氧化鋁燒結(jié)體及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種氧化鋁燒結(jié)體。該氧化鋁燒結(jié)體可以調(diào)整到庫侖型和約翰遜拉別克型之間的體積電阻率而且耐腐蝕性優(yōu)異。本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體是在作為主成分的氧化鋁粒子彼此之間層狀地存在含有稀土元素和氟元素的相的燒結(jié)體，或者是沿著作為主成分的氧化鋁粒子彼此的棱層狀地存在含有稀土元素和氟元素的相的燒結(jié)體。對于該氧化鋁燒結(jié)體，觀察SEM圖像時(shí)，含有稀土元素和氟元素的相在氧化鋁粒子彼此之間不是局部地形成點(diǎn)存在，而是以形成線段的方式存在。另外，本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體可以容易地將由在室溫施加2kV/mm電壓經(jīng)1分鐘后的電流值算出的體積電阻率調(diào)整到1×1013～1×1016Ω·cm的范圍。
【專利說明】氧化鋁燒結(jié)體及其制造方法
[0001] 本申請是原申請的申請日為2009年8月31日，申請?zhí)枮?00910168386. 6,發(fā)明名 稱為"氧化鋁燒結(jié)體及其制造方法"的中國專利申請的分案申請。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明涉及氧化鋁燒結(jié)體及其制造方法。

【背景技術(shù)】
[0003] 以往，在半導(dǎo)體制造裝置中，使用靜電卡盤來固定晶片。靜電卡盤具備施加電壓的 內(nèi)部電極和層疊于該內(nèi)部電極的電介質(zhì)層，其是以在放置有晶片的狀態(tài)下對內(nèi)部電極施加 電壓時(shí)電介質(zhì)層和晶片之間產(chǎn)生靜電吸附力的方式來構(gòu)成的。靜電卡盤有具有一個(gè)內(nèi)部電 極的單極方式和分離設(shè)置有一對（即兩個(gè)）內(nèi)部電極的雙極方式。單極方式的靜電卡盤 中，靜電吸附力是通過在其內(nèi)部電極和設(shè)置于靜電卡盤的外部的外部電極之間施加電壓而 產(chǎn)生的，雙極方式的靜電卡盤中，靜電吸附力是通過對一對內(nèi)部電極施加電壓而產(chǎn)生的。這 樣的靜電卡盤，如圖6所示，大致分為以下兩種類型：利用體積電阻率為10 8?ΙΟ12 Ω ·_左 右的物質(zhì)作為電介質(zhì)而產(chǎn)生約翰遜拉別克力，從而吸附晶片的約翰遜拉別克型；利用絕緣 體（體積電阻率超過1〇 16Ω · cm的物質(zhì)）作為電介質(zhì)而產(chǎn)生庫侖力，從而吸附晶片的庫侖 型。約翰遜拉別克型，盡管能夠獲得高吸附力，但不僅必需高電流容量的昂貴的電源，而且 由于其漏電流因而微少電流流至晶片，因此，有可能對晶片上形成的集成電路造成電損傷。 由于上述情況，漏電流少的庫侖型采用的多起來，但是庫侖型存在靜電吸附力比約翰遜拉 別克型小的問題。為了解決該問題，正在研究將電介質(zhì)的體積電阻率控制在1Χ1〇 14Ω ·_ 左右，兼顧吸附力的提高和漏電流的減少。例如，專利文獻(xiàn)1中公開了對在氧化鋁中添加具 有導(dǎo)電性的碳化硅而得到的物質(zhì)進(jìn)行燒成，從而調(diào)整體積電阻率。另外，專利文獻(xiàn)2中公開 了對在氧化鋁中添加具有導(dǎo)電性的氧化鎂和氧化鈦而得到的物質(zhì)進(jìn)行燒成，從而調(diào)整體積 電阻率。
[0004] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2003-152065號公報(bào)
[0005] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開2004-22585號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 但是，專利文獻(xiàn)1、2中使用的硅化合物、鈦化合物，特別是對于氟系腐蝕氣體或它 們的等離子體沒有充分的耐腐蝕性，因此晶片可能會由于這些的導(dǎo)電性粒子而被污染。
[0007] 本發(fā)明正是鑒于這樣的問題而得到的，主要目的是提供可以調(diào)整庫侖型和約翰遜 拉別克型之間的體積電阻率而且耐腐蝕性優(yōu)異的氧化鋁燒結(jié)體。
