機器人、機器人控制裝置以及機器人系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種能夠容易且可靠地抑制振動的機器人、機器人控制裝置以及機器人系統(tǒng)。機器人具備：基臺；第一臂，其以第一旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述基臺自由轉(zhuǎn)動的方式與上述基臺連結(jié)；第二臂，其以第二旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第一臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第一臂連結(jié)；第三臂，其以第三旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第二臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第二臂連結(jié)；第一角速度傳感器，其被設置于上述第一臂，且角速度的檢測軸與上述第一旋轉(zhuǎn)軸平行；以及第二角速度傳感器，其被設置于上述第三臂，且角速度的檢測軸與上述第三旋轉(zhuǎn)軸平行。
【專利說明】機器人、機器人控制裝置以及機器人系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及機器人、機器人控制裝置以及機器人系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在專利文獻I所記載的機器人中，在頂端部，即在最頂端側(cè)的第六連桿上設置檢測相互正交的X軸、Y軸、Z軸的各個方向的加速度，和繞各X軸、Y軸、Z軸旋轉(zhuǎn)的加速度的六軸傳感器，并基于該六軸傳感器的檢測結(jié)果，分別針對各連桿求出目標軸旋轉(zhuǎn)角速度的振動成分，進行抑制振動的控制。此外，將連桿的角速度的振動成分稱作“扭轉(zhuǎn)角速度”或者“振動角速度”等。
[0003]專利文獻1:日本特開2011 - 136395號公報
[0004]在專利文獻I所記載的機器人中，由于六軸傳感器的姿勢因機器人的動作而發(fā)生變化，所以需要根據(jù)該六軸傳感器的檢測結(jié)果來進行被稱為雅可比變換(Jacobitransformation)的坐標軸轉(zhuǎn)換等,求出各連桿的角速度的振動成分。并且，需要與時刻變化的馬達的旋轉(zhuǎn)角度配合地進行計算。
[0005]因此，需要復雜且龐大的運算處理，所以需要具備性能高、且高價的CPU(Cent ralProcessing Unit:中央處理器)等的控制裝置，存在成本增加這樣的問題。
[0006]另外，由于需要復雜且龐大的運算處理，所以容易產(chǎn)生運算誤差，存在因該運算誤差而不能夠充分抑制振動這樣的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠容易且可靠地抑制振動的機器人、機器人控制裝置以及機器人系統(tǒng)。
[0008]通過下述的本發(fā)明來實現(xiàn)該目的。
[0009]本發(fā)明的機器人的特征在于，具備:
[0010]基臺；
[0011]第一臂，其以第一旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以上述基臺自由轉(zhuǎn)動的方式與上述基臺連結(jié)；
[0012]第二臂，其以第二旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第一臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第一臂連結(jié)，所述第二旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸；
[0013]第三臂，其以第三旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第二臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第二臂連結(jié)，所述第三旋轉(zhuǎn)軸為平行于所述第二旋轉(zhuǎn)軸的軸；
[0014]第一角速度傳感器，其設置于上述第一臂，該第一角速度傳感器的角速度的檢測軸與上述第一旋轉(zhuǎn)軸平行；以及
[0015]第二角速度傳感器，其設置于上述第三臂，該第二角速度傳感器的角速度的檢測軸與上述第三旋轉(zhuǎn)軸平行。[0016]由此，能夠容易并可靠地抑制振動。
[0017]S卩，首先，能夠通過第一角速度傳感器檢測第一臂的角速度。另外，由于第三旋轉(zhuǎn)軸與第二旋轉(zhuǎn)軸平行，所以能夠通過第二角速度傳感器包含第二臂的轉(zhuǎn)動量地檢測第三臂的角速度。而且，能夠基于這些檢測結(jié)果抑制振動。
[0018]另外，即使機器人的姿勢發(fā)生變化，第一角速度傳感器的角速度的檢測軸也恒定。因此，無需針對通過第一角速度傳感器檢測出的第一臂的角速度進行由第一角速度傳感器的方向所致的修正。
[0019]另外，第三旋轉(zhuǎn)軸以及第二旋轉(zhuǎn)軸正交于第一旋轉(zhuǎn)軸或者與正交于第一旋轉(zhuǎn)軸的軸平行，所以即使機器人的姿勢發(fā)生變化，例如第一臂轉(zhuǎn)動，且即使第二臂轉(zhuǎn)動，第二角速度傳感器的角速度的檢測軸也恒定。因此，無需針對通過第二角速度傳感器檢測出的第三臂的角速度進行由第二角速度傳感器的方向所致的修正。
[0020]由此，無需復雜且龐大的運算，因此不易產(chǎn)生運算誤差，能夠可靠地抑制振動，另外能夠提高機器人的控制的響應速度。
[0021]另外，通過第二角速度傳感器檢測的并非第二臂的角速度，而是包含第二臂的轉(zhuǎn)動量地檢測第三臂的角速度，所以能夠更加可靠地抑制振動。
[0022]另外，與在第二臂上也設置角速度傳感器的情況相比，能夠減少角速度傳感器的數(shù)量，能夠降低成本，另外能夠簡化結(jié)構(gòu)。
[0023]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選具備:第一角速度傳感器單兀，其具有第一殼體和第一角速度傳感器以及電路部，該第一角速度傳感器以及電路部被設置于上述第一殼體內(nèi)，其中，電路部對從上述第一角速度傳感器輸出的信號進行AD轉(zhuǎn)換并進行發(fā)送；和
[0024]第二角速度傳感器單元，其具有第二殼體和第二角速度傳感器以及電路部，該第二角速度傳感器以及電路部被設置于上述第二殼體內(nèi)，其中，電路部對從上述第二角速度傳感器輸出的信號進行AD轉(zhuǎn)換并進行發(fā)送，
[0025]將上述第一角速度傳感器單元設置在上述第一臂上，將上述第二角速度傳感器單元設置在上述第三臂上。
[0026]由此，與另行設置上述電路部的情況相比，能夠簡化結(jié)構(gòu)。
[0027]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選上述第一殼體以及上述第二殼體的外形分別呈長方體，
[0028]上述第一角速度傳感器的上述角速度的檢測軸與上述第一殼體的上述長方體最大面的法線一致，
[0029]上述第二角速度傳感器的上述角速度的檢測軸與上述第二殼體的上述長方體最大面的法線一致。
[0030]由此，能夠容易且可靠地識別出第一角速度傳感器的角速度的檢測軸以及第二角速度傳感器的角速度的檢測軸的方向，能夠容易地使第一角速度傳感器以及第二角速度傳感器處于適當?shù)淖藙荨?br> [0031]在本發(fā)明的機器人中,優(yōu)選上述第一殼體在上述第一殼體的角部具有安裝于上述第一臂的安裝部，
[0032]上述第二殼體在上述第二殼體的角部具有安裝于上述第三臂的安裝部。
[0033]由此，能夠可靠地將第一角速度傳感器單元安裝至第一臂，能夠可靠地將第二角速度傳感器單元安裝至第三臂。
