本申請實施例涉及晶圓切割設(shè)備，尤其涉及一種用于晶圓劃片機的測高電路及晶圓劃片機。

背景技術(shù)：

1、晶圓劃片機是半導(dǎo)體封裝加工技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)重要的加工設(shè)備，其包括主軸和工作臺，主軸上設(shè)有切割刀片。為了保證測量結(jié)果的精準，需要對刀片的磨損程度進行在線檢測，根據(jù)刀片磨損量調(diào)整主軸相對工作臺的高度，因此需要通過測高裝置對刀片進行測高，及時調(diào)整刀片的高度，盡可能保證加工時刀片與工件的相對位置不變。

2、目前的接觸式高度測量方案通過繼電器模組實現(xiàn)，繼電器動作響應(yīng)無法調(diào)節(jié)，進而無法對測高響應(yīng)時間精度進行調(diào)節(jié)。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本申請實施例提供一種用于晶圓劃片機的測高電路及晶圓劃片機，能夠提升測高精度，判斷測高線是否斷線。

2、根據(jù)本申請實施例提供了一種用于晶圓劃片機的測高電路，其特征在于，所述測高電路包括測高線檢測回路和測高觸發(fā)回路，所述測高線檢測回路與所述測高觸發(fā)回路之間通過正測高線和負測高線連通，所述測高觸發(fā)回路包括定時器芯片，所述定時器芯片的觸發(fā)引腳通過調(diào)節(jié)電阻組，并經(jīng)過所述正測高線和所述負測高線與所述測高線檢測回路連接，所述定時器芯片的電壓引腳通過所述負測高線與所述測高線檢測回路連接；所述測高線檢測回路的檢測端分別與所述晶圓劃片機的主軸和工作臺連接，在所述晶圓劃片機的主軸與工作臺處于接觸狀態(tài)下導(dǎo)通，所述測高線檢測回路通過所述正測高線和所述負測高線輸出觸發(fā)信號至所述觸發(fā)引腳；所述定時器芯片響應(yīng)于所述觸發(fā)信號輸出測高信號以驅(qū)動主軸升降驅(qū)動器記錄所述主軸的位置，所述調(diào)節(jié)電阻組用于調(diào)節(jié)所述正測高線和所述負測高線之間的電壓閾值，以調(diào)整觸發(fā)精度。

3、可選地，所述測高線檢測回路包括：工作臺檢測回路，所述工作臺檢測回路一端與所述正測高線連接，且通過第一繼電器與所述負測高線之間連接，另一端作為檢測端與所述工作臺連接；主軸檢測回路，所述主軸檢測回路一端與所述負測高線連接，且通過第二繼電器與所述正測高線連接，另一端作為檢測端與所述主軸連接。

4、可選地，所述第一繼電器控制端用于接入主軸檢測信號，所述第二繼電器的控制端用于接入工作臺檢測信號。

5、可選地，所述工作臺檢測回路包括與所述工作臺連接的第一工作臺檢測端和第二工作臺檢測端；當工作臺檢測信號使能，所述第一繼電器的常閉觸點斷開，所述第一繼電器的常開觸點閉合，所述工作臺檢測回路的所述第一工作臺檢測端與所述正測高線連通，所述工作臺檢測回路的所述第二工作臺檢測端通過所述第一繼電器與所述負測高線連通，所述正測高線與所述負測高線之間的電壓降低。

6、可選地，所述主軸檢測回路包括與所述主軸連接的第一主軸檢測端和第二主軸檢測端；當主軸檢測信號使能，所述第二繼電器的常閉觸點斷開，所述第二繼電器的常開觸點閉合，所述主軸檢測回路的所述第一主軸檢測端與所述負測高線連接，所述主軸檢測回路的所述第二主軸檢測端通過所述第二繼電器與所述正測高線連通，所述正測高線與所述負測高線之間的電壓降低，且所述測高觸發(fā)回路發(fā)出所述測高信號。

7、可選地，所述測高電路還包括傳感器，所述傳感器的傳感器輸出端與所述正測高線連接，所述傳感器的傳感器接地端與所述負測高線連接，所述主軸遮擋所述傳感器信號時，所述傳感器輸出端和所述傳感器接地端之間的電壓降低至小于所述電壓閾值時，所述測高觸發(fā)回路發(fā)出所述測高信號。

8、可選地，所述測高觸發(fā)回路還包括電源轉(zhuǎn)換器和功放器，所述定時器芯片與所述功放器之間設(shè)有電源轉(zhuǎn)換器，當所述定時器芯片的所述觸發(fā)引腳與所述電壓引腳之間的電壓低于所述電壓閾值時，所述定時器芯片發(fā)出12vdc高電平，所述電源轉(zhuǎn)換器將12vdc高電平轉(zhuǎn)換為24vdc高電平，所述功放器將所述測高信號放大并輸出。

