硅棒截?cái)鄼C(jī)及截?cái)喾椒?br>【專利摘要】本發(fā)明公開了一種硅棒截?cái)鄼C(jī)及截?cái)喾椒?,硅棒截?cái)鄼C(jī)包括:送料設(shè)備,用于將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域;截?cái)嘣O(shè)備,銜接送料設(shè)備,用于對由送料設(shè)備自待上料區(qū)域輸送過來的待切割的硅棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè);截?cái)嘣O(shè)備,包括:機(jī)座;硅棒輸送臺,設(shè)于機(jī)座,用于承載待切割的硅棒并驅(qū)動硅棒沿著硅棒的軸向進(jìn)行輸送;軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),設(shè)于硅棒輸送臺上,用于將硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài);多個(gè)線切割單元,設(shè)于機(jī)座上且可升降地設(shè)于硅棒輸送臺的上方,用于將待切割的硅棒切割為多段硅棒截段。待切割的硅棒通過送料設(shè)備輸送至待上料區(qū)域,多個(gè)線切割單元可同時(shí)將待切割的硅棒切割成多段,多段硅棒截段由硅棒輸送臺移出到收料臺進(jìn)行依序卸料。
【專利說明】
硅棒截?cái)鄼C(jī)及截?cái)喾椒?br>技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及硅棒截?cái)嗉夹g(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種硅棒截?cái)鄼C(jī)及截?cái)喾椒ā?br>【背景技術(shù)】
[0002]硅棒截?cái)嗉夹g(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的開方加工技術(shù),它的原理是通過高速運(yùn)動的金剛線對待加工工件(例如:硅棒、藍(lán)寶石、或其他半導(dǎo)體硬脆材料)進(jìn)行摩擦,切出方錠,從而達(dá)到切割目的。在對工件的切割過程中,金剛線通過導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輥上形成一張線網(wǎng),而待加工工件通過工作臺的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給,在壓力栗的作用下,裝配在設(shè)備上的冷卻水自動噴灑裝置將冷卻水噴灑至金剛線和工件的切削部位,由金剛線往復(fù)運(yùn)動產(chǎn)生切削,以將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為多塊。線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割相比具有效率高、產(chǎn)能高、精度高等優(yōu)點(diǎn)。
[0003]但是,目前的硅棒截?cái)鄼C(jī)仍然存在不足,例如目前的硅棒截?cái)鄼C(jī)一次只能對一個(gè)待切割物進(jìn)行切割,若要加工多個(gè)工件只能反復(fù)執(zhí)行多次,效率非常低下。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]有鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本發(fā)明的目的在于提供一種可以依序?qū)⒍鄠€(gè)待切割硅棒切割成多段的硅棒截?cái)鄼C(jī)及硅棒截?cái)喾椒ā?br>[0005]為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供了一種硅棒截?cái)鄼C(jī),包括:
[0006]送料設(shè)備,用于將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域;
[0007]截?cái)嘣O(shè)備,銜接所述送料設(shè)備,用于對由所述送料設(shè)備自所述待上料區(qū)域輸送過來的待切割的娃棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè);
[0008]所述截?cái)嘣O(shè)備,包括:
[0009]機(jī)座;
[0010]硅棒輸送臺,設(shè)于所述機(jī)座,用于承載待切割的所述硅棒并驅(qū)動所述硅棒沿著所述娃棒的軸向進(jìn)行輸送;
[0011 ]軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),設(shè)于所述硅棒輸送臺上,用于將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài);以及
[0012]多個(gè)線切割單元,設(shè)于所述機(jī)座上且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺的上方,用于將待切割的所述硅棒切割為多段硅棒截段。
