高穩(wěn)定性ito玻璃刻蝕系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，它包括相連接的刻蝕組件和水洗組件，所述刻蝕組件和所述水洗組件安裝有多個分離式傳動組件，所述分離式傳動組件包括安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件外的第一磁力輪、安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件內(nèi)且與所述第一磁力輪相對應(yīng)的第二磁力輪、端部與所述第二磁力輪相連接的滾軸以及安裝在所述滾軸上且間隔設(shè)置的滾輪以及用于帶動所述第一磁力輪轉(zhuǎn)動的傳動機構(gòu)。從而可以將第一磁力輪設(shè)置在系統(tǒng)內(nèi)部而第二磁力輪設(shè)置在系統(tǒng)外部，避免了磨損而產(chǎn)生顆粒物，從根本上杜絕了顆粒物對工藝槽內(nèi)環(huán)境的污染；而且有利于提高整個系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性，提高使用壽命生產(chǎn)效率。
【專利說明】高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種刻蝕系統(tǒng)，具體地涉及一種高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，在平板顯示行業(yè)大世代線體中，如3.5代線以上，ITO玻璃在清洗工藝制程中會經(jīng)過刻蝕、高低壓噴淋、液切、風(fēng)切等制程。在這些制程中，為了保持基板行進(jìn)的穩(wěn)定性，必須在基板的上表面邊緣5mm范圍內(nèi)使用壓片滾輪壓住玻璃基板，且這種壓力必須均勻、穩(wěn)定。在目前所知的所有清洗設(shè)備中，所有設(shè)備制造商均采用固定式的壓片滾輪對基板進(jìn)行壓緊。這種滾輪在使用前必須根據(jù)基板的厚度調(diào)出合適的間隙，而且每次間隙調(diào)整均極其耗時，且調(diào)整完畢后，受機械振動，材料蠕變等因素影響，長時間使用依然會有卡片、碎片、打滑等風(fēng)險。而且現(xiàn)有的ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)均采用噴淋式的刻蝕方式，即在基板上方設(shè)置多組搖擺噴管，該種方式在使用傳統(tǒng)刻蝕液時效果良好，而在使用活性較強的新式刻蝕液(如HCl)時，往往產(chǎn)生嚴(yán)重的刻蝕不均現(xiàn)象(原因)。因此有必要在此基礎(chǔ)上開發(fā)出具有更高性能和更高穩(wěn)定性的ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)。
[0004]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為:一種高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，它包括相連接的刻蝕組件和水洗組件，所述刻蝕組件和所述水洗組件安裝有多個分離式傳動組件，所述分離式傳動組件包括安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件外的第一磁力輪、安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件內(nèi)且與所述第一磁力輪相對應(yīng)的第二磁力輪、端部與所述第二磁力輪相連接的滾軸以及安裝在所述滾軸上且間隔設(shè)置的滾輪以及用于帶動所述第一磁力輪轉(zhuǎn)動的傳動機構(gòu)。
[0005]優(yōu)化地，所述水洗組件設(shè)置于所述刻蝕組件的下方，所述刻蝕組件通過安裝在其端部的升降組件與所述水洗組件相連接。
[0006]進(jìn)一步地，所述刻蝕組件和所述水洗組件內(nèi)安裝有設(shè)置在所述分離式傳動組件上方且與其相配合的多個間隙自適應(yīng)壓片滾輪，所述間隙自適應(yīng)壓片滾輪包括:
滾輪外套，所述滾輪外套內(nèi)圈設(shè)置有間隔的多個凸起；
卡套，所述卡套設(shè)置有與所述凸起相配合的多個卡齒，它通過所述卡齒卡合于所述滾輪外套的一側(cè)；
支撐件，所述支撐件包括設(shè)置于所述滾輪外套另一側(cè)的第一柱體以及與所述第一柱體側(cè)面相連接且插入所述滾輪外套和所述卡套的第二柱體，所述第一柱體的直徑大于所述凸起內(nèi)端形成的圓形直徑；
彈性件，所述彈性件放置在被所述支撐件和所述卡套圍住的所述凸起之間，所述彈性件向所述滾輪外套中心軸的方向延伸。