[0008] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)，向作為主成分的氧化鋁中添加各種金屬氧 化物、氮化物、碳化物、氟化物等，通過熱壓進(jìn)行燒成時(shí)，添加了稀土氟化物的情況下，能夠 得到具有庫侖型和約翰遜拉別克型之間的體積電阻率的氧化鋁燒結(jié)體，從而完成了本發(fā) 明。
[0009] S卩，本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體是在作為主成分的氧化鋁粒子彼此之間層狀地存在含 有稀土元素和氟元素的相的燒結(jié)體。這里，所謂層狀，除了包括連續(xù)形成層的情況以外，還 包括斷斷續(xù)續(xù)地形成層的情況。另外，形成其他狀態(tài)的話，本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體是沿著作 為主成分的氧化鋁粒子彼此的棱層狀地存在含有稀土元素和氟元素的相的燒結(jié)體。這里， 所謂"沿著棱存在"，除了沿著棱連續(xù)存在的情況以外，還包括沿著棱斷斷續(xù)續(xù)地存在。
[0010] 就本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體來說，可以容易地將由在室溫施加2kV/mm電壓經(jīng)1分鐘 后的電流值算出的體積電阻率調(diào)整到庫侖型和約翰遜拉別克型之間，因此不僅能夠獲得比 庫侖型強(qiáng)的吸附力，而且與約翰遜拉別克型相比，漏電流降低。另外，氧化鋁具有充分的耐 腐蝕性，含有稀土元素和氟元素的相的耐腐蝕性也比硅元素化合物、鈦化合物高，相對于氧 化鋁具有同等以上的耐腐蝕性，因此，作為整體的耐腐蝕性、特別是對于氟元素系的腐蝕性 氣體或其等離子體的耐腐蝕性增高。這里，體積電阻率容易調(diào)整到庫侖型和約翰遜拉別克 型中間的理由還不確定，但認(rèn)為一個(gè)原因是，在氧化鋁粒子彼此之間層狀地存在或沿著氧 化鋁粒子彼此的棱存在的含有稀土元素和氟元素的相的電阻低于氧化鋁。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011] 圖1是氧化鋁燒結(jié)體的破裂斷面的SEM圖像，（a)表示實(shí)施例2 (添加物YbF3，燒 成溫度1600°C )、（b)表示比較例5 (添加物Yb203，燒成溫度1600°C )。
[0012] 圖2是氧化鋁燒結(jié)體的破裂斷面的SEM圖像，（a)表示實(shí)施例3 (添加物YbF3，燒 成溫度1700°C )、（b)表示比較例6 (添加物Yb203，燒成溫度1700°C )。
[0013] 圖3是實(shí)施例7的鏡面研磨面的SEM圖像。
[0014] 圖4是實(shí)施例7的鏡面研磨面的ΕΡΜΑ得到的映像圖，是對同一視野的F、Al、Yb的 各元素進(jìn)行面掃描時(shí)的圖像。
[0015] 圖5是表示相對于氧化鋁100重量份的氟化鐿的添加量與室溫體積電阻率的關(guān)系 的圖。
[0016] 圖6是以YbF3的重量份為橫軸，以MgO的重量份為縱軸時(shí)的各點(diǎn)附近附加了強(qiáng)度 的圖表。
[0017] 圖7是以MgO的重量份為橫軸，以強(qiáng)度為縱軸時(shí)的圖表。
[0018] 圖8是以Mg/Yb的重量比為橫軸，以強(qiáng)度為縱軸時(shí)的圖表。
[0019] 圖9是以燒結(jié)體的氧化鋁粒徑為橫軸，以強(qiáng)度為縱軸時(shí)的圖表。
[0020] 圖10是氧化鋁燒結(jié)體的斷裂截面的SEM照片，（a)表示實(shí)施例4、（b)表示實(shí)施例 16、（c)表示實(shí)施例17。
[0021] 圖11是表示體積電阻率與吸附力的關(guān)系的圖表。

【具體實(shí)施方式】
[0022] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體，是在作為主成分的氧化鋁粒子彼此之間層狀地存在含有 稀土元素和氟元素的相的燒結(jié)體，或者是沿著作為主成分的氧化鋁粒子彼此的棱存在含有 稀土元素和氟元素的相的燒結(jié)體。
