一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及石英擺片制造領(lǐng)域，尤其是一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法。所述酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，包括以下步驟：第一步：將工裝好的石英擺片撓性梁放入第一氫氟酸溶液中，在第一溫度條件下，進(jìn)行快速刻蝕，直至石英擺片撓性梁達(dá)到第一預(yù)設(shè)厚度；第二步：將第一預(yù)設(shè)厚度的石英擺片撓性梁放入第二氫氟酸溶液中，在第二溫度條件下，進(jìn)行慢速刻蝕，直至石英擺片撓性梁達(dá)到第二預(yù)設(shè)厚度；其中：第一氫氟酸溶液的濃度大于第二氫氟酸溶液的濃度，第一氫氟酸溶液的濃度小于22mol/L；第一溫度高于第二溫度。所述酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法縮短石英擺片撓性梁酸刻蝕時(shí)間；可對(duì)石英擺片撓性梁厚度進(jìn)行控制精度。
【專利說(shuō)明】一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及石英擺片撓性梁制造領(lǐng)域，尤其是一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形 方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 石英擺片撓性梁是石英撓性加速度計(jì)的核心元件，石英撓性加速度計(jì)主要用于慣 性導(dǎo)航系統(tǒng)，其主要性能指標(biāo)包括量程、分辨率、偏值重復(fù)性、標(biāo)度因素重復(fù)性和非線性等， 其性能指標(biāo)中的量程和分辨率決定于石英擺片撓性梁的厚度和表面質(zhì)量。
[0003] 目前，公知的石英擺片撓性梁成形方法是利用氫氟酸與石英玻璃的化學(xué)反應(yīng)使石 英擺片撓性梁厚度減薄，使其剛度減小從而實(shí)現(xiàn)撓性彎曲。擺片平面刻圖后，采用特制的酸 蝕模具和氟硅橡膠掩膜，保護(hù)除石英擺片撓性梁外的其余部分，將其置于一定濃度和溫度 的氫氟酸溶液中進(jìn)行酸刻蝕，通過(guò)測(cè)量"陪片"的酸蝕量計(jì)算酸蝕速率從而估算石英擺片撓 性梁的厚度，即擺片石英擺片撓性梁"一步"成形法。"一步法"的酸刻蝕速率約為I. 3um/ min，石英擺片燒性梁加工時(shí)需要減薄的量為690um，則需要耗時(shí)530min。該方法進(jìn)行酸刻 蝕石英擺片撓性梁不僅耗時(shí)長(zhǎng)，而且精度不高。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 為了克服上述酸刻蝕石英擺片撓性梁"一步法"成形引起的石英擺片撓性梁厚度 控制精度差和耗時(shí)時(shí)間長(zhǎng)的不足，本發(fā)明提供了一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法， 該方法不僅能將石英擺片撓性梁的厚度控制精度提高至±lum，而且能大大降低反應(yīng)時(shí)間。
[0005] 本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
[0006] 通過(guò)一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，包括以下步驟：
[0007] 第一步：將工裝好的石英擺片撓性梁放入第一氫氟酸溶液中，在第一溫度條件下， 進(jìn)行快速刻蝕，直至所述石英擺片撓性梁達(dá)到第一預(yù)設(shè)厚度；
[0008] 第二步：將所述第一預(yù)設(shè)厚度的石英擺片撓性梁放入第二氫氟酸溶液中，在第二 溫度條件下，進(jìn)行慢速刻蝕，直至所述石英擺片撓性梁達(dá)到第二預(yù)設(shè)厚度；
