基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法
【專利摘要】本發(fā)明是有關(guān)于一種防止基板在傳送移載時落下或碎裂發(fā)生的基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法。該基板分?jǐn)嘌b置包含：第1傳送部及第2傳送部，沿基板的搬送方向即第1方向隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部；刻劃單元，設(shè)置于該間隔；以及跳動輥?zhàn)訂卧诘?方向，設(shè)置在上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部之間，至少具備第1輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)樱辉摰?輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)，且該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部內(nèi)側(cè)；該第1輥?zhàn)蛹霸摰?輥?zhàn)?，在與該第1方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動。本發(fā)明還提供一種基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法。
【專利說明】基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法
[0001]本申請是申請?zhí)枮?01310116487.5的名稱為“基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法”的發(fā)明專利申請的分案申請，原申請的申請日是2013年04月03日。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明有關(guān)于對包含使用于液晶顯示裝置等顯示面板的玻璃基板等母板的各種材料的母板進(jìn)行分?jǐn)?、搬送的基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法，更有關(guān)于在對已刻劃、分?jǐn)嗟拇嘈圆牧匣暹M(jìn)行搬送至下一階段時，能夠?qū)逶诓辉斐蓳p傷、良好的狀態(tài)下進(jìn)行搬送的基板分?jǐn)嘌b置及基板搬送方法。

【背景技術(shù)】
[0003]一般而言，液晶顯示裝置等顯示面板，通常使用脆性材料基板即玻璃基板形成。液晶顯示裝置，借由將一對玻璃基板隔有適當(dāng)?shù)拈g隔而接合，且在該間隔內(nèi)封入液晶而成為顯示面板。在制造如此的顯示面板時，是借由對已接合母玻璃基板的接合母基板進(jìn)行分?jǐn)?，而進(jìn)行從接合母基板制作成多個顯示面板的加工。用于分?jǐn)嗳绱说慕雍夏富宓幕宸謹(jǐn)嘌b置，揭示于韓國公開特許公報第2006-0125915號(以下，稱為專利文獻(xiàn)I)。
[0004]圖1，概略地表示揭示于專利文獻(xiàn)I的圖32的基板分?jǐn)嘌b置的主要構(gòu)成的立體圖。參照圖1，基板分?jǐn)嘌b置200具備定位單元部220、刻劃單元部240、裂斷傳送(conveyor)部260、蒸氣(steam)裂斷單元部280、面板反轉(zhuǎn)單元部320及面板端子分離部340。
[0005]在將配置有定位單元部220側(cè)設(shè)定為基板搬入側(cè)、將配置有面板端子分離部340側(cè)設(shè)定為基板搬出側(cè)時，基板在由基板搬入側(cè)的定位單元部220供給后，一邊依序往刻劃單元部240、裂斷傳送部260、蒸氣裂斷單元部280、基板搬送單元部300、面板反轉(zhuǎn)單元部320及面板端子分離部340搬送，一邊進(jìn)行基板分?jǐn)嘧鳂I(yè)，之后往基板搬出側(cè)搬送。
[0006]亦即，由于設(shè)置于設(shè)置臺230上方的定位單元部220供給的基板，載置于形成在定位單元部220的多個基板支持單元(未圖示)上，在將基板的位置定位于設(shè)置于基板支持單元的帶部(belt)(未圖示)上后，借由帶部的旋轉(zhuǎn)動作而往下一階段即刻劃單元部240搬送。
[0007]另一方面，刻劃單元部240，具有在設(shè)置臺250上方沿X方向設(shè)置的分?jǐn)嘌b置導(dǎo)引體242，以及將該分?jǐn)嘌b置導(dǎo)引體242夾于其間并沿Y方向配置的第I基板支持單元部241A及第2基板支持單元部241B。此外，第I基板支持單元部241A的第I基板支持單元244A與第2基板支持單元部241B的第2基板支持單元244B，分別相對于構(gòu)架(frame) 243A及構(gòu)架243B平行地配置。
[0008]在此情形，從定位單元部220往刻劃單元部240搬送的基板，載置于第I基板支持單元部241A的第I基板支持單元244A，且借由夾器(clamp)裝置251而夾持。之后，一旦使設(shè)置于第I基板支持單元244A的帶部旋轉(zhuǎn)，同時使夾器裝置251沿Y方向移動，借此使基板通過分?jǐn)嘌b置導(dǎo)引體242而刻劃，且刻劃后的基板往第2基板支持單元部241B的第2基板支持單元244B搬送。
[0009]已往第2基板支持單元244B搬送的基板，借由設(shè)置于第2基板支持單元244B的帶部旋轉(zhuǎn)，往與第2基板支持單元244B的帶部分離而設(shè)置的裂斷傳送部260的帶部261搬送，之后借由蒸氣裂斷單元部280使基板完全地分?jǐn)?，且?jīng)過基板搬送單元部300、面板反轉(zhuǎn)單元部320及面板端子分離部340，借由機(jī)器人等往基板搬出側(cè)搬送。
