專利名稱：裁切氣體管路的方法與裝置的制作方法
裁切氣體管路的方法與裝置
技術(shù)領(lǐng)城
本發(fā)明涉及一種裁切氣體管路的方法與裝置，特別是涉及一種減少氣 體外泄的裁切氣體管路的方法與裝置。
背景技術(shù)：
隨著積體電路的技術(shù)越來越成熟，對于積體電路廠房設(shè)備規(guī)模的要求 也越來越高，而其中管路配設(shè)的復(fù)雜程度也隨之提升。舉例而言，半導(dǎo)體 制程工場中的擴(kuò)散制程、離子布植制程，與薄膜沉積制程中，常會(huì)用到種 種氣體以進(jìn)行反應(yīng)。
廠房中所使用的氣體可能包含有一般氣體，如氮?dú)?、氬氣等，也可?包含有危險(xiǎn)氣體，如具腐蝕性的氨氣、溴化氫、六氟化鎢與三氟化硼等，具 強(qiáng)氧化力的氧氣.臭氧、三氟化氮等，易燃且有毒的的硅烷、二氯硅烷
(dichlorosilane; DCS)、三氯硅烷(Tribhlorosilane; TCS)、氫氣與四乙氧基硅 烷等，或是具有毒性的氯氣、三氫化磷與氫化硼等。上述的危險(xiǎn)氣體若是 不小心外漏，將會(huì)造成人員與設(shè)備的損失。
現(xiàn)有習(xí)知的裁切氣體管路方法是為以切管器或鋸片直接鋸斷氣體管 路，雖然簡單，卻隱含些許風(fēng)險(xiǎn)。在進(jìn)行氣體管路裁切時(shí)，即使已將氣體 源關(guān)閉，管路中所殘存的氣體，仍會(huì)由切斷管路所產(chǎn)生的開口逸散漏出，若 是不小心誤切到正在使用中的管路，更會(huì)導(dǎo)致大量的氣體漏出，若是漏出 的是危險(xiǎn)氣體，則可能會(huì)導(dǎo)致人員中毒、腐蝕人員與設(shè)備，或者有爆炸的 危險(xiǎn)。因此，需要一種裁切氣體管路的方法，能在裁切氣體管路時(shí)，減少 或防止管中殘存的危險(xiǎn)氣體溢出所造成的傷害。
有鑒于上述現(xiàn)有的裁切氣體管路的方法存在的缺陷，本發(fā)明人基于從 事此類產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用， 積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新的裁切氣體管路的方法與裝置，能夠 改進(jìn)一般現(xiàn)有的裁切氣體管路的方法，使其更具有實(shí)用性，經(jīng)過不斷的研 究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)反復(fù)試作及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于，克服現(xiàn)有的裁切氣體管路的方法存在的缺陷， 而提供一種新的裁切氣體管路的方法，所要解決的技術(shù)問題是使其減少裁 切時(shí)管中殘存氣體溢出，從而更加適于實(shí)用。
本發(fā)明的另 一 目的在于，克服現(xiàn)有的裁切氣體管路的裝置存在的缺陷，
而提供一種新型結(jié)構(gòu)的裁切氣體管路的裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其 減少不慎誤切管路時(shí)，管中的危險(xiǎn)氣體溢出所造成的影響。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)
本發(fā)明提出的一種裁切氣體管路的方法，包括以下步驟選擇一氣體管路； 夾鉗或滾壓該氣體管路，以形成一頸形區(qū)間于該氣體管路；以及切割該頸 形區(qū)間，以裁切該氣體管路。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的裁切氣體管路的方法，其中所述的夾鉗或滾壓該氣體管路包含 封閉該氣體管路，以形成該頸形區(qū)間。
前述的裁切氣體管路的方法，其中所述的夾鉗或滾壓該氣體管路包含 半封閉該氣體管路，以形成該頸形區(qū)間。
前述的裁切氣體管路的方法，其中所述的氣體管路包含一氣體，其中
該氣體是于該氣體管路中流動(dòng)。
前述的裁切氣體管路的方法，其中所述的氣體是為一般氣體。 前述的裁切氣體管路的方法，其中所述的氣體是為一危險(xiǎn)氣體。 本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明 提出的一種裁切氣體管路的裝置，以裁切一氣體管路，包含 一夾鉗或滾 壓裝置，用以夾鉗或滾壓該氣體管路，并形成一頸形區(qū)間于該氣體管路； 以及一切割裝置，用以切割該頸形區(qū)間，以裁切該氣體管路。.