[0013]本發(fā)明的硅棒截?cái)鄼C(jī),待切割的硅棒可以通過送料設(shè)備輸送至待上料區(qū)域,通過多個(gè)線切割單元可以同時(shí)將待切割的硅棒切割成多段,切割速度快,還可以保證兩個(gè)面的切割質(zhì)量,切割完不用剪線,切割完的硅棒截段由硅棒輸送臺分段移出到收料臺進(jìn)行依序卸料,保證每個(gè)硅棒截段不碰撞。
[0014]本發(fā)明娃棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述送料設(shè)備包括:
[0015]上料機(jī)構(gòu),位于所述待上料區(qū)域,用于將待切割的所述硅棒自所述待上料區(qū)域輸送至所述截?cái)嘣O(shè)備;以及
[0016]送料機(jī)構(gòu),鄰設(shè)于所述上料機(jī)構(gòu),用于將待切割的所述硅棒輸送至待上料區(qū)域的所述上料機(jī)構(gòu)上。
[0017]本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述上料機(jī)構(gòu)包括:
[0018]座體;
[0019]承載臺;以及
[0020]硅棒輸送單元,設(shè)于所述承載臺上,具有供承托待切割的所述硅棒的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件。
[0021]本發(fā)明娃棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述娃棒輸送臺包括用于承載待切割的所述硅棒并驅(qū)動切割后的多個(gè)所述硅棒截段沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件,所述滾輪組件根據(jù)切割的硅棒截段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段,每一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對,每一個(gè)滾輪對包括有通過轉(zhuǎn)動軸相連的兩個(gè)滾輪,所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī),每一個(gè)所述滾輪對對應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對共用一個(gè)所述電機(jī)。
[0022 ]本發(fā)明娃棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括:
[0023]兩個(gè)調(diào)整墊塊,分別設(shè)于所述硅棒輸送臺首尾兩端,用于承托待切割的所述硅棒;
[0024]水平檢測單元,用于檢測兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的所述硅棒的水平度;以及
[0025]驅(qū)動電機(jī),與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián),用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動以確保將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0026]本發(fā)明娃棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,多個(gè)所述線切割單元沿著所述娃棒輸送臺間隔排列,且位于最前列的第一個(gè)線切割單元獨(dú)立于其他線切割單元,進(jìn)行硅棒頭部取樣片。
[0027]本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,所述線切割單元包括:
[0028]傳動連接于一升降機(jī)構(gòu)的支架;以及
[0029]對稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切線輪,兩個(gè)所述切線輪之間設(shè)有切割線。
[0030]本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的進(jìn)一步改進(jìn)在于,還包括壓制件,所述壓制件包括可升降地設(shè)于所述支架上的升降塊以及對稱設(shè)于所述升降塊上的兩個(gè)用于壓制待切割的所述硅棒的壓制板。
[0031]本發(fā)明還提供了一種應(yīng)用上述的硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒ǎ?
[0032]由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由所述待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的娃棒輸送臺上;