[0034]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選具有固定部件，該固定部件具有導電性，且將上述第一殼體的上述安裝部固定在上述第一臂上，上述第一角速度傳感器單元的上述電路部通過上述固定部件與上述第一臂接地連接，
[0035]具有固定部件，該固定部件具有導電性，且將上述第二殼體的上述安裝部固定在上述第三臂上，上述第二角速度傳感器單元的上述電路部通過上述固定部件與上述第三臂接地連接。
[0036]由此，能夠減少部件個數(shù)，能夠簡化結(jié)構(gòu)。
[0037]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選上述第一臂具有筐體和與上述筐體一體形成的臂側(cè)安裝部，
[0038]上述第一角速度傳感器單元直接安裝至上述臂側(cè)安裝部。
[0039]由此,第一角速度傳感器單兀能夠可靠地與第一臂一體地轉(zhuǎn)動。
[0040]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選上述第三臂具有筐體和與上述筐體一體形成的臂側(cè)安裝部，
[0041]上述第二角速度傳感器單元直接安裝至上述臂側(cè)安裝部。
[0042]由此，第二角速度傳感器單元能夠可靠地與第三臂一體地轉(zhuǎn)動。
[0043]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選具有配置在上述第一臂上，并向該機器人供給電力的電纜，
[0044]將上述第一角速度傳感器配置在上述第一臂的與上述電纜相反一側(cè)的端部。
[0045]由此，能夠防止第一角速度傳感器受到從電纜產(chǎn)生的噪聲的影響，另外，能夠防止第一角速度傳感器側(cè)的電路、布線因電纜而產(chǎn)生短路。
[0046]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選具有配置在上述第三臂上，并向該機器人供給電力的電纜，
[0047]上述第二角速度傳感器配置在上述第三臂的與上述電纜相反一側(cè)的端部。
[0048]由此，能夠防止第二角速度傳感器受到從電纜產(chǎn)生的噪聲的影響，另外，能夠防止第二角速度傳感器側(cè)的電路、布線因電纜產(chǎn)生短路。
[0049]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選具備第四臂，其以第四旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第三臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第三臂連結(jié)，所述第四旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第三旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第三旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸；
[0050]第五臂，其以第五旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第四臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第四臂連結(jié)，所述第五旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第四旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第四旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸；
[0051]第六臂，其第六旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第五臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第五臂連結(jié)，所述第六旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第五旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第五旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸。
[0052]由此，能夠容易地進行復雜的動作。
[0053]在本發(fā)明的機器人中，優(yōu)選上述第一旋轉(zhuǎn)軸與上述基臺的設置面的法線一致。
[0054]由此，能夠容易進行機器人的控制。
[0055]本發(fā)明的機器人控制裝置是控制機器人的動作的機器人控制裝置，該機器人具備:基臺；第一臂，其以第一旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述基臺自由轉(zhuǎn)動的方式與上述基臺連結(jié)；第二臂，其第二旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第一臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第一臂連結(jié)，所述第二旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸；第三臂，其以第三旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于上述第二臂自由轉(zhuǎn)動的方式與上述第二臂連結(jié)，所述第三旋轉(zhuǎn)軸為平行于所述第二旋轉(zhuǎn)軸的軸
[0056]該機器人控制裝置具備:接收部，其接收第一信號和第二信號，該第一信號是從設置于上述第一臂，且角速度的檢測軸與上述第一旋轉(zhuǎn)軸平行的第一角速度傳感器輸出的信號，該第二信號是從設置于上述第三臂，且角速度的檢測軸與上述第三旋轉(zhuǎn)軸平行的第二角速度傳感器輸出的信號；
[0057]運算部，其基于通過上述接收部接收到的上述第一信號以及上述第二信號求出上述第一臂的角速度的振動成分以及上述第三臂的角速度的振動成分；
[0058]控制部，其基于通過上述運算部求出的上述第一臂的角速度的振動成分以及上述第三臂的角速度的振動成分來控制上述機器人的動作。
[0059]由此，能夠容易且可靠地抑制振動。
[0060]S卩，首先能夠通過運算部，基于由第一角速度傳感器檢測出的第一臂的角速度求出第一臂的角速度的振動成分。另外，由于第三旋轉(zhuǎn)軸與第二旋轉(zhuǎn)軸平行，所以能夠通過運算部，基于由第二角速度傳感器檢測出的包含第二臂的轉(zhuǎn)動量的第三臂的角速度求出包含第二臂的角速度的振動成分的第三臂的角速度的振動成分。而且，能夠基于該第一臂的角速度的振動成分以及第三臂的角速度的振動成分抑制振動。
[0061]另外，即使機器人的姿勢發(fā)生變化，第一角速度傳感器的角速度的檢測軸也恒定。因此，無需針對通過第一角速度傳感器檢測出的第一臂的角速度進行由第一角速度傳感器的方向所致的修正。
[0062]另外，由于第三旋轉(zhuǎn)軸以及第二旋轉(zhuǎn)軸正交于第一旋轉(zhuǎn)軸正交或者與正交于第一旋轉(zhuǎn)軸的軸平行，所以即使機器人的姿勢發(fā)生變化，例如即使第一臂轉(zhuǎn)動，且即使第二臂轉(zhuǎn)動，第二角速度傳感器的角速度的檢測軸也恒定。因此，無需針對通過第二角速度傳感器檢測出的第三臂的角速度進行由第二角速度傳感器的方向所致的修正。
[0063]由此，無需復雜且龐大的運算，因此，不易產(chǎn)生運算誤差，能夠可靠地抑制振動，另夕卜，能夠提高機器人的控制的響應速度。
