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      一種新型的單晶硅片切割裝置制造方法

      文檔序號(hào):1919097閱讀:191來源:國(guó)知局
      一種新型的單晶硅片切割裝置制造方法
      【專利摘要】一種新型的單晶硅片切割裝置,它涉及切割設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】,第一連接桿的上端左側(cè)設(shè)置有固定夾頭,固定夾頭的左端設(shè)置有第一伸縮桿,第一伸縮桿的左端設(shè)置有活動(dòng)夾頭,固定夾頭與活動(dòng)夾頭的內(nèi)側(cè)設(shè)置有單晶硅原料,導(dǎo)向桿的左側(cè)設(shè)置有固定架,固定架的外圍分別設(shè)置有數(shù)個(gè)滾輪架,滾輪架的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有導(dǎo)向滾輪,數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪的外圍均勻的套接有切割線。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且操作方便,通過一導(dǎo)向固定裝置使切割裝置和單晶硅原料連接為一體,這樣在切割過程中能夠很好的保護(hù)硅片,極大的提高了切割成品的質(zhì)量。
      【專利說明】一種新型的單晶硅片切割裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型涉及切割設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種新型的單晶硅片切割裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]單晶硅又名硅的單晶體,一種基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體,不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料。常用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池等。
      [0003]單晶硅 是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽(yáng)能光伏發(fā)電、供熱等。由于太陽(yáng)能具有清潔、環(huán)保、方便等諸多優(yōu)勢(shì),近三十年來,太陽(yáng)能利用技術(shù)在研究開發(fā)、商業(yè)化生產(chǎn)、市場(chǎng)開拓方面都獲得了長(zhǎng)足發(fā)展,成為世界快速、穩(wěn)定發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)之一。
      [0004]單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料,隨著國(guó)內(nèi)和國(guó)際市場(chǎng)對(duì)單晶硅片需求量的快速增加,單晶硅棒的市場(chǎng)需求也呈快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。
      [0005]單晶硅圓片按其直徑分為6英寸、8英寸、12英寸及18英寸等。直徑越大的圓片,所能刻制的集成電路越多,芯片的成本也就越低。
      [0006]現(xiàn)有的單晶硅片在進(jìn)行切割時(shí),由于單晶硅原料與切割裝置之間沒有一個(gè)用于固定的導(dǎo)向裝置,這樣在切割過程中即使一方的振動(dòng)都會(huì)造成切割出來的單晶硅片表面有瑕疵,有時(shí)還會(huì)在切割過程中造成單晶硅片斷裂。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0007]本實(shí)用新型的目的是提供一種新型的單晶硅片切割裝置,它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且操作方便,通過一導(dǎo)向固定裝置使切割裝置和單晶硅原料連接為一體,這樣在切割過程中能夠很好的保護(hù)硅片,極大的提高了切割成品的質(zhì)量。
      [0008]為了解決【背景技術(shù)】所存在的問題,本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案:它包含切割線1、單晶娃原料2、導(dǎo)向滾輪3、固定架4、導(dǎo)向桿5、固定夾頭6、第一伸縮桿7、活動(dòng)夾頭8、第二伸縮桿9、滾輪架10、第一連接桿11和第二連接桿12,第二伸縮桿9的上下兩端分別設(shè)置有第一連接桿11和第二連接桿12,第一連接桿11的上端左側(cè)設(shè)置有固定夾頭6,固定夾頭6的左端設(shè)置有第一伸縮桿7,第一伸縮桿7的左端設(shè)置有活動(dòng)夾頭8,固定夾頭6與活動(dòng)夾頭8的內(nèi)側(cè)設(shè)置有單晶硅原料2,第二連接桿12的下端與導(dǎo)向桿5連接,導(dǎo)向桿5的左側(cè)設(shè)置有固定架4,固定架4的外圍分別設(shè)置有數(shù)個(gè)滾輪架10,滾輪架10的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有導(dǎo)向滾輪3,數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪3的外圍均勻的套接有切割線I。
