一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割的制造方法
【專利摘要】一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，它設(shè)有槽輪組件、切割線、升降體、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和工作臺(tái)，所述切割線纏繞在輥輪組件上形成切割線網(wǎng)，所述升降體下端與升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)配裝，在升降體上方設(shè)置工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上裝夾待切割工件，其特別之處在于：它還設(shè)有與切割線運(yùn)動(dòng)方向一致的水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)，所述水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)布置在升降體與工作臺(tái)之間。本實(shí)用新型通過(guò)水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)適時(shí)改變工件位置，消除了切割線弧形對(duì)工件切割面完整性的影響，從而縮短了工件的總切割時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，降低了脆性材料切片加工成本。
【專利說(shuō)明】一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種多線切割機(jī)，尤其是一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，屬于脆性材料加工設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]多線切割機(jī)是IC (集成電路)、IT (信息技術(shù))、PV (光伏)等行業(yè)核心器件基片制造流程中的關(guān)鍵裝備。多線切割是目前最先進(jìn)的切片加工技術(shù)，其原理是切割線(鋼絲)通過(guò)一組槽輪形成具有不同間距的鋼絲網(wǎng)，利用切割線的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)把磨料帶入待切割材料加工區(qū)域進(jìn)行研磨，而待切割件通過(guò)工作臺(tái)的升降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給，以此實(shí)現(xiàn)將工件同時(shí)切割成若干個(gè)所需尺寸形狀薄片的創(chuàng)新型切片工藝。
[0003]如附圖1、圖2所示，利用多線切割機(jī)對(duì)硬質(zhì)材料進(jìn)行切片加工時(shí)，切割線I因承受垂直方向(Z向)的工件進(jìn)給力會(huì)形成弧形曲線，為消除切割線弧形對(duì)工件切割面完整性的影響，以保證在切割作業(yè)完成后工件底部被徹底切割，現(xiàn)有的多線切割機(jī)通常采用增加工件2的Z向進(jìn)給量(附圖2中的ΛΖ即增加的Z向進(jìn)給量)的方式，但由此帶來(lái)了切割時(shí)間長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低等問(wèn)題，同時(shí)也提高了產(chǎn)品的加工成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)之弊端，提供一種可消除切割線弧形對(duì)工件切割面完整性的影響、保證在切割作業(yè)完成后工件底部被徹底切割、提高生產(chǎn)效率、降低產(chǎn)品加工成本的帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)。
[0005]本實(shí)用新型所述問(wèn)題是以下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0006]一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，它設(shè)有槽輪組件、切割線、升降體、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和工作臺(tái)，所述切割線纏繞在輥輪組件上形成切割線網(wǎng)，所述升降體下端與升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)配裝，在升降體上方設(shè)置工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上裝夾待切割工件，其特別之處在于:它還設(shè)有與切割線運(yùn)動(dòng)方向一致的水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)，所述水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)布置在升降體與工作臺(tái)之間。
[0007]上述帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，所述水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)包括水平進(jìn)給電機(jī)、絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件、水平滑動(dòng)臺(tái)和水平滑軌，所述水平進(jìn)給電機(jī)固定在升降體上，其輸出軸與絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件的絲杠連接，所述絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件的螺母與水平滑動(dòng)臺(tái)固定裝配，所述水平滑動(dòng)臺(tái)與水平滑軌配裝。
[0008]上述帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，所述水平滑軌通過(guò)滑軌安裝座固定在升降體上。
[0009]上述帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，所述水平滑動(dòng)臺(tái)上端面與工作臺(tái)底面固定裝配。
[0010]本實(shí)用新型通過(guò)在升降體與工作臺(tái)之間增加一套與切割線運(yùn)動(dòng)方向一致的水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)，在工件切割過(guò)程中，由水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)裝夾在工作臺(tái)上的工件隨切割線運(yùn)動(dòng)方向往復(fù)進(jìn)給，適時(shí)改變切割線與工件接觸的最低點(diǎn)和最高點(diǎn)位置，在切割線的每一個(gè)往復(fù)循環(huán)周期內(nèi)，使各切割點(diǎn)基本處于同一水平位置，不需再通過(guò)增加工件Z向進(jìn)給量來(lái)消除切割線弧形的影響，從而縮短了總切割時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，降低了工件加工成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0012]圖1是現(xiàn)有多線切割機(jī)工作過(guò)程示意圖；
[0013]圖2是現(xiàn)有多線切割機(jī)工件Z向進(jìn)給量增加示意圖；
[0014]圖3是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖；
[0015]圖4是圖3中I處結(jié)構(gòu)放大圖；
[0016]圖5是水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)傳動(dòng)關(guān)系示意圖；
[0017]圖6是圖5中A-A剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖7是本實(shí)用新型各組成部分裝配關(guān)系示意圖；
