一種硅片切割裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅片切割裝置涉及硅片切割機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。包括導(dǎo)輪、鋼線、切削液噴嘴、切削液循環(huán)泵，所述切削液噴嘴上設(shè)有噴灑長(zhǎng)度可調(diào)機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)輪的兩端還分別固定有加長(zhǎng)導(dǎo)輪，加長(zhǎng)導(dǎo)輪表面還設(shè)有涂層。本實(shí)用新型能做到調(diào)節(jié)導(dǎo)輪面長(zhǎng)度，加工較長(zhǎng)的硅棒，能根據(jù)不同的原材料長(zhǎng)度合理有效的調(diào)節(jié)導(dǎo)輪的長(zhǎng)度，切削液噴嘴的噴灑范圍可根據(jù)導(dǎo)輪的長(zhǎng)度調(diào)節(jié)，不會(huì)造成浪費(fèi)，本實(shí)用新型的加工效率高，降低了平均加工成本，能適應(yīng)當(dāng)前生產(chǎn)需要。
【專利說明】
一種硅片切割裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片切割機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片切割裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]NTC442機(jī)切片機(jī)床是在半導(dǎo)體制造行業(yè)中廣泛使用的用于切割單晶或多晶硅棒的設(shè)備?，F(xiàn)有NTC442機(jī)床導(dǎo)輪涂覆長(zhǎng)度為340mm，開槽長(zhǎng)度約為330mm，受其長(zhǎng)度所限，硅棒加工長(zhǎng)度最大為325mm*2根，加工效率低、成本高，無法適應(yīng)當(dāng)前生產(chǎn)需要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種硅片切割裝置，本實(shí)用新型能加工較長(zhǎng)的硅棒，加工效率高，降低了平均加工成本，能適應(yīng)當(dāng)前生產(chǎn)需要。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0005]—種硅片切割裝置，包括導(dǎo)輪、鋼線、切削液噴嘴、切削液循環(huán)栗，其特征在于:所述切削液噴嘴(I)上設(shè)有噴灑長(zhǎng)度可調(diào)機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)輪的兩端還分別固定有加長(zhǎng)導(dǎo)輪，加長(zhǎng)導(dǎo)輪表面還設(shè)有涂層。
[0006]優(yōu)選的所述固定為螺桿或螺釘固定。
[0007]優(yōu)選的所述噴灑長(zhǎng)度可調(diào)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)為:所述切削液噴嘴為圓管狀，噴口為縫隙狀，并設(shè)有2個(gè)調(diào)節(jié)螺母，2個(gè)調(diào)節(jié)螺母分別與圓管狀切削液噴嘴兩端部的螺紋連接。
[0008]優(yōu)選的所述導(dǎo)輪和兩端加長(zhǎng)導(dǎo)輪的導(dǎo)輪面總長(zhǎng)度為360_。
[0009]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實(shí)用新型能做到調(diào)節(jié)導(dǎo)輪長(zhǎng)度，加工較長(zhǎng)的硅棒，能根據(jù)不同的原材料合理有效的調(diào)節(jié)導(dǎo)輪的長(zhǎng)度，切削液噴嘴的噴灑范圍可根據(jù)導(dǎo)輪的長(zhǎng)度調(diào)節(jié)，不會(huì)造成浪費(fèi)，本實(shí)用新型的加工效率高，降低了平均加工成本，能適應(yīng)當(dāng)前生產(chǎn)需要。
【附圖說明】
[00?0]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0011]圖2是圖1中導(dǎo)輪的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3是圖1中切削液噴嘴的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中:I切削液噴嘴;2鋼線;3調(diào)節(jié)螺母;4導(dǎo)輪；5加長(zhǎng)導(dǎo)輪;6涂層；8硅棒。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0015]如圖1所示，為本實(shí)用新型一種一種硅片切割裝置的一個(gè)實(shí)施例:
[0016]—種硅片切割裝置，包括切削液噴嘴I導(dǎo)輪4、鋼線2、切削液循環(huán)栗，導(dǎo)輪4兩端通過螺桿或者螺釘固定安裝有加長(zhǎng)導(dǎo)輪5，加長(zhǎng)導(dǎo)輪5和導(dǎo)輪4連接可拆卸，通過更換不同尺寸的加長(zhǎng)導(dǎo)輪5達(dá)到改變導(dǎo)輪面總長(zhǎng)度的目的，固定連接好加長(zhǎng)導(dǎo)輪5后表面統(tǒng)一加涂層6?？筛鶕?jù)實(shí)際需要改變導(dǎo)輪3的長(zhǎng)度，加長(zhǎng)后的導(dǎo)輪可加工較長(zhǎng)的硅棒8，增加一次出件數(shù)量導(dǎo)輪4，切削液噴嘴I，硅棒8均平行放置。
[0017]切削液噴嘴I上設(shè)有噴灑長(zhǎng)度可調(diào)機(jī)構(gòu)，噴灑長(zhǎng)度可調(diào)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)為:所述切削液噴嘴I為圓管狀，噴口為縫隙狀，切削液噴嘴I兩端安裝2個(gè)調(diào)節(jié)螺母3，2個(gè)調(diào)節(jié)螺母3分別與圓管狀切削液噴嘴兩端部的螺紋連接。根據(jù)適合導(dǎo)輪面總長(zhǎng)度的需要調(diào)節(jié)螺母3的位置，保證鋼線2切削時(shí)有效部分有切削液。
[0018]此種硅片切割裝置在進(jìn)行切割作業(yè)時(shí)，通過切削液循環(huán)栗將切削液輸送到切削液噴嘴I，再通過切削液噴嘴I噴出，噴出的切削液進(jìn)入鋼線2切割區(qū)域，鋼線2的走線方向與硅棒8的運(yùn)動(dòng)方向相互垂直，利用鋼線2對(duì)硅棒8進(jìn)行切割，本實(shí)用新型特別適用于NTC442機(jī)切片機(jī)床的改造，可將導(dǎo)輪面加長(zhǎng)至360mm，隨之娃棒的加工長(zhǎng)度可增加至350mm*2根，單刀加工量提高7.7%，從而可降低生產(chǎn)加工成本7.7%，加工效率高，降低了平均加工成本，能適應(yīng)當(dāng)前生產(chǎn)需要。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片切割裝置，包括導(dǎo)輪(4)、鋼線(2)、切削液噴嘴(1)、切削液循環(huán)栗，其特征在于:所述切削液噴嘴(I)上設(shè)有噴灑長(zhǎng)度可調(diào)機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)輪(4)的兩端還分別固定有加長(zhǎng)導(dǎo)輪(5)，加長(zhǎng)導(dǎo)輪(5)表面還設(shè)有涂層(6)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片切割裝置，其特征在于所述固定為螺桿或螺釘固定。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片切割裝置，其特征在于所述噴灑長(zhǎng)度可調(diào)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)為:所述切削液噴嘴(I)為圓管狀，噴口為縫隙狀，并設(shè)有2個(gè)調(diào)節(jié)螺母(3)，2個(gè)調(diào)節(jié)螺母(3)分別與圓管狀切削液噴嘴兩端部的螺紋連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片切割裝置，其特征在于所述導(dǎo)輪(4)和兩端加長(zhǎng)導(dǎo)輪(5)的導(dǎo)輪面總長(zhǎng)度為360mm。
【文檔編號(hào)】B28D5/04GK205572746SQ201620255477
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年3月30日
【發(fā)明人】王會(huì)敏, 何京輝, 李立偉, 張立濤, 菅書勇
【申請(qǐng)人】邢臺(tái)晶龍電子材料有限公司