專利名稱：柔性超聲引線鍵合夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種超聲引線鍵合夾具，尤其涉及一種柔性超聲引線鍵合夾具。
背景技術(shù)：
在MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng))超聲引線設(shè)備中，夾具性能的好壞對(duì)引線鍵合的效率具有顯著的影響。目前的夾具一般都是針對(duì)某種固定器件而設(shè)計(jì)的，單次只能加持一個(gè)器件，通用性和效率都相對(duì)較差。隨著MEMS器件小批量、多樣化、高效率生產(chǎn)的出現(xiàn)，這種專用性?shī)A具越來越不能滿足應(yīng)用的需求。對(duì)不同器件的快速轉(zhuǎn)換和加持，滿足不同形狀和尺寸的加持需求，已成為當(dāng)前MEMS超聲引線鍵合作業(yè)急需解決的問題。因此，針對(duì)上述技術(shù)問題，有必要提供一種柔性超聲引線鍵合夾具，以解決上述問題。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種柔性超聲引線鍵合夾具，該柔性超聲引線鍵合夾具具有調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單、適應(yīng)性強(qiáng)、操作方便等特點(diǎn)，可對(duì)規(guī)模化生產(chǎn)的圓、方等不同形狀和尺寸器件實(shí)現(xiàn)柔性加持。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種柔性超聲引線鍵合夾具，用以加持器件，所述柔性超聲引線鍵合夾具包括鎖緊機(jī)構(gòu)、底座框架、加熱爐體以及夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)、加熱爐體以及夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)與底座框架連接形成整體夾具結(jié)構(gòu)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)和夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)可相對(duì)移動(dòng)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括夾緊平板，所述夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)包括若干V型爪，所述夾緊平板與V型爪共同加持器件，所述若干V型爪可分別加持不同形狀與尺寸的器件，所述V型爪上設(shè)有可調(diào)節(jié)V型爪夾緊力的螺紋連接件。優(yōu)選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)還包括支撐板以及連接支撐板與底座框架的調(diào)整螺桿，所述調(diào)整螺桿能旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)相對(duì)底座框架移動(dòng)。優(yōu)選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述鎖緊機(jī)構(gòu)可動(dòng)且還包括鎖緊導(dǎo)向塊以及與鎖緊導(dǎo)向塊相連的鎖緊推桿，所述夾緊平板與鎖緊導(dǎo)向塊連接，所述鎖緊推桿可旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)夾緊平板改變運(yùn)動(dòng)行程與夾緊力。優(yōu)選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述鎖緊機(jī)構(gòu)還包括與鎖緊推桿相連的鎖緊推板以及可與鎖緊推板抵壓的鎖緊手柄，所述鎖緊手柄包括兩個(gè)極限運(yùn)動(dòng)位置，該兩個(gè)極限運(yùn)動(dòng)位置分別是松開位置與夾緊位置，所述鎖緊手柄能在該兩個(gè)位置變換并帶動(dòng)夾緊平板松開或夾緊。優(yōu)選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述鎖緊機(jī)構(gòu)還包括與底座框架連接的調(diào)整推桿、與底座框架連接的調(diào)整螺釘以及與調(diào)整螺釘連接的調(diào)整板，所述調(diào)整螺釘能
3旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)鎖緊機(jī)構(gòu)相對(duì)底座框架移動(dòng)。優(yōu)選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述加熱爐體放置在鎖緊機(jī)構(gòu)與夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)的中心線上。優(yōu)選的，在上述柔性超聲引線鍵合夾具中，所述加熱爐體包括加熱管、傳感器、爐體以及隨行定位塊，所述器件設(shè)于定位塊上，所述隨行定位塊能根據(jù)不同形狀的器件進(jìn)行改變。從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具通過設(shè)置若干可調(diào)節(jié)夾緊力的V型爪，使得柔性超聲引線鍵合夾具可以加持不同形狀與尺寸的器件，調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單且適應(yīng)性強(qiáng)。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本實(shí)用新型柔性超聲引線鍵合夾具的示意圖；圖2是本實(shí)用新型柔性超聲引線鍵合夾具中鎖緊機(jī)構(gòu)的示意圖；圖3是本實(shí)用新型柔性超聲引線鍵合夾具中加熱爐體的示意圖；圖4是本實(shí)用新型柔性超聲引線鍵合夾具中夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)的示意圖。1、鎖緊機(jī)構(gòu)11、鎖緊導(dǎo)向塊12、鎖緊推桿13、鎖緊推板14、鎖緊手柄15、調(diào)整推桿 16、調(diào)整螺釘17、調(diào)整板18、夾緊平板2、底座框架3、加熱爐體31、爐體32、隨行定位塊4、夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)41、V型爪42、槽板43、微調(diào)導(dǎo)桿44、蓋板45、支撐板46、調(diào)整螺桿
