吸附裝置、搬送裝置、及光學(xué)元件的制造裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供吸附裝置、搬送搬送裝置、及光學(xué)元件的制造裝置，其在吸附裝置內(nèi)部的減壓解除時(shí)，能夠可靠地使預(yù)塑型坯等被吸附部件脫離。吸附裝置(10)具備在內(nèi)部形成有空間(18)，并具有抽氣口(12A)和吸附口(14B)的裝置主體，利用吸附裝置(10)從抽氣口(12A)對(duì)空間內(nèi)進(jìn)行減壓，從而將預(yù)塑型坯吸附于吸附口(14B)，吸附裝置(10)具備脫離部件(16)，其具有：將空間(18)分割成抽氣口(12A)側(cè)的抽氣側(cè)空間和吸附口(14B)側(cè)的吸附側(cè)空間的圓板(16A)；以末端能夠從吸附口(14B)向外部突出的方式立起設(shè)置于圓板(16A)的脫離軸(16C)；以及使抽氣側(cè)空間內(nèi)的壓力比吸附側(cè)空間的壓力小的壓力控制機(jī)構(gòu)。
【專利說(shuō)明】吸附裝置、搬送裝置、及光學(xué)元件的制造裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及吸附裝置、使用了該吸附裝置的搬送裝置、以及使用了搬送裝置的光學(xué)元件的制造裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]一直以來(lái)，作為玻璃透鏡等光學(xué)元件的制造方法，廣泛采用如下方法:將預(yù)塑型坯配置在成型模具內(nèi)，對(duì)成型模具加熱，進(jìn)而，通過(guò)對(duì)成型模具進(jìn)行沖壓，從而對(duì)預(yù)塑型坯進(jìn)行沖壓成型。此時(shí)，利用吸附裝置進(jìn)行將預(yù)塑型坯配置到成型模具內(nèi)的作業(yè)，該吸附裝置具有能夠利用抽氣泵(ejector)對(duì)內(nèi)部進(jìn)行減壓的吸附墊(pad)。首先，利用抽氣泵對(duì)吸附裝置的內(nèi)部進(jìn)行減壓來(lái)吸附預(yù)塑型坯，移動(dòng)該吸附裝置以使預(yù)塑型坯位于成型模具內(nèi)，通過(guò)使抽氣泵的減壓停止，能夠?qū)㈩A(yù)塑型坯配置到成型模具內(nèi)(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2002-12431號(hào)公報(bào)
[0004]近年，在制造便攜電話等中使用的小型的透鏡時(shí)，使用直徑約數(shù)mm以下的小徑且輕量的預(yù)塑型坯(被吸附部件)。然而，在將這樣的小型且輕量的預(yù)塑型坯吸附于吸附墊時(shí)，存在預(yù)塑型坯凹入吸附墊的問(wèn)題。當(dāng)發(fā)生這樣的預(yù)塑型坯的凹入時(shí)，需要取出凹入的預(yù)塑型坯的作業(yè)，而不得不停止透鏡生產(chǎn)線，會(huì)使透鏡的制造效率降低。這里，被吸附部件向吸附墊的凹入是指被吸附部件的一部分侵入吸附墊末端的吸附口內(nèi)，并且被吸附部件夾入吸附孔口內(nèi)的情況。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的一個(gè)方式提供在吸附裝置的內(nèi)部的減壓解除時(shí)能夠可靠地使預(yù)塑型坯等被吸附部件脫離的吸附裝置。
[0006]本發(fā)明的吸附裝置具備裝置主體，所述裝置主體在內(nèi)部形成有空間，并具有抽氣口，其與空間連通并與抽氣裝置連接；和吸附口，其朝向抽氣口的相反側(cè)開(kāi)口，并與空間連通，利用抽氣裝置從抽氣口對(duì)空間內(nèi)進(jìn)行減壓，從而將被吸附部件吸附于吸附口，吸附裝置具備脫離部件，所述脫離部件具有:分割部，其將空間分割成抽氣口側(cè)的抽氣側(cè)空間和吸附口側(cè)的吸附側(cè)空間；和脫離軸，其以末端能夠從吸附口向外部突出的方式立起設(shè)置于分割部，脫離部件包括壓力控制機(jī)構(gòu)，在利用抽氣裝置進(jìn)行抽氣時(shí)，壓力控制機(jī)構(gòu)使抽氣側(cè)空間內(nèi)的壓力比吸附側(cè)空間的壓力小。
[0007]根據(jù)本發(fā)明，在解除吸附裝置的內(nèi)部的減壓時(shí)，脫離部件的脫離軸的末端從吸附裝置的吸附口突出。因此，即使預(yù)塑型坯等被吸附部件凹入吸附口，也能夠利用脫離軸從吸附口將被吸附部件押出，能夠可靠地使被吸附部件脫離。
[0008]而且，根據(jù)本發(fā)明，由于具備壓力控制機(jī)構(gòu)，所以在抽氣裝置進(jìn)行抽氣時(shí)，在被吸附部件未被正常地吸附于吸附口的情況下，脫離部件向抽氣側(cè)移動(dòng)，因此脫離部件的脫離軸從吸附口脫離，吸附裝置的內(nèi)部的空間的氣壓比被吸附部件被正常地吸附的情況大地上升。因此，被吸附部件的正常吸附時(shí)和非正常吸附時(shí)的空間內(nèi)的壓力差變大，通過(guò)測(cè)定吸附裝置的內(nèi)部的空間內(nèi)的壓力，能夠可靠地判定被吸附部件是否被正常地吸附。
