一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及到一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]線切機(jī)是生產(chǎn)單晶硅過程中必不可少的一種設(shè)備,油路系統(tǒng)是線切機(jī)上必不可少的部件,現(xiàn)有的線切機(jī)上每個(gè)用油裝置都有一個(gè)單獨(dú)的供油裝置和供油管路,這樣就使得一個(gè)線切機(jī)內(nèi)就得同時(shí)裝有多個(gè)供油裝置,占用空間大不說,同時(shí)也提高了線切機(jī)的生產(chǎn)成本。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,設(shè)計(jì)了一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),節(jié)省了線切機(jī)的內(nèi)部空間,降低了線切機(jī)的生產(chǎn)成本。
[0004]本實(shí)用新型所采取的具體技術(shù)方案是:一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),包括線切機(jī)本體和設(shè)置在線切機(jī)本體上的油路系統(tǒng),油路系統(tǒng)的出口與用油裝置連通,關(guān)鍵是:所述的油路系統(tǒng)包括總供油裝置和多個(gè)分油管路,所有分油管路的進(jìn)口都與總供油裝置的出口連通,所有分油管路的出口分別與不同的用油裝置連通。
[0005]所述的油路系統(tǒng)還包括壓力表,壓力表與總供油裝置連接。
[0006]所述的每個(gè)分油管路上都設(shè)置有閥門。
[0007]所述的閥門為電磁閥。
[0008]所述的總供油裝置上設(shè)置有放氣閥和電磁閥。
[0009]所述的總供油裝置為油泵。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是:利用一個(gè)總供油裝置給所有的用油裝置供油,與用多個(gè)供油裝置分別給不同的用油裝置供油相比,大大減小了油路系統(tǒng)在線切機(jī)內(nèi)部所占的空間,同時(shí)省去了多個(gè)供油裝置,降低了線切機(jī)的生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]附圖中,I代表線切機(jī)本體,2代表總供油裝置,3代表分油管路,4代表壓力表,5代表閥門,6代表放氣閥,7代表電磁閥。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)說明:
[0014]具體實(shí)施例,如圖1所示,一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),包括線切機(jī)本體I和設(shè)置在線切機(jī)本體I上的油路系統(tǒng),油路系統(tǒng)的出口與用油裝置連通,所述的油路系統(tǒng)包括總供油裝置2和多個(gè)分油管路3,總供油裝置2優(yōu)選為油泵,總供油裝置2上設(shè)置有放氣閥6和電磁閥7,可以調(diào)整總供油裝置2內(nèi)氣壓的大小,防止分油管路3被堵塞,利用電磁閥7可以同時(shí)將所有的分油管路3關(guān)閉,利用放氣閥6所有分油管路3的進(jìn)口都與總供油裝置2的出口連通,所有分油管路3的出口分別與不同的用油裝置連通。為了方便單獨(dú)控制每個(gè)用油裝置的工作狀態(tài),在每個(gè)分油管路3上都設(shè)置有閥門5,閥門5優(yōu)選為電磁閥。油路系統(tǒng)還包括壓力表4,壓力表4與總供油裝置2連接,利用壓力表4可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)總供油裝置2內(nèi)的壓力大小,防止總供油裝置2壓力過大或過小而影響它的正常使用。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),包括線切機(jī)本體(I)和設(shè)置在線切機(jī)本體(I)上的油路系統(tǒng),油路系統(tǒng)的出口與用油裝置連通,其特征在于:所述的油路系統(tǒng)包括總供油裝置⑵和多個(gè)分油管路(3),所有分油管路(3)的進(jìn)口都與總供油裝置(2)的出口連通,所有分油管路(3)的出口分別與不同的用油裝置連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),其特征在于:所述的油路系統(tǒng)還包括壓力表(4),壓力表(4)與總供油裝置(2)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),其特征在于:所述的每個(gè)分油管路(3)上都設(shè)置有閥門(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),其特征在于:所述的閥門(5)為電磁閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),其特征在于:所述的總供油裝置⑵上設(shè)置有放氣閥(6)和電磁閥(7)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),其特征在于:所述的總供油裝置(2)為油泵。
【專利摘要】一種具有改進(jìn)的油路系統(tǒng)的線切機(jī),包括線切機(jī)本體和設(shè)置在線切機(jī)本體上的油路系統(tǒng),油路系統(tǒng)的出口與用油裝置連通,關(guān)鍵是:所述的油路系統(tǒng)包括總供油裝置和多個(gè)分油管路,所有分油管路的進(jìn)口都與總供油裝置的出口連通,所有分油管路的出口分別與不同的用油裝置連通。利用一個(gè)總供油裝置給所有的用油裝置供油,與用多個(gè)供油裝置分別給不同的用油裝置供油相比,大大減小了油路系統(tǒng)在線切機(jī)內(nèi)部所占的空間,同時(shí)省去了多個(gè)供油裝置,降低了線切機(jī)的生產(chǎn)成本。
【IPC分類】B28D7-00, F17D1-08
【公開號(hào)】CN204566426
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520169379
【發(fā)明人】朱琛浩, 陳世杰, 李世杰, 李其甲, 田會(huì)藏, 武哲
【申請(qǐng)人】寧晉賽美港龍電子材料有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年3月25日