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      多線開方的制造方法

      文檔序號:1917436閱讀:224來源:國知局
      多線開方的制造方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型公開了多線開方機(jī),包括:一底座,以及一設(shè)置底座上的機(jī)架,底座和機(jī)架構(gòu)成了多線開方機(jī)的主體結(jié)構(gòu),一工作臺,工作臺上方設(shè)置一臺車,所述工作臺置于滑軌上,將待加工的工件送入多線開方機(jī)用切割液裝置內(nèi)部,一設(shè)置工作臺上方的切割輥組,所述切割輥組固定在機(jī)架的橫梁上,切割輥組一側(cè)連接一繞線室,切割絲連接繞線室內(nèi)的繞線輪和切割輥組內(nèi)的切割輥,形成一走絲結(jié)構(gòu),一圓弧門,滑動(dòng)設(shè)置于所述底座上,一旦待加工工件送入多線開方機(jī)內(nèi)部時(shí),則關(guān)閉圓弧門,以及一電柜箱,使得斷線率降低到5%、加工時(shí)間提高兩小時(shí)左右、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)步提升、無因漏砂漿造成的安全隱患、成本也有了顯著的降低。
      【專利說明】多線開方機(jī)
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型涉及光伏產(chǎn)業(yè),具有涉及多線開方機(jī)。
      【背景技術(shù)】
      [0002]多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù),它的原理是通過一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼絲上的切割刃料對半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦,從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)過程中,鋼線通過十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輪上形成一張線網(wǎng),而待加工工件通過工作臺的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給,可將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片,多線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割相比有具有效率高,產(chǎn)能高,精度高等優(yōu)點(diǎn),多線切割技術(shù)是目前采用最廣泛的半導(dǎo)體等硬脆材料切割技術(shù)。
      [0003]開方機(jī)的產(chǎn)能與質(zhì)量是制約光伏垂直生產(chǎn)線的“瓶頸”,在前期的生產(chǎn)開方機(jī)存在以下問題:工作臺復(fù)位不到位,易造成生產(chǎn)事故隱患;斷線率高達(dá)30%,直接影響硅塊表面質(zhì)量導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定;加工效率偏低,不能滿足60MW生產(chǎn)量的要求。
      [0004]1.氣動(dòng)系統(tǒng)調(diào)節(jié)存在問題,導(dǎo)致各氣動(dòng)部件運(yùn)行不到位。氣控系統(tǒng)不足主要有兩方面
      [0005](I)未接入切割區(qū)中間張力的平穩(wěn)氣缸,在鋼絲兩端無伺服電機(jī)控制張力的基礎(chǔ)上,在鋼絲中間未實(shí)現(xiàn)有效的氣缸控制張力,不能有效的保證了鋼線的工作張力;
      [0006](2)動(dòng)能供應(yīng)(氣壓)充足的情況下不能保證個(gè)別機(jī)構(gòu)氣源充足。
      [0007]2.線張力調(diào)節(jié)部件不穩(wěn)定,常發(fā)生擺動(dòng)。
      [0008]卷繞室無伺服電機(jī)控制擺臂來調(diào)節(jié)鋼線的張力,不能利用伺服電機(jī)高精度高效率的優(yōu)點(diǎn),擺臂后方?jīng)]有配重塊,在鋼線作高速運(yùn)行的時(shí)候無法做到及時(shí)地準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)鋼絲張力,拉伸感應(yīng)器不穩(wěn)定造成張力臂擺動(dòng)范圍和擺動(dòng)浮動(dòng)較大。經(jīng)常造成斷線。
      [0009]3.砂漿噴淋裝置噴灑不到位,主要表現(xiàn)為
      [0010](I)各個(gè)噴砂口與下面對應(yīng)硅棒位置不相符,導(dǎo)致砂漿流不到硅棒表面,切割能力下降。
      [0011](2)砂漿系統(tǒng)管路常常堵塞,噴砂能力不足。在切割過程中砂漿流量不均勻,導(dǎo)致
      娃棒表面質(zhì)量差。
      [0012]4.工作臺出現(xiàn)偏移,導(dǎo)致硅棒切偏隱患。
      [0013]單晶開方機(jī)的工作臺分為兩層,上層工作臺的移動(dòng)主要靠氣壓控制;下層工作臺的移動(dòng)靠伺服電機(jī)控制,并由氣壓緊鎖裝置緊鎖。由于氣控系統(tǒng)的不足及反應(yīng)遲緩,對氣壓緊鎖裝置帶來很大隱患。