[0009]根據(jù)本發(fā)明，在解除吸附裝置的內(nèi)部的減壓時(shí)，能夠可靠地使預(yù)塑型坯等被吸附部件從吸附裝置脫離。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是示出本實(shí)施方式的搬送裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0011]圖2是放大示出解除吸附裝置的內(nèi)部的減壓的狀態(tài)下的、搬送裝置所使用的吸附裝置的結(jié)構(gòu)的豎直剖視圖。
[0012]圖3是沿著圖2中A-A線的剖視圖。
[0013]圖4是示出預(yù)塑型坯被正常地吸附的狀態(tài)的抽氣裝置的豎直剖視圖。
[0014]圖5是示出預(yù)塑型坯未被正常地吸附的狀態(tài)的抽氣裝置的豎直剖視圖。
[0015]圖6是示出本實(shí)施方式的抽氣裝置中的預(yù)塑型坯被正常地吸附的情況和未被正常地吸附的情況下、用圧力計(jì)測(cè)量到的氣壓的變化的曲線圖。
[0016]圖7是示出Sa ( Sb的抽氣裝置中的預(yù)塑型坯被正常地吸附的情況和未被正常地吸附的情況下、用圧力計(jì)測(cè)量到的氣壓的變化的曲線圖。
[0017]圖8是用于對(duì)從托盤向成型模具內(nèi)移動(dòng)預(yù)塑型坯的方法進(jìn)行說(shuō)明的圖。
[0018]圖9是示出利用螺旋彈簧來(lái)使脫離部件脫離的結(jié)構(gòu)的第2實(shí)施方式的吸附裝置的豎直剖視圖。
[0019]圖10示出脫離部件的開(kāi)口的形狀及配置不同的實(shí)施方式，是脫離部件的圓板的高度處的剖視圖。
[0020]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0021]1:搬送裝置；
[0022]2:抽氣泵(抽氣裝置);
[0023]3:抽氣管；
[0024]4:連接部；
[0025]5:圧力傳感器；
[0026]6:控制部；
[0027]10:吸附裝置；
[0028]12:接合器；
[0029]12A:抽氣口；
[0030]12B:貫通路；
[0031]12C:基部；
[0032]12D:上方突出部；
[0033]12E:下方突出部；
[0034]14:墊部；
[0035]14A:凹部；
[0036]14B:吸附口(連通路)；
[0037]14C:側(cè)壁部；
[0038]14D:底部；
[0039]14E:突出部；
[0040]16、116:脫離部件；
[0041]16A，116A:圓板部(分割部件)；
[0042]16B，116B:開(kāi)口；
[0043]16C，116C:脫離軸；
[0044]18:空間；
[0045]20:預(yù)塑型坯；
[0046]22:托盤；
[0047]40:螺旋彈簧。
【具體實(shí)施方式】
[0048]以下，一邊參照附圖一邊對(duì)本發(fā)明的吸附裝置的第I實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另夕卜，在本實(shí)施方式中，在制造吸附裝置、制造透鏡(光學(xué)元件)的裝置中，以應(yīng)用于使預(yù)塑型坯從載置有預(yù)塑型坯的托盤向成型模具內(nèi)移動(dòng)的搬送裝置的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。
[0049]圖1是示出本實(shí)施方式的搬送裝置I的結(jié)構(gòu)的圖。并且，圖2及圖3放大示出使抽氣泵2 (抽氣裝置)停止的狀態(tài)下的、在搬送裝置I中使用的吸附裝置10的結(jié)構(gòu)，圖2是豎直剖視圖，圖3是沿圖2中的A — A線的剖視圖。另外，在圖3中，為了說(shuō)明，對(duì)接合器12的抽氣口 12A進(jìn)行投影并示出。
[0050]如圖1所示，本實(shí)施方式的搬送裝置I具備:抽氣泵2 ;連接部4，其經(jīng)由抽氣管3與抽氣泵2連接；吸附裝置10，其與連接部4連接；圧力傳感器5，其對(duì)抽氣管3內(nèi)的氣壓進(jìn)行測(cè)定；以及控制部6，其對(duì)抽氣泵2進(jìn)行控制。另外，連接部4被設(shè)成能夠在基座部件7上滑動(dòng)。在連接部4的一端設(shè)有用于使滑動(dòng)停止的止擋件8。連接部4和抽氣菅3經(jīng)由接頭9連接。
[0051]當(dāng)抽氣泵2被驅(qū)動(dòng)時(shí)，對(duì)抽氣管3內(nèi)進(jìn)行減壓。由控制部6對(duì)抽氣泵2的驅(qū)動(dòng)及停止進(jìn)行控制。
[0052]連接部4是在內(nèi)部具備管路4A的部件。管路4A的一端與抽氣管3連通，另一端與形成于吸附裝置10的接合器12的抽氣口 12A連接。連接部4例如利用機(jī)器人臂等移動(dòng)機(jī)構(gòu)(移動(dòng)部)(未圖示)來(lái)移動(dòng)。
