專(zhuān)利名稱(chēng)：驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置及具有該裝置的固晶機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及固晶機(jī)，尤其是涉及固晶機(jī)中的驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置及具有該裝置 的固晶機(jī)。
背景技術(shù)：
固晶機(jī)是生產(chǎn)發(fā)光二極管的重要設(shè)備，其固晶過(guò)程主要包括點(diǎn)膠、取晶和放晶。在 取晶工藝中，固晶機(jī)的取晶臂將晶片從晶圓上自動(dòng)取放到基板上，并且準(zhǔn)確放置，該工藝過(guò) 程對(duì)固晶品質(zhì)有決定性的影響。傳統(tǒng)的固晶機(jī)取晶臂的驅(qū)動(dòng)控制一般采用皮帶傳動(dòng)方式驅(qū)動(dòng)馬達(dá)帶動(dòng)皮帶傳 動(dòng)，從而帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)取晶臂。此種方式，因取晶臂旋轉(zhuǎn)時(shí)速度較高，皮帶及皮帶輪容易磨損，而 且皮帶磨出的物質(zhì)容易丟進(jìn)固晶產(chǎn)品，對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)造成較大影響。同時(shí)，皮帶傳動(dòng)整體結(jié)構(gòu) 大，且驅(qū)動(dòng)精確度低，易造成取晶臂的漏晶率高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)固晶機(jī)取晶臂采用皮帶傳動(dòng)導(dǎo)致皮帶易磨損、影響 產(chǎn)品品質(zhì)及易造成取晶臂的漏晶率高的技術(shù)問(wèn)題，提供了一種驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置及具有該 裝置的固晶機(jī)。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為設(shè)計(jì)一種驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝 置，包括一主座，所述主座包括一底座和連接在底座上的上座；設(shè)置在主座上的驅(qū)動(dòng)取晶臂 旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和驅(qū)動(dòng)取晶臂上下運(yùn)動(dòng)的上下驅(qū)動(dòng)裝置；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括一固定在主座上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)；—豎直設(shè)置的主軸，其上端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接；一水平設(shè)置的旋轉(zhuǎn)臂，其一端與所述主軸的下端連接；一水平設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臂下方的連桿；一連接旋轉(zhuǎn)臂另一端和連桿一端的第一連接軸；一大軸承，其具有一固定在主座底座上外圈和可相對(duì)外圈轉(zhuǎn)動(dòng)的內(nèi)圈；一固定在大軸承內(nèi)圈上且位于連桿下方的搖臂；一連接所述搖臂和連桿另一端的第二連接軸；一設(shè)于所述內(nèi)圈中、可隨內(nèi)圈轉(zhuǎn)動(dòng)且可相對(duì)內(nèi)圈上下運(yùn)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，其下 端設(shè)有連接取晶臂的連接端；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)所述主軸、旋轉(zhuǎn)臂、連桿和搖臂轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌轉(zhuǎn) 動(dòng)。所述直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌與內(nèi)圈之間設(shè)有鋼珠，所述鋼珠嵌入所述內(nèi)圈的內(nèi)壁中，所述 直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌周面設(shè)有上下方向的導(dǎo)槽，所述鋼珠部分收容于所述到導(dǎo)槽內(nèi)且可與所述導(dǎo) 槽相對(duì)上下運(yùn)動(dòng)。所述第一連接軸和第二連接軸與所述連桿均為軸承連接。[0018]所述上下驅(qū)動(dòng)裝置包括一升降電機(jī)；一設(shè)置于直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上部的升降碟；一端 與升降電機(jī)相連且另一端通過(guò)軸承安裝于升降碟上的偏心軸；升降電機(jī)帶動(dòng)偏心軸轉(zhuǎn)動(dòng)， 偏心軸推動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌在大軸承內(nèi)圈中上下運(yùn)動(dòng)。所述直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌在升降碟與搖臂之間還套有一彈簧。