[0033]通過軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)而將所述硅棒輸送臺承載的所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài);
[0034]同步下降多個(gè)線切割單元,同時(shí)對所述娃棒輸送臺上的待切割的所述娃棒進(jìn)行切割以將所述硅棒切割為多段硅棒截段;
[0035]由所述硅棒輸送臺將切割后的多段所述硅棒截段依序運(yùn)離出去。
[0036]本發(fā)明的娃棒截?cái)喾椒?,待切割的娃棒可以通過送料設(shè)備輸送至待上料區(qū)域,通過多個(gè)線切割單元可以同時(shí)將待切割的硅棒切割成多段,切割速度快,還可以保證兩個(gè)面的切割質(zhì)量,切割完不用剪線,切割完的硅棒截段由硅棒輸送臺分段移出到收料臺進(jìn)行依序卸料,保證每個(gè)硅棒截段不碰撞。
[0037]本發(fā)明硅棒截?cái)喾椒ǖ倪M(jìn)一步改進(jìn)在于,在同步下降多個(gè)線切割單元之前,還包括:
[0038]下降多個(gè)所述線切割單元中位于最前列的第一個(gè)線切割單元,由第一個(gè)所述線切割單元切割所述硅棒的頭部以進(jìn)行硅棒頭部取樣片。
【附圖說明】
[0039]圖1是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的立體圖。
[0040]圖2是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)釋去保護(hù)罩的立體圖。
[0041 ]圖3是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的送料設(shè)備的側(cè)視圖。
[0042]圖4是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)將硅棒切割為多段硅棒截段后的示意圖。
[0043]圖5是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的軸線調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0044]圖6是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的截?cái)嘣O(shè)備的側(cè)視圖。
[0045]圖7是圖6中壓制件的局部放大示意圖。
[0046]圖8是圖7中壓制件壓制待切割的娃棒后的不意圖。
[0047]圖9是應(yīng)用本發(fā)明的硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0048]以下由特定的具體實(shí)施例說明本發(fā)明的實(shí)施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0049]請參閱圖1至圖9。須知,本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件,故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下,均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí),本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語,亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍,其相對關(guān)系的改變或調(diào)整,在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。
[0050]參見圖1與圖2所示,圖1是本發(fā)明娃棒截?cái)鄼C(jī)的立體圖。圖2是本發(fā)明娃棒截?cái)鄼C(jī)釋去保護(hù)罩的立體圖。本發(fā)明的硅棒截?cái)鄼C(jī),包括:
[0051]送料設(shè)備I,用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2。
[0052]截?cái)嘣O(shè)備3,銜接送料設(shè)備I,用于對由送料設(shè)備I自待上料區(qū)域2輸送過來的待切割的硅棒90進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)。如圖1與圖2所示,截?cái)嘣O(shè)備3的外部設(shè)置有保護(hù)罩4,起到保護(hù)截?cái)嘣O(shè)備3以及待切割的硅棒90在截?cái)噙^程不受外界干擾的作用,保護(hù)罩4上設(shè)有多個(gè)監(jiān)控窗口 5,可供工作人員對硅棒截?cái)噙^程進(jìn)行監(jiān)控。
[0053 ] 再次參見圖1與圖2所示,其中,送料設(shè)備I包括:
[0054]上料機(jī)構(gòu),位于待上料區(qū)域2,用于將待切割的硅棒90自待上料區(qū)域2輸送至截?cái)嘣O(shè)備3。