[0053]如圖2及圖3所示，具備:接合器12 ;墊部14，其與接合器12連接；以及脫離部件16，其設(shè)在由接合器12和墊部14界定的空間18內(nèi)。
[0054]接合器12由例如SUS等金屬形成，其具備圓板狀的基部12C、在基部12C的上表面立起設(shè)置的圓柱狀的上方突出部12D、以及在基部12C的下表面立起設(shè)置的圓柱狀的下方突出部12E。并且，在接合器12形成有貫通路12B，該貫通路12B從上方突出部12D的上表面貫通至下方突出部12E的下表面。另外，在本實(shí)施方式中，貫通路12B的上端12A相當(dāng)于本發(fā)明的抽氣口，在以下的說(shuō)明中設(shè)抽氣口的面積為SA。
[0055]如圖1所示，上方突出部12D的上端部形成有擴(kuò)徑部，并且在連接部4的管路4A的下端部附近以與上方突出部12D的擴(kuò)徑部對(duì)應(yīng)的方式形成有環(huán)狀槽。通過(guò)上方突出部12D的擴(kuò)徑部嵌入連接部4的管路4A的環(huán)狀槽，而吸附裝置10與連接部4連接。
[0056]墊部14由例如具有彈性的樹(shù)脂形成，具備:形成為圓筒狀的側(cè)壁部14C ;將側(cè)壁部14C的下端部閉塞的底部14D ;以及從底部14D向下方突出的突出部14E。并且，在墊部14的底部14D形成有向下方延伸的圓柱狀的凹部14A。而且，在墊部14的突出部14E形成有圓柱狀的連通路(吸附口 ) 14B，其從凹部14A的底面連通至突出部14E的下表面。連通路14B被設(shè)成相對(duì)于脫離軸16C的直徑具有規(guī)定的間隙(clearance),以便后述的脫離部件16的脫離軸16C能夠在連通路14內(nèi)移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，該連通路14B相當(dāng)于本發(fā)明中的吸附口。
[0057]接合器12的下方突出部12E從上方插入墊部14的側(cè)壁部14C內(nèi)，由此接合器12和墊部14被連接。這些接合器12和墊部14相當(dāng)于本發(fā)明中的吸附裝置的裝置主體。而且，在接合器12和墊部14內(nèi)形成有內(nèi)部空間18。該內(nèi)部空間18包括由墊部14的側(cè)壁部14C包圍的空間、及由底部14D形成的凹部14A內(nèi)的空間。
[0058]脫離部件16是能夠在由接合器12和墊部14形成的圓柱狀的空間18內(nèi)沿上下方向移動(dòng)的部件，具備:形成為圓板狀的圓板部16A(分割部)；和以從圓板部16A的下表面朝向下方延伸的方式立起設(shè)置的脫離軸16C。
[0059]圓板部16A例如由鋁等金屬形成，隔著規(guī)定的間隙設(shè)于墊部14的側(cè)壁部14C內(nèi)偵牝以便能夠在圓柱狀的空間18內(nèi)移動(dòng)。在圓板部16A，繞其中心形成有多個(gè)(在本實(shí)施方式中為4個(gè))開(kāi)口 16B(圧力控制機(jī)構(gòu))。這些多個(gè)開(kāi)口 16B設(shè)成繞圓板部16A的中心旋轉(zhuǎn)對(duì)稱。
[0060]這里，在俯視觀察時(shí)，將開(kāi)口 16B的位于抽氣口 12A外周的內(nèi)側(cè)(即，將抽氣口 12A垂直投影到圓板部16A的上表面時(shí)的輪廓的內(nèi)側(cè))的部分的面積的總和設(shè)為SB。在本實(shí)施方式中，如圖3所示，形成于圓板部16A的全部的開(kāi)口 16B在俯視觀察時(shí)位于抽氣口 12A外周的內(nèi)側(cè)，并且開(kāi)口 16B的面積的總和為SB。另外，在本實(shí)施方式中，貫通路12B的直徑恒定，但在貫通路12B的直徑根據(jù)位置而不同的情況下,在俯視觀察時(shí)，圓板部16A的開(kāi)口 16B的、位于貫通路12B的截面積最小的部分的輪廓內(nèi)的部分的面積為SB。
[0061]脫離軸16C是例如由SUS304等金屬形成的圓柱狀的部件。脫離軸16C通過(guò)一端嵌入在形成于圓板部16A的中心的開(kāi)口而與圓板部16A成為一體。脫離軸16C具有在脫離部件16位于由接合器12和墊部14形成的圓柱狀的空間18的最下部的狀態(tài)(即，圓板部16A的下表面與墊部14的底部14D的上表面抵接的狀態(tài))下，下端從墊部14的吸附口 14B的下端稍稍突出的長(zhǎng)度。
[0062]脫離部件16能夠在圓板部16A的下表面與墊部14的底部14D的上表面抵接、且脫離軸16C的下端從墊部14的吸附口 14B突出的位置(以下，稱為下方位置)和，圓板部16A的上表面與接合器12的下方突出部12E的下表面抵接、且脫離軸16C的下端從吸附口(連通路)14B脫離而位于凹部14A內(nèi)的位置(以下，稱為上方位置)之間沿上下方向移動(dòng)。
[0063]在本實(shí)施方式的吸附裝置10中，形成為抽氣口 12A的面積Sa比形成于脫離部件16的圓板16A的開(kāi)口 16B的總面積Sb大(S卩，Sa > Sb)。