[0009] 其中：所述第一氫氟酸溶液的濃度大于所述第二氫氟酸溶液的濃度，所述第一氫 氟酸溶液的濃度小于22m〇l/L ;
[0010] 所述第一溫度高于所述第二溫度。
[0011] 優(yōu)選地，
[0012] 所述第一氫氟酸溶液的濃度的18?22mol/L ;
[0013] 所述第二氫氟酸溶液的濃度為10?15mol/L。
[0014] 優(yōu)選地，
[0015] 所述第一溫度為50?70 °C ;
[0016] 所述第二溫度為20?30°C。
[0017] 優(yōu)選地，
[0018] 在所述快速刻蝕過(guò)程中，在所述第一氫氟酸溶液中放入第一玻璃陪片，通過(guò)計(jì)算 所述第一玻璃陪片在所述第一氫氟酸溶液中的第一酸刻蝕速率，進(jìn)行估算測(cè)試所述第一預(yù) 設(shè)厚度的第一預(yù)設(shè)時(shí)間；
[0019] 在所述慢速刻蝕過(guò)程中，在所述第二氫氟酸溶液中放入第二玻璃陪片，通過(guò)計(jì)算 所述第二玻璃陪片在所述第二氫氟酸溶液中的第二酸刻蝕速率，進(jìn)行估算測(cè)試所述第二預(yù) 設(shè)厚度的第二預(yù)設(shè)時(shí)間。
[0020] 優(yōu)選地，
[0021] 所述第一預(yù)設(shè)時(shí)間為180?300min ;
[0022] 所述第二預(yù)設(shè)時(shí)間為30?50min。
[0023] 優(yōu)選地，
[0024] 通過(guò)光纖光譜測(cè)厚裝置，測(cè)量所述石英擺片撓性梁的第一預(yù)設(shè)厚度和第二預(yù)設(shè)厚 度；
[0025] 所述光纖光譜測(cè)厚裝置包括光纖光譜儀、光源、模具固定底座和光纖測(cè)量探頭，所 述光纖光譜儀和光源分別經(jīng)光纖與所述光纖測(cè)量探頭連接，所述模具固定底座用于固定所 述石英擺片繞性梁，所述光纖測(cè)量探頭垂直設(shè)置在固定在所述模具固定底座上的所述石英 擺片繞性梁的一側(cè)。
[0026] 優(yōu)選地，
[0027] 所述第一預(yù)設(shè)厚度為40?60 μ m ;
[0028] 所述第二預(yù)設(shè)厚度為24?28 μ m。
[0029] 優(yōu)選地，
[0030] 通過(guò)氟硅橡膠掩膜將所述石英擺片撓性梁裝模，形成工裝好的石英擺片撓性梁。
[0031] 優(yōu)選地，
[0032] 將第一預(yù)設(shè)厚度的石英擺片撓性梁放入第二氫氟酸溶液中時(shí)，使用去離子水沖洗 殘留酸液，并用無(wú)塵布吸干石英擺片撓性梁表面水分。
[0033] 優(yōu)選地，
[0034] 在進(jìn)行快速刻蝕時(shí)，所述石英擺片撓性梁豎直放置在所述第一氫氟酸溶液中；
[0035] 在進(jìn)行慢速刻蝕時(shí)，所述石英擺片撓性梁豎直放置在所述第二氫氟酸溶液中。
[0036] 借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明提出的一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法至少具 有下列優(yōu)點(diǎn)：
[0037] 1)縮短石英擺片撓性梁酸刻蝕時(shí)間；
[0038] 2)避免橡膠掩膜酸溶造成的石英擺片撓性梁厚度不均和玻璃邊緣毛刺；
[0039] 3)可對(duì)石英擺片撓性梁厚度進(jìn)行精確控制。
[0040] 上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段， 并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0041] 圖1是本發(fā)明的工藝流程圖；
[0042] 圖2是本發(fā)明氟硅橡膠掩膜和與石英擺片撓性梁的工裝結(jié)構(gòu)圖；
