還包括調(diào)節(jié)單元，所述控制單元還用于在所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離異常時(shí)向所述調(diào)節(jié)單元發(fā)送調(diào)節(jié)指令，所述調(diào)節(jié)單元用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)指令調(diào)整所述第二連接件以調(diào)節(jié)所述第二固定板與所述噴嘴之間的距離。
[0016]優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)單元包括線性馬達(dá)，所述線性馬達(dá)固定設(shè)置在所述第二固定板上，且所述線性馬達(dá)的輸出軸與所述第二連接件相連。
[0017]可以看出，本發(fā)明所提供的涂布裝置通過設(shè)置檢測檢測噴嘴下端面與基臺之間的間隙距離，能夠判斷噴嘴下端面與基臺之間的間隙距離是否異常。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明能夠檢測到噴嘴下垂或上移等異常情況，能夠有效保證涂布過程順利進(jìn)行。此外，本發(fā)明還能在發(fā)現(xiàn)異常情況后自動調(diào)節(jié)噴嘴的高度，使得噴嘴下端面與基臺之間的間隙距離在正常范圍內(nèi)。`【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]附圖是用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0019]圖1為現(xiàn)有的涂布裝置結(jié)構(gòu)示例圖；
[0020]圖2為現(xiàn)有的涂布裝置結(jié)構(gòu)的另一示例圖；
[0021]圖3為本發(fā)明所提供的涂布裝置結(jié)構(gòu)示例圖；
[0022]圖4為本發(fā)明所提供的涂布裝置另一結(jié)構(gòu)示例圖；
[0023]圖5為本發(fā)明所提供的涂布裝置的再一結(jié)構(gòu)示例圖。
[0024]附圖標(biāo)記說明
[0025]1、10_噴嘴；2、51_固定支架；3_固定板；4_可調(diào)緊固件；5、21_基板；20_基臺；31-光發(fā)射器；32_光接收器；311_下部光發(fā)射器；321_下部光接收器；312_上部光發(fā)射器；322-上部光接收器；33_檢測固定架；40_距離傳感器；511_豎直部；512_水平部；52_第一固定板；53_第一連接件；54_第二固定板；55_第二連接件；60_調(diào)節(jié)單元。
【具體實(shí)施方式】
[0026]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0027]本發(fā)明提供一種涂布裝置，如圖3所示，該涂布裝置可以包括噴嘴10和基臺20，其中，基臺20用于承載基板21，噴嘴10位于基臺20的上方，并且能夠從基臺20的一端移動到基臺20的另一端，以能夠從基板21的一端向基板21的另一端涂布感光材料，該涂布裝置還包括檢測單元，檢測單元用于檢測噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離，控制單元用于根據(jù)檢測單元的檢測結(jié)果判斷噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離是否異常。
[0028]具體地，可以在涂布裝置中設(shè)置檢測單元，以檢測噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離，并且，還可以設(shè)置控制單元來根據(jù)檢測結(jié)果判斷噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離是否異常，當(dāng)控制單元判定噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離異常時(shí)，可以執(zhí)行預(yù)設(shè)動作發(fā)出警告(如響鈴、閃燈等)，或者，可以執(zhí)行預(yù)設(shè)動作通過進(jìn)一步的結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離至正常范圍。通常，在涂布感光材料時(shí)，噴嘴10的下端面與基板21的之間的距離需要在一定范圍內(nèi)(如0.1mm~0.3mm之間)，通過上述本發(fā)明所設(shè)置的檢測單元，能夠根據(jù)噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離判斷噴嘴10的下端面與基板21之間的間隙距離是否在該范圍內(nèi)，從而能夠執(zhí)行相應(yīng)操作保證涂布工藝順利進(jìn)行。