[0010]此外，一般而言，已完成刻劃作業(yè)且往第2基板支持單元244B的帶部上搬送的基板，借由第2基板支持單元244B的帶部與裂斷傳送部260的帶部261的旋轉(zhuǎn)而往裂斷傳送部260搬送。已完成往裂斷傳送部260搬送的基板，在裂斷傳送部260的帶部261的旋轉(zhuǎn)已停止的狀態(tài)，借由蒸氣裂斷單元280而裂斷后，借由拾起(pick-up)機(jī)器人等拾起，且往基板搬送單元部300排出。此外，即使在裂斷傳送部260的帶部261的旋轉(zhuǎn)已停止的狀態(tài)，為了基板的刻劃，構(gòu)成刻劃單元部240的第I基板支持單元244A及第2基板支持單元244B的帶部仍以持續(xù)旋轉(zhuǎn)的方式控制。
[0011]專利文獻(xiàn)1:韓國公開專利公報第2006-0125915號。
[0012]但是，在如此般的現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置中，已刻劃的基板從刻劃單元部240往裂斷傳送部260搬送時，更具體而言，從第2基板支持單元244B往裂斷傳送部260搬送時，由于在第2基板支持單元244B的帶部與裂斷傳送部260的帶部261之間進(jìn)行帶部的移載，使得在第2基板支持單元244B與裂斷傳送部260之間端材落下、或基板破裂的玻璃碎屑等產(chǎn)生。關(guān)于如此般的帶部移載的問題點(diǎn)，參照圖2更具體地進(jìn)行說明。
[0013]圖2概略地表示在現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置中，將基板從刻劃單元部往拾起傳送部搬送過程的示意圖。在圖2中，符號100表示對由基板搬入側(cè)搬送的基板進(jìn)行接受、定位及/或旋轉(zhuǎn)的供材部，符號110與120分別表示上游側(cè)刻劃部及下游側(cè)刻劃部，而符號130表示對已分?jǐn)嗟幕褰栌蓹C(jī)器人等進(jìn)行拾起而排出的拾起傳送部。
[0014]參照圖2，在現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置中，被把持于基板把持機(jī)構(gòu)114的基板，一邊往返移動于上游側(cè)刻劃部110與下游側(cè)刻劃部120之間，一邊借由設(shè)置于刻劃梁116的刻劃頭118而刻劃。然后，載置于下游側(cè)刻劃部120的傳送帶134上的完成刻劃的基板102a,往拾起傳送部130的傳送帶135搬送。
[0015]但是，由于在下游側(cè)刻劃部120的傳送帶134與拾起傳送部130的傳送帶135之間，存在傳送移載部，因此在基板102a往拾起傳送部135上的基板102b的位置搬送時，使得從已刻劃的基板102a落下端材。此外，基板102a從下游側(cè)刻劃部120往拾起傳送部130上移載時，使得基板102a產(chǎn)生上下起伏，借此導(dǎo)致基板102a的已刻劃部分彼此相互碰撞而產(chǎn)生基板的一部分破裂的玻璃碎屑。即使例如將下游側(cè)刻劃部120及拾起傳送部130的與地面的高度設(shè)計為相等，實(shí)際上，下游側(cè)刻劃部120與拾起傳送部130的高度仍有些微地差異，或者任一方傾斜地設(shè)置，因此使得玻璃碎屑產(chǎn)生。尤其是，最近在處理薄型化基板的情形較多，如此般的問題更為明顯。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0016]本發(fā)明的目的在于提供一種可防止因傳送裝置的移載而導(dǎo)致端材落下或基板碎裂的問題，且可將已刻劃基板不造成損傷地搬送至下一階段的基板分?jǐn)嘌b置及基板搬送方法。
[0017]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明提供一種基板分?jǐn)嘌b置，包含:第I傳送部及第2傳送部，在設(shè)置臺上，沿基板的搬送方向即第I方向相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥?zhàn)?roller)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部；刻劃單元，設(shè)置于該第I傳送部與第2傳送部之間并對該基板進(jìn)行刻劃；以及跳動輥?zhàn)?dancer-roller)單元，在該第I方向，設(shè)置在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，且至少具備第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)?；該第I輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)；該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部內(nèi)側(cè)；該第I輥?zhàn)蛹霸摰?輥?zhàn)樱谂c該第I方向交叉的第2方向，形成為可相互地往相反方向移動，且形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與該下游側(cè)第2傳送部,可成為互為不同的動作狀態(tài)。
[0018]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
[0019]較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)釉谠摰?方向相互地往相反方向移動時，該第I輥?zhàn)拥囊苿泳嚯x與第2輥?zhàn)拥囊苿泳嚯x相同。
[0020]較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)拥闹辽僖徽?，一邊維持該第2傳送部的帶部的張力，一邊與該帶部接觸。
[0021]較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)樱趭A著與齒輪驅(qū)動馬達(dá)連結(jié)的小齒輪而相互地對向配置的狀態(tài)下，分別與嚙合于該小齒輪的第I齒條及第2齒條結(jié)合。
[0022]較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中在該多個輥?zhàn)又?，包含?輥?zhàn)?，且該?輥?zhàn)泳砝@有該下游側(cè)第2傳送部的帶部，且該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動馬達(dá)。