[0064]回到圖1和圖2，圧力傳感器5對(duì)抽氣管3內(nèi)的圧力進(jìn)行測(cè)定，測(cè)定到的抽氣管3內(nèi)的圧力(氣壓)數(shù)據(jù)被傳送至控制部6。另外，抽氣管3經(jīng)由連接部的管路4A與吸附裝置10的接合器12的抽氣口 12A連接，因此抽氣管3內(nèi)的圧力與吸附裝置10內(nèi)的抽氣側(cè)空間的圧力相等。
[0065]控制部6以能夠通信的方式與抽氣泵2及移動(dòng)機(jī)構(gòu)(移動(dòng)部)連接，并對(duì)抽氣泵2及移動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制。并且，對(duì)圧力傳感器5輸入由圧力傳感器5測(cè)定的測(cè)定圧力數(shù)據(jù)。而且，在圧力傳感器5設(shè)定有預(yù)先規(guī)定的基準(zhǔn)圧力。圧力傳感器5通過(guò)比較測(cè)定圧力和基準(zhǔn)圧力，來(lái)判定是否利用吸附裝置10適當(dāng)?shù)匚筋A(yù)塑型坯20。圧力傳感器5將判定結(jié)果傳送至控制部6。
[0066]以下，對(duì)利用吸附裝置10吸附并脫離預(yù)塑型坯20的方法、以及控制部6對(duì)預(yù)塑型坯20是否被適當(dāng)吸附進(jìn)行判定的方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0067]圖4是示出預(yù)塑型坯20被正常地吸附的狀態(tài)的抽氣裝置10的豎直剖視圖，圖5是示出預(yù)塑型坯20未被正常地吸附的狀態(tài)的抽氣裝置10的豎直剖視圖。并且，圖6是示出本實(shí)施方式的吸附裝置中的預(yù)塑型坯(PF) 20被正常地吸附的情況和未被正常地吸附的情況下、用圧力傳感器5測(cè)量到的氣壓的變化的曲線圖。
[0068]首先，參照?qǐng)D4，對(duì)吸附預(yù)塑型坯20的方法、以及預(yù)塑型坯20被正常地吸附的狀態(tài)下的吸附裝置10的內(nèi)部的圧力進(jìn)行說(shuō)明。
[0069]為了吸附預(yù)塑型坯20，控制部6驅(qū)動(dòng)抽氣泵2。當(dāng)抽氣泵2被驅(qū)動(dòng)時(shí)，經(jīng)由抽氣管3，利用抽氣口 12A抽吸吸附裝置10的空間18內(nèi)的空氣。當(dāng)從抽氣口 12A進(jìn)行空間18內(nèi)的抽氣時(shí)，空間18內(nèi)減壓。此時(shí)，由于在脫離軸16C和連通路(吸附口)14B之間設(shè)有間隙，所以隔著該間隙，預(yù)塑型坯20被墊部14的吸附口 14B抽吸。被吸附口 14B抽吸的預(yù)塑型坯20與脫離軸16C的下表面抵接，并將脫離軸16C推起。由此，預(yù)塑型坯20與吸附口 14B抵接，從而預(yù)塑型坯20吸附于墊部14的吸附口 14B。
[0070]另外，假設(shè)在抽氣泵2的抽氣力大的情況下，脫離部件16上升較高而脫離軸16C從吸附口 14B脫離，但在這樣的情況下，吸附裝置10的空間18內(nèi)也比周圍低圧，因此能夠吸附預(yù)塑型坯20。
[0071]這樣，在預(yù)塑型坯20被正常地吸附的狀態(tài)下，當(dāng)抽氣泵2被驅(qū)動(dòng)時(shí)，預(yù)塑型坯20吸附于吸附口 14B，從而吸附口 14B被封閉。因此，如圖6所示，在驅(qū)動(dòng)抽氣泵2后，隨著時(shí)間的經(jīng)過(guò)，吸附裝置10的內(nèi)側(cè)的空間18內(nèi)的氣壓大大降低，隨之，由圧力傳感器5測(cè)定到的圧力也變得非常低(一 90kPa左右)。
[0072]接下來(lái)，參照?qǐng)D5，對(duì)預(yù)塑型坯20未被正常地吸附的狀態(tài)下的吸附裝置10的內(nèi)部的圧力進(jìn)行說(shuō)明。
[0073]在預(yù)塑型坯20未被正常地吸附的狀態(tài)下，當(dāng)利用抽氣口 12A使吸附裝置10的空間18內(nèi)減壓時(shí)，由于形成為抽氣口 12A的面積Sa比形成于脫離部件16的圓板16A的開(kāi)口16B的面積的總和Sb大(即，Sa > Sb)，所以空間18中的從圓板16A靠近抽氣口 12A側(cè)的空間(以下，稱為抽氣側(cè)空間)的圧力比空間18中從比圓板16A靠近吸附口 14B側(cè)的空間(以下，稱為吸附側(cè)空間)的圧力低。因此，圧力差引起的力朝向上方作用于脫離部件16。并且，由于吸附口 14B不會(huì)被預(yù)塑型坯20封閉，像預(yù)塑型坯20被正常地吸附的情況那樣的朝向下方的力不會(huì)作用于脫離部件16。因此，脫離部件16利用抽氣側(cè)空間和吸附側(cè)空間的圧力差移動(dòng)至上方位置。然后，當(dāng)脫離部件16移動(dòng)至上方位置時(shí)，脫離軸16C的下端從吸附口(連通路)14B脫離而位于凹部14A內(nèi)。由此，吸附裝置10的吸附口 14B開(kāi)放。