[0064]另外，通過運算部并非僅求出第二臂的角速度的振動成分，而是基于由第二角速度傳感器檢測出的包含第二臂的轉(zhuǎn)動量的第三臂的角速度來求出包含第二臂的角速度的振動成分的第三臂的角速度的振動成分，所以能夠更加可靠地抑制振動。
[0065]本發(fā)明的機器人系統(tǒng)的特征在于，具備本發(fā)明的機器人；和控制上述機器人的動作的機器人控制裝置。
[0066]由此，能夠容易且可靠地抑制振動。
[0067]S卩，首先，能夠通過第一角速度傳感器檢測出第一臂的角速度。另外，由于第三旋轉(zhuǎn)軸與第二旋轉(zhuǎn)軸平行，所以能夠通過第二角速度傳感器包含第二臂的轉(zhuǎn)動量地檢測第三臂的角速度。而且，能夠基于這些檢測結(jié)果抑制振動。
[0068]另外，即使機器人的姿勢發(fā)生變化，第一角速度傳感器的角速度的檢測軸也恒定。因此，無需針對通過第一角速度傳感器檢測出的第一臂的角速度進行由第一角速度傳感器的方向所致的修正。
[0069]另外，由于第三旋轉(zhuǎn)軸以及第二旋轉(zhuǎn)軸正交于第一旋轉(zhuǎn)軸正交或者與正交于第一旋轉(zhuǎn)軸的軸平行，所以即使機器人的姿勢發(fā)生變化，例如即使第一臂轉(zhuǎn)動，且即使第二臂轉(zhuǎn)動，第二角速度傳感器的角速度的檢測軸也恒定。因此，無需針對通過第二角速度傳感器檢測出的第三臂的角速度進行由第二角速度傳感器的方向所致的修正。
[0070]由此，無需復雜且龐大的運算，因此，不易產(chǎn)生運算誤差，能夠可靠地抑制振動，另外能夠提高機器人的控制的響應速度。
[0071]另外，通過第二角速度傳感器檢測的并非第二臂的角速度，而是包含第二臂的轉(zhuǎn)動量地檢測第三臂的角速度，所以能夠更加可靠地抑制振動。
[0072]另外，與在第二臂上也設置角速度傳感器的情況相比，能夠減少角速度傳感器的數(shù)量，能夠降低成本，另外能夠簡化結(jié)構(gòu)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0073]圖1是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的機器人的實施方式的立體圖。
[0074]圖2是從背面?zhèn)扔^察圖1所示的機器人的立體圖。
[0075]圖3是圖1所示的機器人的示意圖。
[0076]圖4是具有圖1所示的機器人的機器人系統(tǒng)的主要部分的框圖。
[0077]圖5是圖1所示的機器人的主視圖。
[0078]圖6是表示圖1所示的機器人的第一臂中的第一角速度傳感器附近的圖。
[0079]圖7是表示圖1所示的機器人的第三臂中的第二角速度傳感器附近的圖。
[0080]圖8是圖1所示的機器人的第一角速度傳感器單元的剖視圖。
[0081]圖9是圖1所示的機器人的主要部分的框圖。
[0082]圖10是圖1所示的機器人的主要部分的框圖。
[0083]圖11是圖1所示的機器人的主要部分的框圖。
[0084]圖12是圖1所示的機器人的主要部分的框圖。
[0085]圖13是圖1所示的機器人的主要部分的框圖。
【具體實施方式】
[0086]以下，基于附圖所示的優(yōu)選實施方式對本發(fā)明的機器人、機器人控制裝置以及機器人系統(tǒng)進行詳細說明。
[0087]圖1是從正面?zhèn)扔^察本發(fā)明的機器人的實施方式的立體圖。圖2是從背面?zhèn)扔^察圖1所示的機器人的立體圖。圖3是圖1所示的機器人的示意圖。圖4是具有圖1所示的機器人的機器人系統(tǒng)的主要部分的框圖。圖5是圖1所示的機器人的主視圖。圖6是表示圖1所示的機器人的第一臂中的第一角速度傳感器附近的圖。圖7是表示圖1所示的機器人的第三臂中的第二角速度傳感器附近的圖。圖8是圖1所示的機器人的第一角速度傳感器單元的剖視圖。圖9?圖13分別是圖1所示的機器人的主要部分的框圖。
[0088]此外，以下為了便于說明，將圖1?圖3、圖5?圖7中的上側(cè)稱為“上”或者“上方”，將下側(cè)稱為“下”或者“下方”。另外，將圖1?圖3、圖5?圖7中的基臺側(cè)稱為“基端”，將其相反側(cè)稱為“頂端”。另外，在圖8中與第一角速度傳感器單元對應地，在括號中記載第二角速度傳感器單元的各部的符號，省略第二角速度傳感器單元的圖示。
[0089]圖1?圖4所示的機器人系統(tǒng)(工業(yè)用機器人系統(tǒng))10例如能夠在制造手表那樣的精密設備等的制造工序中使用，該機器人系統(tǒng)I具有機器人(工業(yè)用機器人)1、和控制機器人I的動作的機器人控制裝置(控制單元)20 (參照圖4)。機器人I與機器人控制裝置20電連接。另外，例如能夠利用內(nèi)置有CPU (Central Processing Unit)的個人計算機(PC)等來構(gòu)成機器人控制裝置20。此外，在后面詳細敘述機器人控制裝置20。
[0090]機器人I具備基臺11、4根臂(連桿)12、13、14、15、肘桿(連桿)16、和6個驅(qū)動源401、402、403、404、405、406。該機器人 I 是基臺 11、臂 12、13、14、15、和肘桿(wrist) 16 從基端側(cè)向頂端側(cè)按照該順序連結(jié)而成的垂直多關(guān)節(jié)(六軸)機器人(機器人主體)。在垂直多關(guān)節(jié)機器人中，也可以將基臺11、臂12?15、和肘桿16統(tǒng)稱為“臂”，還能夠區(qū)分地將臂12稱為“第一臂”，將臂13稱為“第二臂”，將臂14稱為“第三臂”，將臂15稱為“第四臂”，將肘桿16稱為“第五臂、第六臂”。此外，在本實施方式中，肘桿16具有第五臂和第六臂。能夠在肘桿16上安裝手端操作裝置(end effector)等。
[0091]分別將臂12?15、肘桿16以能夠相對于基臺11獨立地移位的方式支承于基臺11上。均不對該臂12?15、肘桿16的長度進行特別限定，但在圖示的構(gòu)成中，將第一臂12、第二臂13、第四臂15的長度設定為比第三臂14以及肘桿16長。
[0092]基臺11和第一臂12經(jīng)由關(guān)節(jié)(接頭)171連結(jié)。而且，第一臂12以與鉛直方向平行的第一旋轉(zhuǎn)軸01為旋轉(zhuǎn)中心，相對于基臺11繞該第一旋轉(zhuǎn)軸01自由轉(zhuǎn)動。第一旋轉(zhuǎn)軸01與基臺11的設置面亦即地面101的上表面的法線一致。通過具有馬達401M的第一驅(qū)動源401的驅(qū)動來進行繞該第一旋轉(zhuǎn)軸01的轉(zhuǎn)動。另外，第一驅(qū)動源401由馬達401M和電纜(未圖示)驅(qū)動，該馬達401M經(jīng)由電連接的馬達驅(qū)動器301而被機器人控制裝置20控制(參照圖4)。此外，第一驅(qū)動源401也可以構(gòu)成為通過與馬達401M—并設置的減速機(未圖示)傳遞來自馬達401M的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機，但在本實施方式中，第一驅(qū)動源401具有減速機。
[0093]第一臂12和第二臂13經(jīng)由關(guān)節(jié)(接頭)172連結(jié)。而且，第二臂13以與水平方向平行的第二旋轉(zhuǎn)軸02為軸中心相對于第一臂12自由轉(zhuǎn)動。第二旋轉(zhuǎn)軸02與第一旋轉(zhuǎn)軸01正交。通過具有馬達402M的第二驅(qū)動源402的驅(qū)動來進行繞該第二旋轉(zhuǎn)軸02的轉(zhuǎn)動。另外，第二驅(qū)動源402由馬達402M和電纜(未圖示)驅(qū)動，該馬達402M經(jīng)由電連接的馬達驅(qū)動器302被機器人控制裝置20控制(參照圖4)。此外，第二驅(qū)動源402也可以構(gòu)成為通過與馬達402M—并設置的減速機45 (參照圖5)傳遞來自馬達402M的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機，但在本實施方式中，第二驅(qū)動源402具有減速機45。另外，第二旋轉(zhuǎn)軸02也可以與正交于第一旋轉(zhuǎn)軸01的軸平行。