[0007]進(jìn)一步地，所述刻蝕組件包括依次相連接的預(yù)處理單元、刻蝕單元和水洗單元，所述預(yù)處理單元包括分別安裝于其兩端部的第一離子泵、安裝在所述第一離子泵之間的紫外燈以及用于向其內(nèi)導(dǎo)入氧氣的氧氣閥，所述刻蝕單元包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第一噴淋管、設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第一噴淋管上游的第一液刀以及設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第一噴淋管下游的一組第一風(fēng)刀以及用于收集刻蝕液并將再導(dǎo)入所述第一噴淋管和所述第一液刀中的循環(huán)機構(gòu)，所述水洗單元包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第二噴淋管、設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第二噴淋管上游的第二液刀以及設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第二噴淋管下游的第一超級液刀。
[0008]進(jìn)一步地，所述第一液刀和所述第二液刀的結(jié)構(gòu)相同，它們均包括相對應(yīng)合蓋的兩塊液刀板、形成于兩塊所述液刀板之間的第一腔體、形成于兩塊所述液刀板下端部的出液條縫，兩塊所述液刀板之間還形成有與所述第一腔體相連通的第二腔體，所述第二腔體與所述出液條縫相連通，所述第二腔體的截面為圓形或者橢圓形。
[0009]進(jìn)一步地，所述刻蝕組件還包括連接于所述預(yù)處理單元和所述刻蝕單元之間的第一緩沖單元以及連接于所述刻蝕單元和所述水洗單元之間的第二緩沖單元，所述第一緩沖單元的兩端分別安裝有一組第二風(fēng)刀，所述第二緩沖單元內(nèi)設(shè)有一組第三風(fēng)刀，所述第一緩沖單元在其與所述刻蝕單元的連接處以及所述第二緩沖單元在其與所述刻蝕單元的連接處設(shè)有防結(jié)晶機構(gòu)。
[0010]進(jìn)一步地，所述防結(jié)晶機構(gòu)包括用于對應(yīng)遮擋住所述刻蝕單元進(jìn)料口和出料的擋板、與所述擋板相連接用于帶動其轉(zhuǎn)動的把手、用于盛放浸潤液從而浸泡所述擋板和所述把手的浸潤槽、與所述浸潤槽相連通的流量計和閥門。
[0011]進(jìn)一步地，所述水洗組件包括依次相連接的多個大流量水洗單元和風(fēng)干單元。
[0012]進(jìn)一步地，所述大流量水洗單元包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第三噴淋管以及設(shè)置于所述第三噴淋管下游的第二超級液刀；所述風(fēng)干單元設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行風(fēng)干的一對抗負(fù)壓風(fēng)刀和設(shè)置于所述抗負(fù)壓風(fēng)刀下游的第二離子泵。
[0013]進(jìn)一步地，所述抗負(fù)壓風(fēng)刀包括相對應(yīng)合蓋的第一風(fēng)刀板和第二風(fēng)刀板、形成于所述第一風(fēng)刀板和所述第二風(fēng)刀板之間的腔體、形成于所述第一風(fēng)刀板和所述第二風(fēng)刀板之間且與所述腔體相連通的進(jìn)風(fēng)口、形成于所述第一風(fēng)刀板和所述第二風(fēng)刀板之間的出風(fēng)口，所述第一風(fēng)刀板下表面與所述第二風(fēng)刀板下表面處于同一平面內(nèi)，所述第一風(fēng)刀板下表面與經(jīng)過此處的ITO玻璃上表面形成銳角，所述出風(fēng)口與所述ITO玻璃相垂直。
[0014]由于上述技術(shù)方案運用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點:本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，通過設(shè)置分離式傳動組件，該分離式傳動組件第一磁力輪、第二磁力輪、滾軸以及用于帶動所述第一磁力輪轉(zhuǎn)動的傳動機構(gòu)，從而可以將第一磁力輪設(shè)置在系統(tǒng)內(nèi)部而第二磁力輪設(shè)置在系統(tǒng)外部，避免了磨損而產(chǎn)生顆粒物，從根本上杜絕了顆粒物對工藝槽內(nèi)環(huán)境的污染；而且有利于提高整個系