[0055]送料機(jī)構(gòu)13,鄰設(shè)于所述上料機(jī)構(gòu),用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2的所述上料機(jī)構(gòu)上。
[0056]具體地,參見圖3所示,圖3是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的送料設(shè)備的側(cè)視圖。所述上料機(jī)構(gòu)包括:座體11、承載臺12、以及娃棒輸送單元14,娃棒輸送單元14設(shè)于承載臺12上,具有供承托待切割的硅棒90的滾輪組件(或輸送帶)以及用于控制所述滾輪組件(或輸送帶)的電機(jī)組件。優(yōu)選地,承載臺12上還設(shè)有硅棒提升機(jī)構(gòu)15,可以將待切割的硅棒90進(jìn)行提升后運(yùn)輸至待上料區(qū)域2。
[0057]進(jìn)一步地,參見圖2所示,截?cái)嘣O(shè)備3,包括:
[0058]機(jī)座10。
[0059]硅棒輸送臺20,設(shè)于機(jī)座10,用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動硅棒90沿著硅棒90的軸向進(jìn)行輸送。
[0060]軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),設(shè)于硅棒輸送臺20上,用于將待切割的硅棒90的軸心調(diào)成水平狀
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[0061 ] 多個(gè)線切割單元320,設(shè)于機(jī)座10上的一個(gè)機(jī)架310上且通過一升降機(jī)構(gòu)40可升降地設(shè)于硅棒輸送臺20的上方,用于將待切割的硅棒90切割為多段硅棒截段910。多個(gè)線切割單元320在升降機(jī)構(gòu)40的控制下同步下降至娃棒輸送臺20并同時(shí)對娃棒90進(jìn)行切割以將娃棒90切割為多段硅棒截段910(如圖4所示,圖4是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)將硅棒切割為多段硅棒截段后的示意圖。將硅棒90切割為四個(gè)硅棒截段,可分別標(biāo)識為910&、91013、910(3、910(1),切割后的多段硅棒截段910再通過硅棒輸送臺20進(jìn)行依序卸料。
[0062]更進(jìn)一步地,參見圖5所示,圖5是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的軸線調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的側(cè)視圖。所述軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括:
[0063]兩個(gè)調(diào)整墊塊,分別設(shè)于硅棒輸送臺20的首尾兩端,用于承托待切割的硅棒90。
[0064]水平檢測單元,用于檢測兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的待切割的硅棒90的水平度。
[0065]驅(qū)動電機(jī)16,與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián),用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動以確保將待切割的硅棒90的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。
[0066]參見圖6所示,圖6是本發(fā)明硅棒截?cái)鄼C(jī)的截?cái)嘣O(shè)備的側(cè)視圖。線切割單元320包括設(shè)于機(jī)架310且傳動連接于升降機(jī)構(gòu)40的支架以及對稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切割輪321,兩個(gè)切割輪321之間設(shè)有切割線322。進(jìn)一步地,所述支架包括設(shè)于機(jī)架310且傳動連接于升降機(jī)構(gòu)40的水平框架323以及對稱設(shè)置于水平框架323底部的兩個(gè)豎直框架324,切割輪321設(shè)于豎直框架324上。優(yōu)選地,兩個(gè)豎直框架324分別設(shè)于水平框架323的底部兩端,水平框架323與兩個(gè)豎直框架324拼接形成倒凹字型支架。優(yōu)選地,多個(gè)線切割單元320沿著硅棒輸送臺20間隔排列,且位于最前列的第一個(gè)線切割單元320獨(dú)立于其他線切割單元320,進(jìn)行硅棒頭部取樣片。
[0067]結(jié)合圖7與圖8所示,圖7是圖6中壓制件的局部放大示意圖。圖8是圖7中壓制件壓制待切割的硅棒后的示意圖。本發(fā)明的硅棒截?cái)鄼C(jī),還包括壓制件,所述壓制件包括通過一壓緊氣缸60而可升降地設(shè)于線切割單元320的所述支架上的升降塊610以及對稱設(shè)于升降塊610上的兩個(gè)用于壓制待切割的硅棒90的壓制板620。結(jié)合圖8所示,當(dāng)升降機(jī)構(gòu)40驅(qū)動線切割單元320下降時(shí),兩個(gè)壓制板620共同壓制待切割的硅棒90,將待切割的硅棒90壓持穩(wěn)定,以防止待切割的硅棒90在切割時(shí)發(fā)生移動。