[0029]檢測單元可以采用多種方式檢測噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離，例如，可以如圖3所示， 檢測單元可以包括光發(fā)射器31和光接收器32，且光發(fā)射器31和光接收器32可以分別設(shè)置在基臺20的兩端，且光接收器32能夠接收光發(fā)射器31發(fā)射的光線，并且，還可以設(shè)置控制單元，該控制單元能夠根據(jù)光接收器32是否接受到光發(fā)射器31發(fā)射的光線判斷噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離是否異常。具體地，可以在基臺20相對的兩端設(shè)置檢測固定架33以分別固定光發(fā)射器31和光接收器32，且光發(fā)射器31發(fā)射的光線可以與噴嘴10在涂布感光材料時(shí)的移動方向平行，以使得控制單元能夠根據(jù)光接收器32是否接受到光發(fā)射器31發(fā)射的光線判斷噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離是否異常。
[0030]更進(jìn)一步地，如圖4所示，光發(fā)射器可以包括下部光發(fā)射器311，光接收器可以包括與下部光發(fā)射器311對應(yīng)的下部光接收器321，下部光發(fā)射器311和下部光接收器321可以設(shè)置在噴嘴10的下端面的下方的預(yù)設(shè)位置，當(dāng)下部光接收器321未接收到下部光發(fā)射器311發(fā)射的光線時(shí)，控制單元判定噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離異常。
[0031]具體地，光發(fā)射器和光接收器可以設(shè)置在同一高度，且光發(fā)射器和光接收器所在平面可以位于噴嘴下端面的預(yù)設(shè)位置，為便于表述，可以將上述設(shè)置在噴嘴下端面下方的光發(fā)射器和光接收器分別稱為下部光發(fā)射器和下部光接收器。采用上述結(jié)構(gòu)時(shí)，如圖4所示，當(dāng)噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離正常時(shí)，下部光接收器321能夠正常接收到下部光發(fā)射器311發(fā)射的光線，而如果噴嘴10發(fā)生了下垂，則會遮擋住下部光發(fā)射器311向下部光接收器321發(fā)射的光線，因此，當(dāng)下部光接收器321未接收到下部光發(fā)射器311發(fā)射的光線時(shí)，控制單元可以判定噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離異常。
[0032]需要說明的是，為了避免在涂布感光材料時(shí)，下部光發(fā)射器311發(fā)射的光線被從噴嘴10中向下涂布的感光材料遮擋住，可以在噴嘴10未涂布感光材料時(shí)，利用下部光發(fā)射器311和下部光接收器321檢測噴嘴10的下端面和基臺20的之間的距離。通常，噴嘴10是從基臺的一端向另一端涂布感光材料，例如可以在圖4所示示例中從左向右進(jìn)行涂布，之后，在移動回基臺20的左端，進(jìn)彳丁下次涂布，因此，可以在嗔嘴10涂布完畢后，從基臺20的右端移動至左端的過程中利用下部光發(fā)射器311和下部光接收器321檢測噴嘴10的下端面和基臺20的之間的距離。
[0033]或者，如圖4所示，光發(fā)射器可以包括上部光發(fā)射器312，光接收器可以包括與上部光發(fā)射器312對應(yīng)的上部光接收器322，上部光發(fā)射器312和上部光接收器322可以設(shè)置在噴嘴10的下端面的上方的預(yù)設(shè)位置，當(dāng)上部光接收器322接收到上部光發(fā)射器312發(fā)射的光線時(shí)，控制單元判定噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離異常。
[0034]即，除了將光發(fā)射器和光接收器設(shè)置在噴嘴下端面的下方外，還可以將光發(fā)射器和光接收器設(shè)置在噴嘴下端面的上方，為便于表述，可以將上述設(shè)置在噴嘴下端面上方的光發(fā)射器和光接收器分別稱為上部光發(fā)射器和上部光接收器。如圖4所示，可以設(shè)置上部光發(fā)射器312和上部光接收器322，當(dāng)上部光接收器322接收到上部光發(fā)射器312發(fā)射的光線時(shí)，則說明噴嘴10發(fā)生了上移，因此，當(dāng)上部光接收器322接收到上部光發(fā)射器312發(fā)射的光線時(shí)，控制單元判定噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離異常。此外，在涂布感光材料的過程中，若基板21上有異物，則可能使得噴嘴與異物之間發(fā)生刮擦，導(dǎo)致噴嘴上出現(xiàn)缺口，造成感光材料涂布異常，因此，設(shè)置上述上部光發(fā)射器312和上部光接收器322還能夠檢測噴嘴10上是否出現(xiàn)缺口，若上部光接收器322接收到上部光發(fā)射器312發(fā)射的光線，則說明噴嘴10上對應(yīng)的區(qū)域可能出現(xiàn)了缺口。