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性，提高使用壽命生產(chǎn)效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]附圖1是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖2是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)刻蝕組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖3是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)水洗組件的結(jié)構(gòu)示意圖； 附圖4是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)分離式傳動組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖5是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)間隙自適應(yīng)壓片滾輪的爆炸圖；
附圖6是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)間隙自適應(yīng)壓片滾輪的組裝圖；
附圖7是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)液刀的結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖8是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)防結(jié)晶機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖9是本發(fā)明高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)抗負(fù)壓風(fēng)刀的結(jié)構(gòu)示意圖；
其中，1、刻蝕組件；11、預(yù)處理單元；111、紫外燈；112、氧氣閥；113、第一離子泵；12、刻蝕單元；121、第一噴淋管；122、第一液刀；123、第一風(fēng)刀；124、循環(huán)機構(gòu)；13、水洗單元；131、第二噴淋管；132、第二液刀；133、第一超級液刀；134、液刀板；135、第一腔體；136、螺釘；137、第二腔體；138、出液條縫；14、第一緩沖單元；141、第二風(fēng)刀；142、防結(jié)晶機構(gòu)；143、擋板；144、把手；145、流量計；146、閥門；147、浸潤槽；15、第二緩沖單元；151、第三風(fēng)刀；2、水洗組件；21、大流量水洗單元；211、第三噴淋管；212、第二超級液刀；22、風(fēng)干單元；221、抗負(fù)壓風(fēng)刀；222、第二離子泵；223、第一風(fēng)刀板；224、第二風(fēng)刀板；225、腔體；226、出風(fēng)口 ；227、進(jìn)風(fēng)口 ；3、升降組件；4、分離式傳動組件；41、傳動機構(gòu)；411、第一斜齒輪；412、傳動齒輪；413、第二斜齒輪；421、第一磁力輪；422、第二磁力輪；43、滾軸；44、滾輪；5、間隙自適應(yīng)壓片滾輪；51、滾輪外套；511、凸起；52、卡套；521、卡齒；522、插孔；53、彈性件；54、支撐件；541、第一柱體；542、第三柱體；543、第二柱體；55、支撐套環(huán)；56、螺帽；57、限位螺釘。

【具體實施方式】
[0016]下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明優(yōu)選實施方案進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0017]如圖1至圖9所示的高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，主要包括相連接的刻蝕組件I和水洗組件2，刻蝕組件I和水洗組件2安裝有多個分離式傳動組件4。