[0094]第二臂13和第三臂14經(jīng)由關(guān)節(jié)(接頭)173連結(jié)。而且，第三臂14能夠以與水平方向平行的旋轉(zhuǎn)軸03為旋轉(zhuǎn)中心，相對于第二臂13繞該第三旋轉(zhuǎn)軸03轉(zhuǎn)動。第三旋轉(zhuǎn)軸03與第二旋轉(zhuǎn)軸02平行。通過第三驅(qū)動源403的驅(qū)動來進行繞該第三旋轉(zhuǎn)軸03的轉(zhuǎn)動。另外，第三驅(qū)動源403由馬達403M和電纜(未圖示)驅(qū)動，該馬達403M經(jīng)由電連接的馬達驅(qū)動器303被機器人控制裝置20控制(參照圖4)。此外，第三驅(qū)動源403也可以構(gòu)成為通過與馬達403M —并設置的減速機(未圖示)來傳遞來自馬達403M的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機，但在本實施方式中，第三驅(qū)動源403具有減速機。[0095]第三臂14和第四臂15經(jīng)由關(guān)節(jié)(接頭)174連結(jié)。而且，第四臂15以與第三臂14的中心軸向平行的第四旋轉(zhuǎn)軸04為旋轉(zhuǎn)中心，相對于第三臂14 (基臺11)繞該第四旋轉(zhuǎn)軸04自由轉(zhuǎn)動。第四旋轉(zhuǎn)軸04與第三旋轉(zhuǎn)軸03正交。通過第四驅(qū)動源404的驅(qū)動來進行繞該第四旋轉(zhuǎn)軸04的轉(zhuǎn)動。另外，第四驅(qū)動源404由馬達404M和電纜(未圖示)驅(qū)動，該馬達404M經(jīng)由電連接的馬達驅(qū)動器304被機器人控制裝置20控制(參照圖4)。此外，第四驅(qū)動源404也可以構(gòu)成為通過與馬達404M—并設置的減速機(未圖示)來傳遞來自馬達404M的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機，但在本實施方式中，第四驅(qū)動源404具有減速機。第四旋轉(zhuǎn)軸04也可以與正交于第三旋轉(zhuǎn)軸03的軸平行。
[0096]第四臂15和第五肘桿16經(jīng)由關(guān)節(jié)(接頭)175連結(jié)。而且，肘桿16以與水平方向(y軸方向)平行的第5旋轉(zhuǎn)軸05為旋轉(zhuǎn)中心，相對于第四臂15繞該第五旋轉(zhuǎn)軸05自由轉(zhuǎn)動。第五旋轉(zhuǎn)軸05與第四旋轉(zhuǎn)軸04正交。通過第五驅(qū)動源405的驅(qū)動來進行繞該第五旋轉(zhuǎn)軸05的轉(zhuǎn)動。另外，第五驅(qū)動源405由馬達405M和電纜(未圖示)驅(qū)動，該馬達405M經(jīng)由電連接的馬達驅(qū)動器305被機器人控制裝置20控制(參照圖4)。此外，第五驅(qū)動源405也可以構(gòu)成為通過與馬達405M—并設置的減速機(未圖示)來傳遞來自馬達405M的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機，但在本實施方式中，第五驅(qū)動源405具有減速機。另外，肘桿16借助關(guān)節(jié)(接頭)176，以與第五旋轉(zhuǎn)軸05垂直的第六旋轉(zhuǎn)軸06為旋轉(zhuǎn)中心，也繞該第六旋轉(zhuǎn)軸06自由轉(zhuǎn)動。旋轉(zhuǎn)軸06與旋轉(zhuǎn)軸05正交。通過第六驅(qū)動源406的驅(qū)動來進行繞該第六旋轉(zhuǎn)軸06的轉(zhuǎn)動。另外，第六驅(qū)動源406的驅(qū)動由馬達和電纜(未圖示)驅(qū)動，該馬達406M經(jīng)由電連接的馬達驅(qū)動器306被機器人控制裝置20控制(參照圖4)。此外，第六驅(qū)動源406也可以構(gòu)成為通過與馬達406M—并設置的減速機(未圖示)來傳遞來自馬達406M的驅(qū)動力，另外，也可以省略減速機，但在本實施方式中，第六驅(qū)動源406具有減速機。另外，第五旋轉(zhuǎn)軸05也可以與正交于第四旋轉(zhuǎn)軸04的軸平行，另外，第六旋轉(zhuǎn)軸06也可以與正交于第五旋轉(zhuǎn)軸05的軸平行。
[0097]另外，如圖6所示，在第一臂12上設置有第一角速度傳感器31，即設置有具有第一角速度傳感器31的第一角速度傳感器單元71。利用該第一角速度傳感器31檢測第一臂12繞第一旋轉(zhuǎn)軸01轉(zhuǎn)動的角速度。
[0098]另外，如圖7所示，在第三臂14上設置有第二角速度傳感器32，即設置有具有第二角速度傳感器32的第二角速度傳感器單元72。利用該第二角速度傳感器32檢測第三臂14繞第二旋轉(zhuǎn)軸02轉(zhuǎn)動的角速度。
[0099]此外，作為第一角速度傳感器31、第二角速度傳感器32，均不對其進行特別限定，例如能夠使用陀螺儀傳感器等。
[0100]這里，在該機器人I中，通過抑制第一臂12、第二臂13以及第三臂14的振動來抑制機器人I整體的振動。但并不是為了抑制第一臂12、第二臂13以及第三臂的振動，而在第一臂12、第二臂13以及第三臂的上都設置角速度傳感器，如上述那樣，僅在第一臂12、第三臂14上設置第一角速度傳感器31、第二角速度傳感器32,基于該第一角速度傳感器31、第二角速度傳感器32的檢測結(jié)果來控制驅(qū)動源401、402的動作。由此，與在第一臂12、第二臂13以及第三臂14上都設置角速度傳感器的情況相比，能夠減少角速度傳感器的數(shù)量，能夠降低成本，另外，能夠使簡化電路構(gòu)成。另外，并非利用第二角速度傳感器32來檢測第二臂13的角速度，而是包含第二臂13的轉(zhuǎn)動量地檢測第三臂14的角速度，所以能夠更加可靠地抑制振動。另外，通過控制使比第三臂14靠向基端側(cè)的第二臂13轉(zhuǎn)動的第二驅(qū)動源402的動作，能夠提高抑制機器人I的振動的效果。
[0101]在驅(qū)動源401?406的各自的馬達或者減速機上設置有第一位置傳感器411、第二位置傳感器412、第三位置傳感器413、第四位置傳感器414、第五位置傳感器415、第六位置傳感器416。作為這些位置傳感器，并不對它們進行特別限定，例如，能夠使用編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器、旋轉(zhuǎn)變壓器、電位計等。利用這些位置傳感器411?416來分別檢測驅(qū)動源401?406的馬達或者減速機的軸部的旋轉(zhuǎn)角度。作為該驅(qū)動源401?406的馬達，均不對它們進行特別限定，例如，優(yōu)選使用AC伺服馬達、DC伺服馬達等伺服馬達。另外，上述各電纜也可以分別插入到機器人I內(nèi)。
[0102]如圖4所示，機器人I與機器人控制裝置20電連接。即，驅(qū)動源401?406、位置傳感器411?416、角速度傳感器31、32分別與機器人控制裝置20電連接。
[0103]而且，機器人控制裝置20能夠分別使臂12?15、肘桿16獨立地動作，S卩，能夠經(jīng)由馬達驅(qū)動器301?306分別獨立地控制驅(qū)動源401?406。該情況下，機器人控制裝置20通過位置傳感器411?416、第一角速度傳感器31、第二角速度傳感器32進行檢測，基于該檢測結(jié)果分別控制驅(qū)動源401?406的驅(qū)動，例如角速度、旋轉(zhuǎn)角度等。將該控制程序預先存儲在內(nèi)置于機器人控制裝置20的記錄介質(zhì)中。
[0104]如圖1、圖2所示，在機器人I是垂直多關(guān)節(jié)機器人的情況下，基臺11是位于該垂直多關(guān)節(jié)機器人的最下方，且被固定于設置空間的地面101的部分。作為該固定方法，并不對其進行特別限定，例如在圖1、圖2所示的在本實施方式中，使用基于多根螺栓111的固定方法。此外，作為基臺11的在設置空間上的固定位置，除了地面之外，也能夠設為設置空間的墻壁、頂部。