本實(shí)用新型提供了一種具有驅(qū)動(dòng)取晶臂裝置的固晶機(jī)，包括一取晶臂和驅(qū)動(dòng)取晶 臂的裝置，所述驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置包括包括一主座，其包括一底座和連接在底座上的上 座；設(shè)置在主座上的驅(qū)動(dòng)取晶臂旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和驅(qū)動(dòng)取晶臂上下運(yùn)動(dòng)的上下驅(qū)動(dòng)裝 置；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括一固定在主座上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)；一豎直設(shè)置的主軸，其上端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接；一水平設(shè)置的旋轉(zhuǎn)臂，其一端與所述主軸的下端連接；一水平設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臂下方的連桿；一連接旋轉(zhuǎn)臂另一端和連桿一端的第一連接軸；一大軸承，其具有一固定在主座底座上外圈和可相對(duì)外圈轉(zhuǎn)動(dòng)的內(nèi)圈；—固定在大軸承內(nèi)圈上且位于連桿下方的搖臂；一連接所述搖臂和連桿另一端的第二連接軸；一設(shè)于所述內(nèi)圈中、可隨內(nèi)圈轉(zhuǎn)動(dòng)且可相對(duì)內(nèi)圈上下運(yùn)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，其下 端與取晶臂固定連接；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)所述主軸、旋轉(zhuǎn)臂、連桿和搖臂轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌轉(zhuǎn) 動(dòng)。所述直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌與內(nèi)圈之間設(shè)有鋼珠，所述鋼珠嵌入所述內(nèi)圈的內(nèi)壁中，所述 直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌周面設(shè)有上下方向的導(dǎo)槽，所述鋼珠部分收容于所述到導(dǎo)槽內(nèi)且可與所述導(dǎo) 槽相對(duì)上下運(yùn)動(dòng)。所述第一連接軸和第二連接軸與所述連桿均為軸承連接。所述上下驅(qū)動(dòng)裝置包括一升降電機(jī)；一設(shè)置于直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上部的升降碟；一端 與升降電機(jī)相連且另一端通過(guò)軸承安裝于升降碟上的偏心軸；升降電機(jī)帶動(dòng)偏心軸轉(zhuǎn)動(dòng)， 偏心軸推動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌在大軸承內(nèi)圈中上下運(yùn)動(dòng)。所述直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌在升降碟與搖臂之間還套有一彈簧。本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置通過(guò)設(shè)置一旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和上下驅(qū)動(dòng)裝置來(lái)帶動(dòng) 取晶臂轉(zhuǎn)動(dòng)和上下運(yùn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)旋轉(zhuǎn)電機(jī)依次帶動(dòng)主軸、旋轉(zhuǎn)臂、連桿、搖臂轉(zhuǎn) 動(dòng)，從而帶動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌轉(zhuǎn)動(dòng)，在直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌下端連接上取晶臂時(shí)，即可使取晶臂在旋 轉(zhuǎn)電機(jī)的控制下旋轉(zhuǎn)，從而取代了傳統(tǒng)的皮帶傳動(dòng)，不僅提高產(chǎn)品的品質(zhì)，而且通過(guò)旋轉(zhuǎn)電 機(jī)的精確控制，降低了取晶臂的漏晶率。

下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，其中圖1是本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置和取晶臂的立體組合圖；圖2是本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置和取晶臂的立體分解圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參見(jiàn)圖1和圖2，本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置包括主座1、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置2和 上下驅(qū)動(dòng)裝置3。其中，主座1包括上座11和底座12。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置2包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)21、 主軸22、旋轉(zhuǎn)臂23、第一連接軸對(duì)、連桿25、第二連接軸沈、搖臂27、大軸承28和直線運(yùn)動(dòng) 導(dǎo)軌29。其中，旋轉(zhuǎn)電機(jī)21固定在上座11的上部，其轉(zhuǎn)軸朝下設(shè)置。主軸22豎直設(shè)置，其 一端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)21連接，另一端插入旋轉(zhuǎn)臂23左端的連接孔231與旋轉(zhuǎn)臂23連接。