9、可選地，當所述主軸與工作臺接觸，且所述主軸未遮擋所述傳感器，所述正測高線與所述負測高線之間的壓差為高電壓；當所述主軸的高度降低或所述傳感器被遮擋，所述正測高線與所述負測高線之間的壓差減小，且所述觸發(fā)引腳與所述電壓引腳之間的電壓低于所述電壓閾值時，所述定時器芯片發(fā)出所述測高信號。

10、可選地，所述調(diào)節(jié)電阻組包括可調(diào)電阻、第一固定電阻和第二固定電阻，所述可調(diào)電阻與所述第一固定電阻并聯(lián)至所述觸發(fā)引腳，所述可調(diào)電阻與所述第一固定電阻并聯(lián)后與所述第二固定電阻串聯(lián)連接至電源引腳。

11、根據(jù)本申請第一方面實施例提供的用于晶圓劃片機的測高電路，增設(shè)測高線檢測回路，可以對測高線是否斷線進行檢測。設(shè)置具有調(diào)節(jié)電阻組的定時器芯片能夠調(diào)節(jié)正測高線與負測高線之間的電壓閾值，從而能夠調(diào)節(jié)定時器芯片輸出測高型號的響應(yīng)情況，從而調(diào)整整個測高電路的觸發(fā)精度；且測高電路整體穩(wěn)定性高、安全性好。

技術(shù)特征：

1.一種用于晶圓劃片機的測高電路，其特征在于，所述測高電路包括測高線檢測回路和測高觸發(fā)回路，所述測高線檢測回路與所述測高觸發(fā)回路之間通過正測高線和負測高線連通，所述測高觸發(fā)回路包括定時器芯片，所述定時器芯片的觸發(fā)引腳通過調(diào)節(jié)電阻組，并經(jīng)過所述正測高線和所述負測高線與所述測高線檢測回路連接，所述定時器芯片的電壓引腳通過所述負測高線與所述測高線檢測回路連接；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述測高線檢測回路包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測高電路，其特征在于，所述第一繼電器控制端用于接入主軸檢測信號，所述第二繼電器的控制端用于接入工作臺檢測信號。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測高電路，其特征在于，所述工作臺檢測回路包括與所述工作臺連接的第一工作臺檢測端和第二工作臺檢測端；

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測高電路，其特征在于，所述主軸檢測回路包括與所述主軸連接的第一主軸檢測端和第二主軸檢測端；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述測高電路還包括傳感器，所述傳感器的傳感器輸出端與所述正測高線連接，所述傳感器的傳感器接地端與所述負測高線連接，所述主軸遮擋所述傳感器信號時，所述傳感器輸出端和所述傳感器接地端之間的電壓降低至小于所述電壓閾值時，所述測高觸發(fā)回路發(fā)出所述測高信號。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述測高觸發(fā)回路還包括電源轉(zhuǎn)換器和功放器，所述定時器芯片與所述功放器之間設(shè)有電源轉(zhuǎn)換器，當所述定時器芯片的所述觸發(fā)引腳與所述電壓引腳之間的電壓低于所述電壓閾值時，所述定時器芯片發(fā)出12vdc高電平，所述電源轉(zhuǎn)換器將12vdc高電平轉(zhuǎn)換為24vdc高電平，所述功放器將所述測高信號放大并輸出。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測高電路，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述調(diào)節(jié)電阻組包括可調(diào)電阻、第一固定電阻和第二固定電阻，所述可調(diào)電阻與所述第一固定電阻并聯(lián)至所述觸發(fā)引腳，所述可調(diào)電阻與所述第一固定電阻并聯(lián)后與所述第二固定電阻串聯(lián)連接至電源引腳。

10.一種晶圓劃片機，其特征在于，所述晶圓劃片機包括主軸和工作臺，所述晶圓劃片機具有權(quán)利要求1-9中任一項所述的測高電路。

技術(shù)總結(jié)
本申請實施例提供了一種用于晶圓劃片機的測高電路及晶圓劃片機，測高電路包括測高線檢測回路和測高觸發(fā)回路，測高線檢測回路與測高觸發(fā)回路之間通過正測高線和負測高線連通，測高觸發(fā)回路包括定時器芯片，定時器芯片的觸發(fā)引腳通過調(diào)節(jié)電阻組，并經(jīng)過正測高線和負測高線與測高線檢測回路連接，定時器芯片的電壓引腳通過負測高線與測高線檢測回路連接；測高線檢測回路包括與晶圓劃片機連接的檢測線，在晶圓劃片機的主軸與工作臺處于接觸狀態(tài)下檢測線導(dǎo)通，調(diào)節(jié)電阻組用于調(diào)節(jié)正測高線和負測高線之間的電壓閾值。本申請實施例提供一種用于晶圓劃片機的測高電路及晶圓劃片機，能夠提升測高精度，判斷測高線是否斷線。

技術(shù)研發(fā)人員：趙德文,馮巨震,萬明軍,陳楨
受保護的技術(shù)使用者：華海清科股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19