[0023] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體，觀察SEM圖像時(shí)，含有稀土元素和氟元素的相在氧化鋁 粒子彼此之間不是局部地形成點(diǎn)存在，而是以形成線段的方式存在。這樣的SEM圖像證實(shí) 了在三維地觀察本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體時(shí)，含有稀土元素和氟元素的相層狀地存在于氧化 鋁粒子彼此之間，或者含有稀土元素和氟元素的相沿著氧化鋁粒子彼此的棱存在。
[0024] 就本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體來說，由在室溫施加2kV/mm電壓經(jīng)1分鐘后的電流值算 出的體積電阻率優(yōu)選為1X10 13?1Χ1〇16Ω，⑶。這樣的話，體積電阻率可以達(dá)到庫侖型 和約翰遜拉別克型之間，因此，將本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體用作為靜電卡盤的電介質(zhì)時(shí)，不僅 能夠獲得比庫侖型強(qiáng)的吸附力，而且與約翰遜拉別克型相比，漏電流降低。
[0025] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體中，氧化鋁粒子可以是球體（球狀或橢球狀等）也可以是 多面體，優(yōu)選是多面體。另外，平均粒徑?jīng)]有特別限定，但如果過大可能導(dǎo)致強(qiáng)度降低，因此 優(yōu)選為40μπι以下。過小的情況沒有特別的損害，但實(shí)際上通常在0.3μπι以上。此時(shí)的平 均粒徑的測定是，進(jìn)行彎曲試驗(yàn)后的試樣斷口進(jìn)行電子顯微鏡觀察，通過線分法算出的平 均粒徑再乘以1.5而得出的。
[0026] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體中，稀土元素沒有特別限定，但例如優(yōu)選釔、鑭、鐿。這里， 如公知那樣，所謂稀土元素是指鑭系元素加上鈧、釔共計(jì)17種元素，所謂鑭系元素是指鑭、 鈰、鐠、釹、钷、釤、銪、釓、鋱、鏑、欽、鉺、銩、鐿、镥共計(jì)15種元素。這樣的稀土元素的含量沒 有特別限定，如果過多，則在熱傳導(dǎo)率、熱膨脹率等方面，會有與氧化鋁的偏差增大的傾向， 從這個(gè)觀點(diǎn)考慮，稀土元素的含量優(yōu)選為20重量％以下，更優(yōu)選為5重量％以下。如果過 少，則被認(rèn)為有利于導(dǎo)電的晶界相的量減少，有可能不能獲得期望的電阻特性，從這個(gè)觀點(diǎn) 考慮，稀土元素的含量優(yōu)選為0. 1重量％以上，更優(yōu)選為0. 3重量％以上。另外，氟元素的 含量也沒有特別限定，但如果過多，則會有難以致密化的傾向，如果過少，則會有難以獲得 期望的微結(jié)構(gòu)和電阻特性的傾向。從這個(gè)觀點(diǎn)考慮，氟元素的含量優(yōu)選在〇. 05?5重量％ 的范圍內(nèi)，更優(yōu)選在0. 1?2重量％的范圍內(nèi)。
[0027] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體中，所述含有稀土元素和氟元素的相中含有鎂，相對于燒 結(jié)體全體，該鎂的含量優(yōu)選為相對于燒結(jié)體全體〇. 1重量％以上。相對于燒結(jié)體全體，該鎂 的含量小于〇. 1重量％時(shí)，與不含鎂的情況相比，燒結(jié)體的強(qiáng)度降低，而超過〇. 1重量％時(shí)， 燒結(jié)體的強(qiáng)度反而提高。另外，鎂的含量沒有特別限定，但如果過多，則體積電阻率會超過 1 X ΙΟ16 Ω · cm，因此優(yōu)選為5重量％以下。
[0028] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體中，所述含有稀土元素和氟元素的相中含有鎂，該鎂相對 于所述稀土元素的重量比優(yōu)選為〇. 1?〇. 33。如果在該數(shù)值范圍內(nèi)，與不含鎂的情況相比， 能夠得到強(qiáng)度更高的燒結(jié)體。
[0029] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體中，所述氧化鋁的粒徑優(yōu)選為7μπι以下。如果氧化鋁的粒 徑為7 μ m以下，則可以得到高強(qiáng)度的燒結(jié)體。特別是，如果在6 μ m以下，則可以得到更高 強(qiáng)度的燒結(jié)體。