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型公開了一種柔性超聲引線鍵合夾具，該柔性超聲引線鍵合夾具具有調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單、適應(yīng)性強(qiáng)、操作方便等特點(diǎn)，可對(duì)規(guī)?；a(chǎn)的圓、方等不同形狀和尺寸器件實(shí)現(xiàn)柔性加持。請(qǐng)參閱圖1所示，所述柔性超聲引線鍵合夾具包括鎖緊機(jī)構(gòu)1、底座框架2、加熱爐體3以及夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4。所述鎖緊機(jī)構(gòu)1、加熱爐體3以及夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4通過螺釘與底座框架2連接形成整體夾具結(jié)構(gòu)。所述的鎖緊機(jī)構(gòu)1、加熱爐體3、夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4都采用模塊化設(shè)計(jì)，根據(jù)需求選擇性地搭載在底座框架2上。所述底座框架2安裝在超聲引線鍵合設(shè)備上。所述器件(未圖示)的夾緊由鎖緊機(jī)構(gòu)1和夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4這兩個(gè)可動(dòng)部分實(shí)現(xiàn)。請(qǐng)參閱圖2所示，所述鎖緊機(jī)構(gòu)1包括鎖緊導(dǎo)向塊11、與鎖緊導(dǎo)向塊11相連的鎖緊推桿12、與鎖緊推桿12相連的鎖緊推板13、可與鎖緊推板13抵壓的鎖緊手柄14、與底座框架2連接的調(diào)整推桿15、與底座框架2連接的調(diào)整螺釘16、與調(diào)整螺釘16連接的調(diào)整板 17以及與鎖緊導(dǎo)向塊11連接的夾緊平板18。請(qǐng)參閱圖1及圖2所示，所述鎖緊機(jī)構(gòu)1在各個(gè)可動(dòng)位置安裝彈簧以實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的自動(dòng)歸位，所述鎖緊手柄14包括兩個(gè)極限運(yùn)動(dòng)位置，該兩個(gè)極限運(yùn)動(dòng)位置分別是松開位置與夾緊位置，當(dāng)按下鎖緊手柄14時(shí)，所述鎖緊手柄14處于松開位置，此時(shí)鎖緊手柄14帶動(dòng)夾緊平板18松開，放入器件，松開鎖緊手柄14后，所述鎖緊手柄14處于夾緊位置，此時(shí)在彈簧的作用下器件自動(dòng)被夾緊平板18夾緊。所述調(diào)整螺釘16可控制鎖緊機(jī)構(gòu)1與底座框架2的相對(duì)位置，如此設(shè)置，通過調(diào)節(jié)調(diào)整螺釘16可實(shí)現(xiàn)整個(gè)鎖緊機(jī)構(gòu)1與底座框架2的相對(duì)位置調(diào)節(jié)。所述鎖緊推桿12可控制夾緊平板18的運(yùn)動(dòng)行程，如此設(shè)置，通過調(diào)節(jié)鎖緊推桿12上的螺母可調(diào)整夾緊平板18的運(yùn)動(dòng)行程，實(shí)現(xiàn)不同的夾緊力。請(qǐng)參閱圖3所示，所述加熱爐體3包括加熱管、傳感器、爐體31以及隨行定位塊 32。所述器件設(shè)于定位塊32上。所述隨行定位塊32可以根據(jù)不同形狀的器件進(jìn)行改變， 如此設(shè)置，通過改變不同隨行的定位塊32，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同形狀器件的定位。所述的加熱爐體3 始終放置在鎖緊機(jī)構(gòu)1和夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4的中心線上，使器件的中心始終在加熱爐體3的中心線上，如此設(shè)置，方便操作者操作。請(qǐng)參閱圖4所示，所述夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4包括一個(gè)以上的V型爪41、槽板42、微調(diào)導(dǎo)桿43、蓋板44、支撐板45以及連接支撐板45與底座框架2的調(diào)整螺桿46。所述一個(gè)以上的V型爪41，可實(shí)現(xiàn)1個(gè)或多個(gè)器件的同時(shí)加持。所述V型爪41上設(shè)有螺紋連接件，在本實(shí)施例中為螺釘，通過調(diào)整V型爪41上的該螺釘可以對(duì)每個(gè)V型爪41實(shí)現(xiàn)微小調(diào)節(jié)，達(dá)成調(diào)節(jié)單個(gè)V型爪41的夾緊力的目的，并且，因?yàn)樗鯲型爪41可以做微小調(diào)節(jié)，使得柔性超聲引線鍵合夾可以對(duì)不同形狀與尺寸的器件進(jìn)行加持。所述微調(diào)導(dǎo)桿43在夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4行程調(diào)節(jié)過程中起到導(dǎo)向作用。所述調(diào)整螺桿46可控制夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4與底座框架2 之間的位置，如此設(shè)置，通過調(diào)節(jié)調(diào)整螺桿46可改變夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4與底座框架2之間的相對(duì)位置關(guān)系。