一種用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，包括設置于操作室內的柜體，所述柜體上設有密封箱門，所述柜體的上方設置有連通口，所述連通口上設置有抽氣管，所述操作室內設置有連通至室外的排氣風道，所述抽氣管與排氣風道連接，所述抽氣管與排氣風道之間設置有吸力控制閥，采用這樣的結構，通過操作室自帶的排氣管道對儲藏有易揮發(fā)的強酸溶液的柜體進行通氣排散，避免了開啟柜體時，柜體內的有害氣體對操作人員的身體健康造成損傷，同時，這樣的連接方式借助操作室常啟的排氣風道進行排氣吸附，不再另需單獨的抽吸泵等裝置，成本低廉、易于布置、運行維護成本低。
【專利說明】—種用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體尾氣處理領域，特別是一種用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置。
【背景技術】
[0002]目前在半導體領域，尤其是在芯片表面去除黑膠時，通常需要強酸浸泡的方式進行處理，然而現(xiàn)有的普通儲物柜儲藏上述強酸制劑存在的不足之處在于:普通儲物柜采用密閉儲藏的方式，柜內空間容易囤積大量有毒氣體，當操作人員開柜時散發(fā)出來容易對人體造成損傷，另外，如若直接在柜體上開設透氣孔聯(lián)通至操作間內，則揮發(fā)出來的有害氣體也會對操作間內的人員造成損傷。
實用新型內容
[0003]本實用新型的發(fā)明目的在于:針對現(xiàn)有技術存在的問題，提供一種結構簡單、能夠將柜內氣體易排出、從而避免對操作人員人體造成損傷的用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術方案為:一種用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，包括設置于操作室內的柜體，所述柜體上設有密封箱門，所述柜體的上方設置有連通口，所述連通口上設置有抽氣管，所述操作室內設置有連通至室外的排氣風道，所述抽氣管與排氣風道連接，所述抽氣管與排氣風道之間設置有吸力控制閥。
[0005]采用這樣的結構，通過操作室自帶的排氣管道對儲藏有易揮發(fā)的強酸溶液的柜體進行通氣排散，避免了開啟柜體時，柜體內的有害氣體對操作人員的身體健康造成損傷，同時，這樣的連接方式借助操作室常啟的排氣風道進行排氣吸附，不再另需單獨的抽吸泵等裝置，成本低廉、易于布置、運行維護成本低。
[0006]優(yōu)選的，抽氣管的底端與連通口的上端固定連接，所述抽氣管與排氣風道之間設置有波紋管，所述波紋管的底端與抽氣管連接，所述波紋管的頂端與排氣風道連通。采用這樣的結構，使得柜體在設置時無需將連通口正對排氣風道的開口、并設置于其下方，能夠更加靈活地對柜體的位置進行調節(jié)，并且安裝方便。
[0007]優(yōu)選的，所述抽氣管上設置有應急排氣口，所述應急排氣口連接有應急排氣管，所述應急排氣管連接有負壓氣泵，所述應急排氣管與負壓氣泵的進氣端之間設置有單向閥，所述負壓氣泵的排氣端連接有堿液瓶。采用這樣的結構，當排氣風道遇到緊急情況停止運作時,通過負壓氣泵緊急抽吸排氣的方式,可將柜體內的有害氣體吸出并吸附處理,并且由于設置了單向閥，避免了堿液瓶內的堿液回流入柜體內、造成柜體內的強酸溶液變質。
[0008]優(yōu)選的，所述吸力控制閥包括設置于排氣管內的轉軸和閥瓣，所述轉軸沿抽氣管的徑向設置，所述閥瓣呈圓片狀，所述閥瓣與轉軸固定連接，所述轉軸的一端延伸至抽氣管的外側，所述轉軸連接有旋轉把手。采用這樣的結構，通過旋轉把手的轉動帶動閥瓣調節(jié)排氣管內開啟空間的大小，從而在排氣風道負壓吸力不變的情況下，按需對柜體內的抽吸力進行調節(jié)。
[0009]優(yōu)選的，所述柜體內部設置有若干個支撐板，所述柜體內左、右兩側設置有若干個卡接槽，所述支撐板通過卡接槽與柜體卡式連接。采用這樣的結構，有利于放置不同高度尺寸、不同規(guī)格的化學容器。
[0010]優(yōu)選的，所述柜體在靠近密封箱門的一側設置有磁鐵石。采用這樣的結構，通過磁鐵石吸附的方式，使得柜體與密封箱門之間具有一定的吸附力、從而保證柜體與密封箱門之間保持緊閉。
[0011]綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是:通過操作室自帶的排氣管道對儲藏有易揮發(fā)的強酸溶液的柜體進行通氣排散，避免了開啟柜體時，柜體內的有害氣體對操作人員的身體健康造成損傷，同時，這樣的連接方式借助操作室常啟的排氣風道進行排氣吸附，不再另需單獨的抽吸泵等裝置，成本低廉、易于布置、運行維護成本低。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0013]圖中標記:柜體一I ;密封箱門一2 ;連通口一3 ;抽氣管一4 ;排氣風道一5 ;波紋管一6。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖，對本實用新型作詳細的說明。
