專利名稱：夾具及其切割裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種夾具及其切割裝置，具體涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光中 應(yīng)用的支撐膜墊片的夾具及其切割裝置。
背景技術(shù)：
在化學(xué)機(jī)械拋光(CMP) "i殳備中，其中研磨頭上包括有支撐膜(Membrane S叩port)、需要研磨的硅片以及壓力調(diào)整裝置等。硅片被氣體壓力吸附于支 撐膜之上，通常為了實(shí)現(xiàn)硅片和支撐膜之間的壓力緩沖，會(huì)在支撐膜和硅片 之間放置一層用于壓力緩沖的支撐膜墊片(Membrane Support Pad )。其中支 撐膜墊片 一般是塑料等材料制成，具有易切割的特點(diǎn)。
如圖1所示，支撐膜1中間有若干圓孔，硅片可以通過圓孔吸附在支撐 膜1上。圖2所示為支撐膜墊片2，中間同樣具有若干圓孔。結(jié)合圖1和圖2 所示，其中支撐膜上面的定位孔12與支撐膜墊片上面的定位孔22形狀和尺 寸相同，其位置一一對(duì)應(yīng)。在硅片吸附于支撐膜l之前，需要把支撐膜墊片2 通過定位孔對(duì)準(zhǔn)粘附到支撐膜l上。當(dāng)前的支撐膜墊片產(chǎn)品中，支撐膜墊片2 通過雙層塑料膜粘貼包住，其中支撐膜墊片的圓周邊緣部分由于在粘附安裝 之前會(huì)受空氣的影響而性能變差，所以支撐膜墊片2的直徑一4義制造成比支 撐膜1的直徑大。因此，粘附后需要一個(gè)對(duì)支撐膜墊片2多余圓周部分切割 去除的過程。當(dāng)前晶圓廠中，主要是在支撐膜墊片粘附于支撐膜以后通過刀片手工切 割，效率相對(duì)較低，切割后的圓周不平滑，并且可能會(huì)對(duì)支撐膜造成劃傷。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題是提供一種快速高效的用于支撐膜墊片切 割的夾具及其切割裝置。
本實(shí)用新型所提供的一種夾具，用于裝夾粘附在支撐膜上的支撐膜墊片， 所述夾具包括第二夾板、置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第一夾 板、以及穿通第一夾板和第二夾板的定位柱，第一夾板和第二夾板之間用于 裝夾支撐膜墊片。
其中，第一夾板作為壓板，第二夾板作為底板；第二夾板為圓形，其直 徑大于所述第一夾板的直徑；所述第一夾板和第二夾板中同時(shí)設(shè)置有兩個(gè)或 兩個(gè)以上的定位孔，其孔的形狀、大小與位置與支撐膜墊片中的定位孔的形 狀、大小與位置相同；定位柱為兩個(gè)或者兩個(gè)以上，通過定位柱兩端的螺母，
對(duì)第一夾板和第二夾板進(jìn)行固定。
根據(jù)對(duì)本實(shí)用新型提供的夾具，本實(shí)用新型進(jìn)一步提供一種用于切割粘
附在支撐膜上的支撐膜墊片的切割裝置，所述切割裝置包括 支撐板；
置于支撐板上第二夾板；
置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第 一 夾板； 固定于支撐板上，并穿通第一夾板和第二夾板的定位柱； 與支撐板相連接的機(jī)械手臂； 以及與機(jī)械手臂連接用于切割的刀具。 其中，所述第二夾板為圓形，其直徑大于所述第一夾板的直徑；所述第一夾板和第二夾板中設(shè)置有兩個(gè)或兩個(gè)以上定位孔，其孔的形狀、大小與位 置與支撐膜墊片中的定位孔的形狀、大小與位置相同；所述定位柱為兩個(gè)或 者兩個(gè)以上，定位柱一端通過螺紋連接方式固定于支撐板上，另一端通過螺
母固定第一夾板和第二夾板于支撐板上；機(jī)械手臂的一端與支撐板連接，另 一端與刀具連接。
本實(shí)用新型的技術(shù)效果是由于第一夾板和第二夾板上的定位孔與支撐 膜墊片中的定位孔的形狀與位置相同，夾具中的定位柱可以依次穿通第一夾 板、支撐研磨墊和第二夾板，通過支撐柱兩端的螺紋固定，支撐研磨墊裝夾 固定于第一夾板和第二夾板之間。沿著第一夾板的圓周對(duì)支撐研磨墊進(jìn)行切 割，可以切割出與支撐膜形狀相同的支撐研磨墊。
本實(shí)用新型提供的夾具，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)支撐膜墊片的固定裝夾。本實(shí)用新 型所提供的切割裝置，對(duì)固定裝夾后的支撐膜墊片可以切割出與支撐膜形狀 相同的支撐研磨墊。切割裝置結(jié)構(gòu)筒單，切割方便，效率高，并且能夠避免 切割時(shí)的對(duì)支撐膜造成劃傷。