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具為了實(shí)現(xiàn)對(duì)不同尺寸和形狀的器件加持，通過調(diào)節(jié)調(diào)整螺釘16和調(diào)整螺桿46分別調(diào)整鎖緊機(jī)構(gòu)1和夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4與底座框架2之間的相對(duì)位置，可以對(duì)大小、形狀不同器件的加持。并在各個(gè)可動(dòng)位置安裝彈簧實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的自動(dòng)歸位。當(dāng)按下鎖緊手柄14時(shí)，夾緊平板18松開，放入器件，松開鎖緊手柄14 后在彈簧的作用下器件被自動(dòng)夾緊。當(dāng)器件存在偏差時(shí)，V型爪41上的彈簧自動(dòng)調(diào)整夾緊力。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具的工作原理是首先通過調(diào)節(jié)螺釘 16來調(diào)整整個(gè)鎖緊機(jī)構(gòu)1與底座框架2之間的相對(duì)位置，同時(shí)通過調(diào)節(jié)螺桿46來調(diào)整整個(gè)夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4與底座框架2之間的相對(duì)位置，使得調(diào)整后帶夾持的器件能夠被夾住，然后按下鎖緊手柄14，此時(shí)夾緊平板18松開，將器件放置于加熱爐體3的定位塊32上，然后松開鎖緊手柄14，在彈簧的作用下夾緊平板18回歸到加持器件的位置而加持器件，此時(shí)通過調(diào)節(jié)鎖緊推桿12上的螺母來調(diào)整夾緊平板18的運(yùn)動(dòng)行程，實(shí)現(xiàn)不同夾緊力的調(diào)整，并且通過調(diào)整V型爪41上的螺釘來實(shí)現(xiàn)微小調(diào)節(jié)，此時(shí)若是柔性超聲引線鍵合夾具對(duì)多個(gè)器件進(jìn)行同時(shí)加持，可以分別調(diào)整對(duì)應(yīng)的V型爪41上的螺釘對(duì)對(duì)應(yīng)的V型爪41實(shí)現(xiàn)微小調(diào)節(jié)，達(dá)成單個(gè)V型爪41夾緊力的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同形狀和尺寸器件的柔性加持。[0029]本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具具有調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單、適應(yīng)性強(qiáng)、操作方便等特點(diǎn)，可對(duì)規(guī)模化生產(chǎn)的圓、方等不同形狀和尺寸器件實(shí)現(xiàn)柔性加持。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具通過調(diào)節(jié)調(diào)整螺釘16可實(shí)現(xiàn)整個(gè)鎖緊機(jī)構(gòu)1與底座框架2的相對(duì)位置調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具通過調(diào)節(jié)鎖緊推桿12上的螺母可調(diào)整夾緊平板18的運(yùn)動(dòng)行程，實(shí)現(xiàn)不同的夾緊力。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具通過設(shè)置安裝有彈簧的鎖緊手柄14 來實(shí)現(xiàn)鎖緊機(jī)構(gòu)1在各個(gè)可動(dòng)位置的自動(dòng)歸位，當(dāng)按下鎖緊手柄14時(shí)，夾緊平板18松開， 放入器件，松開鎖緊手柄14后，在彈簧的作用下實(shí)現(xiàn)器件被自動(dòng)夾緊。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲弓I線鍵合夾具通過改變不同隨行的定位塊32，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同形狀器件的定位。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具的V型爪41上設(shè)有螺釘，通過調(diào)整V 型爪41上的該螺釘可以對(duì)每個(gè)V型爪41實(shí)現(xiàn)微小調(diào)節(jié)，達(dá)成調(diào)節(jié)單個(gè)V型爪41的夾緊力的目的，并且，因?yàn)樗鯲型爪41可以做微小調(diào)節(jié)，使得柔性超聲引線鍵合夾可以對(duì)不同形狀與尺寸的器件進(jìn)行加持。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具通過調(diào)節(jié)調(diào)整螺桿46，進(jìn)而改變夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4與底座框架2之間的相對(duì)位置關(guān)系。本實(shí)用新型實(shí)施例的柔性超聲引線鍵合夾具將加熱爐體3始終放置在鎖緊機(jī)構(gòu)1 和夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)4的中心線上，使器件的中心始終在加熱爐體3的中心線上，方便操作者操作。