[0018]其中，分離式傳動組件4主要包括傳動機構(gòu)41、第一磁力輪421、第二磁力輪422、滾軸43和滾輪44。第一磁力輪421與傳動機構(gòu)41相連接，它們設(shè)置在刻蝕組件I或水洗組件2的外部，當(dāng)傳動機構(gòu)41轉(zhuǎn)動時同步帶動第一磁力輪421轉(zhuǎn)動。第二磁力輪422與第一磁力輪421相對應(yīng)設(shè)置，當(dāng)?shù)谝淮帕?21轉(zhuǎn)動時同步帶動第二磁力輪422轉(zhuǎn)動；滾軸43的端部與第二磁力輪422相連，它安裝在兩個第二磁力輪422之間，并且它的上面安裝有多個間隔設(shè)置的滾輪44，當(dāng)?shù)诙帕?22轉(zhuǎn)動時同步帶動滾軸43轉(zhuǎn)動；第二磁力輪422、滾軸43和滾輪44設(shè)置在刻蝕組件I或水洗組件2內(nèi)。這樣避免了傳統(tǒng)齒輪和皮帶在應(yīng)用中因磨損產(chǎn)生顆粒物，從根本上杜絕了顆粒物對工藝槽內(nèi)環(huán)境的污染；而且有利于提高整個系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性，提高使用壽命生產(chǎn)效率。在本實施例中，由于滾軸43需要水平設(shè)置，傳動機構(gòu)41包括與第一磁力輪421相連接的第一斜齒輪411、與第一斜齒輪411相配合的傳動齒輪412以及與傳動齒輪412相配合的第二斜齒輪413，這樣利用第一斜齒輪411、傳動齒輪412以及第二斜齒輪413之間的配合能夠?qū)崿F(xiàn)將水平方向上的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)化為垂直方向上的轉(zhuǎn)動。
[0019]可以將刻蝕組件I和水洗組件2設(shè)置在同一水平面上，并將水洗組件2設(shè)置在刻蝕組件I的下游(上下游的判斷是根據(jù)該系統(tǒng)中ITO玻璃傳輸?shù)姆较蜻M(jìn)行定義的，ITO玻璃由上游向下游傳輸)。在本實施例中，將水洗組件2設(shè)置于刻蝕組件I的下方，刻蝕組件I通過安裝在其端部的升降組件3與水洗組件2相連接，這樣可以將ITO玻璃的進(jìn)料和出料設(shè)置在同一端，從而在自動化生產(chǎn)過程中可以少用一臺機械手，從而有效地節(jié)約了成本。
[0020]在本實施例中，刻蝕組件I和水洗組件2內(nèi)安裝有設(shè)置在分離式傳動組件4)方且與其相配合的多個間隙自適應(yīng)壓片滾輪5，該間隙自適應(yīng)壓片滾輪5能夠適用于壓住不同厚度的ITO玻璃，這樣在產(chǎn)線上刻蝕不同厚度的ITO玻璃時不再需要調(diào)節(jié)其高度以適應(yīng)不同厚度。它包括主要包括滾輪外套51、卡套52、支撐件54以及彈性件53 ;其中，滾輪外套51的內(nèi)圈間隔設(shè)置有多個凸起511，這些凸起511沿滾輪外套51軸心線的方向延伸，且相鄰兩個凸起511之間形成凹部?？ㄌ?2設(shè)置在滾輪外套51的一側(cè)，它通過其上設(shè)置且與凸起511相配合的多個卡齒521與滾輪外套51卡合。支撐件54是空心的，用于插設(shè)在固定軸或者轉(zhuǎn)軸上，包括第一柱體541和第二柱體543 ;第一柱體541設(shè)置在滾輪外套51的另一側(cè)，第二柱體543則與第一柱體541的側(cè)面相連接，且插入滾輪外套51和卡套52中，需要注意的是第一柱體541的直徑大于凸起511內(nèi)端形成的圓形直徑；這樣就能夠用第一柱體541和卡套52在第二柱體543和滾輪外套51的凸起511之間圍成一容置空間。彈性件53 (本實施例中為彈簧)就放置在這個容置空間內(nèi)，即彈性件53放置在被支撐件54和卡套52圍住的凸起511之間，它的延伸方向指向滾輪外套51的中心軸方向，即彈性件53的一端抵住第二柱體543，另一端抵住滾輪外套51的內(nèi)壁，這樣當(dāng)玻璃的厚度發(fā)生變化時，擠壓滾輪外套51從而使得對應(yīng)處的彈性件53被壓縮而能自動調(diào)節(jié)滾輪外套51，在避免壓碎玻璃的同時還能大幅提高生產(chǎn)效率。支撐件54還包括與第一柱體541另一側(cè)面相連接的第三柱體542，第三柱體542外套接有螺帽56，螺帽56與第三柱體542之間設(shè)置有支撐套環(huán)55，從而方便與轉(zhuǎn)軸或者固定軸的連接。滾輪外套51和支撐套環(huán)55均為聚四氟乙烯材料制成，主要是能夠起到緩沖的作用，防止其本身材質(zhì)過硬而導(dǎo)致緩沖力不足壓碎玻璃。彈性件53的數(shù)目也非常重要，優(yōu)選為6~15個，個數(shù)太多或太少均容易引起玻璃的破損率上升?？X521設(shè)置在卡套52的側(cè)面，從而方便卡套52與滾輪外套51的卡合。該間隙自適應(yīng)壓片滾輪還包括限位螺釘57，卡套52的外周面設(shè)置多個插孔522用于插入該限位螺釘57，從而實現(xiàn)間隙自適應(yīng)壓片滾輪的快速組裝和拆卸。
