本發(fā)明涉及一種液晶面板技術(shù)，特別是一種用于濕式蝕刻的旋轉(zhuǎn)噴淋頭及濕法蝕刻機。

背景技術(shù)：

目前液晶面板制備中，濕法蝕刻普遍用垂直于玻璃前進方向進行搖擺的噴淋方式進行，此種方式容易產(chǎn)生蝕刻不均或色澤不均等問題；而且傳統(tǒng)的搖擺噴淋方式所需的噴淋管道數(shù)量較多，一機臺有三個蝕刻槽，每個蝕刻槽有54個噴灑頭，一臺機臺總共噴灑頭數(shù)量就有162個，導(dǎo)致用料成本較高；為了確保噴灑頭噴灑狀況正常不堵塞，還需花費更多的人力進行維護、點檢。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種旋轉(zhuǎn)噴淋頭及濕法蝕刻機，使得可噴淋更加均勻而且降低用料成本。

本發(fā)明提供了一種旋轉(zhuǎn)噴淋頭，包括安裝在旋轉(zhuǎn)接頭上的噴淋頭本體，所述噴淋頭本體包括至少N根沿旋轉(zhuǎn)接頭的徑向分布的噴淋管，N≥3的正整數(shù)，噴淋管相對的一端相互連接并連通，旋轉(zhuǎn)接頭與噴淋管的連接處連接，在噴淋管的下端面上設(shè)有間距可調(diào)節(jié)的噴嘴，噴嘴與噴淋管的管腔13連通。

進一步地，所述噴淋管的下端管壁上設(shè)有沿噴淋管的軸向設(shè)置的滑槽，噴嘴設(shè)于滑槽中，實現(xiàn)噴嘴之間的間距可調(diào)節(jié)，所述噴嘴通過彈簧軟管與噴淋管的管腔13連通。

進一步地，所述噴嘴上設(shè)有用于將其固定于滑槽上的鎖緊機構(gòu)。

進一步地，所述鎖緊機構(gòu)包括兩片滑片，滑片上設(shè)有孔，其中一塊滑片設(shè)于滑槽內(nèi)，另一塊滑片設(shè)于噴淋管的下端，兩片滑片分別通過孔套在噴嘴上并夾在滑槽的兩側(cè)邊緣上，兩片滑片通過鎖緊螺栓緊固與滑槽上。

進一步地，所述鎖緊機構(gòu)包括截面為工字形的滑塊，滑塊的相對兩側(cè)具有凹槽，凹槽套在滑槽的兩側(cè)邊緣上，在凹槽與滑槽的兩側(cè)邊緣相對的槽壁上設(shè)有具有彈性的彈片，彈片為弧形；在滑槽的兩側(cè)邊緣的上下兩側(cè)表面上設(shè)有沿滑槽的軸向間隔設(shè)置的弧形坑，彈片分別置于弧形坑中，通過每側(cè)上下兩個彈片與滑槽相同一側(cè)的邊緣上的弧形坑接觸，使滑塊固定在滑槽上，所述噴嘴設(shè)于滑塊上的通孔中。

進一步地，相鄰兩根噴淋管之間的夾角為360°/N。

進一步地，所述N＝3，相鄰兩根噴淋管2之間的夾角為120°。

進一步地，所述N＝4，相鄰兩根噴淋管2之間的夾角為90°。

進一步地，所述N＝6，相鄰兩根噴淋管2之間的夾角為60°。

本發(fā)明還提供了一種濕法蝕刻機，包括所述的旋轉(zhuǎn)噴淋頭。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過具有三根以上噴淋管組成的噴淋頭本體，在噴淋管上設(shè)置可調(diào)節(jié)間距的噴嘴，解決了噴淋不均勻的問題導(dǎo)致的蝕刻過程中較易產(chǎn)生蝕刻不均或色澤不均(Mura)等問題，減少了噴淋管的數(shù)量，使用料成本得以降低。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的仰視圖；

圖2是本發(fā)明第一種鎖緊機構(gòu)的剖視圖一；

圖3是本發(fā)明第一種鎖緊機構(gòu)的剖視圖二；

圖4是本發(fā)明使用示意圖；

圖5是本發(fā)明具有四根噴淋管的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明具有六根噴淋管的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本發(fā)明第二種鎖緊機構(gòu)的剖視圖一；

圖8是本發(fā)明第二種鎖緊機構(gòu)的剖視圖二。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細(xì)說明。

如圖1所示，本發(fā)明的一種旋轉(zhuǎn)噴淋頭，包括安裝在旋轉(zhuǎn)接頭上的噴淋頭本體1，噴淋頭本體1包括至少N根沿旋轉(zhuǎn)接頭的徑向分布的噴淋管2，其中，N為≥3的正整數(shù)，此處，N＝3，三根噴淋管2相對的一端相互連接并連通，在三根噴淋管2的另一端上為封閉面。旋轉(zhuǎn)接頭的出液口(圖中未示出)與三根噴淋管2的連接處連通，在噴淋管2的下端面上設(shè)有間距可調(diào)節(jié)的噴嘴3，噴嘴3沿噴淋管2的軸向間隔設(shè)置，相鄰兩個噴嘴3之間的間距可調(diào)節(jié)，從而滿足不同尺寸的基板使用，噴嘴3與噴淋管2的管腔13連通，相鄰兩根噴淋管2之間的夾角為120°，旋轉(zhuǎn)接頭的進液口與濕法蝕刻機上的噴淋管連接。