[0074]當(dāng)吸附口 14B開(kāi)放時(shí)，空氣通過(guò)吸附口 14B從外部流入吸附裝置10內(nèi)的空間18。進(jìn)而，從吸附口 14B向空間18流入的空氣通過(guò)形成于脫離部件16的圓板部16A的開(kāi)口 16B，通過(guò)接合器12的貫通路12B，向連接部4的管路4A及抽氣管3流動(dòng)。因此，如圖6所示，由圧力傳感器5測(cè)量到的氣壓成為與預(yù)塑型坯20被正常地吸附的情況相比非常高的圧力(—50kPa 左右)。
[0075]如以上所說(shuō)明的，在本實(shí)施方式中，在預(yù)塑型坯20被正常地吸附的情況下利用圧力傳感器5測(cè)定的圧力的值和在未被正常地吸附的情況下利用圧力傳感器5測(cè)定的圧力的值大不相同。因此，通過(guò)將在預(yù)塑型坯20被正常地吸附的情況及未被正常地吸附的情況的利用圧力傳感器5測(cè)定的圧力之間的值(例如，一 60kPa)作為基準(zhǔn)圧力，對(duì)利用圧力傳感器5測(cè)定的圧力和基準(zhǔn)圧力進(jìn)行比較，能夠判定預(yù)塑型坯20是否被正常地吸附。
[0076]為了使預(yù)塑型坯20從吸附口 14B脫離，利用控制部6使抽氣泵2停止，解除空間18內(nèi)的減壓。當(dāng)解除空間18內(nèi)的減壓時(shí)，在抽氣泵2的驅(qū)動(dòng)時(shí)對(duì)脫離部件16作用的、朝向上方的力不作用。由此，墊部14的吸附口(連通路)14B內(nèi)的脫離軸16C的末端和預(yù)塑型坯20之間的空間內(nèi)的圧力也變得與外部的圧力相等。因此，對(duì)預(yù)塑型坯20的吸附力不作用，預(yù)塑型坯20從吸附口脫離。
[0077]這里，即使預(yù)塑型坯20凹入吸附口 14B，當(dāng)停止抽氣泵2時(shí)，利用空間18內(nèi)的減壓而作用于脫離部件16的、朝向上方的力也不作用。由此，脫離部件16利用自重下降至圖1所示的下方位置。在該下方位置，脫離部件16的脫離軸16C的下端從吸附口 14B突出。因此，即使假設(shè)預(yù)塑型坯20凹入吸附口 14B，預(yù)塑型坯20也會(huì)被脫離軸16C推出。
[0078]另外，這里作為比較例，對(duì)抽氣口 12A的面積Sa在形成于脫離部件16的圓板16A的開(kāi)口 16B的面積的總和Sb以下(即，SaSSb的情況)的情況下的、預(yù)塑型坯20的正常吸附時(shí)及非正常吸附時(shí)的吸附裝置10內(nèi)的空間18的圧力進(jìn)行說(shuō)明。圖7是示出SA< Sb的抽氣裝置中的預(yù)塑型坯20被正常地吸附的情況和未被正常地吸附的情況下、用圧力傳感器5測(cè)量到的壓力的變化的曲線圖。
[0079]即使在Sa ( Sb的情況下，在預(yù)塑型坯20被正常地吸附的狀態(tài)下，當(dāng)抽氣泵2被驅(qū)動(dòng)時(shí)，預(yù)塑型坯20吸附于吸附口 14B，從而吸附口 14B被封閉。因此，如圖7所示，由圧力傳感器5測(cè)定的圧力下降至與Sa > Sb的情況下的預(yù)塑型坯20被正常地吸附的狀態(tài)下的圧力相同的程度(一 90kPa左右)。
[0080]對(duì)此，在預(yù)塑型坯20未被正常地吸附的狀態(tài)下，在Sa ( Sb的情況下，即使從抽氣口 12A抽出氣體，抽氣側(cè)空間的圧力也不會(huì)比吸附側(cè)空間的圧力低。由此，在Sa彡Sb的情況下，像在Sa > Sb的情況下源于作用于脫離部件16的圧力的差的力不作用。因此，脫離部件16不會(huì)像Sa > Sb的情況那樣移動(dòng)至上方位置，而停留在下方位置，吸附口 14B不會(huì)開(kāi)放。
[0081]這樣，在SA< 情況下，當(dāng)預(yù)塑型坯20未被正常地吸附時(shí)，脫離部件16停留在下方位置，因此空氣僅從吸附口 14B和脫離軸16C之間的間隙向吸附裝置10內(nèi)的空間18流入。因此，來(lái)自外部的空氣的流入非常少，由圧力傳感器5測(cè)定的氣壓比預(yù)塑型坯被正常地吸附的情況高，但成為非常低的圧力(一 80kPa左右)。
[0082]如以上所說(shuō)明的，根據(jù)本實(shí)施方式，形成為抽氣口 12A的面積Sa比形成于脫離部件16的圓板16A的開(kāi)口 16B的面積的總和Sb大(S卩，Sa > Sb)，因此在預(yù)塑型坯20被正常地吸附的情況和未被正常地吸附的情況下的利用圧力傳感器5測(cè)定的圧力的差變大。因此，根據(jù)由圧力傳感器5測(cè)定的圧力，能夠更正確地判定預(yù)塑型坯20是否被正常地吸附。
[0083]以下，對(duì)在利用本實(shí)施方式的搬送裝置沖壓成型玻璃透鏡時(shí)，將預(yù)塑型坯從托盤移動(dòng)至成型模具內(nèi)的方法進(jìn)行說(shuō)明。圖8是用于對(duì)從托盤向成型模具內(nèi)移動(dòng)預(yù)塑型坯的方法進(jìn)行說(shuō)明的圖。