[0043] 圖3是本發(fā)明的在線測(cè)厚裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0044] 為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合 附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，詳細(xì)說(shuō) 明如后。
[0045] 本發(fā)明提供的一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法（具體工藝流程參見(jiàn)圖1)， 包括以下步驟：
[0046] 第一步：將工裝好的石英擺片撓性梁放入第一氫氟酸溶液中，在第一溫度條件下， 進(jìn)行快速刻蝕，直至所述石英擺片撓性梁達(dá)到第一預(yù)設(shè)厚度；
[0047] 第二步：將所述第一預(yù)設(shè)厚度的石英擺片撓性梁放入第二氫氟酸溶液中，在第二 溫度條件下，進(jìn)行慢速刻蝕，直至所述石英擺片撓性梁達(dá)到第二預(yù)設(shè)厚度；其中：所述第 一氫氟酸溶液的濃度大于所述第二氫氟酸溶液的濃度，所述第一氫氟酸溶液的濃度小于 22mol/L ;所述第一溫度高于所述第二溫度。
[0048] 通過(guò)第一氫氟酸溶液對(duì)所述石英擺片撓性梁進(jìn)行快速刻蝕，能夠加快所述石英擺 片撓性梁刻蝕至第二預(yù)設(shè)厚度的反應(yīng)時(shí)間。通過(guò)第二氫氟酸溶液對(duì)所述石英擺片撓性梁進(jìn) 行慢速刻蝕，能有效控制所述石英擺片撓性梁到第二預(yù)設(shè)厚度的精度。
[0049] 優(yōu)選地，所述第一氫氟酸溶液的濃度的18?22mol/L。
[0050] 優(yōu)選地，所述第二氫氟酸溶液的濃度為10?15mol/L。
[0051] 優(yōu)選地，本發(fā)明中，所述第一氫氟酸溶液和所述第二氫氟酸溶液，均采用優(yōu)級(jí)純 (GR)氫氟酸溶液進(jìn)行配置。
[0052] 優(yōu)選地，所述優(yōu)級(jí)純（GR)氫氟酸溶液的含量彡40 %，濃度約為22. 8mol/L。將所 述優(yōu)級(jí)純（GR)氫氟酸溶液與水或者其他溶劑稀釋到所需濃度；加熱稀釋后的所述優(yōu)級(jí)純 (GR)氫氟酸溶液并充分?jǐn)嚢?，使所述?yōu)級(jí)純（GR)氫氟酸溶液在酸蝕容器中濃度、溫度分布 均勻；待所述優(yōu)級(jí)純（GR)氫氟酸溶液溫度恒定后（波動(dòng)〈±0. 5°C )方可進(jìn)行酸蝕速率標(biāo) 定，然后進(jìn)行所述石英擺片撓性梁的酸刻蝕加工。
[0053] 優(yōu)選地，所述第一溫度為50?70 °C。
[0054] 優(yōu)選地，所述第二溫度為20?30°C。
[0055] 反應(yīng)時(shí)間決定于氫氟酸濃度和反應(yīng)溫度，第一步選擇18?22mol/L，50?70°C，在 高溫高氫氟酸濃度下盡量縮短酸刻蝕的時(shí)間，將酸刻蝕時(shí)間控制在5小時(shí)之內(nèi)，一方面是 比一步法節(jié)省時(shí)間，更重要的是減少橡膠掩膜因?yàn)殚L(zhǎng)時(shí)間浸泡在酸液中造成的酸溶現(xiàn)象。 溫度不適宜高于70°C是考慮到橡膠在高溫下的酸溶加快。第二步選擇溫度20?30°C，氫 氟酸濃度為10?15mol/L，酸刻蝕速率慢，目的在于提高對(duì)最終撓性梁厚度的控制精度。
[0056] 現(xiàn)有的一步法，一般氫氟酸的濃度是15. 6mol/L，溫度為40°C，在這個(gè)條件下酸刻 蝕擺片的撓性梁需要大約9?10小時(shí)，橡膠掩膜在此條件下浸泡9?10小時(shí)，酸溶尺寸可 達(dá)2_，這樣引起的撓性梁刻蝕后邊緣不整齊毛刺多。并且，由于石英擺片撓性梁的厚度要 求為24?28um，以上述刻蝕速率估算所得刻蝕時(shí)間并不能精確控制其厚度，極易發(fā)生到達(dá) 計(jì)算時(shí)間取出后擺片石英擺片撓性梁厚度不在24?28um范圍內(nèi)，導(dǎo)致擺片石英擺片撓性 梁加工成品率低；此外氟硅橡膠掩膜在氫氟酸溶液中浸泡530min發(fā)生酸溶，一方面造成掩 膜邊緣滲酸使玻璃邊緣出現(xiàn)毛刺，另一方面酸溶膠質(zhì)粘附在石英擺片撓性梁表面引起酸蝕 不均，造成石英擺片撓性梁厚度均勻性差。