[0105]基臺11具有中空的基臺主體(殼體)112。能夠?qū)⒒_主體112劃分為呈圓筒狀的圓筒狀部113、和在該圓筒狀部113的外周部一體形成的呈箱狀的箱狀部114。而且，在這樣的基臺主體112上例如收納有馬達401M、馬達驅(qū)動器301?306。
[0106]臂12?15分別具有中空的臂主體(筐體)2、驅(qū)動機構(gòu)3、和密封單元4。此外，以下為便于說明，有時將第一臂12所具有的臂主體2、驅(qū)動機構(gòu)3、密封單元4分別稱為“臂主體2a”、“驅(qū)動機構(gòu)3a”、“密封單元4a”，將第二臂13所具有的臂主體2、驅(qū)動機構(gòu)3、密封單元4分別稱為“臂主體2b”、“驅(qū)動機構(gòu)3b”、“密封單元4b”，將第三臂14所具有的臂主體
2、驅(qū)動機構(gòu)3、密封單元4分別稱為“臂主體2c”、“驅(qū)動機構(gòu)3c”、“密封單元4c”，將第四臂15所具有的臂主體2、驅(qū)動機構(gòu)3、密封單元4分別稱為“臂主體2d”、“驅(qū)動機構(gòu)3d”、“密封單元4d”。
[0107]另外，關(guān)節(jié)171?176分別具有轉(zhuǎn)動支承機構(gòu)(未圖示)。該轉(zhuǎn)動支承機構(gòu)是以能夠相對于另一方轉(zhuǎn)動的方式支承相互連結(jié)的2根臂中的一方的機構(gòu)，是以能夠相對于另一方轉(zhuǎn)動的方式支承相互連結(jié)的基臺11和第一臂12中的一方的機構(gòu)，是以能夠相對于另一方轉(zhuǎn)動的方式支承相互連結(jié)的第四臂15和第五肘桿16中的一方的機構(gòu)。在將相互連結(jié)的第四臂15和肘桿16作為一個例子的情況下，轉(zhuǎn)動支承機構(gòu)能夠使肘桿16相對于第四臂15轉(zhuǎn)動。另外，各轉(zhuǎn)動支承機構(gòu)分別具有減速機(未圖示)，該減速機使對應的馬達的旋轉(zhuǎn)速度以規(guī)定的減速比減速，并將其驅(qū)動力傳遞給對應的臂、肘桿16的肘桿主體161、支承環(huán)162。此外，如上所述，在本實施方式中，作為驅(qū)動源包括該減速機和馬達。[0108]第一臂12以相對于水平方向傾斜的姿勢連結(jié)在基臺11的上端部(頂端部)。在該第一臂12中，驅(qū)動機構(gòu)3a具有馬達402M，并收納在臂主體2a內(nèi)。另外，臂主體2a內(nèi)被密封單元4a氣密密封。臂主體2a具有頂端側(cè)的I對舌片部241a、241b、和基端側(cè)的根部251。舌片部241a和舌片部241b分離，并相互對置。另外，舌片部241a、241b相對于根部251傾斜，由此，第一臂12相對于水平方向傾斜。而且，在舌片部241a和舌片部241b之間配置有第二臂13的基端部。
[0109]另外，并不對第一臂12中的第一角速度傳感器31的設置位置進行特別限定，但在本實施方式中，如圖6所示，將第一角速度傳感器31，即將第一角速度傳感器單元71設置在第一臂12的臂主體2a的根部251的內(nèi)部的與電纜85相反一側(cè)的端部。電纜85是向機器人I的各馬達401M?406M供給電力的電纜。由此，能夠防止第一角速度傳感器31受到從電纜85產(chǎn)生的噪聲的影響，另外，能夠防止第一角速度傳感器單元71的后述的電路部713、布線、第一角速度傳感器31因電纜85而引起短路。
[0110]這里，關(guān)于驅(qū)動機構(gòu)3以及減速機，代表性地對設置在第一臂12的臂主體2a內(nèi)，且使第二臂13轉(zhuǎn)動的驅(qū)動機構(gòu)3進行說明。
[0111]如圖5所示，驅(qū)動機構(gòu)3具有與馬達402M的軸部連結(jié)的第一帶輪91、與第一帶輪91分離配置的第二帶輪92、和架設在第一帶輪91與第二帶輪92上的皮帶(同步皮帶)93。而且，第二帶輪92和第二臂13的軸部通過減速機45連結(jié)。
[0112]作為減速機45，并不對其進行特別限定，例如列舉出由多個齒輪構(gòu)成的減速機、被稱為諧波驅(qū)動器(“諧波驅(qū)動器”是注冊商標)的減速機等。
[0113]作為機器人I的臂12?15、肘桿16的振動的主要原因，例如列舉出減速機45的扭轉(zhuǎn)、彎曲、皮帶93的伸縮、臂12?15、肘桿16的彎曲等。
[0114]第二臂13與第一臂12的頂端部連結(jié)。在該第二臂13中，驅(qū)動機構(gòu)3b具有馬達403M,并收納在臂主體2b內(nèi)。另外，臂主體2a內(nèi)被密封單元4b氣密密封。臂主體2b具有頂端側(cè)的I對舌片部242a、242b、和基端側(cè)的根部252。舌片部242a與舌片部242b分離，且相互對置。而且，在舌片部242a和舌片部242b之間配置有第三臂14的基端部。
[0115]第三臂14與第二臂13的頂端部連結(jié)。在該第三臂14中，驅(qū)動機構(gòu)3c具有馬達404M,并收納在臂主體2c內(nèi)。另外，臂主體2c內(nèi)被密封單元4c氣密密封。此外，臂主體2c由與上述臂主體2a的根部251、上述臂主體2b的根部252相當?shù)牟考?gòu)成。
[0116]另外，并不對第三臂14中的第二角速度傳感器32的設置位置進行特別限定，但在本實施方式中，如圖7所示，將第二角速度傳感器32，即將第二角速度傳感器單元72設置在第三臂14的臂主體2c的內(nèi)部的與電纜85相反一側(cè)的端部。由此，能夠防止第二角速度傳感器32受到從電纜85產(chǎn)生的噪聲的影響，另外，能夠防止第二角速度傳感器單元72的電路部723、布線、第二角速度傳感器32因電纜85而引起短路。
[0117]第四臂15與第三臂14的中心軸向平行地連結(jié)在其頂端部。在該臂15中，驅(qū)動機構(gòu)3d具有馬達405M、406M，并收納在臂主體2d內(nèi)。另外，臂主體2d內(nèi)被密封單元4d氣密密封。臂主體2d具有頂端側(cè)的I對舌片部244a、244b、和基端側(cè)的根部254。舌片部244a和舌片部244b分離，且相互對置。而且，在舌片部244a和舌片部244b之間配置有肘桿16的支承環(huán)162。
[0118]在第四臂15的頂端部(與基臺11相反一側(cè)的端部)連結(jié)有肘桿16。在該肘桿16上，在其頂端部(與第四臂15相反一側(cè)的端部)作為功能部(手端操作裝置)例如可拆裝地安裝把持如手表等精密設備的機械手(未圖示)。此外，作為機械手，并不對其進行特別限定，例如列舉出具有多根指部(手指)的構(gòu)成。而且，該機器人I通過在利用機械手把持精密設備的同時，控制臂12?15、肘桿16等的動作，能夠搬運該精密設備。
[0119]肘桿16具有呈圓筒狀的肘桿主體(第六臂)161 ;和呈環(huán)狀的支承環(huán)(第五臂)162，該支承環(huán)162與肘桿主體161獨立地構(gòu)成，并且該支承環(huán)162被設置于該肘桿主體161的基端部。
[0120]肘桿主體161的頂端面163為平坦面，成為安裝機械手的安裝面。另外，肘桿主體161經(jīng)由關(guān)節(jié)176與第四臂15的驅(qū)動機構(gòu)3d連結(jié)，通過該驅(qū)動機構(gòu)3d的馬達406M的驅(qū)動而繞旋轉(zhuǎn)軸06轉(zhuǎn)動。
[0121]支承環(huán)162經(jīng)由關(guān)節(jié)175與第四臂15的驅(qū)動機構(gòu)3d連結(jié)，通過該驅(qū)動機構(gòu)3d的馬達405M的驅(qū)動，連同肘桿主體161繞旋轉(zhuǎn)軸05轉(zhuǎn)動。
[0122]作為臂主體2的構(gòu)成材料，并不對其進行特別限定，例如能夠使用各種金屬材料，它們中尤其優(yōu)選鋁或者鋁合金。在臂主體2是使用模具成型的鑄件的情況下，通過在該臂主體2的構(gòu)成材料中使用鋁或者鋁合金，能夠容易地進行模具成型。