[0023]較佳的，前述的基板分?jǐn)嘌b置，其中在該跳動輥?zhàn)訂卧?，設(shè)置有使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第I制動器(stopper),以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第2制動器。
[0024]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明還提供一種基板搬送方法，在包含具備在設(shè)置臺上沿基板的搬送方向即第I方向相互地隔著間隔配置且在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部的第I傳送部及第2傳送部，以及設(shè)置于該第I傳送部與該第2傳送部之間并對該基板進(jìn)行刻劃的刻劃單元的基板分?jǐn)嘌b置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第I方向進(jìn)行搬送，其中在該基板分?jǐn)嘌b置中，在該第I方向，在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，具備在與該第I方向交叉的第2方向可相互地往相反方向移動的至少具有第I輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)拥奶鴦虞佔(zhàn)訂卧以谑乖摰贗輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)，且使該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部內(nèi)側(cè)的狀態(tài)下，使該第I輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)酉嗷サ赝喾捶较蛞苿?，借此使形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部相互地以不同的方式動作。
[0025]本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
[0026]較佳的，前述的基板搬送方法，其中借由使該第I輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)油狄苿樱谑瓜掠蝹?cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使上游側(cè)第2傳送部的帶部往順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，且對載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的基板進(jìn)行刻劃；在該進(jìn)行刻劃的階段，對置于停止?fàn)顟B(tài)的下游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進(jìn)行卸載(unload);借由一邊使卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部的第3輥?zhàn)有D(zhuǎn)，一邊使該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)右苿樱谑股嫌蝹?cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該下游側(cè)第2傳送部的帶部旋轉(zhuǎn)，對留置于該下游側(cè)第2傳送部的帶部上的端材進(jìn)行卸載；亦在該端材卸載后，使該第3輥?zhàn)映掷m(xù)旋轉(zhuǎn)，使載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下游側(cè)第2傳送部的帶部上進(jìn)行搬送。
[0027]較佳的，前述的基板搬送方法，其中該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動馬達(dá)，且在對該基板進(jìn)行刻劃的階段，使該帶部驅(qū)動馬達(dá)的動作停止。
[0028]較佳的，前述的基板搬送方法，其中在對該端材進(jìn)行卸載的階段，使該帶部驅(qū)動馬達(dá)動作。
[0029]較佳的，前述的基板搬送方法，其中在該跳動輥?zhàn)訂卧O(shè)置使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第I制動器，以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第2制動器，且在對該基板進(jìn)行刻劃的階段，使該第2制動器動作。
[0030]較佳的，前述的基板搬送方法，其中在對該端材進(jìn)行卸載的階段，使該第I制動器動作。
[0031]較佳的，前述的基板搬送方法，其中已刻劃的基板在往該下游側(cè)第2傳送部的帶部搬送的階段，使該第I制動器及第2制動器的動作完全解除。
[0032]借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明基板分?jǐn)嘌b置及基板搬送方法至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果:根據(jù)本發(fā)明，借由在形成為一體的第2傳送部的上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部之間具備跳動輥?zhàn)訂卧?，可以不具有現(xiàn)有習(xí)知的存在于下游側(cè)刻劃部與拾起傳送部之間的傳送移載部的方式，將基板從上游側(cè)第2傳送部往下游側(cè)第2傳送部進(jìn)行搬送。如此，可防止端材的落下或玻璃碎屑等的產(chǎn)生。此外，亦可防止因傳送移載部而產(chǎn)生基板表面上的傷痕或損傷。此外，根據(jù)本發(fā)明，可使上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部相互地以不同的方式動作，因此即使在為了對下游側(cè)第2傳送部上的基板進(jìn)行拾起而使下游側(cè)第2傳送部停止的狀態(tài)下，亦可于上游側(cè)第2傳送部對基板的刻劃作業(yè)持續(xù)進(jìn)行。因此，可提高基板分?jǐn)嘌b置的整體的處理效率。