[0084]首先，控制部6對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，使吸附裝置10移動(dòng)至托盤22上的預(yù)塑型坯20 的上方(STEPl)。
[0085]接下來(lái)，利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使吸附裝置10下降，以使墊部14的吸附口 14B與預(yù)塑型坯20抵接。在本實(shí)施方式中，以吸附口 14B與預(yù)塑型坯20抵接的點(diǎn)為起點(diǎn)。然后，在該起點(diǎn)處，控制部6驅(qū)動(dòng)抽氣泵2，經(jīng)由抽氣管3對(duì)吸附裝置10的內(nèi)部空間18內(nèi)進(jìn)行減壓。此時(shí)，利用圧力傳感器5測(cè)定抽氣管3內(nèi)的圧力，關(guān)于測(cè)定圧力的數(shù)據(jù)被傳送至控制部6?？刂撇?根據(jù)接收的數(shù)據(jù)，對(duì)利用圧力傳感器計(jì)5測(cè)定的測(cè)定圧力和預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)圧力進(jìn)行比較，判定是否利用吸附裝置10正常地吸附預(yù)塑型坯20。
[0086]圧力傳感器5在測(cè)定圧力比基準(zhǔn)圧力高的情況下判定:如參照?qǐng)D5所說(shuō)明的、脫離部件16向上方位置移動(dòng)，即利用吸附裝置10正常地吸附預(yù)塑型坯20(STEP2’)。在圧力傳感器5判定這樣地利用吸附裝置10正常地吸附預(yù)塑型坯20的情況下，控制部6進(jìn)行控制以使抽氣泵2停止，來(lái)使吸附裝置10的空間18的減壓停止。
[0087]測(cè)定圧力在基準(zhǔn)圧力以下的情況下圧力傳感器5判定:如參照?qǐng)D4所說(shuō)明的、脫離部件16的脫離軸16C位于吸附口(連通路)14B內(nèi)、即利用吸附裝置10正常地吸附預(yù)塑型坯 20 (STEP2)。
[0088]在圧力傳感器5判定利用吸附裝置10正常地吸附預(yù)塑型坯20的情況下，控制部6以利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)使吸附裝置10向成型模具的下模30上移動(dòng)的方式進(jìn)行控制(STEP3)。然后，吸附裝置10位于成型模具的下模30上，預(yù)塑型坯的一部分下降至與下模30接觸。在本實(shí)施方式中，將預(yù)塑型坯20的一部分與下模30接觸的地點(diǎn)作為終點(diǎn)。在該終點(diǎn)，控制部6停止抽氣泵2的減壓。
[0089]當(dāng)停止抽氣泵2時(shí)，利用自重，脫離部件16下降至下方位置，脫離部件16的脫離軸16C的末端從吸附口(連通路)14B的末端向下方突出。由此，即使在例如預(yù)塑型坯20凹入墊部14的狀態(tài)下，也能夠?qū)㈩A(yù)塑型坯20配置到下模30上。
[0090]在將預(yù)塑型坯20配置到下模30上后，吸附裝置10利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)從下模30上移動(dòng)開(kāi)(STEP4)。
[0091]然后，將上模配置到下模30上組裝成型模具，對(duì)成型模具進(jìn)行加熱處理后，通過(guò)對(duì)成型模具進(jìn)行沖壓，能夠?qū)㈩A(yù)塑型坯20成型成玻璃透鏡。
[0092]如以上所說(shuō)明的，根據(jù)本實(shí)施方式，具備脫離軸16C的脫離部件16配置在形成于吸附裝置10內(nèi)的空間18內(nèi)，當(dāng)抽氣泵2停止時(shí)，該脫離部件16利用自重向下方移動(dòng)，脫離軸16C的下端從吸附裝置10的吸附口 14B突出。因此，即使假設(shè)預(yù)塑型坯20凹入吸附口14B，利用脫離軸16C也能夠?qū)㈩A(yù)塑型坯20從吸附口 14B押出，能夠可靠地使預(yù)塑型坯20脫離。
[0093]并且，在本實(shí)施方式中，形成為抽氣口 12A的面積Sa比形成于脫離部件16的圓板16A的開(kāi)口 16B的面積的總和SB大(SP，SA>SB)。由此，在預(yù)塑型坯20未被正常地吸附于吸附口 14B的情況下，當(dāng)從抽氣口 12A進(jìn)行抽氣時(shí)，抽氣側(cè)空間的氣壓比吸附側(cè)空間的氣壓低，對(duì)脫離部件16作用朝向上方的力。通過(guò)這樣作用朝向上方的力，脫離部件16向上方位置移動(dòng)，因此脫離部件16的脫離軸16C從吸附口 14B脫離，吸附裝置10的內(nèi)部的空間18的氣壓與預(yù)塑型坯20被正常地吸附的情況相比大大上升。因此，預(yù)塑型坯20的正常吸附時(shí)和非正常吸附時(shí)的空間18內(nèi)的圧力差變大，根據(jù)吸附裝置10的內(nèi)部的空間18內(nèi)的氣壓，能夠可靠地判定預(yù)塑型坯20是否被正常地吸附。
[0094]另外，在本實(shí)施方式中，利用脫離部件16的自重，使預(yù)塑型坯20從吸附口 14B脫離，但本發(fā)明不限于此。