[0021]刻蝕組件I包括依次相連接的預(yù)處理單元11、刻蝕單元12和水洗單元13，預(yù)處理單元11包括分別安裝于其兩端部的第一離子泵113，用于向其內(nèi)導(dǎo)入去離子風(fēng)，從而確保預(yù)處理單元11的高度清潔，防止外界粉塵等雜質(zhì)的引入；紫外燈111安裝在兩個第一離子泵113之間，并且需要通過氧氣閥112向其內(nèi)導(dǎo)入氧氣，紫外燈111發(fā)出的紫外線波長為172nm，這樣可以將導(dǎo)入的氧氣部分轉(zhuǎn)化為氧自由基和臭氧，從而可以去除ITO玻璃表面的有機污染物，可以確保ITO玻璃在被噴淋水后使水滴表面張力角降低至5°以下。
[0022]刻蝕單元12包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第一噴淋管121、設(shè)置于其內(nèi)部并位于第一噴淋管121上游的第一液刀122以及設(shè)置于其內(nèi)部并位于第一噴淋管121下游的一組第一風(fēng)刀123以及用于收集刻蝕液并將再導(dǎo)入所述第一噴淋管121和所述第一液刀122中的循環(huán)機構(gòu)124 ;水洗單元13包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第二噴淋管131、設(shè)置于其內(nèi)部并位于第二噴淋管131上游的第二液刀132以及設(shè)置于其內(nèi)部并位于第二噴淋管131下游的第一超級液刀133。在本實施例中，第一液刀122和第二液刀132的結(jié)構(gòu)相同，它們均為高均勻性液刀，包括相對應(yīng)合蓋的兩塊液刀板134 (它們通過螺釘136固定)、形成于兩塊液刀板134之間的第一腔體135、形成于兩塊液刀板134下端部的出液條縫138，兩塊所述液刀板134之間還形成有與第一腔體135相連通的第二腔體137，第二腔體137與出液條縫138相連通，第二腔體137的截面為圓形或者橢圓形，從而能夠向ITO玻璃的表面均勻噴灑刻蝕液或者去離子水。第一風(fēng)刀123起到阻隔氣體的作用，用于防止刻蝕單元12中的酸氣向下游組件中擴散。循環(huán)機構(gòu)124用于收集刻蝕單元12中的刻蝕液并將其經(jīng)由第一噴淋管121和第一液刀122噴出，從而確?？涛g液濃度的穩(wěn)定；而且循環(huán)機構(gòu)124可以根據(jù)需要設(shè)置成相并聯(lián)且相互連通的兩臺(一備一用)，并賦予其加熱的功能，從而能夠?qū)涛g液進(jìn)行加熱，從而能夠提高刻蝕效率和刻蝕質(zhì)量。
[0023]刻蝕組件I還包括連接于預(yù)處理單元11和刻蝕單元12之間的第一緩沖單元14以及連接于刻蝕單元12和水洗單元13之間的第二緩沖單元15，第一緩沖單元14的兩端分別安裝有一組第二風(fēng)刀141，第二緩沖單元15內(nèi)設(shè)有一組第三風(fēng)刀151，這樣這兩個緩沖單元可以起到緩沖的作用，進(jìn)一步避免了刻蝕單元12中酸氣向其它單元的擴散。并且第一緩沖單元14在其與刻蝕單元12的連接處以及第二緩沖單元15在其與刻蝕單元12的連接處設(shè)有防結(jié)晶機構(gòu)142，該防結(jié)晶機構(gòu)142包括用于對應(yīng)遮擋住刻蝕單元12進(jìn)料口和出料口(實際上ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)的每個組成單元均具有用于引入和引出ITO玻璃的進(jìn)料口和出料口)的擋板143、與擋板143相連接用于帶動其轉(zhuǎn)動的把手144、用于盛放浸潤液從而浸泡擋板143和把手144的浸潤槽147、與浸潤槽147相連通的流量計145和閥門146，這樣能夠有效避免結(jié)晶物的積留。
[0024]水洗組件2包括依次相連接的多個大流量水洗單元21和風(fēng)干單元22。大流量水洗單元21包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第三噴淋管211以及設(shè)置于第三噴淋管211下游的第二超級液刀212，第三噴淋管211用于對ITO玻璃進(jìn)行噴射去離子水，以去除其表面殘留的刻蝕液；而第二超級液刀212則噴射流量較大、噴射力較大的離子水，以徹底清洗ITO玻璃表面。需要注意的是與風(fēng)干單元22相連接的大流量水洗單元21中，其內(nèi)安裝的第二超級液刀212中噴出的水中含有二氧化碳，起到除去ITO玻璃表面靜電的作用。風(fēng)干單元22包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行風(fēng)干的一對抗負(fù)壓風(fēng)刀221和設(shè)置于抗負(fù)壓風(fēng)刀221下游的第二離子泵222。