[0033]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1:概略地表示現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置的主要構(gòu)成的立體圖。
[0035]圖2:概略地表示在現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置中，將已刻劃的基板往拾起傳送部搬送的示意圖。
[0036]圖3:概略地表示本發(fā)明實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置的主要構(gòu)成的側(cè)視圖。
[0037]圖4(a)至圖4(d):概略地表示本發(fā)明實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送過程的示意圖。
[0038]圖5:本發(fā)明實(shí)施例的設(shè)置有跳動輥?zhàn)訂卧幕宸謹(jǐn)嘌b置的部分立體圖。
[0039]圖6:本發(fā)明實(shí)施例的跳動輥?zhàn)訂卧牧Ⅲw圖。
[0040]圖7:本發(fā)明實(shí)施例的跳動輥?zhàn)訂卧膫?cè)視圖。
[0041]圖8:表示在本發(fā)明實(shí)施例的跳動輥?zhàn)訂卧?，第I輥?zhàn)酉陆登业?輥?zhàn)由仙奶鴦庸髯訂卧膫?cè)剖面圖。
[0042]圖9:表示在本發(fā)明實(shí)施例的跳動輥?zhàn)訂卧?，第I輥?zhàn)由仙业?輥?zhàn)酉陆档奶鴦庸髯訂卧膫?cè)剖面圖。
[0043]【主要元件符號說明】
[0044]2、2a:基板10:第I傳送部
[0045]14:夾頭梁16:夾頭
[0046]18:帶部20:第2傳送部
[0047]21:輥?zhàn)?1a:第3輥?zhàn)?br> [0048]22:上游側(cè)第2傳送部(刻劃后傳送部)
[0049]22a:刻劃后傳送構(gòu)架23:跳動輥?zhàn)訂卧?br> [0050]23a:第I輥?zhàn)?3b:第2輥?zhàn)覽0051 ]24:下游側(cè)第2傳送部(拾起傳送部)
[0052]24a:拾起傳送構(gòu)架25a:拾起X軸機(jī)器人
[0053]25b:拾起Y軸機(jī)器人25c:拾起Z軸機(jī)器人
[0054]27:拾起手28:帶部
[0055]30:刻劃單元32:刻劃梁
[0056]34:刻劃頭40:帶部驅(qū)動馬達(dá)
[0057]50a:第I制動器50b:第2制動器
[0058]52:帶部制動器副軸54:齒條及小齒輪
[0059]232:齒輪驅(qū)動馬達(dá)234:小齒輪
[0060]236a:第I齒條236b:第2齒條
[0061]238:導(dǎo)件

【具體實(shí)施方式】
[0062]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的一種基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0063]以下，參照附圖，針對本發(fā)明的實(shí)施例詳細(xì)地進(jìn)行說明。但本發(fā)明可以各種不同的形態(tài)具體呈現(xiàn)，并不限定于此處說明的實(shí)施例。在圖示中，為了對本發(fā)明進(jìn)行簡單且清楚的說明，省略了與說明無關(guān)的部分，且針對貫通說明書整體為相同或類似的構(gòu)成元件標(biāo)記相同的參照符號。此外，在本發(fā)明的實(shí)施例中，對已揭示于專利文獻(xiàn)I等現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置的在構(gòu)成上的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，關(guān)于與現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置為相同或類似的構(gòu)成，省略其說明。另一方面，在本發(fā)明的實(shí)施例中，“基板”包含分?jǐn)喑啥鄠€基板的母基板，此外還包含鋼板等金屬基板、木板、塑膠基板及陶瓷基板、半導(dǎo)體基板、玻璃基板等脆性材料基板等單板。此外，并不限定于如此的單板，亦包含接合一對基板的接合基板，以及積層一對基板的積層基板。
[0064]圖3，概略地表示本發(fā)明實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置的主要構(gòu)成的側(cè)視圖。參照圖3，本實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置，包含第I傳送部10及第2傳送部20、刻劃單元30及跳動輥?zhàn)訂卧?3。第I傳送部10及第2傳送部20，在設(shè)置臺(未圖示)上沿基板搬送方向即第I方向(在圖3中+Y方向)相互地隔著間隔配置。在第I傳送部10，設(shè)置有卷繞于多個輥?zhàn)?1而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部18，在第2傳送部20，設(shè)置有卷繞于多個輥?zhàn)?1而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部28。而且，在本實(shí)施例中，以如下方式構(gòu)成:多個輥?zhàn)?1之中，第3輥?zhàn)?1a連結(jié)有帶部驅(qū)動馬達(dá)40，因此借由該帶部驅(qū)動馬達(dá)40的動作控制第3輥?zhàn)?1a的旋轉(zhuǎn)，借此使帶部28進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0065]在第I傳送部10與第2傳送部20之間，配置刻劃單元30?？虅潌卧?0，具備在橫切設(shè)置臺的方向(在圖3中+X方向)延長而設(shè)置的刻劃梁32，以及安裝于該刻劃梁32并可沿刻劃梁32延伸的方向移動的刻劃頭34。此外，在該第I傳送部10的帶部18上，設(shè)置有沿第I方向設(shè)置成可往前后(在圖3中+Y方向及-Y方向)移動的夾頭(chuck)梁14，以及形成于該夾頭梁14 一側(cè)并把持基板2的夾頭16。而且，夾頭梁14朝向刻劃單元30而前后方向進(jìn)行移動，借此使被把持于夾頭16的基板2 —邊通過刻劃頭34的下部，一邊進(jìn)行刻劃。
