專利名稱：超聲清洗萬(wàn)能夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明與玻璃鍍膜有關(guān)，特別是一種超聲清洗萬(wàn)能夾具，既可用于玻璃鍍膜基片的超聲清洗，也可以用于其他行業(yè)工件的超聲清洗。
背景技術(shù)：
由于玻璃鍍膜的基片在經(jīng)過(guò)切割、拋光等很多個(gè)加工工序后，會(huì)在表面留下如拋光粉等殘留物，同時(shí)在運(yùn)輸過(guò)程中也會(huì)產(chǎn)生很多污染，這些表面的污染物如果不清除干凈就很容易在薄膜中形成微缺陷?，F(xiàn)在大量實(shí)驗(yàn)表明，基片表面雜質(zhì)在薄膜中形成的微缺陷是造成薄膜激光損傷的最主要源十之一，抑制微缺陷的形成，薄膜的性能就能大大提高?；逑吹暮脡闹苯佑绊懰冎票∧さ馁|(zhì)量，特別對(duì)薄膜激光損傷閾值的提高至關(guān)重要?，F(xiàn)在鍍膜基片的清洗主要有人工擦洗和超聲清洗兩種方法。人工擦洗不但效率低，而且會(huì)在擦洗中重新造成污染，不能適應(yīng)高質(zhì)量鍍膜的要求；現(xiàn)在的超聲清洗中，有的在超聲波清洗器底鋪上紗布，直接將基片平放在上面超聲清洗，不但每次可清洗基片的數(shù)量有限，而且基片上下兩面清洗很不均勻，清洗完畢基片取出也不方便。而對(duì)于使用夾具的超聲清洗，一般對(duì)不同規(guī)格的基片就要用不同的夾具，這顯然不能滿足基片規(guī)格千變?nèi)f化的要求，造成很大的浪費(fèi)。另外，現(xiàn)在的夾具在超聲清洗最后一步用異丙醇慢拉脫水時(shí)，會(huì)在基片底部留下少許清洗液，這樣清洗液揮發(fā)后將會(huì)在基片表面留有印記。其他領(lǐng)域如精密機(jī)械，微電子等等也有很多機(jī)械零件或硅片等需要清洗，同樣也存在著和薄膜鍍膜基片超聲清洗同樣的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服上述現(xiàn)有超聲清洗中的缺點(diǎn)，提供一種超聲清洗萬(wàn)能夾具，以提高鍍膜基片超聲清洗的效果和效率，提高所鍍制的薄膜的質(zhì)量。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下一種用于超聲清洗的萬(wàn)能夾具，其特點(diǎn)是，該夾具由滑動(dòng)框架、固定框架、四根滑桿、若干夾件和一導(dǎo)水支撐棒組成，所述的滑動(dòng)框架和固定框架為具有相同尺寸的矩形框架，其四角相同位置設(shè)有圓孔，且該兩框架的上下兩外邊均設(shè)有滑槽，四根滑桿分別插入固定框架的圓孔中并固定，所述的滑動(dòng)框架通過(guò)四角圓孔套置在該滑桿上，該滑動(dòng)框架的上下端面相對(duì)于滑桿的位置共設(shè)有四個(gè)螺孔，所述的導(dǎo)水支撐棒的兩端也設(shè)有圓孔，套設(shè)在下面兩滑桿上，處于滑動(dòng)框架和固定框架之間，所述的夾件具有“[”形結(jié)構(gòu)，其背脊為凸形，兩邊具有“”形缺口槽，上下兩端有螺孔，通過(guò)緊固螺釘穿過(guò)該螺孔，可將該夾件安裝在滑動(dòng)框架或固定框架上。
所述的滑桿的形狀可為圓形、方形或其他形狀；相應(yīng)的在固定框架上也設(shè)有固定該滑桿的圓孔、方孔或其他形狀孔；所述滑桿也可以直接垂直地焊接在固定框架四角；相應(yīng)的滑動(dòng)框架上也設(shè)有套置該滑桿的圓孔、方孔或其他形狀孔。
所述的導(dǎo)水支撐棒的背脊可為方形，也可以為“∩”形或其他形狀。
本發(fā)明的技術(shù)效果1、由于本發(fā)明夾具中滑動(dòng)框架可以在滑桿上自由滑動(dòng)并固定，夾件又可沿框架的滑槽自由滑動(dòng)并固定，可實(shí)現(xiàn)二維方向連續(xù)可調(diào)，這樣對(duì)不同厚度，不同大小，不同形狀的基片均可以有效夾持；2、本夾具將使基片在豎立情況下進(jìn)行超聲清洗，基片兩個(gè)面的清洗效果相同，避免平放清洗時(shí)，兩面清洗不均勻的情況發(fā)生；此外這種基片的豎直放置比平放時(shí)所占面積大大減少，每次可以同時(shí)清洗多片基片，提高了工作效率；