旋轉(zhuǎn) 臂23用于隨主軸轉(zhuǎn)動(dòng)而產(chǎn)生轉(zhuǎn)矩帶動(dòng)后續(xù)的轉(zhuǎn)動(dòng)部件轉(zhuǎn)動(dòng)，其右端為用于與第一連接軸 M上端連接的連接孔232。連桿25同樣用于產(chǎn)生轉(zhuǎn)矩帶動(dòng)后續(xù)的轉(zhuǎn)動(dòng)部件轉(zhuǎn)動(dòng)，其左端為 用于與第二連接軸26上端連接的連接孔251，右端為用于與第一連接軸對(duì)下端連接的連接 孔 252。第一連接軸M和第二連接軸沈與連桿25連接均為軸承連接，即第一連接軸的下 端和第二連接軸的上端分別設(shè)有一軸承241和軸承沈1。大軸承28包括包括固定連接在底座12上的外圈281和可相對(duì)外圈轉(zhuǎn)動(dòng)的內(nèi)圈 282。搖臂27與軸承的內(nèi)圈通過(guò)螺釘固定連接，其外端設(shè)有一與第二連接軸沈連 接的連接孔271，第二連接軸沈插入所述連接孔271連接第二連接軸沈和搖臂27。直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四設(shè)置在大軸承觀的內(nèi)圈觀2中，且可在內(nèi)圈觀2中上下運(yùn)動(dòng)。 直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四與內(nèi)圈282之間設(shè)有鋼珠，所述鋼珠嵌入大軸承觀的內(nèi)圈觀2的內(nèi)壁中， 直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四上設(shè)有上下方向的導(dǎo)槽，所述鋼珠的一部分收容于所述導(dǎo)槽內(nèi)，從而可使 直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌相對(duì)內(nèi)圈上下運(yùn)動(dòng)，同時(shí)可在內(nèi)圈旋轉(zhuǎn)時(shí)，嵌入內(nèi)圈的鋼珠隨之旋轉(zhuǎn)，從而鋼 珠帶動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四旋轉(zhuǎn)。直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四的下端通過(guò)連接端291與取晶臂8固定連 接，從而在直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)。當(dāng)然，也可以采用其他結(jié)構(gòu)來(lái)使直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌可在內(nèi)圈觀2的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，又可 在內(nèi)圈觀2中上下運(yùn)動(dòng)，如，在內(nèi)圈中設(shè)置一凹陷的鍵槽，而在直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌與所述鍵槽相 應(yīng)位置設(shè)置一突出的鍵，鍵插入鍵槽內(nèi)并可相對(duì)上下運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌即可在 內(nèi)圈的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，又可在內(nèi)圈中上下運(yùn)動(dòng)的目的。上下驅(qū)動(dòng)裝置3包括升降電機(jī)31、偏心軸32、軸承33、升降碟34。其中，升降電機(jī) 31固定在主座1的上座11的側(cè)面，其水平設(shè)置。偏心軸32 —端與升降電機(jī)31連接，另一 端通過(guò)一軸承33壓在升降碟34上與升降碟34連接。升降碟34設(shè)置在直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四 的上部，其凸出旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面以承接所述軸承33。升降電機(jī)31轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，偏心軸32隨之轉(zhuǎn)動(dòng)，由于偏心軸32的偏心，從而產(chǎn)生一作用 在升降碟上的上下方向的作用力推動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四上下運(yùn)動(dòng)。直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四在升降 碟34與搖臂27之間還套有一彈簧35，以調(diào)節(jié)取晶臂8的高度。本實(shí)用新型的工作過(guò)程為旋轉(zhuǎn)電機(jī)21工作時(shí)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)21帶動(dòng)主軸22轉(zhuǎn)動(dòng)，在 主軸帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)臂23轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)臂23通過(guò)第一連接軸M帶動(dòng)連桿25轉(zhuǎn)動(dòng)，連桿25通過(guò)第 二連接軸26帶動(dòng)搖臂27轉(zhuǎn)動(dòng)，大軸承觀的內(nèi)圈282隨搖臂27的轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，嵌入內(nèi)圈的 鋼珠隨內(nèi)圈一起轉(zhuǎn)動(dòng)，鋼珠帶動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)取晶臂8轉(zhuǎn)動(dòng)。