[0095]圖9是示出利用螺旋彈簧40來(lái)使脫離部件16脫離的結(jié)構(gòu)的第2實(shí)施方式的吸附裝置110的豎直剖視圖。另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)于具有與第I實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)要素，標(biāo)以相同的標(biāo)號(hào)，并省略說(shuō)明。
[0096]如該圖所示，在本實(shí)施方式中，在吸附裝置10的空間18的吸引側(cè)空間內(nèi)配置有螺旋彈簧40。螺旋彈簧40的上端與接合器12的下方突出部12E的下表面抵接，下端與脫離部件16的圓板16A的上表面抵接。由此，脫離部件16被朝向吸附口 14B賦予勢(shì)能。
[0097]在使用本實(shí)施方式的吸附裝置吸附預(yù)塑型坯20的情況下，也利用抽氣泵2對(duì)吸附置10的空間18進(jìn)行減壓。當(dāng)利用抽氣泵2對(duì)吸附裝置10的空間18進(jìn)行減壓時(shí)，隔著脫離軸16C和連通路14之間的間隙，預(yù)塑型坯20被吸附于墊部14的吸附口 14B，被抽吸的預(yù)塑型坯20將脫離軸16C推起。由于脫離軸16C被推起，脫離部件16上升，螺旋彈簧40收縮。
[0098]在使預(yù)塑型坯20脫離的情況下，使抽氣泵2停止，解除空間18內(nèi)的減壓。當(dāng)解除空間18內(nèi)的減壓時(shí)，使螺旋彈簧40收縮的、對(duì)于預(yù)塑型坯20的吸附力不作用。因此，利用螺旋彈簧40，預(yù)塑型坯20被向下方賦予勢(shì)能，預(yù)塑型坯20從吸附口 14B脫離。
[0099]根據(jù)本實(shí)施方式，不僅利用脫離部件16的自重，也利用了螺旋彈簧40的伸縮力，來(lái)使預(yù)塑型坯20脫離，因此能夠更可靠地使預(yù)塑型坯脫離。
[0100]并且，在本實(shí)施方式中，在脫離部件16的圓板16A沿周向等間隔地設(shè)有多個(gè)圓形的開(kāi)口 16B，但開(kāi)口的形狀和配置不限于此。圖10示出脫離部件116的開(kāi)口的形狀及配置不同的實(shí)施方式，是脫離部件的圓板116A的高度處的剖視圖。另外，在圖10所示的實(shí)施方式中，只有脫離部件116的結(jié)構(gòu)與第I實(shí)施方式不同，其他結(jié)構(gòu)與第I實(shí)施方式相同。如圖10所示，在脫離部件116的圓板116A形成有呈同心的圓弧狀延伸的多個(gè)開(kāi)口 116B。這些多個(gè)開(kāi)口 116B位于將抽氣口 12A垂直投影到圓板部116A的上表面時(shí)的輪廓的內(nèi)側(cè)。并且，與第I實(shí)施方式相同地，開(kāi)口 116B的面積的總和Sb比抽氣口 12A的面積Sa小。
[0101]即使在使用這樣的結(jié)構(gòu)的脫離部件116的情況下，也起到與第I實(shí)施方式相同的效果。
[0102]并且，在本實(shí)施方式中，在利用抽氣裝置抽氣時(shí)，作為使抽氣側(cè)空間內(nèi)的圧力變得比吸附側(cè)空間的圧力小的圧力控制機(jī)構(gòu)，脫離部件16的圓板16A形成了面積的總和Sb比抽氣口 12A的面積Sa*的開(kāi)口 16B，但本發(fā)明的圧力控制機(jī)構(gòu)不限于此。
[0103]例如，作為圓板16A使用多孔狀(porous)的結(jié)構(gòu),通過(guò)調(diào)整其開(kāi)口率,也可以使抽氣側(cè)空間內(nèi)的圧力變得比吸附側(cè)空間的圧力小。
[0104]并且，例如，通過(guò)使圓板16A為網(wǎng)狀，可以使抽氣側(cè)空間內(nèi)的圧力比吸附側(cè)空間的圧力小，也可以利用圓板16A將抽氣側(cè)空間和吸附側(cè)空間完全封閉，并另外在抽氣側(cè)空間和吸附側(cè)空間之間設(shè)置管。
[0105]另外，在本實(shí)施方式中，對(duì)接合器12的貫通路12B在上下全長(zhǎng)上為恒定的直徑的情況進(jìn)行說(shuō)明，但例如在貫通路12B的直徑不恒定的情況下，在本發(fā)明中所謂的抽氣口的面積是指貫通路12B的最小面積。
[0106]并且，被吸附部件的脫離，不僅通過(guò)解除吸附裝置10的空間18內(nèi)的減壓，也可以在解除減壓后通過(guò)加圧來(lái)脫離。
[0107]最后，使用附圖等總體概括本實(shí)施方式。