3、本夾具設(shè)計(jì)了導(dǎo)水支撐棒，這樣在超聲清洗最后一步慢拉脫水時(shí)，由于液體的表面張力的作用，清洗液將會(huì)順著該棒流下，不會(huì)因?yàn)樵诨撞繗埩羯倭壳逑匆旱亩粝掠∮?，提高了清洗效果?、本夾具中的夾件可以根據(jù)需要安裝數(shù)個(gè)，可以對(duì)同樣大小的多片基片同時(shí)夾持清洗，提高工作效率；5、本夾具不但可以用于鍍膜前基片的超聲清洗，也可以用于如機(jī)械零件、微電子硅片等其他行業(yè)需要進(jìn)行工件超聲清洗的領(lǐng)域。
6、本發(fā)明裝置使用簡(jiǎn)單，操作方便。


圖1本發(fā)明超聲清洗萬(wàn)能夾具實(shí)施例之一的結(jié)構(gòu)示意2本發(fā)明滑動(dòng)框架示意3本發(fā)明夾件示意4本發(fā)明夾件在框架上安裝示意圖具體實(shí)施方式
先請(qǐng)參閱圖1，圖1是本發(fā)明超聲清洗萬(wàn)能夾具實(shí)施例之一的結(jié)構(gòu)示意圖，由圖可見(jiàn)，本發(fā)明超聲清洗萬(wàn)能夾具主要由以下幾部分組成滑動(dòng)框架1，固定框架2，滑桿3，導(dǎo)水支撐棒5和一定數(shù)量的夾件8組成?；瑒?dòng)框架1和固定框架2為尺寸相同的矩形框架，在其四角的相同位置均設(shè)有圓孔7，兩框架1、2的上下外邊緣均設(shè)有滑槽4，滑動(dòng)框架1的上下端面相對(duì)于滑桿3的位置共設(shè)有四個(gè)螺孔6，四根圓柱形滑桿3的直徑與固定框架2四角的圓孔的直徑相同，采用正公差，以便將滑桿3打入圓孔并固定在該固定框架2上，滑桿3要與固定框架2平面保持垂直，且四個(gè)滑桿3間相互平行?；瑒?dòng)框架1的四個(gè)圓孔7的直徑比滑桿3直徑略大，使滑動(dòng)框架1能夠在滑桿3上能自由滑動(dòng)。導(dǎo)水支撐棒5兩端開(kāi)有兩個(gè)圓孔，直徑與滑動(dòng)框架1四角的圓孔7的直徑相同，位于滑動(dòng)框架1和固定框架2之間，并套置于下面兩滑桿3上可自由滑動(dòng)。夾件8為“[”形結(jié)構(gòu)，如圖3所示，其背脊為凸形，兩邊具有“”形缺口9，這樣兩個(gè)夾件8合攏時(shí)正好形成一個(gè)溝槽，剛好可把基片卡在當(dāng)中，夾件8上下端均開(kāi)有螺孔10，緊固螺釘穿過(guò)該螺孔10將夾件8安裝在滑動(dòng)框架1或固定框架2上，防止夾件8脫落。
本發(fā)明超聲清洗萬(wàn)能夾具的安裝與使用方法如下本發(fā)明夾具在加工時(shí)四個(gè)圓柱形滑桿3已經(jīng)通過(guò)套置或焊接方式固定在固定框架2上，再將夾件8分別卡在固定框架2或滑動(dòng)框架1上，如圖4所示，在其上下端通過(guò)螺孔10擰入緊固螺絲，防止其脫落，并且使其在兩個(gè)框架1、2上沿滑槽4可以自由滑動(dòng)。將導(dǎo)水支撐棒5套置于下面兩滑桿3上，再把滑動(dòng)框架1穿在滑桿3上，導(dǎo)水支撐棒5置于滑動(dòng)框架1和固定框架2的正中間，并用緊固螺絲固定。根據(jù)基片的大小，調(diào)整滑動(dòng)框架1在滑桿3上的位置，確定后擰緊滑動(dòng)框架1上的緊固螺絲；根據(jù)基片的厚度，沿滑槽調(diào)整兩夾件8之間的距離，基片放好后再分別擰緊夾件8上的緊固螺絲。
如果需要同時(shí)清洗多個(gè)基片，可以在框架1、2上安裝多個(gè)夾件8。一個(gè)基片要四個(gè)夾件，兩個(gè)基片要六個(gè)夾件，以此類推。這樣就可以把裝好基片的夾具一起放入超聲波清洗器中進(jìn)行超聲清洗。
很顯然，所述滑桿3的外形結(jié)構(gòu)可為圓形、方形或其他形狀；只要相應(yīng)的在固定框架上也設(shè)有固定該滑桿的圓孔、方孔或其他形狀孔；所述滑桿也可以直接垂直地焊接在固定框架四角；相應(yīng)的滑動(dòng)框架上也設(shè)有套置該滑桿的圓孔、方孔或其他形狀孔。所述的導(dǎo)水支撐棒的背脊可為方形，也可以為“∩”形或其他形狀。選用不銹鋼作為制作材料，避免夾具在使用中受到清洗液的腐蝕。都可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，產(chǎn)生同樣的技術(shù)效果。