[0123]另外，作為基臺11的基臺主體112、肘桿16的肘桿主體161、支承環(huán)162的構(gòu)成材料，均不對它們進行特別限定，例如列舉出與上述臂主體2的構(gòu)成材料相同的材料等。此夕卜，優(yōu)選肘桿16的肘桿主體161的構(gòu)成材料使用不銹鋼。
[0124]另外，作為密封單元4的構(gòu)成材料，并不對其進行特別限定，例如能夠使用各種樹脂材料、各種金屬材料。此外，作為密封單元4的構(gòu)成材料，通過使用樹脂材料，能夠?qū)崿F(xiàn)輕型化。
[0125]接下來，對第一角速度傳感器單元71、第二角速度傳感器單元72進行說明。
[0126]如圖8所不,第一角速度傳感器單兀71具有第一殼體711、和設置在第一殼體711內(nèi)且具有布線的電路基板712、電連接在電路基板712上的第一角速度傳感器31以及電路部713。在本實施方式中，第一殼體711由密封材料構(gòu)成，利用該密封材料密封整個第一角速度傳感器31、電路部713以及電路基板712。
[0127]同樣，第二角速度傳感器單元72具有第二殼體721、和設置在第二殼體721內(nèi)且具有布線的電路基板722、和電連接在電路基板722上的第二角速度傳感器32以及電路部723。在本實施方式中，第二殼體721由密封材料構(gòu)成，利用該密封材料密封整個第二角速度傳感器32、電路部723以及電路基板722。
[0128]這樣，通過對第一角速度傳感器31以及電路部713、第二角速度傳感器32以及電路部723進行封裝，能夠簡化結(jié)構(gòu)。
[0129]此外，由于第一角速度傳感器單元71和第二角速度傳感器單元72相同，所以以下代表性地對第一角速度傳感器單元71進行說明。
[0130]首先，電路部713具有:對從第一角速度傳感器31輸出的信號進行AD轉(zhuǎn)換，即將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號的AD轉(zhuǎn)換部；和將上述轉(zhuǎn)換后的信號發(fā)送至機器人控制裝置20的發(fā)送部。
[0131]另外,第一殼體711的外形呈長方體。
[0132]另外，第一角速度傳感器31具有角速度的檢測軸(以下也僅稱為“檢測軸”)，檢測繞該檢測軸轉(zhuǎn)動的角速度。另外，第一角速度傳感器31的檢測軸與第一殼體711的長方體的最大面的法線一致。由此，能夠容易且可靠地識別出第一角速度傳感器31的檢測軸以及第二角速度傳感器32的檢測軸的方向，能夠容易地使第一角速度傳感器31以及第二角速度傳感器32成為適當?shù)淖藙荨６?，將第一角速度傳感?1，即將第一角速度傳感器單元71設置成第一角速度傳感器31的檢測軸與第一旋轉(zhuǎn)軸Ol平行。另外，將第二角速度傳感器32，即將第二角速度傳感器單元72設置成第二角速度傳感器32的檢測軸與第三旋轉(zhuǎn)軸03平行。
[0133]另外，如圖6以及圖8所示，第一殼體711在其4個角部具有安裝于第一臂12的安裝部7111。分別在各安裝部7111上形成有插入外螺紋(固定部件)81的孔7112。
[0134]另一方面，第一臂12具有3個臂側(cè)安裝部121，該臂側(cè)安裝部121與臂主體2a —體形成，且安裝第一角速度傳感器單元71 (第一殼體711)。各臂側(cè)安裝部121分別由在臂主體2a上突出形成的支柱構(gòu)成。另外，分別將各臂側(cè)安裝部121配置在與第一殼體711的安裝部7111對應的位置上。另外，分別在各臂側(cè)安裝部121的頂端部形成有外螺紋81螺合的內(nèi)螺紋122。
[0135]此外，所謂的與上述臂主體2a—體形成的臂側(cè)安裝部121中的“一體”并非分別形成部件再接合它們，而是例如通過壓鑄等同時形成臂主體2a和臂側(cè)安裝部121的情況。后述的與臂主體2c —體形成的臂側(cè)安裝部141中的“一體”也與此相同。
[0136]在將第一角速度傳感器單元71安裝(設置)至第一臂12時，分別將3個外螺紋81插入至第一殼體711的孔7112內(nèi)，與第一臂12的臂側(cè)安裝部121的頂端部的內(nèi)螺紋122螺合。由此，通過各外螺紋81將第一殼體711的3個安裝部7111分別固定在第一臂12的對應的臂側(cè)安裝部121上。即，在第一臂12的臂側(cè)安裝部121上安裝第一角速度傳感器單元71。該情況下，在臂側(cè)安裝部121和第一角速度傳感器單元71之間什么都不存在，即將第一角速度傳感器單元71直接安裝至臂側(cè)安裝部121。由此，能夠?qū)⒌谝唤撬俣葌鞲衅鲉卧?1可靠地安裝至第一臂12，另外，第一角速度傳感器單元71能夠可靠地與第一臂12 —體地轉(zhuǎn)動。
[0137]此外，所謂的將第一角速度傳感器單元71直接安裝至臂側(cè)安裝部121中的“直接”并非將第一角速度傳感器單元71安裝至其它基板等中間體上，并再將該中間體安裝至臂側(cè)安裝部121。即、是指在臂側(cè)安裝部121和第一角速度傳感器單元71之間除了粘合劑等之外，什么都不存在。后述的將第二角速度傳感器單元72直接安裝至臂側(cè)安裝部141中的“直接”也與此相同。
[0138]另外，外螺紋81具有導電性，例如由各種金屬材料形成。在將該外螺紋81插入第一殼體711的孔7112，并與臂側(cè)安裝部121的頂端部的內(nèi)螺紋122進行螺合時，電連接于與電路部713的接地用端子電連接的電路基板712的布線，另外，外螺紋81的頂端部與臂側(cè)安裝部121電連接。由此，電路部713的接地用端子經(jīng)由布線以及外螺紋81與第一臂12的臂主體2a電連接，而接地。由此，能夠減少接地所需要的部件件數(shù)，能夠簡化結(jié)構(gòu)。
[0139]另外，如圖7以及圖8所示，第二殼體721在其4個角部具有安裝在第3臂14的安裝部7211。分別在各安裝部7211上形成有插入外螺紋81的孔7212。
[0140]另外，如圖7所示，第三臂14具有臂側(cè)安裝部141，該臂側(cè)安裝部141與臂主體2c一體形成，且安裝第二角速度傳感器單元72 (第二殼體721)。臂側(cè)安裝部141呈與第二殼體721對應的形狀。即臂側(cè)安裝部141呈板狀，俯視時的形狀是四邊形，在本實施方式中呈長方形。另外，在臂側(cè)安裝部141的各角部上分別形成有外螺紋81螺合的內(nèi)螺紋。
[0141]在將第二角速度傳感器單元72安裝至第三臂14時，分別將4個外螺紋81插入第二殼體721的孔7212內(nèi)，與第三臂14的臂側(cè)安裝部141的頂端部的內(nèi)螺紋螺合。由此，通過各外螺紋81，將第二殼體721的4個安裝部7211分別固定到第三臂14的臂側(cè)安裝部141上。即，在第三臂14的臂側(cè)安裝部141上安裝第二角速度傳感器單元72。該情況下，在臂側(cè)安裝部141與第二角速度傳感器單元72之間什么都不存在，即將第二角速度傳感器單元72直接安裝至臂側(cè)安裝部141。由此，能夠?qū)⒌诙撬俣葌鞲衅鲉卧?2可靠地安裝至第三臂14，且第二角速度傳感器單元72能夠可靠地與第三臂14 一體地轉(zhuǎn)動。
[0142]另外，在將外螺紋81插入至第二殼體721的孔7212內(nèi)，并與臂側(cè)安裝部141的內(nèi)螺紋螺合時，與電連接于電路部723的接地用端子的電路基板722的布線電連接，另外，夕卜螺紋81的頂端部與臂側(cè)安裝部141電連接。由此，電路部723的接地用的端子經(jīng)由布線以及外螺紋81與第三臂14的臂主體2c電連接，而接地。由此，能夠減少接地所需要的部件件數(shù)，能夠簡化結(jié)構(gòu)。
[0143]接下來，參照圖4、圖9?圖13，對機器人控制裝置20的結(jié)構(gòu)進行說明。
[0144]機器人控制裝置20具有:接收部，其分別接收從第一角速度傳感器31輸出的第一信號、從第二角速度傳感器32輸出的第二信號、和從位置傳感器411?416輸出的各信號；運算部，其基于通過該接收部接收到的第一信號以及第二信號求出第一臂12的角速度的振動成分以及第三臂14的角速度的振動成分；控制部，其基于由該運算部求出的第一臂12的角速度的振動成分以及第三臂14的角速度的振動成分，來控制機器人I的動作。