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。 前述的裁切氣體管路的裝置，其中所述的頸形區(qū)間是為該氣體管路的 一封閉區(qū)間。
前述的裁切氣體管路的裝置，其中所述的頸形區(qū)間是為該氣體管路的 一半封閉區(qū)間。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。由以上可知，為了 達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種裁切氣體管路的方法，包含選擇一氣體 管路，接著夾鉗或滾壓此氣體管路，以形成一頸形區(qū)間于氣體管路，以及 切割頸形區(qū)間，以裁切氣體管路。夾鉗或滾壓氣體管路的步驟，包含封閉 或半封閉此氣體管路，以形成頸形區(qū)間。氣體管路可為一金屬管路，如一 銅管路或?yàn)橐徊讳P鋼管路。氣體管路亦可為一聚氯乙烯塑膠管路。氣體管 路可包含一氣體，其中氣體是于氣體管路中流動(dòng)。氣體可為一一般氣體或 為一危險(xiǎn)氣體。危險(xiǎn)氣體可為一有毒氣體、 一易爆氣體、或具有腐蝕性。
本發(fā)明的另一實(shí)施例是為一種裁切氣體管路的裝置，以裁切一氣體管 路。裁切氣體管路的裝置包含一夾鉗或滾壓裝置與一切割裝置。夾鉗或滾 壓裝置是用以夾鉗或滾壓氣體管路，并形成一頸形區(qū)間于氣體管路，切割 裝置是用以切割頸形區(qū)間，以裁切氣體管路。
借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明裁切氣體管路的方法與裝置至少具有下列
優(yōu)點(diǎn)
借由夾鉗或滾壓氣體管路所形成的頸形區(qū)間，可有效地降低裁切氣體 管路時(shí)，管中殘存氣體漏出的情形，且可避免不慎誤切管路時(shí)，管中的氣 體，特別是危險(xiǎn)氣體外泄的狀況。如此一來，可降低裁切氣體管路時(shí)，管 中的氣體外泄對于人員及設(shè)備造成損傷的情形。
綜上所述，本發(fā)明具有上述諸多優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，其不論在方法、產(chǎn) 品結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用 及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的裁切氣體管路的方法與裝置具有增進(jìn)的突出功 效，從而更加適于實(shí)用，并具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值，誠為一新穎、進(jìn)步、 實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的 技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和 其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附 圖，詳細(xì)說明如下。
附圉說明


圖1是顯示本發(fā)明的裁切氣體管路的方法一較佳實(shí)施例的流程圖。 圖2是顯示本發(fā)明的裁切氣體管路的裝置的一夾鉗的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3是顯示本發(fā)明的裁切氣體管路的裝置的一切割裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。 100:方法 110:步驟
120:步驟 130:步驟
200:氣體管路 210:氣體
220:頸形區(qū)間 300:裁切氣體管路的裝置
310:夾鉗或滾壓裝置 320:切割裝置
具體實(shí)施例方式
以下將以圖式及詳細(xì)說明清楚說明本發(fā)明的精神，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域 中具有通常知識(shí)者在了解本發(fā)明的較佳實(shí)施例后，當(dāng)可由本發(fā)明所教示的 技術(shù)，加以改變及修飾，其并不脫離本發(fā)明的精神與范圍。
請參閱圖1所示，其是本發(fā)明的裁切氣體管路的方法一較佳實(shí)施例中 不同步驟的流程圖。方法100中的步驟110是為選擇待切的一氣體管路200, 且氣體管路200中包含一氣體210，于氣體管路200中流動(dòng)。步驟120是為 夾鉗或滾壓氣體管路200，以形成一頸形區(qū)間220于氣體管路200。接下來 的步驟130是為切割頸形區(qū)間220，以裁切氣體管路200。
氣體管路200中的氣體210是為廠房中所使用的氣體，氣體210可為
一般氣體，如氮?dú)饣驓鍤?。廠房中所使用的氣體210亦可能為一危險(xiǎn)氣體， 如為具腐蝕性的氨氣、溴化氫、六氟化鵠與三氟化硼等，或?yàn)榫邚?qiáng)氧化力 的氧氣、臭氧、三氟化氮等，或?yàn)橐妆矣卸镜牡墓柰?、二氯硅?br> (dichlorosilane; DCS)、三氯硅烷(Trichlorosilane; TCS)、氬氣與四乙氣基硅 烷等，或?yàn)榫哂卸拘缘穆葰?、三氬化磷與氬化硼等。此類的危險(xiǎn)氣體若是 在裁切時(shí)溢出的濃度過高，則可能會(huì)造成人員或設(shè)備的損傷。氣體管路200 所使用的材料可配合氣體210的特性，且較佳地為具有可產(chǎn)生形變的特性， 以形成頸形區(qū)間220。氣體管路200可為一金屬管路，如一銅管路，或?yàn)橐?不銹鋼管路，氣體管路200亦可為一塑膠管路，如一聚氯乙烯塑膠管路。