[0057] 在快速刻蝕時(shí)，所述橡膠掩膜在18?22mol/L，50?70°C的條件下也會(huì)發(fā)生酸溶， 但由于其浸泡時(shí)間短，發(fā)生酸溶的尺寸約為0. 5_。在慢速刻蝕時(shí)，在10?15mol/L，20? 30°C條件，由于其溫度、氫氟酸濃度低，并且浸泡時(shí)間小于1小時(shí)，幾乎觀測(cè)不到酸溶現(xiàn)象。
[0058] 優(yōu)選地，在所述快速刻蝕過(guò)程中，在所述第一氫氟酸溶液中放入第一玻璃陪片，通 過(guò)計(jì)算所述第一玻璃陪片在所述第一氫氟酸溶液中的第一酸刻蝕速率，進(jìn)行估算測(cè)試所述 第一預(yù)設(shè)厚度的第一預(yù)設(shè)時(shí)間；
[0059] 優(yōu)選地，在所述慢速刻蝕過(guò)程中，在所述第二氫氟酸溶液中放入第二玻璃陪片，通 過(guò)計(jì)算所述第二玻璃陪片在所述第二氫氟酸溶液中的第二酸刻蝕速率，進(jìn)行估算測(cè)試所述 第二預(yù)設(shè)厚度的第二預(yù)設(shè)時(shí)間。
[0060] 具體地，所述第一預(yù)設(shè)時(shí)間為180?300min ;所述第二預(yù)設(shè)時(shí)間為30?50min。
[0061] 從而，能夠大大縮短所述石英擺片撓性梁加工時(shí)所需要消耗的工時(shí)。
[0062] 優(yōu)選地，所述第一預(yù)設(shè)厚度為40?60 μ m。
[0063] 優(yōu)選地，所述第二預(yù)設(shè)厚度為24?28 μ m。
[0064] 優(yōu)選地，通過(guò)光纖光譜測(cè)厚裝置或千分尺，測(cè)量所述石英擺片撓性梁的第一預(yù)設(shè) 厚度和第二預(yù)設(shè)厚度。
[0065] 優(yōu)選地，通過(guò)氟硅橡膠掩膜將所述石英擺片撓性梁裝模，形成工裝好的石英擺片 撓性梁。
[0066] 所述氟硅橡膠掩膜和與所述石英擺片撓性梁的工裝結(jié)構(gòu)（參見(jiàn)圖2)，所述氟硅橡 膠掩膜2緊貼在所述石英擺片撓性梁1表面，僅在所述石英擺片撓性梁1處鏤空，使其暴露 在所述第一氫氟酸溶液和所述第二氫氟酸溶液中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而減薄厚度。
[0067] 優(yōu)選地，先用特制的酸蝕模具和氟硅橡膠掩膜將石英擺片撓性梁裝模。為保證所 述石英擺片撓性梁尺寸精度和表面質(zhì)量，裝模過(guò)程中需保證所述酸蝕模具、氟硅橡膠掩膜、 所述石英擺片撓性梁三者的定位精度和所述石英擺片撓性梁表面的潔凈度。
[0068] 優(yōu)選地，將第一預(yù)設(shè)厚度的石英擺片撓性梁放入第二氫氟酸溶液中時(shí)，使用去離 子水沖洗殘留酸液，并用無(wú)塵布吸干石英擺片撓性梁表面水分。從而能夠避免從所述第一 氫氟酸溶液中取出的石英擺片撓性梁，由于表面殘留的第一氫氟酸溶液，而影響所述第二 氫氟酸溶液的濃度。
[0069] 優(yōu)選地，在所述快速刻蝕過(guò)程中，在所述第一氫氟酸溶液中放入第一玻璃陪片，通 過(guò)計(jì)算所述第一玻璃陪片在所述第一氫氟酸溶液中的第一酸刻蝕速率，進(jìn)行估算測(cè)試所述 第一預(yù)設(shè)厚度的時(shí)間；
[0070] 優(yōu)選地，在所述慢速刻蝕過(guò)程中，在所述第二氫氟酸溶液中放入第二玻璃陪片，通 過(guò)計(jì)算所述第二玻璃陪片在所述第二氫氟酸溶液中的第二酸刻蝕速率，進(jìn)行估算測(cè)試所述 第二預(yù)設(shè)厚度的時(shí)間。
[0071] 優(yōu)選地，在進(jìn)行快速刻蝕時(shí)，所述石英擺片撓性梁豎直放置在所述第一氫氟酸溶 液中。