本發(fā)明中，旋轉(zhuǎn)接頭可以為現(xiàn)有技術(shù)中驅(qū)動電機驅(qū)動設(shè)于噴淋頭本體1上的轉(zhuǎn)軸實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)，在此不做具體限定，旋轉(zhuǎn)接頭的轉(zhuǎn)速還可以通過可編程邏輯控制器(PLC)進行控制。

如圖2和圖3所示，噴淋管2的下端管壁上設(shè)有沿噴淋管2的軸向設(shè)置的滑槽4，噴嘴3設(shè)于滑槽4中，實現(xiàn)了噴嘴3之間的間距可調(diào)節(jié)，噴嘴3通過彈簧軟管7與噴淋管2的管腔13連通，從而實現(xiàn)了噴淋的作用，具體地，彈簧軟管7與噴淋管2的管腔13之間以及彈簧軟管7與噴嘴3之間通過管接頭連接；

在噴嘴3上還設(shè)有用于將其固定于滑槽4上的鎖緊機構(gòu)，如圖2和圖3所示，為本發(fā)明的其中一種鎖緊機構(gòu)，所述鎖緊機構(gòu)包括兩片滑片5，滑片5上設(shè)有孔，其中一塊滑片5設(shè)于滑槽4內(nèi)，另一塊滑片5設(shè)于噴淋管2的下端位于滑槽4處，兩片滑片5分別通過孔套在噴嘴3上并夾在滑槽4的兩側(cè)邊緣14上，兩片滑片5通過鎖緊螺栓6緊固與滑槽4上，噴嘴3固定于其中一塊滑片5的孔中，優(yōu)選固定于滑槽4內(nèi)的滑片5上。

所述滑片5為矩形，其長度方向沿滑槽4的軸向設(shè)置，鎖緊螺栓6設(shè)于滑片5的長邊兩側(cè)中部上。

在需要移動時，通過擰松鎖緊螺栓6，使兩片滑片5失去對滑槽4的兩側(cè)邊緣14的夾緊力后，推動噴嘴3移動至相應(yīng)位置后，擰緊鎖緊螺栓6，使兩片滑片5與滑草4的兩側(cè)邊緣14夾緊，將噴嘴3固定在滑槽4上。

如圖7和圖8所示，本發(fā)明的另一種鎖緊機構(gòu)包括截面為工字形的滑塊8，滑塊8的相對兩側(cè)具有凹槽9，凹槽9套在滑槽4的兩側(cè)邊緣14上，在凹槽9與滑槽4的兩側(cè)邊緣14相對的槽壁上設(shè)有具有彈性的彈片10，彈片10為弧形；在滑槽4的兩側(cè)邊緣14的上下兩側(cè)表面上設(shè)有沿滑槽4的軸向間隔設(shè)置的弧形坑12，彈片10分別置于弧形坑12中，通過每側(cè)上下兩個彈片10與滑槽4相同一側(cè)的邊緣上的弧形坑12接觸，使滑塊8被相對固定在滑槽4上，所述噴嘴3設(shè)于滑塊8上的通孔中。

移動噴嘴3時，只需要推動滑塊8，使彈片10與在弧形坑12的邊緣被擠壓從而離開弧形坑12，進入下一個弧形坑12，最終將滑塊8推動至相應(yīng)位置后，使彈片10進入弧形坑12中，將噴嘴3固定在滑槽4上。

在本實施例中，彈片10為具有彈性的鋼片。

如圖8所示，彈片10的固定可采用以下方式實現(xiàn)，在凹槽9的上下兩側(cè)槽壁上設(shè)有插槽11，插槽11設(shè)于每個彈片10的兩個端腳位置相對應(yīng)處，插槽11為L字形，在彈片10的兩個端腳上設(shè)有分別朝相對一端端腳彎折的彎折部101，安裝時，將彎折部101插入插槽11中，從而完成裝配。

如圖4所示，通過PLC控制旋轉(zhuǎn)接頭的交流電輸入，通過控制輸入的電流，控制轉(zhuǎn)動的速度，使蝕刻液均勻噴灑在基板15上。

如圖5所示，本實施例中，噴淋管2設(shè)有4根，相鄰兩根噴淋管2之間的夾角為90°，形成一個十字形。

如圖6所示，本實施例中，噴淋管2設(shè)有六根，相鄰兩根噴淋管2之間的夾角為60°。

本發(fā)明中的噴淋管2由PVC材料制成，可耐強酸環(huán)境。

本發(fā)明還公開了一種濕法蝕刻機，包括了上述的旋轉(zhuǎn)噴淋頭，進行要替換原濕法蝕刻機中的噴淋頭即可使用，通用性強。

雖然已經(jīng)參照特定實施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解：在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在此進行形式和細(xì)節(jié)上的各種變化。