圖1為現(xiàn)有^t支術(shù)中的一種支撐膜； 圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的一種支撐膜墊片；
圖3為本實(shí)用新型所提供的一種夾具的具體實(shí)施例的示意圖； 圖4為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例的夾具的應(yīng)用示意圖； 圖5為一種切割裝置的具體實(shí)施例的示意圖； 圖6為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例的切割裝置應(yīng)用示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，
以下結(jié)合附圖對(duì)本 實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描迷。 具體實(shí)施例一
圖3所示為本實(shí)用新型所提供的一種夾具的具體實(shí)施例的示意圖。夾具
應(yīng)用于如圖2所示的支撐研磨墊的裝夾。如圖3所示，夾具主要包括壓板4、 底板5以及穿通于壓板與底板之間的定位柱6，壓板4位于底板5之上。進(jìn)一 步結(jié)合圖l所示支撐膜l,壓板4呈圓形狀，其直徑與支撐膜1直徑相同；底 板5呈圓形狀，其直徑大于壓板4的直徑，本實(shí)施例中，底板5的直徑比壓 板4的直徑大lcm。 結(jié)合圖2所示支撐研磨墊2，壓板和底板中同時(shí)開兩個(gè) 定位孔，其孔的形狀與位置與支撐膜墊片2中的定位孔22的形狀與位置相同。 兩個(gè)定位柱6穿過壓板4和底板5中的孔，兩端通過螺母(圖中未標(biāo)出)固 定，從而能夠?qū)崿F(xiàn)壓板和底板之間固定。
圖4為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例的夾具應(yīng)用示意圖。如圖4所示， 支撐膜墊片置于壓板4和底板5之間。結(jié)合圖2所示支撐膜墊片2，其與圖l 所示的支撐膜1的形狀區(qū)別在于支撐膜墊片2的直徑比支撐膜1的直徑大。 兩個(gè)定位柱6分別穿過支撐膜墊片2的定位孔22，兩端通過螺母(圖中未標(biāo) 出)固定，實(shí)現(xiàn)壓板5和底板4對(duì)支撐膜墊片2的裝夾定位。由于支撐膜墊 片2的直徑大于壓板4和底板5的直徑，露于夾具之外的支撐膜墊片2部分 可以方l更地通過刀具切割。
具體實(shí)施例二
圖5所示為本實(shí)用新型所提供的一種切割裝置的具體實(shí)施例的示意。切 割裝置應(yīng)用于如圖2所示的支撐研磨墊的切割。如圖5所示，該專用切割裝 置包括支撐板3、壓板4、底板5、定位柱6、機(jī)械手臂7以及刀具8。支撐板 3水平放置，底板5置于支撐版3之上，壓板4置于底板5之上，機(jī)械手臂7與支撐板3連接，機(jī)械手臂7的另一端與刀具S連接，兩個(gè)定位柱6通過螺 紋與支撐板3固定連接。進(jìn)一步結(jié)合圖1和圖2所示支撐膜1，其中壓板4為 圓形的，其直徑與支撐膜1直徑相等，底板5的直徑大于壓板4的直徑；壓 板4和底板5中同時(shí)開兩個(gè)定位孔，用于定位柱6的穿通定位，其孔的形狀 與位置與支撐膜墊片2中的定位孔22的形狀與位置相同。兩個(gè)定位柱6穿過 壓板4和底板5中的孔，上端通過螺母(圖中未標(biāo)出)固定，從而能夠?qū)崿F(xiàn) 壓板4和底板5之間固定。機(jī)械手臂7帶動(dòng)刀具8運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)支撐膜 墊片的切割。
圖6為本實(shí)用新型所提供具體實(shí)施例的切割裝置應(yīng)用示意圖。如圖6所 示，支撐膜墊片置于壓板4和底板5之間。先將支撐板3水平放置，然后將 定位柱6通過螺紋固定于支撐版3上，底板5穿過定位柱6放置在支撐板3 之上，支撐膜墊片2穿過定位柱6放置在底板4之上，壓板4穿過定位柱6 放置在底板5之上，然后通過螺母(圖中未標(biāo)出)固定，從而支撐膜墊片2 裝夾于壓板4和底板5之間。露于夾具之外的支撐膜墊片2部分通過機(jī)械手 臂上的刀具8切割。切割完成以后，松開螺母(圖中未標(biāo)出)，拿出支撐膜墊 片2，其具有和支撐膜l相同的形狀，進(jìn)一步把支撐膜墊片2定位粘附于支撐 膜1上。