[0035]可以理解的是，涂布裝置中可以同時(shí)設(shè)置有上述下部光發(fā)射器和下部光接收器以及上部光發(fā)射器和上部光接收器，本發(fā)明對此不作限制。
[0036]更進(jìn)一步地，上述光發(fā)射器和光接收器可以設(shè)置有多個(gè)，以能夠檢測噴嘴的下端面的不同位置與基臺之間的間隙距離。具體地，可以設(shè)置多組光發(fā)射器和光接收器以對應(yīng)噴嘴的下端面的不同位置。`
[0037]除上述采用光發(fā)射器和光接收器的方式外，還可以采用其它方式檢測噴嘴的下端面與基臺之間的距離。如圖5所示，檢測單元可以包括距離傳感器40，該距離傳感器40能夠檢測其與基臺20之間的距離，并且，還可以設(shè)置控制單元，當(dāng)距離傳感器40與基臺20之間的距離超出預(yù)設(shè)范圍時(shí)，控制單元判定噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離異常。具體地，可以如圖5所示，距離傳感器40可以固定設(shè)置在噴嘴10的側(cè)面的預(yù)設(shè)位置，以檢測距離傳感器40與基臺20之間的距離?？梢岳斫獾氖?，在涂布工藝中，距離傳感器40實(shí)際檢測的為其與基板21之間的距離，由于基板21的厚度固定，因此，可以通過距離傳感器40與基板21之間的距離獲知距離傳感器40與基臺20之間的距離，當(dāng)距離傳感器40與基臺20之間的距離超過預(yù)設(shè)范圍時(shí)，則控制單元判定噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離異常。相應(yīng)地，距離傳感器40也可以設(shè)置有多個(gè)，以能夠檢測噴嘴10的下端面的不同位置與基臺20之間的距離。
[0038]更進(jìn)一步地，如圖3所示，本發(fā)明所提供的涂布裝置還包括固定件，該固定件包括第一固定板52和固定支架51,第一固定板52的一端與噴嘴10連接,第一固定板52的另一端可以與固定支架51連接，該固定件能夠從基臺20的一端移動到基臺20的另一端。具體地，固定件中的固定支架51可以和外部的安裝基礎(chǔ)固定連接，并且，能夠隨該安裝基礎(chǔ)從基臺20的一端移動到基臺20的另一端。第一固定板52的一端可以通過緊固件與噴嘴10固定連接，并且，可以通過多個(gè)緊固件沿噴嘴10的長度方向?qū)⒌谝还潭ò?2的一端與噴嘴10固定連接。采用上述結(jié)構(gòu)，可以較為穩(wěn)定地固定噴嘴10，可以在一定程度上避免噴嘴10因自身重力下垂的問題。
[0039]更進(jìn)一步地，如圖3所示，固定支架51可以包括豎直部511和水平部512，其中，豎直部511上可以設(shè)置有孔，上述第一固定板52的另一端可以穿過上述豎直部511上的孔，并通過第一連接件53與水平部512連接，其中，第一連接件53還可以用于調(diào)節(jié)第一固定板52與水平部512之間的距離。具體地，水平部512上可以設(shè)置有螺紋孔，第一連接件53上可以設(shè)置有螺紋，上述第一固定板52的另一端可以通過第一連接件53與水平部512連接，并且，可以通過第一連接件53上的螺紋與螺紋孔的配合調(diào)節(jié)第一固定板52與水平部512之間的距離。由于第一固定板52的一端與噴嘴10固定連接，因此，調(diào)節(jié)第一固定板52與水平部512之間的距離時(shí)，能夠相應(yīng)地調(diào)節(jié)噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離?？梢?，采用上述結(jié)構(gòu)能夠在安裝時(shí)根據(jù)需要通過第一連接件53調(diào)節(jié)噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離。
[0040]更進(jìn)一步地，如圖3所示，固定件還可以包括第二固定板54，該第二固定板54可以與固定支架51固定連接，并且，第二固定板54可以設(shè)置在噴嘴10的上方，且第二固定板54可以通過第二連接件55與噴嘴10連接。具體地，可以如圖3所示，第二固定板54可以通過第二連接件55與噴嘴10的上端面連接。