由于在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置中，通過(guò)旋轉(zhuǎn)臂和連桿的轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)驅(qū)動(dòng)搖臂轉(zhuǎn)動(dòng)，全部通過(guò)連桿機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)傳遞力，效率較高。升降電機(jī)31工作時(shí)，升降電機(jī)31帶動(dòng)偏心軸32隨之轉(zhuǎn)動(dòng)，由于偏心軸32的偏 心，從而產(chǎn)生一作用在升降碟上的上下方向的作用力推動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌四上下運(yùn)動(dòng)，從而 帶動(dòng)取晶臂8上下運(yùn)動(dòng)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和上下驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)取晶臂8的轉(zhuǎn)動(dòng)和上下運(yùn) 動(dòng)。由于設(shè)計(jì)了新的驅(qū)動(dòng)裝置，采用連桿機(jī)構(gòu)傳動(dòng)取代了傳統(tǒng)的皮帶傳動(dòng)，從而不會(huì)產(chǎn)生皮 帶磨損物質(zhì)混入固晶產(chǎn)品，對(duì)產(chǎn)品的品質(zhì)不會(huì)造成影響，同時(shí)，采用本設(shè)計(jì)的連桿機(jī)構(gòu)提高 了驅(qū)動(dòng)精確度，降低了取晶臂的漏晶率。本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置可用于各種固晶機(jī)，可以高速、精確地控制和定位 固晶機(jī)的取晶臂。
權(quán)利要求1.一種驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置，包括一主座，所述主座包括一底座和連接在底座上的上座； 設(shè)置在主座上的驅(qū)動(dòng)取晶臂旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和驅(qū)動(dòng)取晶臂上下運(yùn)動(dòng)的上下驅(qū)動(dòng)裝置； 其特征在于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括一固定在主座上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)；一豎直設(shè)置的主軸，其上端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接；一水平設(shè)置的旋轉(zhuǎn)臂，其一端與所述主軸的下端連接；一水平設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臂下方的連桿；一連接旋轉(zhuǎn)臂另一端和連桿一端的第一連接軸；一大軸承，其具有一固定在主座底座上外圈和可相對(duì)外圈轉(zhuǎn)動(dòng)的內(nèi)圈；一固定在大軸承內(nèi)圈上且位于連桿下方的搖臂；一連接所述搖臂和連桿另一端的第二連接軸；一設(shè)于所述內(nèi)圈中、可隨內(nèi)圈轉(zhuǎn)動(dòng)且可相對(duì)內(nèi)圈上下運(yùn)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，其下端設(shè) 有連接取晶臂的連接端；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)所述主軸、旋轉(zhuǎn)臂、連桿和搖臂轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置，其特征在于所述直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌與內(nèi)圈 之間設(shè)有鋼珠，所述鋼珠嵌入所述內(nèi)圈的內(nèi)壁中，所述直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌周面設(shè)有上下方向的 導(dǎo)槽，所述鋼珠部分收容于所述到導(dǎo)槽內(nèi)且可與所述導(dǎo)槽相對(duì)上下運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置，其特征在于所述第一連接軸和第二連 接軸與所述連桿均為軸承連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置，其特征在于所述上下驅(qū)動(dòng)裝置包括一 升降電機(jī)；一設(shè)置于直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上部的升降碟；一端與升降電機(jī)相連且另一端通過(guò)軸承 安裝于升降碟上的偏心軸；升降電機(jī)帶動(dòng)偏心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，偏心軸推動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌在大軸承 內(nèi)圈中上下運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置，其特征在于所述直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌在升降 碟與搖臂之間還套有一彈簧。