[0066]在本實(shí)施例中，第2傳送部20在基板的搬送方向區(qū)分成位于上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部22 (以下，亦稱刻劃后傳送部)，以及位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部24 (以下，亦稱拾起傳送部)。
[0067]刻劃后傳送部22，載置從第I傳送部10通過刻劃單元30刻劃的基板部分；拾起傳送部24，以例如借由拾起機(jī)器人等拾得基板的方式，暫時地載置從刻劃后傳送部22傳送來的基板2a部分。
[0068]如此進(jìn)行互為不同功能的刻劃后傳送部22及拾起傳送部24，雖在本實(shí)施例中通過帶部28而作為第2傳送部20并形成為一體，但其可通過配置在刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間的跳動輥?zhàn)訂卧?3。
[0069]跳動輥?zhàn)訂卧?3，設(shè)置于刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間，且至少具有一對第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b。在圖3中，雖僅圖示一對第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b，但本發(fā)明并不限定于此，亦可適用于具備2對以上輥?zhàn)拥奶鴦虞佔(zhàn)訂卧?。此外，在圖3中，第I輥?zhàn)?3a位于第2傳送部20的外側(cè)亦即帶部28的軌道外側(cè)，第2輥?zhàn)?3b位于第2傳送部20的內(nèi)側(cè)亦即帶部28的軌道內(nèi)側(cè)，但本發(fā)明并不限定于此，亦可適用于第I輥?zhàn)?3a位于帶部28的軌道內(nèi)側(cè)，第2輥?zhàn)?3b位于帶部28的軌道外側(cè)的構(gòu)成。
[0070]跳動輥?zhàn)訂卧?3的第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b，形成為可于與基板的搬送方向即與第I方向交叉的第2方向(在圖3中+Z方向或-Z方向)移動。此外，第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b，以在進(jìn)行移動時相互地往相反方向移動的方式形成。例如，以一旦第I輥?zhàn)?3a往-Z方向移動，貝U第2棍子23b往+Z方向移動，而一旦第I棍子23a往+Z方向移動，則第2輥?zhàn)?3b往-Z方向移動的方式，將第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b相互連動地結(jié)合。關(guān)于該結(jié)合構(gòu)成，將詳述于后。
[0071]如此，在刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間，形成具備有形成可相互地往相反方向移動的第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b的跳動輥?zhàn)訂卧?3，借此，第2刻劃部20的帶部28的移動，在刻劃后傳送部22及拾起傳送部24中可控制成各自獨(dú)立。亦即，可控制成如下的方式:刻劃后傳送部22的帶部28進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，但拾起傳送部24的帶部28為停止，或與此相反地，拾起傳送部24的帶部28進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，但刻劃后傳送部22的帶部28為停止。借此，刻劃后傳送部22及拾起傳送部24，雖以不具有傳送移載的方式而形成為一體的構(gòu)成(由I個帶部28構(gòu)成的構(gòu)成)，但動作狀態(tài)可以互為不同的方式控制。
[0072]因此，可將載置于刻劃后傳送部22上的完成刻劃的基板，沿著帶部28以不具有往拾起傳送部24移載的方式進(jìn)行搬送。因此，具有如下的效果:可防止如現(xiàn)有習(xí)知的基板分?jǐn)嘌b置，將基板從下游側(cè)的刻劃部往拾起傳送部搬送時，傳送部的移載導(dǎo)致端材的落下或玻璃碎屑等的問題，且亦可防止傳送部的移載導(dǎo)致基板表面造成損傷的問題。針對此，參照圖4 (a)至圖4 (d)，更具體地進(jìn)行說明。
[0073]圖4(a)至圖4(d)，概略地表示本發(fā)明實(shí)施例的基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送過程的示意圖。圖4(a)，表示開始對基板進(jìn)行刻劃階段的示意圖。參照圖4(a)，成為刻劃對象的基板2被把持于夾頭16。此外，在拾起傳送部24上載置已完成刻劃的基板2a而待拾起。
[0074]另一方面，在本實(shí)施例的跳動輥?zhàn)訂卧?3，設(shè)置有以第I輥?zhàn)?3a為基準(zhǔn)而形成于刻劃后傳送部22側(cè)的第I制動器50a，以及以第I輥?zhàn)?3a為基準(zhǔn)而形成于拾起傳送部24側(cè)的第2制動器50b。第I制動器50a及第2制動器50b，用于使第2傳送部20的帶部28的旋轉(zhuǎn)確實(shí)地停止，在圖4(a)中，第2制動器50b下降而使拾起傳送部24的帶部28的旋轉(zhuǎn)確實(shí)地停止。