[0019]圖8是本實(shí)用新型工作原理示意圖。
[0020]圖中各標(biāo)號(hào)清單為:1、切割線，2、工件，3、升降體，4、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，5、工作臺(tái)，6、槽輪組件，7、水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)，7-1、水平進(jìn)給電機(jī)，7-2、水平滑臺(tái)，7-3、水平滑軌，7-4、滑軌安裝座，7-5、絲杠，7-6、螺母。
【具體實(shí)施方式】
[0021]參看圖3?圖7，本實(shí)用新型設(shè)有設(shè)有槽輪組件6、切割線1、升降體3、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4和工作臺(tái)5，所述切割線I纏繞在輥輪組件6上形成切割線網(wǎng)，所述升降體3下端與升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4配裝，在升降體3上方設(shè)置工作臺(tái)5，所述工作臺(tái)5上裝夾待切割工件2，其特別之處在于:它還設(shè)有與切割線運(yùn)動(dòng)方向一致的水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)7，所述水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)7布置在升降體3與工作臺(tái)5之間。
[0022]參看圖3?圖6，本實(shí)用新型的水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)7包括水平進(jìn)給電機(jī)7-1、絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件、水平滑動(dòng)臺(tái)7-2和水平滑軌7-3，所述水平進(jìn)給電機(jī)7-1固定在升降體3上，其輸出軸與絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件的絲杠7-5連接，所述絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件的螺母7-6與水平滑動(dòng)臺(tái)7-2固定裝配，所述水平滑動(dòng)臺(tái)7-2上端面與工作臺(tái)5底面固定裝配，水平滑動(dòng)臺(tái)底部7-2與水平滑軌7-3配裝，所述水平滑軌7-3通過(guò)滑軌安裝座7-4固定在升降體3上。
[0023]參看圖7、圖8，本實(shí)用新型通過(guò)在升降體3與工作臺(tái)5之間增加一套與切割線運(yùn)動(dòng)方向一致的水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)7，在工件2的切割過(guò)程中，由水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)7驅(qū)動(dòng)裝夾在工作臺(tái)5上的工件2隨切割線運(yùn)動(dòng)方向往復(fù)進(jìn)給，適時(shí)改變切割線I與工件2接觸的最低點(diǎn)和最高點(diǎn)位置，附圖8給出了在切割線I的一個(gè)往復(fù)循環(huán)周期內(nèi)工件的三個(gè)不同位置，當(dāng)工件2位于Wl位置時(shí)，工件偏向槽輪組件6的左側(cè)，切割線的最低切割點(diǎn)為dl，最高切割點(diǎn)為d2，切割線為弧型曲線LI，dl與d2高度差較大；在水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)7驅(qū)動(dòng)下，工件移動(dòng)至W2位置處時(shí)，工件位于槽輪組件6的中心部位，切割線的最低切割點(diǎn)為d3，最高切割點(diǎn)為d4，切割線為弧型曲線L2，dl與d2高度差減小；當(dāng)工件移動(dòng)至W3位置處時(shí)，工件位于槽輪組件6的右側(cè)，切割線的最低切割點(diǎn)為d5，最高切割點(diǎn)為d6，切割線為弧型曲線L3，dl與d2高度差進(jìn)一步縮小，弧型曲線L3在W3區(qū)域內(nèi)趨于水平，使各切割點(diǎn)基本處于同一高度位置。由上述工作過(guò)程可見(jiàn)，本實(shí)用新型由水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)裝夾在工作臺(tái)上的工件隨切割線運(yùn)動(dòng)方向往復(fù)進(jìn)給，通過(guò)適時(shí)改變切割線I與工件2接觸的最低點(diǎn)和最高點(diǎn)位置，在切割線的每一個(gè)往復(fù)循環(huán)周期內(nèi)，都能使各切割點(diǎn)最終基本處于同一水平位置，不需再通過(guò)增加工件Z向進(jìn)給量來(lái)消除切割線弧形對(duì)工件切割面完整性的影響，保證了在切割作業(yè)完成后工件底部被徹底切割，從而縮短了總切割時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，降低了工件加工成本。
【權(quán)利要求】
1.一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，它設(shè)有槽輪組件(6)、切割線(I)、升降體(3)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)和工作臺(tái)(5)，所述切割線(I)纏繞在輥輪組件(6)上形成切割線網(wǎng)，所述升降體(3)下端與升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(4)配裝，在升降體(3)上方設(shè)置工作臺(tái)(5)，所述工作臺(tái)(5)上裝夾待切割工件(2)，其特征是，它還設(shè)有與切割線運(yùn)動(dòng)方向一致的水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)(7),所述水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)(7)布置在升降體(3)與工作臺(tái)(5)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，其特征是，所述水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)(7)包括水平進(jìn)給電機(jī)(7-1)、絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件、水平滑動(dòng)臺(tái)(7-2)和水平滑軌(7-3)，所述水平進(jìn)給電機(jī)(7-1)固定在升降體(3)上，其輸出軸與絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件的絲杠(7-5)連接，所述絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)組件的螺母(7-6)與水平滑動(dòng)臺(tái)(7-2)固定裝配，所述水平滑動(dòng)臺(tái)(7-2 )與水平滑軌(7-3 )配裝。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，其特征是，所述水平滑軌(7-3 )通過(guò)滑軌安裝座(7-4 )固定在升降體(3 )上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種帶有水平進(jìn)給機(jī)構(gòu)的多線切割機(jī)，其特征是，所述水平滑動(dòng)臺(tái)(7-2)上端面與工作臺(tái)(5)底面固定裝配。
【文檔編號(hào)】B28D5/04GK203792550SQ201420184154
【公開(kāi)日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年4月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月16日
【發(fā)明者】楊福占, 劉永柱, 張立忠 申請(qǐng)人:唐山晶玉科技有限公司