6.一種具有驅(qū)動(dòng)取晶臂裝置的固晶機(jī)，包括一取晶臂和驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置，所述驅(qū)動(dòng) 取晶臂的裝置包括包括一主座，其包括一底座和連接在底座上的上座；設(shè)置在主座上的 驅(qū)動(dòng)取晶臂旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和驅(qū)動(dòng)取晶臂上下運(yùn)動(dòng)的上下驅(qū)動(dòng)裝置；其特征在于所 述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括一固定在主座上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)；一豎直設(shè)置的主軸，其上端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接；一水平設(shè)置的旋轉(zhuǎn)臂，其一端與所述主軸的下端連接；一水平設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臂下方的連桿；一連接旋轉(zhuǎn)臂另一端和連桿一端的第一連接軸；一大軸承，其具有一固定在主座底座上外圈和可相對(duì)外圈轉(zhuǎn)動(dòng)的內(nèi)圈；一固定在大軸承內(nèi)圈上且位于連桿下方的搖臂；一連接所述搖臂和連桿另一端的第二連接軸；一設(shè)于所述內(nèi)圈中、可隨內(nèi)圈轉(zhuǎn)動(dòng)且可相對(duì)內(nèi)圈上下運(yùn)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，其下端與 取晶臂固定連接；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)所述主軸、旋轉(zhuǎn)臂、連桿和搖臂轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌轉(zhuǎn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有驅(qū)動(dòng)取晶臂裝置的固晶機(jī)，其特征在于所述直線運(yùn)動(dòng) 導(dǎo)軌與內(nèi)圈之間設(shè)有鋼珠，所述鋼珠嵌入所述內(nèi)圈的內(nèi)壁中，所述直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌周面設(shè)有 上下方向的導(dǎo)槽，所述鋼珠部分收容于所述到導(dǎo)槽內(nèi)且可與所述導(dǎo)槽相對(duì)上下運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有驅(qū)動(dòng)取晶臂裝置的固晶機(jī)，其特征在于所述第一連接 軸和第二連接軸與所述連桿均為軸承連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有驅(qū)動(dòng)取晶臂裝置的固晶機(jī)，其特征在于所述上下驅(qū)動(dòng) 裝置包括一升降電機(jī)；一設(shè)置于直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上部的升降碟；一端與升降電機(jī)相連且另一 端通過(guò)軸承安裝于升降碟上的偏心軸；升降電機(jī)帶動(dòng)偏心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，偏心軸推動(dòng)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo) 軌在大軸承內(nèi)圈中上下運(yùn)動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的具有驅(qū)動(dòng)取晶臂裝置的固晶機(jī)，其特征在于所述直線運(yùn)動(dòng) 導(dǎo)軌在升降碟與搖臂之間還套有一彈簧。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種驅(qū)動(dòng)取晶臂的裝置，包括一主座，所述主座包括一底座和連接在底座上的上座；設(shè)置在主座上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置和上下驅(qū)動(dòng)裝置；所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置包括一旋轉(zhuǎn)電機(jī)；一主軸，其上端與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接；一水平設(shè)置的旋轉(zhuǎn)臂，其一端與所述主軸的下端連接；一水平設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臂下方的連桿；一連接旋轉(zhuǎn)臂另一端和連桿一端的第一連接軸；一大軸承，其具有一固定在主座底座上外圈和可相對(duì)外圈轉(zhuǎn)動(dòng)的內(nèi)圈；一固定在大軸承內(nèi)圈上且位于連桿下方的搖臂；一連接所述搖臂和連桿另一端的第二連接軸；一設(shè)于所述內(nèi)圈中、可隨內(nèi)圈轉(zhuǎn)動(dòng)且可相對(duì)內(nèi)圈上下運(yùn)動(dòng)的直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌。本實(shí)用新型可用于各種固晶機(jī)。
文檔編號(hào)B25J13/00GK201918370SQ201020629559
公開(kāi)日2011年8月3日 申請(qǐng)日期2010年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月29日
發(fā)明者曹杰康 申請(qǐng)人:先進(jìn)光電器材(深圳)有限公司