步驟120的夾鉗或滾壓氣體管路200，可包含封閉氣體管路200,以形 成頸形區(qū)間220,并借由此封閉的頸形區(qū)間220，隔絕頸形區(qū)間220兩端的 氣體210的流動(dòng)，以使進(jìn)行步騍130的裁切氣體管路200時(shí)，管內(nèi)殘存的 氣體210不會(huì)從切割處的頸形區(qū)間220溢出，以減少管內(nèi)殘存氣體210，特 別是危險(xiǎn)氣體，對于周遭環(huán)境的影響。或者，夾鉗或滾壓氣體管路200的 步驟120亦可包含半封閉此氣體管路200，以形成頸形區(qū)間220，并借由半 封閉的頸形區(qū)間220，減少于步驟130的裁切氣體管路200時(shí)，管內(nèi)殘存氣 體210流出的量，以降低危險(xiǎn)氣體對周遭的危害。若是在裁切氣體管路200 時(shí)，不慎誤切到正在使用中的氣體管路200，則可借由封閉或半封閉氣體管 路200所形成的頸形區(qū)間220,減少氣體210漏出的情形，以降低危險(xiǎn)氣體: 對人員或設(shè)備造成損傷的可能性。
請參閱圖2和圖3所示，其是本發(fā)明的裁切氣體管路的裝置的示意圖。 裁切氣體管路的裝置300包含一夾鉗或滾壓裝置310與一切割裝置320。夾 鉗或滾壓裝置310是用以夾鉗或滾壓圖1中的氣體管路200，以形成頸形區(qū) 間220于氣體管路200上，而切割裝置320是用以切割頸形區(qū)間220，以裁 切氣體管路200。
頸形區(qū)間220可為一封閉區(qū)間，以阻隔氣體管路200中的氣體210的 流動(dòng)?；蛘?，頸形區(qū)間220可為一半封閉區(qū)間，以減少氣體管路200中氣 體210的流動(dòng)，以于裁切氣體管路200時(shí)，減少管中殘存的氣體210漏出 的情形。夾鉗或滾壓裝置310可為常見的裝置，如手動(dòng)的老虎鉗、或電動(dòng) 的加壓機(jī)構(gòu)等。切割裝置320亦可為常見的裝置，如手動(dòng)或電動(dòng)的鋸片或 切管器等。
由上述本發(fā)明較佳實(shí)施例可知，應(yīng)用本發(fā)明具有下列優(yōu)點(diǎn)。借由夾鉗 或滾壓氣體管路形成的頸形區(qū)間，可有效地降低裁切氣體管路時(shí)，管中殘 存氣體漏出的情形，且可避免不慎誤切管路時(shí)，管中的氣體，特別是危險(xiǎn) 氣體外泄的狀況。如此一來，可降低裁切氣體管路時(shí)，管中的氣體外泄對 于人員及設(shè)備造成損傷的情形。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式 上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā) 明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利 用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但 凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所 作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種裁切氣體管路的方法，其特征在于其包括以下步驟選擇一氣體管路；夾鉗或滾壓該氣體管路，以形成一頸形區(qū)間于該氣體管路；以及切割該頸形區(qū)間，以裁切該氣體管路。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裁切氣體管路的方法，其特征在于其中所述的夾鉗或滾壓該氣體管路包含封閉該氣體管路，以形成該頸形區(qū)間。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裁切氣體管路的方法，其特征在于其中所述的夾鉗或滾壓該氣體管路包含半封閉該氣體管路，以形成該頸形區(qū)間。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的裁切氣體管路的方法，其特征在于其中所述的氣體管路是為一金屬管路或一塑膠管路。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的裁切氣體管路的方法，其特征在于其中所述的氣體管路包含一氣體，其中該氣體是于該氣體管路中流動(dòng)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的裁切氣體管路的方法，其特征在于其中所述的氣體是為一般氣體。
7、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的裁切氣體管路的方法，其特征在于其中所述的氣體是為一危險(xiǎn)氣體。
8、 一種裁切氣體管路的裝置，以裁切一氣體管路，其特征在于包含一夾鉗或滾壓裝置，用以夾鉗或滾壓該氣體管路，并形成一頸形區(qū)間于該氣體管路；以及一切割裝置，用以切割該頸形區(qū)間，以裁切該氣體管路。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的裁切氣體管路的裝置，其特征在于其中所述的頸形區(qū)間是為該氣體管路的一封閉區(qū)間。
10、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的裁切氣體管路的裝置，其特征在于其中所述的頸形區(qū)間是為該氣體管路的一半封閉區(qū)間。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種裁切氣體管路的方法與裝置。一種裁切氣體管路的方法，包含選擇一氣體管路，并夾鉗或滾壓此氣體管路，以形成一頸形區(qū)間于氣體管路上，接著切割頸形區(qū)間，以裁切氣體管路。頸形區(qū)間可為一封閉區(qū)間或?yàn)橐话敕忾]區(qū)間，并借由頸形區(qū)間阻隔氣體管路中一氣體的流動(dòng)，以減少裁切時(shí)，氣體管路中殘存的氣體外泄的情形。一種用以裁切氣體管路的裝置，以裁切一氣體管路，包含一夾鉗或滾壓裝置，用以夾鉗或滾壓該氣體管路，并形成一頸形區(qū)間于該氣體管路；以及一切割裝置，用以切割該頸形區(qū)間，以裁切該氣體管路。
文檔編號(hào)B26D7/08GK101172347SQ20061015036
公開日2008年5月7日 申請日期2006年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月30日
發(fā)明者劉享星, 彭建國, 洪煜堃 申請人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司