[0075]圖4 (b)，表示對基板2進(jìn)行刻劃，同時對拾起傳送部24上的基板2a進(jìn)行拾起而往搬送傳送部(未圖示)等下一階段進(jìn)行卸載階段的示意圖。
[0076]參照圖4 (a)及圖4 (b)，夾頭梁14沿基板搬送方向(在圖4 (b)中+Y方向)移動，借此，被把持于夾頭16的基板2亦通過刻劃頭34的下部。與此同時，第I輥?zhàn)?3a往-Z方向移動，第2棍子23b往與第I棍子23a的移動方向相反的+Z方向移動。
[0077]此時，帶部驅(qū)動馬達(dá)40的動作為開啟，由于帶部28確實(shí)地卷繞于第3輥?zhàn)?1a，因此在第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b進(jìn)行移動時，僅刻劃后傳送部22側(cè)的帶部28動作，且拾起傳送部24側(cè)的帶部28 為不動作。如圖4(b)所示，亦可為:使第2制動器50b下降，而使拾起傳送部24的帶部28更確實(shí)地停止。
[0078]此外，在本實(shí)施例中，第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b移動的距離，形成為彼此相同。亦即，一旦第I輥?zhàn)?3a僅往-Z方向移動距離L，則第2輥?zhàn)?3b亦以往+Z方向移動距離L的方式而調(diào)整。借此，一邊使第I輥?zhàn)?3a往-Z方向移動的距離與第2輥?zhàn)?3b往+Z方向移動的距離抵銷，一邊則僅刻劃后傳送部22的帶部28以第I輥?zhàn)?3a或第2輥?zhàn)?3b的移動距離的程度往順時針方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。借此，被把持于夾頭16的基板2，亦可于通過刻劃頭34的下部而到達(dá)刻劃后傳送部22之后，在刻劃后傳送部22的帶部28上持續(xù)進(jìn)行移動。
[0079]之后，一旦夾頭梁14及夾頭16往與基板的搬送方向相反方向(在圖4(b)中-Y方向)后退，與此同時，第I輥?zhàn)?3a再度往+Z方向移動，且第2輥?zhàn)?3b再度往-Z方向移動，借此，刻劃后傳送部22的帶部28以第I輥?zhàn)?3a或第2輥?zhàn)?3b的移動距離的程度，再度往逆時針方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。然后，借由重復(fù)如此過程，刻劃被把持于夾頭16的基板2的整面。
[0080]另一方面，拾起傳送部24的帶部28，如前述，即使第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b進(jìn)行移動，其動作被固定。因此，即使在基板刻劃的過程中，載置于拾起傳送部24的帶部28上的已完成刻劃作業(yè)的基板2a，亦可借由例如拾起機(jī)器人等拾起，并往下一階段卸載。
[0081]圖4(c)，表示已完成刻劃作業(yè)而夾頭梁14及夾頭16返回至初期位置，且殘留于拾起傳送部24的帶部28上的端材往破碎機(jī)移送階段的示意圖。參照圖4(b)及圖4(c)，已完成刻劃作業(yè)的基板2，夾頭16的把持被解除并載置于刻劃后傳送部22的帶部28上，夾頭16及夾頭梁14則返回至初期位置。
[0082]此時，一旦使帶部驅(qū)動馬達(dá)40動作，使第3輥?zhàn)?1a往順時針方向旋轉(zhuǎn)，并且使第I輥?zhàn)?3a往+Z方向移動，使第2輥?zhàn)?3b往-Z方向移動，則僅拾起傳送部24的帶部28為順時針旋轉(zhuǎn)，刻劃后傳送部22的帶部28為維持停止?fàn)顟B(tài)。借此，可在位于刻劃后傳送部22的帶部28上的基板2為停止的狀態(tài)下，僅使留置于拾起傳送部24的帶部28上的端材往破碎機(jī)移送。
[0083]此外，在該情形，以第2制動器50b上升且第I制動器50a下降的方式進(jìn)行調(diào)整，借此，亦可不對拾起傳送部24的帶部28的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制，而僅使刻劃后傳送部22的帶部28的移動更確實(shí)地停止。
[0084]圖4 (d)，表示使新的基板往第I傳送部10上裝載，使載置于刻劃后傳送部22的帶部28上的基板往拾起傳送部24搬送階段的示意圖。參照圖4(d)，在第I傳送部10，將新的基板2裝載于第I傳送部10的帶部18上，并被把持于已返回初期位置的夾頭梁14及夾頭16。
[0085]在第2傳送部20，一旦第I輥?zhàn)?3a往+Z方向持續(xù)移動并解除與帶部28的接觸，則帶部28恢復(fù)至非彎曲的平坦?fàn)顟B(tài)，在載置基板并搬送的刻劃后傳送部22的帶部28與拾起傳送部24的帶部28之間成為不具有傳送移載部。而且，使第I制動器50a上升而解除與帶部28的接觸。此時,帶部驅(qū)動馬達(dá)40由于持續(xù)動作中，借由拾起傳送部24的帶部28進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，刻劃后傳送部22的帶部28亦同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，借此，可將載置于刻劃后傳送部22的帶部28上的完成刻劃的基板，以不具有傳送移載的方式往拾起傳送部24的帶部28搬送。因此，可對已刻劃的基板不造成損傷地往下一階段(例如，拾起階段)的搬送部進(jìn)行移送。
[0086]另一方面，在本實(shí)施例中，第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b之中的至少一者，一邊維持帶部28的張力一邊進(jìn)行接觸。借此，借由第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b的移動，帶部28亦可在維持有張力的狀態(tài)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，且載置于帶部28上的基板亦可圓滑地進(jìn)行搬送。