[0108]如圖2所示，本實(shí)施方式的吸附裝置10具備裝置主體，所述裝置主體在內(nèi)部形成有空間18，并具有抽氣口 12A，其與空間18連通并與抽氣裝置連接；和吸附口 14B，其朝向抽氣口 12A的相反側(cè)開(kāi)口，并與空間18連通，通過(guò)利用吸附裝置10從抽氣口 12A對(duì)空間內(nèi)進(jìn)行減壓，來(lái)將預(yù)塑型坯吸附于吸附口 14B，吸附裝置10具備脫離部件16，所述脫離部件16具有:圓板16A，其將空間18分割成抽氣口 12A側(cè)的抽氣側(cè)空間和吸附口 14B側(cè)的吸附側(cè)空間；和脫離軸16C，其以末端能夠從吸附口 14B向外部突出的方式立起設(shè)置于圓板16A，脫離部件16包括壓力控制機(jī)構(gòu)，在利用抽氣裝置進(jìn)行抽氣時(shí)，壓力控制機(jī)構(gòu)使抽氣側(cè)空間內(nèi)的壓力比吸附側(cè)空間的壓力小。
【權(quán)利要求】
1.一種吸附裝置，其具備裝置主體，所述裝置主體在內(nèi)部形成有空間，并具有:抽氣口，其與所述空間連通并與抽氣裝置連接；和吸附口，其朝向所述抽氣口的相反側(cè)開(kāi)口，并與所述空間連通，利用所述抽氣裝置從所述抽氣口對(duì)所述空間內(nèi)進(jìn)行減壓，從而將被吸附部件吸附于所述吸附口，其中， 所述吸附裝置具備脫離部件，所述脫離部件具有:分割部，其將所述空間分割成所述抽氣口側(cè)的抽氣側(cè)空間和所述吸附口側(cè)的吸附側(cè)空間；和脫離軸，其以末端能夠從所述吸附口向外部突出的方式立起設(shè)置于所述分割部， 所述脫離部件包括壓力控制機(jī)構(gòu)，在利用所述抽氣裝置進(jìn)行抽氣時(shí)，所述壓力控制機(jī)構(gòu)使所述抽氣側(cè)空間內(nèi)的壓力比所述吸附側(cè)空間的壓力小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附裝置，其中，所述脫離部件能夠在第I位置和第2位置之間移動(dòng)，在所述第I位置，所述脫離軸的末端從所述吸附口向外部突出，在所述第2位置，所述脫離軸的末端收納在所述裝置主體內(nèi)，在由所述抽氣裝置抽氣時(shí)，利用所述壓力控制機(jī)構(gòu)，使所述抽氣側(cè)空間內(nèi)的壓力比所述吸附側(cè)空間的壓力小，由此所述脫離部件移動(dòng)至第2位置，所述被吸附部件吸附于所述吸附口， 在解除所述抽氣裝置對(duì)所述空間內(nèi)的減壓時(shí)，所述脫離部件移動(dòng)至第I位置，所述脫離軸的末端從所述吸附口向外部突出，使所述被吸附部件脫離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的吸附裝置，其中， 所述壓力控制機(jī)構(gòu)由開(kāi)口構(gòu)成， 所述開(kāi)口形成于所述分割部，其位于所述抽氣口垂直地投影到所述分割部的吸附口側(cè)表面的輪廓內(nèi)的部分的總面積比所述抽氣口的面積小。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吸附裝置，其中， 所述空間形成為圓柱狀， 所述分割部形成為圓盤狀，所述脫離軸的一端立起設(shè)置于所述分割部的中心，所述開(kāi)口以所述脫離軸為中心旋轉(zhuǎn)對(duì)稱。
5.一種搬送裝置，其具備權(quán)利要求1?4中任意一項(xiàng)所述的吸附裝置， 所述搬送裝置具備控制部， 所述控制部以如下方式進(jìn)行控制: 在起點(diǎn)處，通過(guò)所述抽氣裝置對(duì)所述空間內(nèi)進(jìn)行減壓，以使所述吸附裝置吸附所述被吸附部件， 移動(dòng)部在吸附所述被吸附部件的狀態(tài)下，將所述吸附裝置移動(dòng)至終點(diǎn)， 在所述終點(diǎn)處，所述抽氣裝置解除所述空間內(nèi)的減壓，所述吸附裝置使所述被吸附部件脫離。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的搬送裝置，其中， 所述控制部根據(jù)利用與所述抽氣口連接的壓力傳感器測(cè)定的測(cè)定壓力和預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)壓力，控制所述移動(dòng)部從所述起點(diǎn)向所述終點(diǎn)移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的搬送裝置，其中， 所述控制部以如下方式進(jìn)行控制: 在所述壓力傳感器判定為所述測(cè)定壓力比所述基準(zhǔn)壓力低的情況下，所述移動(dòng)部使所述吸附裝置從所述起點(diǎn)向所述終點(diǎn)移動(dòng)， 在所述壓力傳感器判定為所述測(cè)定壓力比所述基準(zhǔn)壓力高的情況下，所述抽氣裝置解除所述空間內(nèi)的減壓。
8.一種光學(xué)元件的制造裝置，其具備: 權(quán)利要求5所述的搬送裝置；和 對(duì)所述被吸附部件進(jìn)行加壓成型的成型裝置。
【文檔編號(hào)】C03B11/16GK104512998SQ201410500342
【公開(kāi)日】2015年4月15日 申請(qǐng)日期:2014年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月26日
【發(fā)明者】新莊秀人 申請(qǐng)人:Hoya株式會(huì)社