抗負(fù)壓風(fēng)刀221包括相對應(yīng)合蓋的第一風(fēng)刀板223和第二風(fēng)刀板224、形成于第一風(fēng)刀板223和第二風(fēng)刀板224之間的腔體225、形成于第一風(fēng)刀板223和第二風(fēng)刀板224之間且與腔體225相連通的進(jìn)風(fēng)口 227、形成于第一風(fēng)刀板223和第二風(fēng)刀板224之間的出風(fēng)口 226，第一風(fēng)刀板223下表面與第二風(fēng)刀板224下表面處于同一平面內(nèi)，第一風(fēng)刀板223下表面與經(jīng)過此處的ITO玻璃上表面形成銳角，出風(fēng)口 226與ITO玻璃相垂直。這樣氣流垂直噴射，部分垂直氣流阻止了負(fù)壓區(qū)的形成，從而避免了負(fù)壓效應(yīng)的產(chǎn)生，這種結(jié)構(gòu)的抗負(fù)壓風(fēng)刀221由于其氣流的穩(wěn)定性，氣流波動較小，不易產(chǎn)生氣體回流，解決了部分產(chǎn)品無法徹底吹干的現(xiàn)象。
[0025]上述實施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本發(fā)明的保護范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，它包括相連接的刻蝕組件(I)和水洗組件(2)，其特征在于:所述刻蝕組件(I)和所述水洗組件(2)安裝有多個分離式傳動組件(4)，所述分離式傳動組件(4)包括安裝在所述刻蝕組件(I)或所述水洗組件(2)外的第一磁力輪(421)、安裝在所述刻蝕組件(I)或所述水洗組件(2)內(nèi)且與所述第一磁力輪(421)相對應(yīng)的第二磁力輪(422)、端部與所述第二磁力輪(422)相連接的滾軸(43)以及安裝在所述滾軸(43)上且間隔設(shè)置的滾輪(44)以及用于帶動所述第一磁力輪(421)轉(zhuǎn)動的傳動機構(gòu)(41)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述水洗組件(2)設(shè)置于所述刻蝕組件(I)的下方，所述刻蝕組件(I)通過安裝在其端部的升降組件(3)與所述水洗組件(2)相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述刻蝕組件(I)和所述水洗組件(2)內(nèi)安裝有設(shè)置在所述分離式傳動組件(4)上方且與其相配合的多個間隙自適應(yīng)壓片滾輪(5)，所述間隙自適應(yīng)壓片滾輪(5)包括: 滾輪外套(51)，所述滾輪外套(51)內(nèi)圈設(shè)置有間隔的多個凸起(511); 卡套(52)，所述卡套(52)設(shè)置有與所述凸起(511)相配合的多個卡齒(521)，它通過所述卡齒(521)卡合于所述滾輪外套(51)的一側(cè)； 支撐件(54)，所述支撐件(54)包括設(shè)置于所述滾輪外套(51)另一側(cè)的第一柱體(541)以及與所述第一柱體(541)側(cè)面相連接且插入所述滾輪外套(51)和所述卡套(52)的第二柱體(543)，所述第一柱體(541)的直徑大于所述凸起(511)內(nèi)端形成的圓形直徑； 彈性件(53)，所述彈性件(53)放置在被所述支撐件(54)和所述卡套(52)圍住的所述凸起(511)之間，所述彈性件(53)向所述滾輪外套(51)中心軸的方向延伸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述刻蝕組件(I)包括依次相連接的預(yù)處理單元(11)、刻蝕單元(12)和水洗單元(13)，所述預(yù)處理單元(II)包括分別安裝于其兩端部的第一離子泵(113)、安裝在所述第一離子泵(113)之間的紫外燈(111)以及用于向其內(nèi)導(dǎo)入氧氣的氧氣閥(112)，所述刻蝕單元(12)包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第一噴淋管(121)、設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第一噴淋管(121)上游的第一液刀(122)以及設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第一噴淋管(121)下游的一組第一風(fēng)刀(123)以及用于收集刻蝕液并將再導(dǎo)入所述第一噴淋管(121)和所述第一液刀(122)中的循環(huán)機構(gòu)(124)，所述水洗單元(13)包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第二噴淋管(131)、設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第二噴淋管(131)上游的第二液刀(132)以及設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第二噴淋管(131)下游的第一超級液刀(133)0