[0087]此外，在其他實(shí)施例中，第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b亦可利用可于卷繞有帶部28的狀態(tài)下，借由旋轉(zhuǎn)使帶部28移動的其他手段而構(gòu)成。
[0088]圖5，本發(fā)明實(shí)施例的設(shè)置有跳動輥?zhàn)訂卧幕宸謹(jǐn)嘌b置的部分立體圖。參照圖5，沿基板搬送方向即第I方向而在刻劃后傳送構(gòu)架22a上設(shè)置刻劃后傳送部22，且在拾起傳送構(gòu)架24a上設(shè)置拾起傳送部24。在拾起傳送部24，設(shè)置有可分別于X、Y、Z軸移動的拾起X軸機(jī)器人25a、拾起Y軸機(jī)器人25b及拾起Z軸機(jī)器人25c，借由拾起手27拾起的基板，借由所述多個機(jī)器人的移動而移往所欲移往的位置而卸載。
[0089]而且，在刻劃后傳送部22與拾起傳送部24之間設(shè)置跳動輥?zhàn)訂卧?3。關(guān)于跳動輥?zhàn)訂卧?3，參照圖6及圖7進(jìn)行說明。
[0090]圖6，本發(fā)明實(shí)施例的跳動輥?zhàn)訂卧?3的立體圖，圖7，本發(fā)明實(shí)施例的跳動輥?zhàn)訂卧?3的側(cè)視圖。參照圖6及圖7，本發(fā)明實(shí)施例的跳動輥?zhàn)訂卧?3，包含與齒輪驅(qū)動馬達(dá)232連結(jié)的小齒輪(pin1n) 234，以及在與該小齒輪234嚙合的狀態(tài)下夾著該小齒輪234并相互地對向配置的第I齒條(rack) 236a及第2齒條236b。而且，第I齒條236a通過連結(jié)構(gòu)件結(jié)合第I輥?zhàn)?3a，且第2齒條236b通過連結(jié)構(gòu)件結(jié)合第2輥?zhàn)?3b。因此，一旦借由齒輪驅(qū)動馬達(dá)232的動作而小齒輪234進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第I齒條236a及第2齒條236b于Z方向相互地往相反方向動作，第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b亦沿導(dǎo)件238往第I齒條236a及第2齒條236b動作的方向動作。
[0091]此外，在跳動輥?zhàn)訂卧?3的上部具備控制帶部28移動的第I制動器50a及第2制動器50b。第I制動器50a及第2制動器50b，與連結(jié)于帶部制動器副軸52的齒條及小齒輪54結(jié)合。因此，借由齒條及小齒輪54的動作，第I制動器50a及第2制動器50b亦進(jìn)行上升或下降。
[0092]圖8，表示在本發(fā)明實(shí)施例中，第I輥?zhàn)酉陆登业?輥?zhàn)由仙奶鴦虞佔(zhàn)訂卧膫?cè)剖面圖；圖9，表示在本發(fā)明實(shí)施例中，第I輥?zhàn)由仙业?輥?zhàn)酉陆档奶鴦虞佔(zhàn)訂卧膫?cè)剖面圖。
[0093]參照圖8，借由第I輥?zhàn)?3a往-Z方向下降而帶部28亦一同下降，與此同時，借由第2輥?zhàn)?3b往+Z方向上升而帶部28亦一同上升。此外，參照圖9，然后，一旦第I輥?zhàn)?3a往+Z方向上升則帶部28恢復(fù)成維持張力的平坦?fàn)顟B(tài)，與此同時，第2輥?zhàn)?3b往-Z方向下降而帶部28亦一同下降。借由如此的第I輥?zhàn)?3a及第2輥?zhàn)?3b的移動，即使是一個帶部28，亦可對位于跳動輥?zhàn)訂卧?3的上游側(cè)的帶部28的動作與位于跳動輥?zhàn)訂卧?3的下游側(cè)的帶部28的動作以互為不同的方式進(jìn)行控制。因此，可對置于帶部28上的完成刻劃的基板以不具有傳送移載的方式往下一階段進(jìn)行搬送，借此，可防止因傳送移載導(dǎo)致的端材落下或玻璃碎屑等問題。
[0094]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其包含: 第I傳送部及第2傳送部，在設(shè)置臺上，沿基板的搬送方向即第I方向相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部； 刻劃單元，設(shè)置于該第I傳送部與第2傳送部之間并對該基板進(jìn)行刻劃；以及 跳動輥?zhàn)訂卧?，在該第I方向，設(shè)置在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，且至少具備一對第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)樱? 該第I輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)，且該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部內(nèi)側(cè)； 該第I輥?zhàn)蛹霸摰?輥?zhàn)?，在與該第I方向交叉的第2方向，形成為以可相互地往相反方向移動的方式相互連動，且形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與該下游側(cè)第2傳送部，可成為互為不同的動作狀態(tài)； 該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)?，在該?方向相互地往相反方向移動時，該第I輥?zhàn)拥囊苿泳嚯x與第2輥?zhàn)拥囊苿泳嚯x相同。
2.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)拥闹辽僖徽?，一邊維持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸。
3.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)樱趭A著與齒輪驅(qū)動馬達(dá)連結(jié)的小齒輪而相互地對向配置的狀態(tài)下，分別與嚙合于該小齒輪的第I齒條及第2齒條結(jié)合。