      實(shí)用新型內(nèi)容
      [0014]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供多線開方機(jī),使得斷線率降低到5%、加工時(shí)間提高兩小時(shí)左右、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)步提升、無因漏砂漿造成的安全隱患、成本也有了顯著的降低。[0015]為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
      [0016]多線開方機(jī),包括:
      [0017]一底座,以及一設(shè)置底座上的機(jī)架,底座和機(jī)架構(gòu)成了多線開方機(jī)的主體結(jié)構(gòu),
      [0018]一工作臺,工作臺上方設(shè)置一臺車,所述工作臺置于滑軌上,將待加工的工件送入多線開方機(jī)用切割液裝置內(nèi)部,
      [0019]一設(shè)置工作臺上方的切割輥組,所述切割輥組固定在機(jī)架的橫梁上,切割輥組一側(cè)連接一繞線室,切割絲連接繞線室內(nèi)的繞線輪和切割輥組內(nèi)的切割輥,形成一走絲結(jié)構(gòu),
      [0020]一圓弧門,滑動(dòng)設(shè)置于所述底座上,一旦待加工工件送入多線開方機(jī)內(nèi)部時(shí),則關(guān)閉圓弧門,
      [0021]以及一電柜箱,
      [0022]所述臺車由一支撐體和一設(shè)置支撐體上端的裝載車構(gòu)成,
      [0023]所述裝載車包括一對稱設(shè)置的車架,一架設(shè)支架上的連接桿,所述車架下方設(shè)置一組車輪組件,在所述車架內(nèi)還設(shè)置一導(dǎo)桿氣缸。
      [0024]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述支撐體包括:
      [0025]一架體,
      [0026]一深入多線開方機(jī)內(nèi)部并與內(nèi)軌道無縫連接的外軌道,所述裝載車的車輪架設(shè)于所述外軌道上,
      [0027]以及一圓角三角形定位板,所述圓角三角形定位板設(shè)置于架體上方,保證工件落于指定位置。
      [0028]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,還包括一擺臂張力調(diào)節(jié)裝置,所述擺臂張力調(diào)節(jié)裝置包括:
      [0029]一調(diào)節(jié)架,兩套平穩(wěn)氣缸固定于調(diào)節(jié)架內(nèi),第一平穩(wěn)氣缸連接一垂直運(yùn)動(dòng)的垂直導(dǎo)輪,第二平穩(wěn)氣缸連接一沿水平運(yùn)動(dòng)的水平導(dǎo)輪,
      [0030]在所述調(diào)節(jié)架一側(cè)設(shè)置一導(dǎo)輪垂直走向的凹槽,所述凹槽一側(cè)設(shè)置一垂直導(dǎo)向軌,調(diào)節(jié)架的上端設(shè)置一水平導(dǎo)向軌。
      [0031]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,還包括一氣缸張力調(diào)節(jié)裝置,所述氣缸張力調(diào)節(jié)裝置包括:
      [0032]一軸體,所述軸體上固定連接一平穩(wěn)氣缸,
      [0033]所述軸體上依次包覆有一內(nèi)隔圈和一外隔圈,且所述軸體兩端均設(shè)置一角接觸軸承,
      [0034]以及一浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座,所述浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座包覆所述軸體以及角接觸軸承,所述浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座一側(cè)固定設(shè)置一軸蓋,另一側(cè)分別連接一平衡桿和一連板,所述平衡桿和所述連桿平行排布,將所述氣缸張力調(diào)節(jié)裝置固定張力墻板上,
      [0035]還包括一設(shè)置軸蓋上的插入式氣動(dòng)管接頭。
      [0036]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,還包括一噴淋裝置,所述噴淋裝置包括:
      [0037]一架設(shè)切割輥組上的沖孔網(wǎng)板,所述沖孔網(wǎng)板的兩邊為一角鐵框架,另兩邊為一撐筋,
      [0038]一通過支撐板設(shè)置沖孔網(wǎng)板上的內(nèi)噴淋盤組,所述內(nèi)噴淋盤組包括一外噴淋盤和一內(nèi)噴淋盤,所述外噴淋盤和內(nèi)噴淋盤上均開設(shè)均勻排布的噴淋口,[0039]所述外噴淋盤的一端連接一接通切割液的球閥。
      [0040]通過上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型的有益效果是:
      [0041]1.解決了實(shí)際生產(chǎn)中斷線率居高不下的問題,保證生產(chǎn)中設(shè)備的平穩(wěn)運(yùn)行。