[0030] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體，能夠作為靜電卡盤的電介質(zhì)來使用。具體來說，可以通過 在本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體中埋入內(nèi)部電極來制造靜電卡盤，也可以通過在內(nèi)部電極的上面 覆蓋本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體并且在內(nèi)部電極的下面和側(cè)面覆蓋其他燒結(jié)體來制造靜電卡 盤，也可以在內(nèi)部電極的上面和側(cè)面覆蓋本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體并且在內(nèi)部電極的下面覆 蓋其他燒結(jié)體來制造靜電卡盤。這里靜電卡盤可以是單極方式也可以是雙極方式。
[0031] 就本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體來說，只要是不成為半導(dǎo)體污染的元素或量，也可以含 有其他的添加物，例如金屬氧化物、金屬氮化物等。作為金屬氧化物，可以舉出氧化鎂等，作 為金屬氮化物，可以舉出氮化鋁等。這些添加物起到控制燒結(jié)體中的氧化鋁的粒子形狀、粒 徑的作用。但是，從耐腐蝕性的觀點(diǎn)考慮，希望這些成分的含量少。
[0032] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法為，在真空或惰性氣氛下，將在主原料的氧化 鋁中添加有稀土元素的氟化物的混合物進(jìn)行熱壓燒成，從而得到氧化鋁燒結(jié)體。通過該制 造方法，容易制作由在室溫施加 2kV/mm電壓經(jīng)1分鐘后的電流值算出的體積電阻率在庫侖 型和約翰遜拉別克型之間的氧化鋁燒結(jié)體。
[0033] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法中，使用的氧化鋁優(yōu)選是高純度的氧化鋁，例 如純度99%以上的氧化鋁，特別優(yōu)選純度99. 5%以上的氧化鋁。另外，氧化鋁的粒子形狀 可以是球體（球狀或橢球狀等）也可以是多面體，優(yōu)選是多面體。
[0034] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法中，稀土元素的氟化物優(yōu)選是從由氟化鈧、氟 化釔、氟化鑭、氟化鋪、氟化鐠、氟化釹、氟化杉、氟化銪、氟化禮、氟化試、氟化鏑、氟化欽、氟 化鉺、氟化銩、氟化鐿、氟化镥組成的組中選出的一種以上，更優(yōu)選是氟化釔、氟化鑭或氟化 鐿。
[0035] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法中，稀土元素的氟化物相對于氧化鋁的重量比 如果過小則體積電阻率高而有可能不能獲得充分的吸附力，該重量比如果大，體積電阻率 降低到1〇13Ω · cm就停止了，但可能會對強(qiáng)度等其他材料特性有不良影響。從這個(gè)觀點(diǎn)考 慮，相對于氧化錯(cuò)100重量份，優(yōu)選以〇. 5?10重量份的范圍內(nèi)添加稀土元素的氟化物，更 優(yōu)選以1?5的范圍進(jìn)行添加。另外，使用含有氧化鎂的物質(zhì)作為供熱壓燒成的混合物時(shí)， 優(yōu)選相對于氧化鋁100重量份添加〇. 3重量份以上的氧化鎂，或者以氧化鎂相對于稀土元 素的氟元素化合物的重量比為0. 1?0. 4的方式來添加氧化鎂。這樣做可以得到與不添加 氧化鎂時(shí)相比強(qiáng)度更高的燒結(jié)體。
[0036] 本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法中，通過將在主原料的氧化鋁中添加有稀土元 素的氟化物的混合物在有機(jī)溶劑中進(jìn)行濕式混合，從而制成漿液，將該漿液干燥得到調(diào)合 粉末。這里，進(jìn)行濕式混合時(shí)，也可以使用罐形磨料機(jī)、滾筒篩、磨盤式磨粉機(jī)等混合粉碎 機(jī)。另外，也可以進(jìn)行干式混合來代替濕式混合。將得到的調(diào)合粉末進(jìn)行成形的工序中，制 造板狀的成形體時(shí)，可以使用金屬模具壓制法。