[0072] 優(yōu)選地，在進(jìn)行慢速刻蝕時(shí)，所述石英擺片撓性梁豎直放置在所述第二氫氟酸溶 液中，從而保證撓性梁兩側(cè)反應(yīng)產(chǎn)物均勻擴(kuò)散。
[0073] 具體的工作步驟包括：將工裝好的石英擺片撓性梁和第一玻璃陪片放入所述第 一氫氟酸溶液中，在所述第一溫度條件下進(jìn)行快速刻蝕，刻蝕1小時(shí)后，將第一玻璃陪片取 出，測(cè)量所述第一玻璃陪片的厚度，以此計(jì)算快速刻蝕速率Vl ;根據(jù)Vl估算所述石英擺片 撓性梁減薄至40?60 μm的快速刻蝕時(shí)間tl，當(dāng)快速刻蝕時(shí)間tl達(dá)到后，將其從第一氫 氟酸溶液中取出，用去離子水沖洗干凈，并用無(wú)塵布吸干所述石英擺片撓性梁表面水分；測(cè) 量所述石英擺片撓性梁的厚度，如測(cè)量結(jié)果大于60 μ m則放回所述第一氫氟酸溶液中繼續(xù) 酸蝕；若測(cè)量結(jié)果在40?60 μ m范圍內(nèi)，則進(jìn)行慢速刻蝕。在慢速刻蝕時(shí)，將快速刻蝕后的 到達(dá)第一預(yù)設(shè)厚度的所述石英擺片撓性梁和第二玻璃陪片放入第二氫氟酸溶液中，在第二 溫度條件下，進(jìn)行反應(yīng)。刻蝕10分鐘后，取出所述第二玻璃陪片，測(cè)量所述第二玻璃陪片厚 度，以此計(jì)算慢速刻蝕速率v2 ;根據(jù)v2估算所述石英擺片撓性梁減薄至24?28 μ m的刻 蝕時(shí)間t2,當(dāng)?shù)竭_(dá)第二步刻蝕時(shí)間t2后，將所述石英擺片撓性梁從所述第二氫氟酸溶液中 取出，用去離子水沖洗干凈，并用無(wú)塵布吸干石英擺片撓性梁表面水分，測(cè)量所述石英擺片 撓性梁的厚度，如測(cè)量結(jié)果大于28 μ m則放回第二氫氟酸溶液中繼續(xù)酸蝕；若測(cè)量結(jié)果在 24?28um范圍內(nèi)，則慢速刻蝕完成。將所述石英擺片撓性梁從所述酸蝕模具和所述橡膠掩 膜中拆卸出來(lái)，并清洗干凈儲(chǔ)存。
[0074] 所述刻蝕速率（vl和v2)是指單位時(shí)間內(nèi)石英擺片撓性梁雙面厚度的去除量，單 位為 ym/min〇
[0075] 通過(guò)本發(fā)明所提供的一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，不僅能夠大大縮短 所述石英擺片撓性梁加工時(shí)所需要消耗的工時(shí)，并且能夠精確控制所述石英擺片撓性梁的 厚度，減少所述石英擺片撓性梁加工中次品率，不同批次加工的擺片厚度重復(fù)性高。另一方 面，能夠減少所述氟硅橡膠掩膜邊緣滲酸使玻璃邊緣出現(xiàn)毛刺的現(xiàn)象，以及能夠減少酸溶 膠質(zhì)粘附在所述石英擺片撓性梁表面引起酸蝕不均的現(xiàn)象，從而能夠使酸刻蝕完成的所述 石英擺片撓性梁厚度均勻、邊緣缺陷減少。
[0076] 本發(fā)明用來(lái)測(cè)量所述石英擺片撓性梁的厚度的方法，可以用光纖進(jìn)行測(cè)量，也可 以用千分尺進(jìn)行測(cè)量。
[0077] 下面以厚度為720 μπι的石英擺片撓性梁，進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明。將工裝好的厚度為 720 μ m的石英擺片撓性梁，按照上述工藝流程進(jìn)行反應(yīng)，具體反應(yīng)條件為：
[0078]

【權(quán)利要求】