      [0042]2.保證了工作臺面良好的定位,可達(dá)到不操作不偏移,避免了工作臺偏移潛在的事故隱患。
      [0043]3.張力臂調(diào)節(jié)系統(tǒng)的優(yōu)化平穩(wěn)運(yùn)行,提升加工工藝,減少了加工時(shí)間,有顯著的效
      果O
      [0044]4.設(shè)備安全可靠,徹底解決了漏電的安全隱患并對員工的安全、操作方面都有了很大的提聞。
      [0045]5.降本增效(產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定、加工效率提高、原輔料利用率增加)
      [0046]6.改造成本低,使用維護(hù)簡單,從根本解決了生產(chǎn)中遇到的問題。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0047]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
      [0048]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
      [0049]圖2為本實(shí)用新型的裝載車的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0050]圖3為本實(shí)用新型的支撐體的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0051]圖4為本實(shí)用新型的擺臂張力調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0052]圖5為本實(shí)用新型的氣缸張力調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0053]圖6為本實(shí)用新型的噴淋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0054]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解,下面結(jié)合具體圖示,進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
      [0055]參照圖1,多線開方機(jī),包括:
      [0056]一底座10,以及一設(shè)置底座10上的機(jī)架20,底座10和機(jī)架20構(gòu)成了多線開方機(jī)的主體結(jié)構(gòu),
      [0057]—工作臺30,所述工作臺置于滑軌上,將待加工的工件送入多線開方機(jī)內(nèi)部,
      [0058]一設(shè)置工作臺10上方的切割輥組40,所述切割輥組40固定在機(jī)架的橫梁上,切割輥組40 —側(cè)連接一繞線室50,切割絲連接繞線室內(nèi)的繞線輪和切割輥組內(nèi)的切割輥,形成
      一走絲結(jié)構(gòu),
      [0059]一圓弧門60,滑動(dòng)設(shè)置于所述底座10上,一旦待加工工件送入多線開方機(jī)內(nèi)部時(shí),則關(guān)閉圓弧門,
      [0060]以及一電柜箱70,
      [0061]參照圖2及圖3所示,其中工作臺10上方設(shè)置一臺車100,所述臺車100由一支撐體110和一設(shè)置支撐體110上端的裝載車120構(gòu)成,[0062]所述裝載車120包括一對稱設(shè)置的車架121,一架設(shè)車架121上的連接桿122,所述車架121下方設(shè)置一組車輪組件,在所述車架121內(nèi)還設(shè)置一導(dǎo)桿氣缸123。
      [0063]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述支撐體110包括
      [0064]一架體 111,
      [0065]一深入多線開方機(jī)內(nèi)部并與內(nèi)軌道無縫連接的外軌道112,所述裝載車的車輪架設(shè)于所述外軌道112上,
      [0066]以及一圓角三角形定位板113,所述圓角三角形定位板113設(shè)置于架體111上方,保證工件落于指定位置。
      [0067]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述導(dǎo)桿氣缸123為四個(gè),均勻排布于所述車架上。
      [0068]采用氣缸和直線導(dǎo)軌組合進(jìn)出工作臺,避免工作臺在進(jìn)出過程中定位不當(dāng),臺車部件:臺車部件分為上部的裝載車和下部的支撐體兩部分。
      [0069]裝載車負(fù)責(zé)將待加工的工件送入機(jī)器內(nèi)部的工作區(qū)域,裝載車的四個(gè)氣缸負(fù)責(zé)提升工件,三角板上的三個(gè)凸塊是作為工作底座的定位塊,保證工件的位置在指定位置,裝載車在外軌道上由人工推入機(jī)器內(nèi)部的內(nèi)軌道。
      [0070]改進(jìn)后的工作臺由氣動(dòng)控制改為電機(jī)控制:由于氣動(dòng)控制不穩(wěn)定,工作臺容易移動(dòng),易造成生產(chǎn)事故。伺服電機(jī)控制的優(yōu)勢則更大,由于可以對電機(jī)實(shí)現(xiàn)精確的力矩控制,其速度控制和位置控制可以直接通過數(shù)字控制來實(shí)現(xiàn)。其性能,反應(yīng)速度和穩(wěn)定性都明顯優(yōu)于氣動(dòng)控制系統(tǒng)。其出力大,慣性小,起停動(dòng)態(tài)性能特別好,有助于提高生產(chǎn)率和產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性。