[0145]具體而言，如圖4、圖9?圖13所示，機器人控制裝置20具有上述接收部、控制第一驅(qū)動源401的動作的第一驅(qū)動源控制部201、控制第二驅(qū)動源402的動作的第二驅(qū)動源控制部202、控制第三驅(qū)動源403的動作的第三驅(qū)動源控制部203、控制第四驅(qū)動源404的動作的第四驅(qū)動源控制部204、控制第五驅(qū)動源405的動作的第五驅(qū)動源控制部205、和控制第六驅(qū)動源406的動作的第六驅(qū)動源控制部206。
[0146]此外，上述運算部由第一驅(qū)動源控制部201的后述的角速度計算部561、減法器571、第二驅(qū)動源控制部202的后述的角速度計算部562、加減法器622、第三驅(qū)動源控制部203的后述的角速度計算部563構(gòu)成。
[0147]如圖9所示，第一驅(qū)動源控制部201具有減法器511、位置控制部521、減法器531、角速度控制部541、旋轉(zhuǎn)角度計算部551、角速度計算部561、減法器571、轉(zhuǎn)換部581、修正值計算部591、和加法器601。
[0148]如圖10所示，第二驅(qū)動源控制部202具有減法器512、位置控制部522、減法器
532、角速度控制部542、旋轉(zhuǎn)角度計算部552、角速度計算部562、加減法器622、轉(zhuǎn)換部582、修正值計算部592、和加法器602。
[0149]如圖10所示，第三驅(qū)動源控制部203具有減法器513、位置控制部523、減法器
533、角速度控制部543、旋轉(zhuǎn)角度計算部553、和角速度計算部563。
[0150]如圖11所示，第四驅(qū)動源控制部204具有減法器514、位置控制部524、減法器
534、角速度控制部544、旋轉(zhuǎn)角度計算部554、和角速度計算部564。
[0151]如圖12所示，第五驅(qū)動源控制部205具有減法器515、位置控制部525、減法器535、角速度控制部545、旋轉(zhuǎn)角度計算部555、和角速度計算部565。
[0152]如圖13所示，第六驅(qū)動源控制部206具有減法器516、位置控制部526、減法器
536、角速度控制部546、旋轉(zhuǎn)角度計算部556、和角速度計算部566。
[0153]這里，機器人控制裝置20基于機器人I進行的處理的內(nèi)容運算肘桿16的目標位置，生成用于使肘桿16移動到該目標位置的軌道。并且，機器人控制裝置20按照規(guī)定的控制周期測定各驅(qū)動源401~406的旋轉(zhuǎn)角度，并將基于該測定結(jié)果運算得出的值分別作為各驅(qū)動源401~406的位置指令Pc輸出至驅(qū)動源控制部201~206 (參照圖9~圖13)，以使肘桿16沿著該生成的軌道移動。此外，在上述以及以下，記作為“輸入、輸出值”等，這是“輸入、輸出與該值對應的信號”的意思。
[0154]如圖9所示，除了向第一驅(qū)動源控制部201輸入第一驅(qū)動源401的位置指令Pc之外，還分別從第一位置傳感器411、第一角速度傳感器31輸入檢測信號。第一驅(qū)動源控制部201通過使用了各檢測信號的反饋控制來驅(qū)動第一驅(qū)動源401，以使根據(jù)第一位置傳感器411的檢測信號計算出的第一驅(qū)動源的旋轉(zhuǎn)角度(位置反饋值Pfb)成為位置指令Pc，并且使后述的角速度反饋值《fb成為后述的角速度指令《C。
[0155]即，向第一驅(qū)動源控制部201的減法器511輸入位置指令Pc，并且從旋轉(zhuǎn)角度計算部551輸入后述的位置反饋值Pfb。在旋轉(zhuǎn)角度計算部551中，對從第一位置傳感器411輸入的脈沖數(shù)進行計數(shù)，并且將與該計數(shù)值對應的第一驅(qū)動源401的旋轉(zhuǎn)角度作為位置反饋值Pfb輸出至減法器511。減法器511將這些位置指令Pc與位置反饋值Pfb的偏差(從第一驅(qū)動源401的旋轉(zhuǎn)角度的目標值減去位置反饋值Pfb而得的值)輸出至位置控制部521。
[0156]位置控制部521通 過進行使用了從減法器511輸入的偏差和預先決定的系數(shù)即比例增益等的規(guī)定的運算處理，運算與該偏差對應的第一驅(qū)動源401的角速度的目標值。位置控制部521將表示該第一驅(qū)動源401的角速度的目標值(指令值)的信號作為角速度指令Oc輸出至減法器531。此外，這里，在本實施方式中，作為反饋控制進行比例控制(P控制)，但并不局限于此。
[0157]向減法器531輸入角速度指令《c，并且輸入后述的角速度反饋值cofb。減法器531將這些角速度指令Oc與角速度反饋值(Ofb的偏差(從第一驅(qū)動源401的角速度的目標值減去角速度反饋值《fb而得的值)輸出至角速度控制部541。
[0158]角速度控制部541通過使用從減法器531輸入的偏差和預先決定的系數(shù)即比例增益、積分增益等進行包含積分的規(guī)定的運算處理，生成與該偏差對應的第一驅(qū)動源401的驅(qū)動信號(驅(qū)動電流)，并經(jīng)由馬達驅(qū)動器301供給至馬達401Μ。此外，這里，在本實施方式中，作為反饋控制進行PI控制，但并不局限于此。
[0159]這樣，以位置反饋值Pfb與位置指令Pc盡可能相等，且角速度反饋值ω fb與角速度指令《C盡可能相等的方式進行反饋控制，控制第一驅(qū)動源401的驅(qū)動電流。
[0160]接下來，對第一驅(qū)動源控制部201中的角速度反饋值《fb進行說明。
[0161]在角速度計算部561中，基于從第一位置傳感器411輸入的脈沖信號的頻率，計算出第一驅(qū)動源401的角速度ωπι?，將該角速度coml輸出至加法器601。
[0162]另外，在角速度計算部561中，基于從第一位置傳感器411輸入的脈沖信號的頻率計算出第一臂12繞第一旋轉(zhuǎn)軸01轉(zhuǎn)動的角速度ωΑΙπι，并將該角速度ωΑΙπι輸出至減法器571。此外，角速度ωΑΙπι是角速度ωπι?除以第一驅(qū)動源401的馬達401Μ和第一臂12之間即關(guān)節(jié)171中的減速比而得的值。
[0163]另外，通過第一角速度傳感器31檢測第一臂12繞第一旋轉(zhuǎn)軸01轉(zhuǎn)動的角速度。而且，將該第一角速度傳感器31的檢測信號，即將通過第一角速度傳感器31檢測出的第一臂12繞第一旋轉(zhuǎn)軸01轉(zhuǎn)動的角速度ωΑΙ輸出至減法器571。
[0164]向減法器571輸入角速度ωΑΙ以及角速度ω Aim，減法器571將從該角速度ωΑΙ減去角速度ωΑΙπι而得的值coAls (= ωΑΙ — ωΑΙπι)輸出至轉(zhuǎn)換部581。該值coAls與第一臂12繞第一旋轉(zhuǎn)軸01轉(zhuǎn)動的角速度的振動成分(振動角速度)相當。以下，將《Als稱為振動角速度。在本實施方式中，進行使該振動角速度《Als (詳細而言，是基于振動角速度oAls生成的值即馬達401M中的角速度comls)放大后述的增益Ka倍后返回至驅(qū)動源401的輸入側(cè)的反饋控制。具體而言，以振動角速度《Als盡可能成為O的方式對驅(qū)動源401進行反饋控制。由此，能夠抑制機器人I的振動。此外，在該反饋控制中，控制驅(qū)動源401的角速度。
[0165]轉(zhuǎn)換部581將振動角速度oAls轉(zhuǎn)換為第一驅(qū)動源401中的角速度omls，并將角速度《mis輸出至修正值計算部591。能夠通過使振動角速度oAls乘以第一驅(qū)動源401的馬達401M和第一臂12之間，即關(guān)節(jié)171中的減速比來得到該轉(zhuǎn)換。
[0166]修正值計算部591使角速度omls乘以預先決定的系數(shù)即增益(反饋增益)Ka,求出修正值Ka.ω mls，并將該修正值Ka.ω mis輸出至加法器601。