在不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下還可以構(gòu)成許多有很大差 別的實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，除了如所附的權(quán)利要求所限定的，本實(shí)用新型不限 于在說明書中所述的具體實(shí)施例。
權(quán)利要求1. 一種夾具，用于裝夾粘附在支撐膜上的支撐膜墊片，其特征在于包括第二夾板、置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第一夾板、以及穿通第一夾板和第二夾板的定位柱，第一夾板和第二夾板之間用于裝夾支撐膜墊片。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于所述于第二夾板為圓形，其直徑 大于或等于所述第一夾板的直徑。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的夾具，其特征在于所述第一夾板和第二夾板中設(shè)有 定位孔，其孔的形狀、大小與位置與支撐膜墊片中的定位孔的形狀、大小 與位置相同。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于所述定位柱可以通過螺母對(duì)第一 夾板和第二夾板進(jìn)行固定。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于所述定位柱為兩個(gè)或者兩個(gè)以上。
6. —種切割裝置，用于切割粘附在支撐膜上的支撐膜墊片，其特征在于包括支撐板；置于支撐板上第二夾板；置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第 一 夾板； 固定于支撐板上，并穿通第一夾板和第二夾板的定位柱； 與支撐板相連接的機(jī)械手臂； 以及與機(jī)械手臂連接用于切割的刀具。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的切割裝置，其特征在于第二夾板為圓形，其直徑大 于所述第一夾板的直徑。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的切割裝置，其特征在于所述第一夾板和第二夾板中 具有定位孔，其孔的形狀、大小與位置與支撐膜墊片中的定位孔的形狀、大小與位置相同。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的切割裝置，其特征在于所定位柱通過螺紋連接方式固定于支撐板上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的切割裝置，其特征在于所述定位柱通過螺母固定第 一夾板和第二夾板于支撐板上。
11. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的切割裝置，其特征在于所述定位柱為兩個(gè)或者兩個(gè) 以上。
專利摘要本實(shí)用新型所提供的一種夾具及其切割裝置，用于裝夾或切割粘附在支撐膜上的支撐膜墊片。所述夾具主要包括第二夾板、置于第二夾板上的直徑與所述支撐膜相同的第一夾板、以及穿通第一夾板和第二夾板的定位柱，第一夾板和第二夾板之間用于裝夾支撐膜墊片。所述夾具可以實(shí)現(xiàn)對(duì)支撐膜墊片的裝夾固定。根據(jù)所述夾具進(jìn)行改進(jìn)形成的一種切割裝置，能把支撐膜墊片切割成與支撐膜相同形狀，具有切割方便、效率高、能夠避免切割時(shí)的對(duì)支撐膜造成劃傷的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)B26D7/01GK201257682SQ20082015164
公開日2009年6月17日 申請(qǐng)日期2008年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月5日
發(fā)明者弓艷霞, 王永華 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司