[0041]更進(jìn)一步地，上述第二連接件55可以用于調(diào)節(jié)噴嘴10與第二固定板54之間的距離，且本發(fā)明所提供的涂布裝置還可以包括調(diào)節(jié)單元60，控制單元還可以用于在噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離異常時(shí)向上述調(diào)節(jié)單元60發(fā)送調(diào)節(jié)指令，調(diào)節(jié)單元60可以根據(jù)上述調(diào)節(jié)指令調(diào)整第二連接件55以調(diào)節(jié)第二固定板54與噴嘴10之間的距離。由于第二固定板54設(shè)置在噴嘴10的上方，并且與固定支架51固定連接，因此，通過第二連接件55調(diào)節(jié)第二固定板54與噴嘴10之間的距離能夠相應(yīng)地調(diào)節(jié)噴嘴10的下端面與基臺20之間的間隙距離。因而，可以采用上述結(jié)構(gòu)，設(shè)置與第二連接件55相連的調(diào)節(jié)單元60，該調(diào)節(jié)單元60可以根據(jù)控制單 元發(fā)送的調(diào)節(jié)指令對第二連接件做相應(yīng)調(diào)整以調(diào)節(jié)第二固定板54與噴嘴10之間的距離，例如，當(dāng)控制單元判定噴嘴10的位置發(fā)生下垂時(shí)，可以通過調(diào)節(jié)單元60向上調(diào)節(jié)噴嘴10的位置；當(dāng)控制單元判定噴嘴10的位置發(fā)生上移時(shí)，可以通過調(diào)節(jié)單元60向下調(diào)節(jié)噴嘴10的位置。
[0042]調(diào)節(jié)單元60和第二連接件55可以采用多種方式配合以能夠調(diào)節(jié)第二固定板54與噴嘴10之間的距離。例如，調(diào)節(jié)單元60可以包括線性馬達(dá)，該線性馬達(dá)可以固定設(shè)置在第二固定板54上，且該線性馬達(dá)的輸出軸可以與第二連接件55相連從而能夠帶動第二連接件55沿豎直方向移動。當(dāng)控制單元判定噴嘴10的位置發(fā)生下垂時(shí)，可以通過線性馬達(dá)帶動第二連接件55上移，從而向上調(diào)節(jié)噴嘴10的位置；當(dāng)控制單元判定噴嘴10的位置發(fā)生上移時(shí)，可以通過線性馬達(dá)帶動第二連接件55下移，從而向下調(diào)節(jié)噴嘴10的位置。并且，上述線性馬達(dá)可以步進(jìn)尺寸可以較小，以能夠較為精確的調(diào)節(jié)噴嘴10的位置，例如，可以將線性馬達(dá)的步進(jìn)尺寸設(shè)置在0.01mm~0.03mm之間?？梢岳斫獾氖牵鲜龇绞酵?，調(diào)節(jié)單元60與第二連接件55還可以采用別的方式配合以調(diào)節(jié)第二固定板54與噴嘴10之間的距離，本發(fā)明對此不作限制。
[0043]可以理解的是，涂布裝置可以同時(shí)設(shè)置有上述第一連接件53和第二連接件55，在實(shí)際應(yīng)用中，可以通過第一連接件53實(shí)現(xiàn)對噴嘴10高度的粗調(diào)，可以通過第二連接件55和調(diào)節(jié)單元60實(shí)現(xiàn)對噴嘴10高度的微調(diào)。
[0044]在實(shí)際應(yīng)用中，上述第二連接件55和調(diào)節(jié)單元60可以設(shè)置有多組，以對應(yīng)噴嘴10的不同位置，從而能夠調(diào)節(jié)噴嘴10的下端面的不同位置與基臺20之間的間隙距離。并且，多組第二連接件55和調(diào)節(jié)單元60可以對應(yīng)于上述檢測單元中的多組光接收器32和光發(fā)射器31進(jìn)行設(shè)置，以能夠根據(jù)每組光接收器32和光發(fā)射器31的檢測結(jié)果通過對應(yīng)的第二連接件55和調(diào)節(jié)單元60來調(diào)節(jié)對應(yīng)位置處的噴嘴10的下端面和基臺20之間的間隙距離。
[0045]可以理解的是，上述對本發(fā)明所提供的涂布裝置的描述雖然以涂布感光材料為例，但該涂布裝置也可以用于涂布其它材料，本發(fā)明對此不作限制。
[0046]上述為對本發(fā)明所提供的涂布裝置進(jìn)行的描述，可以看出，本發(fā)明所提供的涂布裝置通過設(shè)置檢測檢測噴嘴下端面與基臺之間的間隙距離，能夠判斷噴嘴下端面與基臺之間的間隙距離是否異常。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明能夠檢測到噴嘴下垂或上移等異常情況，能夠有效保證涂布過程順利進(jìn)行。此外，本發(fā)明還能在發(fā)現(xiàn)異常情況后自動調(diào)節(jié)噴嘴的高度，使得噴嘴下端面與基臺之間的間隙距離在正常范圍內(nèi)。
