專利名稱：擴散片更換裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種擴散片更換裝置，特別涉及一種可安全、方便地更換 擴散片的裝置。
背景技術：
光刻機是集成電路加工過程中最關鍵的設備，當前，絕大多數(shù)投入使用的 是步進重復光刻機。在步進重復光刻機中，整個像場同時曝光，這種系統(tǒng)容易 設計和實現(xiàn)，但隨著市場不斷提高對大尺寸、高精度、低成本生產的需求，對 半導體設備帶來了前所未有的挑戰(zhàn)，步進重復光刻機采用一次成像技術且較大 直徑的透鏡，從而限制了步進重復光刻機向更高精度的芯片加工方向發(fā)展。
在這種情況下，研發(fā)人員開發(fā)了 一種新型的光刻機一 一步進掃描投影光刻 機。在步進掃描投影光刻機中，曝光過程與步進重復投影光刻機有所不同，光 束通過一個下狹縫并透過照明系統(tǒng)中的投影到掩模面上，掩模以設定的勻速通 過這束光，同時，硅片在透鏡的下方以相反方向運動。這種步進掃描投影光刻 機與步進重復投影光刻機相比，具有更低的變形和更大面積的像場。其中，如
圖l所示，照明系統(tǒng)一般由積分鏡l、擴散片2和變焦鏡3等光學元件組成，如 圖2所示的擴散片，該擴散片2為圓盤狀且外環(huán)面具有外螺紋5，擴散片2通過 該外螺紋5與積分鏡1的內螺紋(未示出)相互旋緊后與積分鏡1固定，而且 該擴散片2上規(guī)則分布了復數(shù)個通孔4，用于和更換裝置配合使用。如圖3所示 為照明系統(tǒng)與現(xiàn)有的擴散片更換裝置工作原理示意圖，該擴散片更換裝置由兩 個內六角扳手6組成，采用上述的六角扳手6可更換擴散片2,也就是說用新的 擴散片代替老化的擴散片使擴散片不影響光刻機的性能。該兩個內六角扳手6 可以分別設置于通過擴散片2中心成一直線的兩個通孔4上，同時用力將兩個 內六角扳手6按同一方向旋轉，比如順時針或逆時針旋轉，此時外螺紋5與積 分鏡1的內螺紋旋開或旋緊，最終可將積分鏡1與擴散片2固定或者分離，但 上述更換操作復雜。其中，如圖4所示為現(xiàn)有的擴散片更換裝置結構圖，六角扳手6由六角形狀8a的扳頭8和扳柄7組成。但是，采用兩個六角扳手6更換 擴散片2時，由于積分鏡1與變焦鏡3之間間距較小，六角扳手6容易從擴散 片2上的通孔4滑出與變焦鏡3發(fā)生碰撞，從而影響變焦鏡3的性能。
發(fā)明內容
本實用新型的目的在于提供一種擴散片更換裝置，通過該更換裝置可方便、
安全地將與積分鏡連接的擴散片更換。
為了達到所述的目的，本實用新型提供了一種擴散片更換裝置，包括柄桿，
其中，該柄桿上設置有兩個與其垂直的柄頭，該柄頭可插入擴散片的通孔中。
在上述的擴散片更換裝置，所述的柄桿還包括兩側的柄把。
在上述的擴散片更換裝置，所述的兩個柄頭位于同一平面上。
在上述的擴散片更換裝置，所述的兩個柄頭之間的距離等于通過擴散片中
心成一直線的兩個通孔之間的距離。
在上述的擴散片更換裝置，其中柄頭的直徑小于或等于通孔的直徑。
在上述的擴散片更換裝置，所述的柄桿和柄頭一體成形。
在上述的擴散片更換裝置，所述的柄桿和兩個柄頭的末端為圓柱狀。
本實用新型由于采用了上述的技術方案，使之與現(xiàn)有技術相比，具有以下
的優(yōu)點和積極效果
1. 可方便地將擴散片與積分鏡固定或者分離。
2. 可安全地拆卸或安裝擴散片，擴散片更換裝置不會與變焦鏡發(fā)生碰撞。


本實用新型的擴散片更換裝置由以下的實施例及附圖給出。
