專利名稱：一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種搬運(yùn)工具，尤其涉及一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具。
背景技術(shù)：
晶圓在長(zhǎng)距離或者短距離的運(yùn)送過程中，常常以集裝箱的形式來實(shí)現(xiàn)。我 們?cè)诎徇\(yùn)集裝箱的過程中，要么用手直接搬運(yùn)，或者用小車來運(yùn)送。用手直接
搬運(yùn)，容易使晶圓的受力不均，造成晶圓的損壞，并且不利于長(zhǎng)距離的運(yùn)送； 采用小車搬運(yùn)，容易造成成本的增加。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有技術(shù)中，用手搬運(yùn)晶圓集裝箱容易造成晶圓損壞， 用小車搬運(yùn)，造成成本增加的缺點(diǎn)，提供了一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具。
一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具，包括，第一握持部、第二握持部、旋轉(zhuǎn)軸、 第一夾持部和第二夾持部，其中第一夾持部和第二夾持部的底端都包括一個(gè)勾 持部，第一夾持部和第一握持部通過旋轉(zhuǎn)軸相連接；第二握持部和第二夾持部 通過旋轉(zhuǎn)軸相連^"。
其中所述的第一握持部和第二握持部都包括一個(gè)手柄，位于握持部的頂端。
其中所述的手柄還包括一個(gè)固定套。
其中所述的第一夾持部和第二夾持部成軸對(duì)稱分布；第一握持部和第二握 持部也成軸對(duì)稱分布。
其中所述的勾持部包括一個(gè)凸起部和一個(gè)承載部，其中凸起部位于勾持部 的末端，承載部與凸起部相連。
本實(shí)用新型由于采用了以上技術(shù)，使之能實(shí)現(xiàn)晶圓集裝箱的長(zhǎng)距離或者短 距離的運(yùn)送，并且不增加成本。

圖l是本實(shí)用新型的立體圖； 圖2是本實(shí)用新型的左視圖； 圖3是本實(shí)用新型的俯視圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本使用新型一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具作詳細(xì)的描 述，如圖1、圖2、圖3所示，
包括，第一握持部l、第二握持部2、旋轉(zhuǎn)軸3、第一夾持部4和第二夾持 部5，其中第一夾持部4和第二夾持部5的底端都包括一個(gè)勾持部7，第一夾持 部4和第一握持部1通過旋轉(zhuǎn)軸3相連接；第二握持部2和第二夾持部5通過 旋轉(zhuǎn)軸3相連接，第一握持部1和第二握持部2都包括一個(gè)手柄6，位于握持部 的頂端，手柄6還包括一個(gè)固定套8。
第一夾持部4和第二夾持部5成軸對(duì)稱分布；第一握持部1和第二握持部2 也成軸對(duì)稱分布；勾持部7包括一個(gè)凸起部9和一個(gè)岸義載部10;其中凸起部9 位于勾持部7的末端，承載部10與凸起部9相連。
第一握持部1包括第一握持本體101和第二握持本體102;第二握持部2包 括第三握持本體201和第四握持本體202;、第一夾持部4包括第一夾持本體401 和第二夾持本體402;第二夾持部5包括第三夾持本體501和第四夾持本體502。
該裝置的左視圖如圖2所示，俯視圖如圖3所示，其中第一握持部1和第 二握持部2并攏起來呈一個(gè)四邊形，其中握持部手柄6到旋轉(zhuǎn)軸3的垂直距離 為108.19mm,手柄6到第一握持部l(或者第二握持部2 )拐角的距離為50.91mm， 第一握持部l拐角到第二夾持部5拐角的垂直距離為194.45mm,手柄6到鉤持 部7的垂直距離為360.37mm，夾持部(4或5 )的拐角到旋轉(zhuǎn)軸3的水平距離 為133.66mm，垂直距離為137.18mm，勾持部7的凸起部9的垂直高度為10mm, 承載部10的水平長(zhǎng)度為39.14mm,手柄6的長(zhǎng)度為120mm,第一夾持部4的拐 角和第二夾持部5的拐角之間的水平距離為266.07mm，夾持部(4或5)拐角 和手柄6之間的水平距離為126.67mm,第一夾持部4拐角和第二握持部2拐角 之間的水平距離為32.07mm。在運(yùn)送晶圓集裝箱的過程中，先將該裝置的第一握持部1和第二握持部2 分開，這樣第一夾持部4和第二夾持部5也會(huì)分開一定的距離，用該裝置的夾 持部來夾住晶圓的集裝箱，然后將第一握持部1和第二握持部2向中間靠攏， 這樣第一夾持部4和第二夾持部5就能牢牢的抓住集裝箱，其中夾持部中的凸 起部9和承載部10能起到固定集裝箱的作用。
為防止集裝箱在運(yùn)送的過程中滑落，在握持部的手柄上有一個(gè)固定套，來 固定握持部上的手柄，其中固定套先固定在一個(gè)手柄上，當(dāng)夾持部將集裝箱卡 牢固后，固定套將另外的一個(gè)手柄也固定好。這樣在集裝箱的運(yùn)送過程中，該 工具能緊緊地抓住集裝箱，有效的防止集裝箱脫落，而且也能提高工作效率， 降低成本。
權(quán)利要求1、一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具，其特征在于，包括，第一握持部(1)、第二握持部(2)、旋轉(zhuǎn)軸(3)、第一夾持部(4)和第二夾持部(5)，其中第一夾持部(4)和第二夾持部(5)的底端都包括一個(gè)勾持部(7)，第一夾持部(4)和第一握持部(1)通過旋轉(zhuǎn)軸(3)相連接；第二握持部(2)和第二夾持部(5)通過旋轉(zhuǎn)軸(3)相連接。
2、 如權(quán)利要求l所述的一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具，其特征在于，所述的第一 握持部(1)和第二握持部(2)都包括一個(gè)手柄(6)，位于握持部的頂端。
3、 如權(quán)利要求2所述的一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具，其特征在于，所述的手柄 (6)還包括一個(gè)固定套(8)。
4、 如權(quán)利要求1所述的一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具，其特征在于，所述的第一 夾持部(4)和第二夾持部(5)成軸對(duì)稱分布；第一握持部(1)和第二握持部(2)也成軸對(duì)稱分布。
5、 如權(quán)利要求l所述的一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具，其特征在于，所述的勾持 部(7)包括一個(gè)凸起部(9)和一個(gè)承載部(10),其中凸起部(9)位于勾持 部(7)的末端，承載部(10)與凸起部(9)相連。
專利摘要一種晶圓集裝箱的搬運(yùn)工具，包括，第一握持部(1)、第二握持部(2)、旋轉(zhuǎn)軸(3)、第一夾持部(4)和第二夾持部(5)，其中第一夾持部(4)和第二夾持部(5)的底端都包括一個(gè)勾持部(7)，第一夾持部(4)和第一握持部(1)通過旋轉(zhuǎn)軸(3)相連接；第二握持部(2)和第二夾持部(5)通過旋轉(zhuǎn)軸(3)相連接。本實(shí)用新型不但能提高搬運(yùn)晶圓的效率，而且不增加成本。
文檔編號(hào)B25J15/00GK201161384SQ20082005503
公開日2008年12月10日 申請(qǐng)日期2008年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月24日
發(fā)明者呂秋玲, 斌 楊, 楊洪春, 郭瑩瑩 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司