[0047]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以`做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種涂布裝置，所述涂布裝置包括噴嘴和基臺，其特征在于，所述涂布裝置還包括檢測單元，所述檢測單元用于檢測所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述檢測單元包括光發(fā)射器和光接收器，所述光發(fā)射器和所述光接收器分別設(shè)置在所述基臺的兩端，所述光接收器能夠接收所述光發(fā)射器發(fā)射的光線，所述涂布裝置還包括控制單元，所述控制單元用于根據(jù)所述光接收器是否接受到所述光發(fā)射器發(fā)射的光線判斷所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離是否異常。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，所述光發(fā)射器包括下部光發(fā)射器，所述光接收器包括與所述下部光發(fā)射器對應(yīng)的下部光接收器，所述下部光發(fā)射器和所述下部光接收器設(shè)置在所述噴嘴的下端面的下方的預(yù)設(shè)位置； 或者，所述光發(fā)射器包括上部光發(fā)射器，所述光接收器包括與所述上部光發(fā)射器對應(yīng)的上部光接收器，所述上部光發(fā)射器和所述上部光接收器設(shè)置在所述噴嘴的下端面的上方的預(yù)設(shè)位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，所述檢測單元包括多個(gè)所述光發(fā)射器和與多個(gè)所述光發(fā)射器對應(yīng)的多個(gè)所述光接收器，以能夠檢測所述噴嘴的下端面的不同位置與所述基臺之間的間隙距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述檢測單元包括距離傳感器，用于檢測所述距離傳感器與所述基臺之間的距離，所述涂布裝置還包括控制單元，所述控制單元用于根據(jù)所述距離傳感 器的檢測結(jié)果判斷所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離是否異常。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任意一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于，所述涂布裝置還包括固定件，所述固定件包括第一固定板和固定支架，所述第一固定板的一端與所述噴嘴連接，所述第一固定板的另一端與所述固定支架相連，所述固定件能夠從所述基臺的一端移動到所述基臺的另一端。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布裝置，其特征在于，所述固定支架包括豎直部和水平部，所述豎直部上設(shè)置有孔，所述第一固定板的另一端穿過所述豎直部上的孔，通過第一連接件與所述水平部連接，且所述第一連接件能夠調(diào)節(jié)所述第一固定板與所述水平部之間的距離。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布裝置，其特征在于，所述固定件還包括第二固定板，所述第二固定板與所述固定支架固定連接并位于所述噴嘴上方，且所述第二固定板通過第二連接件與所述噴嘴連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂布裝置，其特征在于，所述第二連接件能夠調(diào)節(jié)所述噴嘴與所述第二固定板之間的距離，所述涂布裝置還包括調(diào)節(jié)單元，所述控制單元還用于在所述噴嘴的下端面與所述基臺之間的間隙距離異常時(shí)向所述調(diào)節(jié)單元發(fā)送調(diào)節(jié)指令，所述調(diào)節(jié)單元用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)指令調(diào)整所述第二連接件以調(diào)節(jié)所述第二固定板與所述噴嘴之間的距離。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的涂布裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)單元包括線性馬達(dá)，所述線性馬達(dá)固定設(shè)置在所述第二固定板上，且所述線性馬達(dá)的輸出軸與所述第二連接件相連。
【文檔編號】C03C17/00GK103771719SQ201410019884
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年1月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月16日
【發(fā)明者】焦宇 申請人:北京京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司