圖1為現(xiàn)有技術中光刻機的照明系統(tǒng)部分結構圖2為圖1照明系統(tǒng)中的擴散片結構圖3為照明系統(tǒng)與內現(xiàn)有的擴散片更換裝置工作原理示意圖4為現(xiàn)有的擴散片更換裝置結構圖5為本實用新型的擴散片更換裝置具體結構示意圖6為本實用新型的擴散片更換裝置與照明系統(tǒng)工作原理示意圖。'
具體實施方式
以下將對本實用新型的擴散片更換裝置作進一步的詳細描述。
照明系統(tǒng)如前所述，主要包括積分鏡l、具有復數(shù)個規(guī)則排列通孔4的擴散 片2和變焦鏡3等光學元件。圖5為本實用新型的擴散片更換裝置具體結構示 意圖，該擴散片更換裝置10主要由柄桿12和位于柄桿12上的兩個柄頭11組 成，其中柄桿12和柄頭11 一體成形，兩個柄頭11處于一個平面內且與柄桿12 垂直，柄桿12兩端具有兩個柄把9，兩個柄頭ll之間的距離等于通過擴散片2 中心成一直線的兩個通孔4之間的距離。其中，柄桿12 (或柄把9)和兩個柄 頭11的末端都為圓柱狀，柄頭11的直徑小于或等于通孔4的直徑，使柄頭11 可以伸進通孔4中。
圖6為本實用新型的擴散片更換裝置與照明系統(tǒng)工作原理示意圖，當擴散 片2和變焦鏡3要分離或固定時，將擴散片更換裝置IO伸入至擴散片2和變焦 鏡3之間，將擴散片更換裝置10的兩個柄頭11對準并伸入通過擴散片2中心 成一直線的兩個通孔4內，同時用力將柄把9按同一方向旋轉，比如順時針或 逆時針旋轉，此時擴散片2的外螺紋5與積分鏡1的內螺紋旋開或旋緊，最終 可將積分鏡1與擴散片2固定或者分離。
采用本實用新型的擴散片更換裝置可方便得將積分鏡與擴散片固定或者分 離。此外，由于本實用新型利用一體成形的擴散片更換裝置，可安全地拆卸或 安裝擴散片，擴散片更換裝置不會與變焦鏡發(fā)生碰撞。
以上介紹的僅僅是基于本實用新型的較佳實施例，并不能以此來限定本實 用新型的范圍。任何對本實用新型的裝置作本技術領域內熟知的步驟的替換、 組合、分立，以及對本實用新型實施步驟作本技術領域內熟知的等同改變或替 換均不超出本實用新型的揭露以及保護范圍。
權利要求1. 一種擴散片更換裝置，包括柄桿，其特征在于該柄桿上設置有兩個與其垂直的柄頭，該柄頭可插入擴散片的通孔中。
2、 如權利要求l所述的擴散片更換裝置，其特征在于所述的柄桿還包括 兩側的柄把。
3、 如權利要求l所述的擴散片更換裝置，其特征在于所述的兩個柄頭位 于同一平面上。
4、 如權利要求3所述的擴散片更換裝置，其特征在于所述的兩個柄頭之 間的距離等于通過擴散片中心成一直線的兩個通孔之間的距離。
5、 如權利要求4所述的擴散片更換裝置，其特征在于其中柄頭的直徑小 于或等于通孔的直徑。
6、 如權利要求1所述的擴散片更換裝置，其特征在于所述的柄桿和柄頭 一體成形。
7、 如權利要求1至6任一項權利要求所述的擴散片更換裝置，其特征在于 所述的柄^干和兩個柄頭的末端為圓柱^R。
專利摘要本實用新型涉及一種擴散片更換裝置。現(xiàn)有的擴散片更換裝置存在操作復雜、擴散片更換時更換裝置與其它光學元件發(fā)生碰撞等問題。本實用新型的用于光刻機擴散片的更換裝置，包括柄桿，其中該柄桿上設置有兩個與其垂直的柄頭。采用本實用新型的更換裝置不僅能方便地擴散片與積分鏡固定或者分離，而且擴散片更換時更換裝置不會與其它光學元件發(fā)生碰撞。
文檔編號B25B13/48GK201077041SQ200720071949
公開日2008年6月25日 申請日期2007年6月29日 優(yōu)先權日2007年6月29日
發(fā)明者偉 張, 徐敏祺, 李云鋒, 琨 王 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司