[0068]再次參見圖2所示,優(yōu)選地,機(jī)座10上的機(jī)架310的相對兩側(cè)分別設(shè)有滑槽,多個(gè)線切割單元320之間通過一連桿50而相互連接,連桿50上固設(shè)有滑設(shè)于機(jī)架310的所述滑槽的滑塊。連桿50可以在升降機(jī)構(gòu)40驅(qū)動下而帶動多個(gè)線切割單元320進(jìn)行升降運(yùn)動,進(jìn)而驅(qū)動多個(gè)線切割單元320對待切割的硅棒90進(jìn)行切割。
[0069]再次參見圖4所示,優(yōu)選地,硅棒輸送臺20包括用于承載待切割的硅棒90并驅(qū)動切割后的多段硅棒截段910沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件210以及用于控制滾輪組件210的電機(jī)組件,滾輪組件210根據(jù)切割的硅棒截段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段211(如圖4所示,劃分為四個(gè)滾輪組件區(qū)段,可分別標(biāo)識為211&、21113、211(3、211(1),每一個(gè)滾輪組件區(qū)段211內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對,每一個(gè)滾輪對包括有通過轉(zhuǎn)動軸212相連的兩個(gè)滾輪213,所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī),每一個(gè)所述滾輪對對應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段211中的多個(gè)滾輪對共用一個(gè)所述電機(jī)。當(dāng)待切割的硅棒90被切割為多段硅棒截段910后,每一個(gè)滾輪組件區(qū)段211中的每一個(gè)所述滾輪對在對應(yīng)的電機(jī)驅(qū)動下進(jìn)行滾動,以驅(qū)動該滾輪組件區(qū)段211中的硅棒截段910沿著硅棒截段910的軸向進(jìn)行輸送,以此實(shí)現(xiàn)多段硅棒截段910進(jìn)行依序卸料。
[0070]再次結(jié)合圖2所示,本發(fā)明的硅棒截?cái)鄼C(jī),還包括打印清洗機(jī)構(gòu)920,具有打印頭和清洗頭,可以對截?cái)嗤瓿傻墓璋艚囟?10進(jìn)行打印和清洗作業(yè)。
[0071 ]本發(fā)明的硅棒截?cái)鄼C(jī),送料設(shè)備上裝載多個(gè)待切割的硅棒,待切割的硅棒可以通過送料機(jī)構(gòu)依序輸送至待上料區(qū)域,然后通過多個(gè)線切割單元可以同時(shí)將待切割的硅棒切割成多段,切割速度快,還可以保證兩個(gè)面的切割質(zhì)量,切割完不用剪線,切割完的硅棒截段由硅棒輸送臺分段移出到收料臺進(jìn)行依序卸料,保證每個(gè)硅棒截段不碰撞。并且,后續(xù)還可以通過打印清洗機(jī)構(gòu)對截?cái)嗤瓿傻墓璋艚囟芜M(jìn)行打印和清洗作業(yè)。
[0072]以下介紹應(yīng)用上述的硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?,包?
[0073]步驟S1:由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的娃棒輸送臺上;
[0074]步驟S2:通過所示軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)而將娃棒輸送臺承載的待切割的娃棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài);
[0075]步驟S3:同步下降多個(gè)線切割單元,同時(shí)對娃棒輸送臺上的待切割的娃棒進(jìn)行切割以將硅棒切割為多段硅棒截段;
[0076]步驟S4:由硅棒輸送臺將切割后的多段所述硅棒截段依序運(yùn)離出去。
[0077]優(yōu)選地,在同步下降多個(gè)線切割單元之前,還包括:下降多個(gè)所述線切割單元中位于最前列的第一個(gè)線切割單元,由第一個(gè)所述線切割單元切割所述硅棒的頭部以進(jìn)行硅棒頭部取樣片。
[0078]其中,在上述步驟SI中,將待切割的硅棒由待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的硅棒輸送臺上,包括:
[0079]步驟Sll:將待切割的硅棒放置于所述滾輪組件上;
[0080]步驟S12:通過所述電機(jī)組件控制所述滾輪組件驅(qū)動待切割的硅棒沿著所述硅棒的軸向進(jìn)行輸送;
[0081]步驟S13:待切割的硅棒輸送到位后,通過所述電機(jī)組件控制所述滾輪組件停止運(yùn)動。