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種柔性超聲引線鍵合夾具，用以加持器件，所述柔性超聲引線鍵合夾具包括鎖緊機(jī)構(gòu)(1)、底座框架O)、加熱爐體(3)以及夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)G)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)(1)、加熱爐體 (3)以及夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)(4)與底座框架(2)連接形成整體夾具結(jié)構(gòu)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)(1)和夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)(4)可相對(duì)移動(dòng)，其特征在于所述鎖緊機(jī)構(gòu)(1)包括夾緊平板(18)，所述夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)(4)包括若干V型爪(41)，所述夾緊平板(18)與V型爪共同加持器件，所述若干V型爪Gl)可分別加持不同形狀與尺寸的器件，所述V型爪Gl)上設(shè)有可調(diào)節(jié)V型爪Gl)夾緊力的螺紋連接件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性超聲引線鍵合夾具，其特征在于所述夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)(4) 還包括支撐板0 以及連接支撐板0 與底座框架O)的調(diào)整螺桿(46)，所述調(diào)整螺桿 (46)能旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)(4)相對(duì)底座框架( 移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性超聲引線鍵合夾具，其特征在于所述鎖緊機(jī)構(gòu)(1)可動(dòng)且還包括鎖緊導(dǎo)向塊(11)以及與鎖緊導(dǎo)向塊(11)相連的鎖緊推桿(12)，所述夾緊平板 (18)與鎖緊導(dǎo)向塊(11)連接，所述鎖緊推桿(1 可旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)夾緊平板(18)改變運(yùn)動(dòng)行程與夾緊力。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述柔性超聲引線鍵合夾具，其特征在于所述鎖緊機(jī)構(gòu)(1)還包括與鎖緊推桿(1 相連的鎖緊推板(1 以及可與鎖緊推板(1 抵壓的鎖緊手柄(14)，所述鎖緊手柄(14)包括兩個(gè)極限運(yùn)動(dòng)位置，該兩個(gè)極限運(yùn)動(dòng)位置分別是松開位置與夾緊位置，所述鎖緊手柄(14)能在該兩個(gè)位置變換并帶動(dòng)夾緊平板(18)松開或夾緊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述柔性超聲引線鍵合夾具，其特征在于所述鎖緊機(jī)構(gòu)(1)還包括與底座框架( 連接的調(diào)整推桿(15)、與底座框架( 連接的調(diào)整螺釘(16)以及與調(diào)整螺釘(16)連接的調(diào)整板(17)，所述調(diào)整螺釘(16)能旋轉(zhuǎn)并帶動(dòng)鎖緊機(jī)構(gòu)(1)相對(duì)底座框架⑵移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性超聲引線鍵合夾具，其特征在于所述加熱爐體(3)放置在鎖緊機(jī)構(gòu)(1)與夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)的中心線上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述柔性超聲引線鍵合夾具，其特征在于所述加熱爐體(3)包括加熱管、傳感器、爐體(31)以及隨行定位塊(32)，所述器件設(shè)于定位塊(3 上，所述隨行定位塊(3 能根據(jù)不同形狀的器件進(jìn)行改變。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種柔性超聲引線鍵合夾具，用以加持器件，所述柔性超聲引線鍵合夾具包括鎖緊機(jī)構(gòu)、底座框架、加熱爐體以及夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)、加熱爐體以及夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)與底座框架連接形成整體夾具結(jié)構(gòu)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)和夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)可相對(duì)移動(dòng)，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括夾緊平板，所述夾緊微調(diào)機(jī)構(gòu)包括若干V型爪，所述夾緊平板與V型爪共同加持器件，所述若干V型爪可分別加持不同形狀與尺寸的器件，所述V型爪上設(shè)有可調(diào)節(jié)V型爪夾緊力的螺紋連接件。本實(shí)用新型柔性超聲引線鍵合夾具通過設(shè)置若干可調(diào)節(jié)夾緊力的V型爪，使得柔性超聲引線鍵合夾具可以加持不同形狀與尺寸的器件，調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單且適應(yīng)性強(qiáng)。
文檔編號(hào)B25B11/00GK202318059SQ201120258940
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月21日
發(fā)明者孫立寧, 潘明強(qiáng), 王振華, 陳濤, 陳立國(guó) 申請(qǐng)人:蘇州大學(xué)