      [0071]切割頭架中間位置處加一個(gè)中間張力臂,有效的調(diào)節(jié)鋼線的中間部位的張力變化,鋼絲的張力由卷繞室的擺臂張力調(diào)節(jié)裝置及切割區(qū)的氣缸張力調(diào)節(jié)裝置組合兩部分構(gòu)成。
      [0072]參照圖4所示,擺臂張力調(diào)節(jié)裝置300,包括:
      [0073]一調(diào)節(jié)架301,兩套平穩(wěn)氣缸固定于調(diào)節(jié)架301內(nèi),第一平穩(wěn)氣缸302連接一垂直運(yùn)動(dòng)的垂直導(dǎo)輪303,第二平穩(wěn)氣缸304連接一沿水平運(yùn)動(dòng)的水平導(dǎo)輪305,
      [0074]在所述調(diào)節(jié)架301 —側(cè)設(shè)置一導(dǎo)輪垂直走向的凹槽306,所述凹槽306 —側(cè)設(shè)置一垂直導(dǎo)向軌307,調(diào)節(jié)架301的上端設(shè)置一水平導(dǎo)向軌308.[0075]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述平穩(wěn)氣缸固定設(shè)置一氣缸座313,承載平穩(wěn)氣缸的軸向力。
      [0076]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述調(diào)節(jié)架301整體呈一三角形,所述垂直導(dǎo)輪303和水平導(dǎo)輪305分別設(shè)置于三角形的相鄰兩個(gè)面上。
      [0077]繞室由伺服電機(jī)控制擺臂來調(diào)節(jié)鋼絲的張力,利用伺服電機(jī)高精度高效率的優(yōu)點(diǎn),配合擺臂后方的配重塊,在鋼絲作高速運(yùn)行的時(shí)候及時(shí)地調(diào)節(jié)鋼絲張力,并由后方的擺臂限位器來限制其擺動(dòng)范圍和擺動(dòng)浮動(dòng)。
      [0078]參照圖5所示,氣缸張力調(diào)節(jié)裝置400,包括:
      [0079]一軸體401,所述軸體401上固定連接一平穩(wěn)氣缸,
      [0080]所述軸體401上依次包覆有一內(nèi)隔圈402和一外隔圈403,且所述軸體401兩端均設(shè)置一角接觸軸承404,[0081]以及一浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座405,所述浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座405包覆所述軸體401以及角接觸軸承404,所述浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座405 —側(cè)固定設(shè)置一軸蓋406,另一側(cè)分別連接一平衡桿407和一連板408,所述平衡桿407和所述連桿408平行排布,將所述氣缸張力調(diào)節(jié)裝置固定張力墻板上,
      [0082]還包括一設(shè)置軸蓋406上的插入式氣動(dòng)管接頭409。
      [0083]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述軸體401下端設(shè)置一壓板410,所述壓板410上固定設(shè)置一螺釘411,螺釘411通過彈簧墊圈和平墊圈將軸體固定機(jī)架上。
      [0084]參照圖6所述,噴淋裝置600,包括:
      [0085]一架設(shè)切割輥組上的沖孔網(wǎng)板601,所述沖孔網(wǎng)板601的兩邊為一角鐵框架602,另兩邊為一撐筋603,
      [0086]一通過支撐板604設(shè)置沖孔網(wǎng)板601上的內(nèi)噴淋盤組,所述內(nèi)噴淋盤組包括一外噴淋盤605和一內(nèi)噴淋盤606,所述外噴淋盤605和內(nèi)噴淋盤606上均開設(shè)均勻排布的噴淋Π,
      [0087]所述外噴淋盤605的一端連接一接通切割液的球閥607。
      [0088]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述沖孔網(wǎng)板601上,朝向沖孔網(wǎng)板內(nèi)側(cè)排布有若干135度彎頭608。
      [0089]在本實(shí)用新型的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中,所述內(nèi)噴淋盤606外側(cè)均勻分布一直角彎頭609,所述直角彎頭609對 放置內(nèi)噴淋盤上的切割絲進(jìn)行噴液。
      [0090]其中切割液由懸浮液和研磨砂構(gòu)成,研磨砂與懸浮液配置比例為1: 1.1 ;切片時(shí),切割液流量控制在70~85L/min。
      [0091]攪拌桶上的水泵將桶內(nèi)切割液送入熱交換器,冷卻后送入切割區(qū)的噴淋裝置內(nèi),噴淋裝置有16或25個(gè)出水口(對應(yīng)工作臺上的8~8.5英寸16根單晶棒或6~6.5英寸25根單晶棒),將切割液噴在工件及鋼絲上,然后由機(jī)床下方排水口進(jìn)入攪拌桶。