成形壓力優(yōu)選為lOOkgf/cm 2以上，但只要能 夠保持成形則沒有特別限定。也可以以粉末的狀態(tài)填充到熱壓模中。通常來講，氟化物阻 礙氧化鋁的燒結(jié)，在常壓燒成中，難以得到致密的燒結(jié)體。因此，如本發(fā)明材料這樣適于熱 壓燒成。熱壓燒成時(shí)的加壓壓力，如果過低，則會有難以致密化的傾向，如果過高，則在存在 有液相化的晶界相成分時(shí)，該晶界相可能從燒結(jié)體流失或者容易殘留密閉氣孔而阻礙致密 化。從這個(gè)觀點(diǎn)考慮，至少在燒成時(shí)的最高溫度下，加壓壓力優(yōu)選為30?300kgf/cm 2,更優(yōu) 選為50?200kgf/cm2。另外，燒成溫度如果過低，則可能無法進(jìn)行致密化，如果過高，則有可 能氧化鋁粒子變得過大或氟化物蒸發(fā)掉。從這個(gè)觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選將燒成溫度設(shè)定在1400? 1850°C的范圍，更優(yōu)選設(shè)定在1500?1750°C的范圍。進(jìn)而，熱壓燒成可以是在真空或惰性 氣氛下進(jìn)行，但也可以是從常溫到規(guī)定溫度（例如1500°C或1550°C或1600°C )為止是真空 氣氛，從規(guī)定溫度到燒成溫度為止的期間以及保持該燒成溫度的期間是惰性氣氛。規(guī)定溫 度和燒成溫度也可以是相同的溫度。這里，所謂惰性氣氛，只要是對燒成沒有影響的氣氛即 可，例如可以舉出氮?dú)鈿夥铡⒑鈿夥?、氬氣氣氛等?br> [0037] 根據(jù)本發(fā)明的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法，容易得到開孔率為0?0. 50%、體積密 度為3. 90?4. lOg/cm3的氧化鋁燒結(jié)體。另外，容易得到由誘導(dǎo)耦合等離子體發(fā)光光譜分 析測定的稀土元素的含量為〇. 5?2. 5重量％、由熱水解分離-粒子色譜法測定的氟元素 的含量為〇. 1?〇. 6重量％的氧化鋁燒結(jié)體。
[0038] 實(shí)施例
[0039] 實(shí)施例1
[0040] 作為原料粉末，以100重量份、1. 25重量份的比例分別稱量純度99. 99 %以上且平 均粒徑0. 6 μ m的市售的氧化鋁（A1203)粉末、純度99. 9%以上且平均粒徑10 μ m以下的市 售的氟化鐿（YbF3)粉末，以異丙醇作為溶劑，使用尼龍制的罐子、直徑5_的氧化鋁球濕式 混合4小時(shí)。原料粉末的粒徑通過激光衍射法測得?；旌虾?，將漿液取出到大盆中，在氮 氣流中于ll〇°C干燥16小時(shí)。然后過30目的篩子，制成調(diào)合粉末。將得到的調(diào)合粉末以 200kgf/cm 2的壓力進(jìn)行單軸加壓成形，制作直徑50mm、厚20mm左右的圓盤狀成形體，收納 在燒成用石墨鑄型中。燒成使用的是熱壓法。燒成時(shí)的加壓壓力為lOOkgf/cm 2,氣氛為，從 室溫到1600°C為止是真空，之后到1600°C結(jié)束燒成為止導(dǎo)入了 1. 5kgf/cm2的氮?dú)?。這里， 燒成是在燒成溫度保持2小時(shí)而結(jié)束的。如此，得到實(shí)施例1的氧化鋁燒結(jié)體。
[0041] 加工得到的燒結(jié)體，進(jìn)行以下（1)?（8)項(xiàng)目的測定。測定結(jié)果示于表1。表1 中，"E"表示10的乘方。例如，"1E+14"表示"1X1014"。這里，作為氧化鋁，使用了其他市 售的純度99. 0?99. 995%的多種高純度氧化鋁粉末，但得到了與實(shí)施例1相同的結(jié)果。 [0042] (1)開孔率、體積密度
[0043] 是通過以純水作為媒介的阿基米德法測定的。
[0044] (2)體積電阻率
[0045] 按照J(rèn)IS C2141的方法，在大氣中，于室溫進(jìn)行了測定。使試驗(yàn)片形狀為直徑 50mmX厚度0· 5?1mm，用銀形成各電極，使得主電極的直徑為20mm，柵極的內(nèi)徑為30mm, 柵極的外徑為40mm，外加電極的直徑為40mm。使外加電壓為2kV/mm，讀取外加電壓1分鐘 后的電流值，由該電流值算出室溫體積電阻率。
[0046] (3)結(jié)晶相
[0047] 是通過旋轉(zhuǎn)對陰極X射線衍射裝置（理學(xué)電機(jī)制造的RINT)鑒定的。測定條件是， Cu Ka、50kV、300mA、2 Θ = 10-70。。