      [0009]本實(shí)用新型工作原理:切割線I通過電機(jī)和導(dǎo)向滾輪3進(jìn)行旋轉(zhuǎn),第一伸縮桿7進(jìn)行左右伸縮,用以帶動(dòng)活動(dòng)夾頭8進(jìn)行左右移動(dòng),從而使單晶硅原料2固定在活動(dòng)夾頭8和固定夾頭6之間,活動(dòng)夾頭8和固定夾頭6可以通過第一連接桿11和第二伸縮桿9進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng),當(dāng)單晶硅原料2固定好后,電機(jī)帶動(dòng)切割線I進(jìn)行旋轉(zhuǎn),第二伸縮桿9帶動(dòng)上端的各個(gè)部件向下運(yùn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)單晶硅原料2切割,數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪3均通過滾輪架10和固定架4連接為一個(gè)整體,同時(shí)還通過導(dǎo)向桿5使切割部分和被切割部分連接為一個(gè)整體。[0010]本實(shí)用新型具有以下有益效果:它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且操作方便,通過一導(dǎo)向固定裝置使切割裝置和單晶硅原料連接為一體,這樣在切割過程中能夠很好的保護(hù)硅片,極大的提聞了切割成品的質(zhì)量。
      [0011]【專利附圖】

      【附圖說明】:
      [0012]圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0013]【具體實(shí)施方式】:
      [0014]參看圖1,本【具體實(shí)施方式】采用以下技術(shù)方案:它包含切割線1、單晶硅原料2、導(dǎo)向滾輪3、固定架4、導(dǎo)向桿5、固定夾頭6、第一伸縮桿7、活動(dòng)夾頭8、第二伸縮桿9、滾輪架10、第一連接桿11和第二連接桿12,第二伸縮桿9的上下兩端分別設(shè)置有第一連接桿11和第二連接桿12,第一連接桿11的上端左側(cè)設(shè)置有固定夾頭6,固定夾頭6的左端設(shè)置有第一伸縮桿7,第一伸縮桿7的左端設(shè)置有活動(dòng)夾頭8,固定夾頭6與活動(dòng)夾頭8的內(nèi)側(cè)設(shè)置有單晶硅原料2,第二連接桿12的下端與導(dǎo)向桿5連接,導(dǎo)向桿5的左側(cè)設(shè)置有固定架4,固定架4的外圍分別設(shè)置有數(shù)個(gè)滾輪架10,滾輪架10的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有導(dǎo)向滾輪3,數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪3的外圍均勻的套接有切割線I。
      [0015]本【具體實(shí)施方式】工作原理:切割線I通過電機(jī)和導(dǎo)向滾輪3進(jìn)行旋轉(zhuǎn),第一伸縮桿7進(jìn)行左右伸縮,用以帶動(dòng)活動(dòng)夾頭8進(jìn)行左右移動(dòng),從而使單晶硅原料2固定在活動(dòng)夾頭8和固定夾頭6之間,活動(dòng)夾頭8和固定夾頭6可以通過第一連接桿11和第二伸縮桿9進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng),當(dāng)單晶硅原料2固定好后,電機(jī)帶動(dòng)切割線I進(jìn)行旋轉(zhuǎn),第二伸縮桿9帶動(dòng)上端的各個(gè)部件向下運(yùn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)單晶硅原料2切割,數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪3均通過滾輪架10和固定架4連接為一個(gè)整體,同時(shí)還通過導(dǎo)向桿5使切割部分和被切割部分連接為一個(gè)整體。
      [0016]本【具體實(shí)施方式】具有以下有益效果:它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且操作方便,通過一導(dǎo)向固定裝置使切割裝置和單晶硅原料連接為一體,這樣在切割過程中能夠很好的保護(hù)硅片,極大的提聞了切割成品的質(zhì)量。
      【權(quán)利要求】
      1.一種新型的單晶硅片切割裝置,其特征在于它包含切割線(1)、單晶硅原料(2)、導(dǎo)向滾輪(3)、固定架(4)、導(dǎo)向桿(5)、固定夾頭(6)、第一伸縮桿(7)、活動(dòng)夾頭(8)、第二伸縮桿(9)、滾輪架(10)、第一連接桿(11)和第二連接桿(12),第二伸縮桿(9)的上下兩端分別設(shè)置有第一連接桿(11)和第二連接桿(12),第一連接桿(11)的上端左側(cè)設(shè)置有固定夾頭(6),固定夾頭(6)的左端設(shè)置有第一伸縮桿(7),第一伸縮桿(7)的左端設(shè)置有活動(dòng)夾頭(8),固定夾頭(6)與活動(dòng)夾頭(8)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有單晶硅原料(2),第二連接桿(12)的下端與導(dǎo)向桿(5)連接,導(dǎo)向桿(5)的左側(cè)設(shè)置有固定架(4),固定架(4)的外圍分別設(shè)置有數(shù)個(gè)滾輪架(10),滾輪架(10)的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有導(dǎo)向滾輪(3),數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪(3)的外圍均勻的套接有切割線(1)。
      【文檔編號(hào)】B28D5/04GK203779712SQ201420089795
      【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年3月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月2日
      【發(fā)明者】曹錢 申請(qǐng)人:共青城歐唯諾太陽(yáng)能科技有限公司
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