      [0092]切割液噴淋應(yīng)充分,不能有斷續(xù)現(xiàn)象。攪拌桶上裝有攪拌電機(jī)輸出泵,按照一定比例配置的切割液存于攪拌桶內(nèi),攪拌均勻后由輸出泵輸出,經(jīng)熱交換器降溫后,送入噴淋裝置,經(jīng)過切割工作后的切割液流回?cái)嚢柰啊G懈钜旱睦鋮s由水制冷機(jī)和熱交換器組成冷卻回路。熱交換器內(nèi)的排管為切割液通道,管外為冷卻水通道,制冷機(jī)輸出水溫10±2°C,通過熱交換器將切割液溫度帶走,達(dá)到切割液降溫的作用。
      [0093](I)改造前后檢測數(shù)據(jù)
      [0094]I)改造前
      [0095]檢測基本數(shù)據(jù)
      [0096]
      【權(quán)利要求】
      1.多線開方機(jī),其特征在于,包括: 一底座,以及一設(shè)置底座上的機(jī)架,底座和機(jī)架構(gòu)成了多線開方機(jī)的主體結(jié)構(gòu), 一工作臺,工作臺上方設(shè)置一臺車,所述工作臺置于滑軌上,將待加工的工件送入多線開方機(jī)用切割液裝置內(nèi)部, 一設(shè)置工作臺上方的切割輥組,所述切割輥組固定在機(jī)架的橫梁上,切割輥組一側(cè)連接一繞線室,切割絲連接繞線室內(nèi)的繞線輪和切割輥組內(nèi)的切割輥,形成一走絲結(jié)構(gòu), 一圓弧門,滑動(dòng)設(shè)置于所述底座上,一旦待加工工件送入多線開方機(jī)內(nèi)部時(shí),則關(guān)閉圓弧門, 以及一電柜箱, 所述臺車由一支撐體和一設(shè)置支撐體上端的裝載車構(gòu)成, 所述裝載車包括一對稱設(shè)置的車架,一架設(shè)支架上的連接桿,所述車架下方設(shè)置一組車輪組件,在所述車架內(nèi)還設(shè)置一導(dǎo)桿氣缸。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線開方機(jī),其特征在于:所述支撐體包括: 一架體, 一深入多線開方機(jī)內(nèi)部并與內(nèi)軌道無縫連接的外軌道,所述裝載車的車輪架設(shè)于所述外軌道上, 以及一圓角三角形定位板,所述圓角三角形定位板設(shè)置于架體上方,保證工件落于指定位置。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線開方機(jī),其特征在于:還包括一擺臂張力調(diào)節(jié)裝置,所述擺臂張力調(diào)節(jié)裝置包括: 一調(diào)節(jié)架,兩套平穩(wěn)氣缸固定于調(diào)節(jié)架內(nèi),第一平穩(wěn)氣缸連接一垂直運(yùn)動(dòng)的垂直導(dǎo)輪,第二平穩(wěn)氣缸連接一沿水平運(yùn)動(dòng)的水平導(dǎo)輪, 在所述調(diào)節(jié)架一側(cè)設(shè)置一導(dǎo)輪垂直走向的凹槽,所述凹槽一側(cè)設(shè)置一垂直導(dǎo)向軌,調(diào)節(jié)架的上端設(shè)置一水平導(dǎo)向軌。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線開方機(jī),其特征在于:還包括一氣缸張力調(diào)節(jié)裝置,所述氣缸張力調(diào)節(jié)裝置包括: 一軸體,所述軸體上固定連接一平穩(wěn)氣缸, 所述軸體上依次包覆有一內(nèi)隔圈和一外隔圈,且所述軸體兩端均設(shè)置一角接觸軸承,以及一浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座,所述浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座包覆所述軸體以及角接觸軸承,所述浮動(dòng)轉(zhuǎn)向輪座一側(cè)固定設(shè)置一軸蓋,另一側(cè)分別連接一平衡桿和一連板,所述平衡桿和所述連桿平行排布,將所述氣缸張力調(diào)節(jié)裝置固定張力墻板上, 還包括一設(shè)置軸蓋上的插入式氣動(dòng)管接頭。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線開方機(jī),其特征在于:還包括一噴淋裝置,所述噴淋裝置包括: 一架設(shè)切割輥組上的沖孔網(wǎng)板,所述沖孔網(wǎng)板的兩邊為一角鐵框架,另兩邊為一撐筋,一通過支撐板設(shè)置沖孔網(wǎng)板上的內(nèi)噴淋盤組,所述內(nèi)噴淋盤組包括一外噴淋盤和一內(nèi)噴淋盤,所述外噴淋盤和內(nèi)噴淋盤上均開設(shè)均勻排布的噴淋口, 所述外噴淋盤的一端連接一接通切割液的球閥。
      【文檔編號】B28D5/04GK203739029SQ201420033743
      【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年1月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月20日
      【發(fā)明者】高建軍, 張斌, 劉佳, 張鵬杰, 牛龍, 劉德元 申請人:陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司
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