1. 一種酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于，包括以下步驟： 第一步：將工裝好的石英擺片撓性梁放入第一氫氟酸溶液中，在第一溫度條件下，進(jìn)行 快速刻蝕，直至所述石英擺片撓性梁達(dá)到第一預(yù)設(shè)厚度； 第二步：將所述第一預(yù)設(shè)厚度的石英擺片撓性梁放入第二氫氟酸溶液中，在第二溫度 條件下，進(jìn)行慢速刻蝕，直至所述石英擺片撓性梁達(dá)到第二預(yù)設(shè)厚度； 其中：所述第一氫氟酸溶液的濃度大于所述第二氫氟酸溶液的濃度，所述第一氫氟酸 溶液的濃度小于22mol/L ; 所述第一溫度高于所述第二溫度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 所述第一氫氟酸溶液的濃度的18?22mol/L ; 所述第二氫氟酸溶液的濃度為10?15mol/L。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 所述第一溫度為50?70 °C ; 所述第二溫度為20?30°C。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 在所述快速刻蝕過(guò)程中，在所述第一氫氟酸溶液中放入第一玻璃陪片，通過(guò)計(jì)算所述 第一玻璃陪片在所述第一氫氟酸溶液中的第一酸刻蝕速率，進(jìn)行估算測(cè)試所述第一預(yù)設(shè)厚 度的第一預(yù)設(shè)時(shí)間； 在所述慢速刻蝕過(guò)程中，在所述第二氫氟酸溶液中放入第二玻璃陪片，通過(guò)計(jì)算所述 第二玻璃陪片在所述第二氫氟酸溶液中的第二酸刻蝕速率，進(jìn)行估算測(cè)試所述第二預(yù)設(shè)厚 度的第二預(yù)設(shè)時(shí)間。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 所述第一預(yù)設(shè)時(shí)間為180?300min ; 所述第二預(yù)設(shè)時(shí)間為30?50min。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 通過(guò)光纖光譜測(cè)厚裝置，測(cè)量所述石英擺片撓性梁的第一預(yù)設(shè)厚度和第二預(yù)設(shè)厚度； 所述光纖光譜測(cè)厚裝置包括光纖光譜儀、光源、模具固定底座和光纖測(cè)量探頭，所述光 纖光譜儀和光源分別經(jīng)光纖與所述光纖測(cè)量探頭連接，所述模具固定底座用于固定所述石 英擺片繞性梁，所述光纖測(cè)量探頭垂直設(shè)置在固定在所述模具固定底座上的所述石英擺片 繞性梁的一側(cè)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 所述第一預(yù)設(shè)厚度為40?60 y m ; 所述第二預(yù)設(shè)厚度為24?28 ym。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 通過(guò)氟硅橡膠掩膜將所述石英擺片撓性梁裝模，形成工裝好的石英擺片撓性梁。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 將第一預(yù)設(shè)厚度的石英擺片撓性梁放入第二氫氟酸溶液中時(shí)，使用去離子水沖洗殘留 酸液，并用無(wú)塵布吸干石英擺片撓性梁表面水分。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸刻蝕石英擺片撓性梁的成形方法，其特征在于， 在進(jìn)行快速刻蝕時(shí)，所述石英擺片撓性梁豎直放置在所述第一氫氟酸溶液中； 在進(jìn)行慢速刻蝕時(shí)，所述石英擺片撓性梁豎直放置在所述第二氫氟酸溶液中。
【文檔編號(hào)】C03C15/00GK104478224SQ201410689983
【公開(kāi)日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2014年11月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月25日
【發(fā)明者】杜秀蓉, 宋學(xué)富, 孫元成, 王慧, 張曉強(qiáng), 王玉芬 申請(qǐng)人:中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院