[0082]其中,在上述步驟S3中,同步下降多個(gè)線切割單元,同時(shí)對娃棒輸送臺上的待切割的硅棒進(jìn)行切割以將硅棒切割為多段硅棒截段,包括:
[0083]步驟S31:在所述硅棒輸送臺上通過所述升降機(jī)構(gòu)可升降地設(shè)置多個(gè)所述線切割單元;
[0084]步驟S32:將多個(gè)所述線切割單元通過所述連桿而相互連接,將所述連桿傳動連接于所述升降機(jī)構(gòu)上;
[0085]步驟S33:通過所述升降機(jī)構(gòu)控制所述連桿向下移動,進(jìn)而驅(qū)動多個(gè)線切割單元同步下降,同時(shí)對所述硅棒輸送臺上的所述硅棒進(jìn)行切割以將所述硅棒切割為多段硅棒截段。
[0086]其中,在上述步驟S4中,由硅棒輸送臺將切割后的多段所述硅棒截段依序運(yùn)離出去,包括:
[0087]步驟S41:將所述電機(jī)組件分為多個(gè)電機(jī),將所述滾輪組件劃分為與切割后的多個(gè)所述硅棒截段的數(shù)量對應(yīng)的多個(gè)滾輪組件區(qū)段,每一個(gè)所述滾輪對對應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對共用一個(gè)所述電機(jī);
[0088]步驟S42:啟動最接近卸貨區(qū)的第一個(gè)硅棒截段所對應(yīng)的第一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī),控制所述第一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動所述第一個(gè)硅棒截段朝向所述卸貨區(qū)輸送以進(jìn)行卸料;
[0089]步驟S43:當(dāng)所述第一個(gè)硅棒截段輸送后與相鄰的第二個(gè)硅棒截段達(dá)到一安全距離之后,啟動對應(yīng)所述第二個(gè)硅棒截段的第二個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī),控制所述第二個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動所述第二個(gè)硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料;
[0090]步驟S44:重復(fù)上述步驟,S卩,當(dāng)前一個(gè)硅棒截段輸送后與相鄰的后一個(gè)硅棒截段達(dá)到一安全距離之后,啟動對應(yīng)所述后一個(gè)硅棒截段的后一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部電機(jī),控制所述后一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動所述后一個(gè)硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料,直至將最后一個(gè)硅棒截段輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料。
[0091]現(xiàn)以圖4中的各個(gè)硅棒截段910的卸料過程為例進(jìn)行說明,在圖4中,將硅棒90切割為四個(gè)硅棒截段910(圖中所示為910a、910b、910c以及910d)。在卸料時(shí),先啟動最接近卸貨區(qū)(假設(shè)卸貨區(qū)是位于左側(cè))的第一個(gè)硅棒截段910a所對應(yīng)的第一個(gè)滾輪組件區(qū)段211a內(nèi)的全部電機(jī),控制第一個(gè)滾輪組件區(qū)段211a內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動第一個(gè)硅棒截段910a朝向所述卸貨區(qū)輸送以進(jìn)行卸料;當(dāng)?shù)谝粋€(gè)硅棒截段910a輸送后與相鄰的第二個(gè)硅棒截段910b達(dá)到一安全距離之后,啟動對應(yīng)第二個(gè)硅棒截段910b的第二個(gè)滾輪組件區(qū)段211b內(nèi)的全部電機(jī),控制第二個(gè)滾輪組件區(qū)段211b內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動第二個(gè)硅棒截段910b輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料;當(dāng)?shù)诙€(gè)硅棒截段910b輸送后與相鄰的第三個(gè)硅棒截段910c達(dá)到一安全距離之后,啟動對應(yīng)第三個(gè)硅棒截段910c的第三個(gè)滾輪組件區(qū)段211c內(nèi)的全部電機(jī),控制第三個(gè)滾輪組件區(qū)段211c內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動第三個(gè)硅棒截段910c輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料;當(dāng)?shù)谌齻€(gè)硅棒截段910c輸送后與相鄰的第四個(gè)硅棒截段910d達(dá)到一安全距離之后,啟動對應(yīng)第四個(gè)硅棒截段910d的第四個(gè)滾輪組件區(qū)段211d內(nèi)的全部電機(jī),控制第四個(gè)滾輪組件區(qū)段211d內(nèi)的全部滾輪,驅(qū)動第四個(gè)硅棒截段910d輸送至所述卸貨區(qū)進(jìn)行卸料,從而完成所有四個(gè)硅棒截段910的依序卸料。