4.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該多個輥?zhàn)又邪?輥?zhàn)樱摰?輥?zhàn)泳砝@有該下游側(cè)第2傳送部的帶部，且該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動馬達(dá)。
5.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該跳動輥?zhàn)訂卧?，設(shè)置有使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第I制動器，以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第2制動器。
6.一種基板搬送方法，在包含具備在設(shè)置臺上沿基板的搬送方向即第I方向相互地隔著間隔配置且在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥?zhàn)佣M(jìn)行旋轉(zhuǎn)的帶部的第I傳送部及第2傳送部，以及設(shè)置于該第I傳送部與該第2傳送部之間并對該基板進(jìn)行刻劃的刻劃單元的基板分?jǐn)嘌b置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第I方向進(jìn)行搬送，其特征在于: 在該基板分?jǐn)嘌b置中，在該第I方向，在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，具備在與該第I方向交叉的第2方向以可相互地往相反方向移動的方式相互連動的至少具有一對第I輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)拥奶鴦虞佔(zhàn)訂卧? 在使該第I輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部外側(cè)，且使該第2輥?zhàn)游挥谠摰?傳送部的帶部內(nèi)側(cè)的狀態(tài)下，使該第I輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)酉嗷サ赝喾捶较蛞苿?，借此使形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部以互為不同的方式動作； 該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)?，在該?方向相互地往相反方向移動時，該第I輥?zhàn)拥囊苿泳嚯x與第2輥?zhàn)拥囊苿泳嚯x相同。
7.如權(quán)利要求6所述的基板搬送方法，其特征在于其中借由該第I輥?zhàn)优c第2輥?zhàn)拥耐狄苿?，在使該下游?cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該上游側(cè)第2傳送部的帶部往順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)，且對載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的基板進(jìn)行刻劃； 在該進(jìn)行刻劃的階段，對置于停止?fàn)顟B(tài)的下游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板進(jìn)行卸載； 借由一邊使卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部的第3輥?zhàn)有D(zhuǎn)，一邊使該第I輥?zhàn)蛹暗?輥?zhàn)右苿?，在使上游?cè)第2傳送部的帶部停止的狀態(tài)下，使該下游側(cè)第2傳送部的帶部旋轉(zhuǎn)，對留置于該下游側(cè)第2傳送部的帶部上的端材進(jìn)行卸載； 亦在該端材卸載后，使該第3輥?zhàn)映掷m(xù)旋轉(zhuǎn)，使載置于該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的完成刻劃的基板往該下游側(cè)第2傳送部的帶部上進(jìn)行搬送。
8.如權(quán)利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中該第3輥?zhàn)舆B結(jié)帶部驅(qū)動馬達(dá)，且在對該基板進(jìn)行刻劃的階段，使該帶部驅(qū)動馬達(dá)的動作停止。
9.如權(quán)利要求8所述的基板搬送方法，其特征在于其中在對該端材進(jìn)行卸載的階段，使該帶部驅(qū)動馬達(dá)動作。
10.如權(quán)利要求7所述的基板搬送方法，其特征在于其中在該跳動輥?zhàn)訂卧?，設(shè)置使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第I制動器，以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)停止的第2制動器，且在對該基板進(jìn)行刻劃的階段，使該第2制動器動作。
11.如權(quán)利要求10所述的基板搬送方法，其特征在于其中在對該端材進(jìn)行卸載的階段，使該第I制動器動作。
12.如權(quán)利要求11所述的基板搬送方法，其特征在于其中在已刻劃的基板往該下游側(cè)第2傳送部的帶部搬送的階段，使該第I制動器及第2制動器的動作完全解除。
【文檔編號】C03B33/02GK104129908SQ201410364041
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2013年4月3日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月1日
【發(fā)明者】西尾仁孝 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司