本發(fā)明的特點(diǎn)是利用夾持基片的夾件分別在滑桿和滑槽內(nèi)的二維移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)不同大小、不同厚度和不同規(guī)格的基片有效夾持，以便進(jìn)行超聲清洗。實(shí)驗(yàn)證明避免了現(xiàn)有夾具固定不可調(diào)的缺點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種用于超聲清洗的超聲清洗萬(wàn)能夾具，其特征在于該夾具由滑動(dòng)框架(1)、固定框架(2)、四根滑桿(3)、夾件(8)和導(dǎo)水支撐棒(5)組成，所述的滑動(dòng)框架(1)和固定框架(2)為具有相同尺寸的矩形框架，其四角相同位置設(shè)有圓孔(7)，且該框架(1、2)的上下兩外邊均設(shè)有滑槽(4)，四根滑桿(3)分別插入固定框架(2)的圓孔(7)中并固定，所述的滑動(dòng)框架(1)通過(guò)四角圓孔(7)套置在該滑桿(3)上，該滑動(dòng)框架(1)的上下端面相對(duì)于滑桿(3)的位置共設(shè)有四個(gè)螺孔(6)，所述的導(dǎo)水支撐棒(5)的兩端也設(shè)有圓孔，位于滑動(dòng)框架(1)和固定框架(2)之間，并套置于下面兩滑桿(3)上，所述的夾件(8)具有“[”形結(jié)構(gòu)，其背脊為凸形，兩邊具有“”形凹槽(9)，上下兩端有螺孔(10)，穿過(guò)該螺孔(10)的緊固螺釘將夾件(8)安裝在滑動(dòng)框架(1)或固定框架(2)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲清洗萬(wàn)能夾具，其特征在于所述的滑桿(3)的形狀可為圓形、方形或其他形狀；相應(yīng)的在固定框架(2)上也設(shè)有固定該滑桿(3)的圓孔、方孔或其他形狀孔；所述滑桿(3)也可以直接垂直地焊接在固定框架(2)四角；相應(yīng)的滑動(dòng)框架(1)上也設(shè)有套置該滑桿(3)的圓孔、方孔或其他形狀孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲清洗萬(wàn)能夾具，其特征在于所述的導(dǎo)水支撐棒(5)的背脊可為方形，也可以為“∩”形或其他形狀。
全文摘要
一種用于超聲清洗的超聲清洗萬(wàn)能夾具，由滑動(dòng)框架、固定框架、四根滑桿、若干夾件和一導(dǎo)水支撐棒組成，所述的滑動(dòng)框架和固定框架為相同的矩形框架，其四角相同位置設(shè)有圓孔，且該兩框架的上下兩外邊均設(shè)有滑槽，滑桿的一端分別與固定框架固定，所述的滑動(dòng)框架通過(guò)四角圓孔套置在該滑桿上，該滑動(dòng)框架對(duì)應(yīng)于滑桿的位置共設(shè)有四個(gè)螺孔，所述的導(dǎo)水支撐棒的兩端也設(shè)有圓孔，套設(shè)在下面兩滑桿上，處于滑動(dòng)框架和固定框架之間，多個(gè)夾件具有“[”形結(jié)構(gòu)，其背脊為凸形，上下兩端有螺孔，通過(guò)緊固螺釘可將該夾件隨意地安裝在滑動(dòng)框架或固定框架上。本發(fā)明可提高鍍膜基片超聲清洗的效果和效率，提高所鍍制的薄膜的質(zhì)量。
文檔編號(hào)B25B11/00GK1562506SQ20041001697
公開(kāi)日2005年1月12日 申請(qǐng)日期2004年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月16日
發(fā)明者張東平, 齊紅基, 尚淑珍, 范樹(shù)海, 邵建達(dá), 賀洪波, 范正修 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所