[0015]為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0016]如圖1所示，本實施例一種用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，包括設置于操作室內的柜體1，柜體I上設有密封箱門2，柜體I的上方設置有連通口 3，連通口 3上設置有抽氣管4，操作室內設置有連通至室外的排氣風道5，抽氣管4與排氣風道5連接，抽氣管4與排氣風道5之間設置有吸力控制閥，通過操作室自帶的排氣管道對儲藏有易揮發(fā)的強酸溶液的柜體I進行通氣排散，避免了開啟柜體I時，柜體I內的有害氣體對操作人員的身體健康造成損傷，同時，這樣的連接方式借助操作室常啟的排氣風道5進行排氣吸附，不再另需單獨的抽吸泵等裝置，成本低廉、易于布置、運行維護成本低，抽氣管4的底端與連通口 3的上端固定連接，抽氣管4與排氣風道5之間設置有波紋管6，波紋管6的底端與抽氣管4連接，波紋管6的頂端與排氣風道5連通。采用這樣的結構，使得柜體I在設置時無需將連通口 3正對排氣風道5的開口、并設置于其下方，能夠更加靈活地對柜體I的位置進行調節(jié)，并且安裝方便，抽氣管4上設置有應急排氣口，應急排氣口連接有應急排氣管，應急排氣管連接有負壓氣泵，應急排氣管與負壓氣泵的進氣端之間設置有單向閥，負壓氣泵的排氣端連接有堿液瓶。采用這樣的結構，當排氣風道5遇到緊急情況停止運作時，通過負壓氣泵緊急抽吸排氣的方式，可將柜體I內的有害氣體吸出并吸附處理，并且由于設置了單向閥，避免了堿液瓶內的堿液回流入柜體I內、造成柜體I內的強酸溶液變質，吸力控制閥包括設置于排氣管內的轉軸和閥瓣，轉軸沿抽氣管4的徑向設置，閥瓣呈圓片狀，閥瓣與轉軸固定連接，轉軸的一端延伸至抽氣管4的外側，轉軸連接有旋轉把手。采用這樣的結構，通過旋轉把手的轉動帶動閥瓣調節(jié)排氣管內開啟空間的大小，從而在排氣風道5負壓吸力不變的情況下，按需對柜體I內的抽吸力進行調節(jié)，柜體I內部設置有若干個支撐板，柜體I內左、右兩側設置有若干個卡接槽，支撐板通過卡接槽與柜體I卡式連接。采用這樣的結構，有利于放置不同高度尺寸、不同規(guī)格的化學容器，柜體I在靠近密封箱門2的一側設置有磁鐵石。采用這樣的結構，通過磁鐵石吸附的方式，使得柜體I與密封箱門2之間具有一定的吸附力、從而保證柜體I與密封箱門2之間保持緊閉。
[0017]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，包括設置于操作室內的柜體，所述柜體上設有密封箱門，其特征在于:所述柜體的上方設置有連通口，所述連通口上設置有抽氣管，所述操作室內設置有連通至室外的排氣風道，所述抽氣管與排氣風道連接，所述抽氣管與排氣風道之間設置有吸力控制閥。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，其特征在于:抽氣管的底端與連通口的上端固定連接，所述抽氣管與排氣風道之間設置有波紋管，所述波紋管的底端與抽氣管連接，所述波紋管的頂端與排氣風道連通。
3.根據(jù)權利要求2所述的用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，其特征在于:所述抽氣管上設置有應急排氣口，所述應急排氣口連接有應急排氣管，所述應急排氣管連接有負壓氣泵，所述應急排氣管與負壓氣泵的進氣端之間設置有單向閥，所述負壓氣泵的排氣端連接有堿液瓶。
4.根據(jù)權利要求3所述的用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，其特征在于:所述吸力控制閥包括設置于排氣管內的轉軸和閥瓣，所述轉軸沿抽氣管的徑向設置，所述閥瓣呈圓片狀，所述閥瓣與轉軸固定連接，所述轉軸的一端延伸至抽氣管的外側，所述轉軸連接有旋轉把手。
5.根據(jù)權利要求1至4中任一所述的用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，其特征在于:所述柜體內部設置有若干個支撐板，所述柜體內左、右兩側設置有若干個卡接槽，所述支撐板通過卡接槽與柜體卡式連接。
6.根據(jù)權利要求5所述的用于室內的揮發(fā)性化學開蓋器皿存儲裝置，其特征在于:所述柜體在靠近密封箱門的一側設置有磁鐵石。
【文檔編號】A47B81/00GK203692946SQ201420092162
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2014年2月28日 優(yōu)先權日:2014年2月28日
【發(fā)明者】王銳, 柳虎, 楊敏, 周維樹 申請人:成都先進功率半導體股份有限公司