[0092]本發(fā)明的硅棒截?cái)喾椒?,送料設(shè)備上裝載多個(gè)待切割的硅棒,待切割的硅棒可以通過送料機(jī)構(gòu)依序輸送至待上料區(qū)域,然后通過多個(gè)線切割單元可以同時(shí)將待切割的硅棒切割成多段,切割速度快,還可以保證兩個(gè)面的切割質(zhì)量,切割完不用剪線,切割完的硅棒截段由硅棒輸送臺分段移出到收料臺進(jìn)行依序卸料,保證每個(gè)硅棒截段不碰撞。
[0093]另外,參見圖9所示,圖9是應(yīng)用本發(fā)明的硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)的立體圖。一種應(yīng)用本發(fā)明的硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)及硅棒流水作業(yè)方法,硅棒流水作業(yè)系統(tǒng)包括:
[0094]送料設(shè)備I,用于將待切割的硅棒90輸送至待上料區(qū)域2。
[0095]截?cái)嘣O(shè)備3,銜接送料設(shè)備I,用于對由送料設(shè)備I自待上料區(qū)域2輸送過來的待切割的硅棒90進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以切割為多段硅棒截段910。
[0096]硅棒傳送設(shè)備6,銜接截?cái)嘣O(shè)備3,用于傳送硅棒截段910。優(yōu)選地,硅棒傳送設(shè)備6即為傳送帶設(shè)備。
[0097]娃棒組合加工機(jī)7,設(shè)于娃棒傳送設(shè)備6旁側(cè),用于對從娃棒傳送設(shè)備6上獲取的娃棒截段910執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。優(yōu)選地,硅棒傳送設(shè)備6上的硅棒截段910均通過機(jī)械手傳輸?shù)焦璋艚M合加工機(jī)7,以執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0098]邊料輸送設(shè)備8,用于將多余或是切割損壞的邊料進(jìn)行輸送,以進(jìn)行二次利用。
[0099]工作轉(zhuǎn)移設(shè)備9,設(shè)于截?cái)嘣O(shè)備3和硅棒傳送設(shè)備6之間,用于將硅棒截段910轉(zhuǎn)移至硅棒傳送設(shè)備6。優(yōu)選地,該工件轉(zhuǎn)移設(shè)備9為機(jī)械手,能將截段設(shè)備3輸出的橫向放置的硅棒截段910抓起并以豎直放置的方式置放到硅棒傳送設(shè)備6上。
[0100]硅棒流水作業(yè)方法,包括:
[0101]步驟S10:由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由所述待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備上;
[0102]步驟S20:由截?cái)嘣O(shè)備對由所述送料設(shè)備自所述上料區(qū)域輸送過來的待切割的硅棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以;
[0103]步驟S30:由硅棒傳送設(shè)備將所述截?cái)嘣O(shè)備切割的多段所述硅棒截段予以傳送;
[0104]步驟S40:由硅棒組合加工機(jī)從所述硅棒傳送設(shè)備上獲取所述硅棒截段并對所述硅棒截段執(zhí)行切方作業(yè)、磨面作業(yè)、以及滾圓及拋光作業(yè)。
[0105]本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0106]上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效,而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下,對上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,包括: 送料設(shè)備,用于將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域; 截?cái)嘣O(shè)備,銜接所述送料設(shè)備,用于對由所述送料設(shè)備自所述待上料區(qū)域輸送過來的待切割的娃棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè); 所述截?cái)嘣O(shè)備,包括: 機(jī)座; 硅棒輸送臺,設(shè)于所述機(jī)座,用于承載待切割的所述硅棒并驅(qū)動所述硅棒沿著所述硅棒的軸向進(jìn)行輸送; 軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),設(shè)于所述硅棒輸送臺上,用于將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài);以及多個(gè)線切割單元,設(shè)于所述機(jī)座上且可升降地設(shè)于所述硅棒輸送臺的上方,用于將待切割的所述硅棒切割為多段硅棒截段。