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述第一液刀(122)和所述第二液刀(132)的結(jié)構(gòu)相同，它們均包括相對應(yīng)合蓋的兩塊液刀板(134)、形成于兩塊所述液刀板(134)之間的第一腔體(135)、形成于兩塊所述液刀板(134)下端部的出液條縫(138)，兩塊所述液刀板(134)之間還形成有與所述第一腔體(135)相連通的第二腔體(137)，所述第二腔體(137)與所述出液條縫(138)相連通，所述第二腔體(137)的截面為圓形或者橢圓形。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述刻蝕組件(I)還包括連接于所述預(yù)處理單元(11)和所述刻蝕單元(12)之間的第一緩沖單元(14)以及連接于所述刻蝕單元(12)和所述水洗單元(13)之間的第二緩沖單元(15)，所述第一緩沖單元(14)的兩端分別安裝有一組第二風(fēng)刀(141)，所述第二緩沖單元(15)內(nèi)設(shè)有一組第三風(fēng)刀(151 )，所述第一緩沖單元(14)在其與所述刻蝕單元(12)的連接處以及所述第二緩沖單元(15)在其與所述刻蝕單元(12)的連接處設(shè)有防結(jié)晶機構(gòu)(142)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述防結(jié)晶機構(gòu)(142)包括用于對應(yīng)遮擋住所述刻蝕單元(12)進(jìn)料口和出料的擋板(143)、與所述擋板(143)相連接用于帶動其轉(zhuǎn)動的把手(144)、用于盛放浸潤液從而浸泡所述擋板(143)和所述把手(144)的浸潤槽(147)、與所述浸潤槽(147)相連通的流量計(145)和閥門(146)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述水洗組件(2 )包括依次相連接的多個大流量水洗單元(21)和風(fēng)干單元(22 )。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述大流量水洗單元(21)包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個第三噴淋管(211)以及設(shè)置于所述第三噴淋管(211)下游的第二超級液刀(212);所述風(fēng)干單元(22)包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對ITO玻璃進(jìn)行風(fēng)干的一對抗負(fù)壓風(fēng)刀(221)和設(shè)置于所述抗負(fù)壓風(fēng)刀(221)下游的第二離子泵(222)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，其特征在于:所述抗負(fù)壓風(fēng)刀(221)包括相對應(yīng)合蓋的第一風(fēng)刀板(223)和第二風(fēng)刀板(224)、形成于所述第一風(fēng)刀板(223)和所述第二風(fēng)刀板(224)之間的腔體(225)、形成于所述第一風(fēng)刀板(223)和所述第二風(fēng)刀板(224)之間且與所述腔體(225)相連通的進(jìn)風(fēng)口(227)、形成于所述第一風(fēng)刀板(223)和所述第二風(fēng)刀板(224)之間的出風(fēng)口(226)，所述第一風(fēng)刀板(223)下表面與所述第二風(fēng)刀板(224)下表面處于同一平面內(nèi)，所述第一風(fēng)刀板(223)下表面與經(jīng)過此處的ITO玻璃上表面形成銳角，所述出風(fēng)口(226)與所述ITO玻璃相垂直。
【文檔編號】C03C15/00GK104496197SQ201410829636
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月26日
【發(fā)明者】施利君, 徐鴿 申請人:蘇州晶洲裝備科技有限公司