[0048] (4)稀土含量
[0049] 是通過誘導(dǎo)耦合等離子體（ICP)發(fā)光光譜分析求得的。
[0050] (5)氟元素含量
[0051] 是通過熱水解分離-粒子色譜法求得的。
[0052] (6)鎂含量
[0053] 是通過誘導(dǎo)耦合等離子體（ICP)發(fā)光光譜分析求得的。
[0054] (7)強(qiáng)度
[0055] 是基于JIS R1601根據(jù)四點(diǎn)彎曲試驗(yàn)法來測定的。
[0056] (8)氧化鋁粒徑
[0057] 氧化鋁粒徑的測定是通過電子顯微鏡對彎曲試驗(yàn)的試樣斷口進(jìn)行觀察，在經(jīng)過線 分法算出的平均粒徑上乘以1. 5而得到的。
[0058]

【權(quán)利要求】
1. 一種氧化鋁燒結(jié)體，其特征在于，在作為主成分的氧化鋁的粒子彼此之間層狀地存 在含有稀土元素和氟元素的相， 由在室溫施加2kV/mm電壓經(jīng)1分鐘后的電流值算出的體積電阻率為IX 1013? 1 X ΙΟ16 Ω · cm, 相對于燒結(jié)體全體，所述稀土元素的含量為〇. 3?5重量％，所述氟元素的含量為 0. 1?2重量％。
2. -種氧化鋁燒結(jié)體，其特征在于，沿著作為主成分的氧化鋁的粒子彼此的棱存在含 有稀土元素和氟元素的相， 由在室溫施加2kV/mm電壓經(jīng)1分鐘后的電流值算出的體積電阻率為IX 1013? 1 X ΙΟ16 Ω · cm。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2記載的氧化鋁燒結(jié)體，其中，所述稀土元素是從釔、鑭和鐿中選 出的至少一種。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)記載的氧化鋁燒結(jié)體，其中，所述含有稀土元素和氟元 素的相中含有鎂，相對于燒結(jié)體全體，該鎂的含量為〇. 1重量％?5重量％。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)記載的氧化鋁燒結(jié)體，其中，所述含有稀土元素和氟元 素的相中含有鎂，該鎂的燒結(jié)體含量相對于所述稀土元素的燒結(jié)體含量的重量比為〇. 1? 0· 33。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)記載的氧化鋁燒結(jié)體，其中，所述氧化鋁的粒徑為 5 μ m ~ 7 μ m。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1?6中任一項(xiàng)記載的氧化鋁燒結(jié)體，其用于靜電卡盤。
8. 氧化鋁燒結(jié)體的制造方法，其特征在于，在真空或惰性氣氛下，將在主原料的氧化鋁 中添加有稀土元素的氟化合物而得到的混合物進(jìn)行熱壓燒成，從而得到氧化鋁燒結(jié)體。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8記載的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法，其中，相對于所述氧化鋁100重量 份，以0. 5?10重量份的范圍添加所述稀土元素的氟化物。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8或9記載的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法，其中，作為所述混合物，使用 的是相對于所述氧化鋁100重量份添加〇. 3重量份以上的氧化鎂而得到的混合物。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10記載的氧化鋁燒結(jié)體的制造方法，其中，作為所述混合物，使用的 是以氧化鎂相對于所述稀土元素的氟化物的重量比為〇. 1?〇. 4的方式添加氧化鎂而得到 的混合物。
【文檔編號】C04B35/645GK104150884SQ201410355834
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2009年8月31日 優(yōu)先權(quán)日:2008年9月1日
【發(fā)明者】寺谷直美, 勝田佑司, 小林義政 申請人:日本礙子株式會社