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述送料設(shè)備包括: 上料機(jī)構(gòu),位于所述待上料區(qū)域,用于將待切割的所述硅棒自所述待上料區(qū)域輸送至所述截?cái)嘣O(shè)備;以及 送料機(jī)構(gòu),鄰設(shè)于所述上料機(jī)構(gòu),用于將待切割的所述硅棒輸送至待上料區(qū)域的所述上料機(jī)構(gòu)上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述上料機(jī)構(gòu)包括: 座體; 承載臺;以及 硅棒輸送單元,設(shè)于所述承載臺上,具有供承托待切割的所述硅棒的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述硅棒輸送臺包括用于承載待切割的所述硅棒并驅(qū)動切割后的多個(gè)所述硅棒截段沿軸向進(jìn)行輸送的滾輪組件以及用于控制所述滾輪組件的電機(jī)組件,所述滾輪組件根據(jù)切割的硅棒截段而劃分為多個(gè)滾輪組件區(qū)段,每一個(gè)滾輪組件區(qū)段內(nèi)包括有多個(gè)滾輪對,每一個(gè)滾輪對包括有通過轉(zhuǎn)動軸相連的兩個(gè)滾輪,所述電機(jī)組件包括多個(gè)電機(jī),每一個(gè)所述滾輪對對應(yīng)一個(gè)所述電機(jī)或者同屬于一個(gè)滾輪組件區(qū)段中的多個(gè)滾輪對共用一個(gè)所述電機(jī)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括: 兩個(gè)調(diào)整墊塊,分別設(shè)于所述硅棒輸送臺首尾兩端,用于承托待切割的所述硅棒; 水平檢測單元,用于檢測兩個(gè)所述調(diào)整墊塊所承托的所述硅棒的水平度;以及 驅(qū)動電機(jī),與兩個(gè)所述調(diào)整墊塊中的至少一者關(guān)聯(lián),用于控制所關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)所述調(diào)整墊塊作升降運(yùn)動以確保將所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,多個(gè)所述線切割單元沿著所述硅棒輸送臺間隔排列,且位于最前列的第一個(gè)線切割單元獨(dú)立于其他線切割單元,進(jìn)行硅棒頭部取樣片。7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,所述線切割單元包括: 傳動連接于一升降機(jī)構(gòu)的支架;以及 對稱設(shè)置于所述支架底部的兩個(gè)切線輪,兩個(gè)所述切線輪之間設(shè)有切割線。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅棒截?cái)鄼C(jī),其特征在于,還包括壓制件,所述壓制件包括可升降地設(shè)于所述支架上的升降塊以及對稱設(shè)于所述升降塊上的兩個(gè)用于壓制待切割的所述娃棒的壓制板。9.一種應(yīng)用如權(quán)利要求1所述的硅棒截?cái)鄼C(jī)的硅棒截?cái)喾椒?,其特征在于,包? 由送料設(shè)備將待切割的硅棒輸送至待上料區(qū)域并再由所述待上料區(qū)域輸送至截?cái)嘣O(shè)備的娃棒輸送臺上; 通過軸心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)而將所述硅棒輸送臺承載的所述硅棒的軸心調(diào)成水平狀態(tài); 同步下降多個(gè)線切割單元,同時(shí)對所述娃棒輸送臺上的待切割的所述娃棒進(jìn)行切割以將所述硅棒切割為多段硅棒截段; 由所述硅棒輸送臺將切割后的多段所述硅棒截段依序運(yùn)離出去。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅棒截?cái)喾椒?,其特征在于,在同步下降多個(gè)線切割單元之前,還包括: 下降多個(gè)所述線切割單元中位于最前列的第一個(gè)線切割單元,由第一個(gè)所述線切割單元切割所述硅棒的頭部以進(jìn)行硅棒頭部取樣片。
【文檔編號】B28D7/00GK105856445SQ201610345643
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年5月23日
【發(fā)明人】盧建偉
【申請人】上海日進(jìn)機(jī)床有限公司