[0167]向加法器601輸入角速度ωπι?，并輸入修正值Ka.Qmls0加法器601將角速度ωπι?與修正值Ka*comls的相加值作為角速度反饋值ω fb輸出至減法器531。此外，以后的動作如之前所述。
[0168]如圖10所示，除了向第二驅(qū)動源控制部202輸入第二驅(qū)動源402的位置指令Pc之外，還分別從第二位置傳感器412、第二角速度傳感器32輸入各個檢測信號。另外，從第三驅(qū)動源控制部203向第二驅(qū)動源控制部202輸入臂14繞第三旋轉(zhuǎn)軸03轉(zhuǎn)動的角速度ωΑ3πι。第二驅(qū)動源控制部202以根據(jù)第二位置傳感器412的檢測信號計算出的第二驅(qū)動源402的旋轉(zhuǎn)角度(位置反饋值Pfb)成為位置指令Pc，并且后述的角速度反饋值ω fb成為后述的角速度指令《C的方式，通過使用了各檢測信號的反饋控制來驅(qū)動第二驅(qū)動源402。
[0169]即，向第二驅(qū)動源控制部202的減法器512輸入位置指令Pc，并且從旋轉(zhuǎn)角度計算部552輸入后述的位置反饋值Pfb。在旋轉(zhuǎn)角度計算部552中，對從第二位置傳感器412輸入的脈沖數(shù)進行計數(shù)，并且將與該計數(shù)值對應的第二驅(qū)動源402的旋轉(zhuǎn)角度作為位置反饋值Pfb輸出至減法器512。減法器512將這些位置指令Pc與位置反饋值Pfb的偏差(從第二驅(qū)動源402的旋轉(zhuǎn)角度的目標值減去位置反饋值Pfb而得的值)輸出至位置控制部522。
[0170]位置控制部522通過進行使用了從減法器512輸入的偏差和預先決定的系數(shù)即比例增益等的規(guī)定的運算處理，運算與該偏差對應的第二驅(qū)動源402的角速度的目標值。位置控制部522將表示該第二驅(qū)動源402的角速度的目標值(指令值)的信號作為角速度指令Oc輸出至減法器532。此外，這里，在本實施方式中，作為反饋控制進行比例控制(P控制)，但并不局限于此。
[0171]向減法器532輸入角速度指令《c，并且輸入后述的角速度反饋值cofb。減法器532將這些角速度指令Oc與角速度反饋值(Ofb的偏差(從第二驅(qū)動源402的角速度的目標值減去角速度反饋值《fb而得的值)輸出至角速度控制部542。[0172]角速度控制部542通過使用從減法器532輸入的偏差和預先決定的系數(shù)即比例增益、積分增益等，進行包含積分的規(guī)定的運算處理，生成與該偏差對應的第二驅(qū)動源402的驅(qū)動信號(驅(qū)動電流)，并經(jīng)由馬達驅(qū)動器302供給至馬達402M。此外，這里，在本實施方式中，作為反饋控制進行PI控制，但并不局限于此。
[0173]這樣，以位置反饋值Pfb與位置指令Pc盡可能相等，且角速度反饋值ω fb與角速度指令《C盡可能相等的方式進行反饋控制，控制第二驅(qū)動源402的驅(qū)動電流。此外，由于第二旋轉(zhuǎn)軸02與第一旋轉(zhuǎn)軸01正交，所以能夠不受第一臂12的動作、振動的影響，能夠相對于第一驅(qū)動源401獨立地控制第二驅(qū)動源402的動作。
[0174]接下來，對第二驅(qū)動源控制部202中的角速度反饋值《fb進行說明。
[0175]在角速度計算部562中，基于從第二位置傳感器412輸入的脈沖信號的頻率來計算第二驅(qū)動源402的角速度ωπι2，并將該角速度ωπι2輸出至加法器602。
[0176]另外，在角速度計算部562中，基于從第二位置傳感器412輸入的脈沖信號的頻率，計算出第二臂13繞第二旋轉(zhuǎn)軸02轉(zhuǎn)動的角速度ωΑ2πι，并將該角速度ωΑ2πι輸出至加減法器622。此外，角速度ωΑ2πι是使角速度ωπι2除以第二驅(qū)動源402的馬達402Μ和第二臂13之間即關(guān)節(jié)172中的減速比而得的值。
[0177]另外，在第三驅(qū)動源控制部203的角速度計算部563中，基于從第三位置傳感器413輸入的脈沖信號的頻率，計算出第三臂14繞第三旋轉(zhuǎn)軸03轉(zhuǎn)動的角速度ωΑ3πι，并將該角速度《A3m輸出至加減法器622。此外，角速度ωΑ3πι是使角速度ω m3除以第三驅(qū)動源403的馬達403Μ和第三臂14之間即關(guān)節(jié)173中的減速比而得的值。
[0178]另外，通過第二角速度傳感器32檢測第三臂14繞第二旋轉(zhuǎn)軸02轉(zhuǎn)動的角速度。而且，將該第二角速度傳感器32的檢測信號即通過第二角速度傳感器32檢測出的第三臂14繞第二旋轉(zhuǎn)軸02轉(zhuǎn)動的角速度ω A3輸出至加減法器622。此外，第二旋轉(zhuǎn)軸02、第三旋轉(zhuǎn)軸03與第一旋轉(zhuǎn)軸01正交，所以能夠不受第一臂12的動作、振動的影響，能夠容易且可靠地求出第三臂14繞第二旋轉(zhuǎn)軸02的角速度。
[0179]向加減法器622輸入角速度ωΑ3、角速度ωΑ2πι以及角速度ωΑ3πι，加減法器622將從角速度ω A3減去角速度ωΑ2ηι以及角速度ωΑ3ηι而得的值coA2s(= ωΑ3 — ωΑ2ηι —ωΑ3πι)輸出至轉(zhuǎn)換部582。該值coA2s與第二臂13和第三臂14繞第二旋轉(zhuǎn)軸02轉(zhuǎn)動的合計角速度的振動成分(振動角速度)相當。以下，將《A2s稱為振動角速度。在本實施方式中，進行使該振動角速度《A2s (詳細而言，是基于振動角速度《A2s生成的值即馬達402M中的角速度《m2s)放大后述的增益Ka倍后返回至第二驅(qū)動源402的輸入側(cè)的反饋控制。具體而言，以振動角速度《A2s盡可能成為O的方式對第二驅(qū)動源402進行反饋控制。由此，能夠抑制機器人I的振動。此外，在該反饋控制中，控制第二驅(qū)動源402的角速度。
[0180]轉(zhuǎn)換部582將振動角速度ωΑ28轉(zhuǎn)換為第二驅(qū)動源402中的角速度com2s，并將該角速度om2s輸出至修正值計算部592。該轉(zhuǎn)換能夠通過對振動角速度ωΑ28乘以第二驅(qū)動源402的馬達402M與第二臂13之間即關(guān)節(jié)172中的減速比而得到。
[0181]修正值計算部592對角速度com2s乘以預先決定的系數(shù)即增益(反饋增益)Ka，求出修正值Ka.com2s，并將修正值Ka.0m2s輸出至加法器602。此外，該第二驅(qū)動源控制部202中的增益Ka和第一驅(qū)動源控制部201中的增益Ka可以相同，另外也可以不同。
[0182]向加法器602輸入角速度ωπι2，并且輸入修正值Ka.com2s。加法器602將角速度ωπι2與修正值Ka*com2s的相加值作為角速度反饋值ω fb輸出至減法器532。此外，后面的動作如之前所述。
[0183]如圖10所示，除了向第三驅(qū)動源控制部203輸入第三驅(qū)動源403的位置指令Pc之外，還從第三位置傳感器413輸入檢測信號。第三驅(qū)動源控制部203以根據(jù)第三位置傳感器413的檢測信號計算出的第三驅(qū)動源403的旋轉(zhuǎn)角度(位置反饋值Pfb)成為位置指令Pc，并且后述的角速度反饋值《fb成為后述的角速度指令《C的方式，通過使用了各檢測信號的反饋控制來驅(qū)動第三驅(qū)動源403。
[0184]即，向第三驅(qū)動源控制部203的減法器513輸入位置指令Pc，并且從旋轉(zhuǎn)角度計算部553輸入后述的位置反饋值Pfb。在旋轉(zhuǎn)角度計算部553中，對從第三位置傳感器413輸入的脈沖數(shù)進行計數(shù)，并將與該計數(shù)值對應的第三驅(qū)動源403的旋轉(zhuǎn)角度作為位置反饋值Pfb輸出至減法器513。減法器513將這些位置指令Pc和位置反饋值Pfb的偏差(從第三驅(qū)動源403的旋轉(zhuǎn)角度的目標值減去位置反饋值Pfb而得的值)輸出至位置控制部523。 [0185]位置控制部523通過進行使用了從減法器512輸入的偏差和預先決定的系數(shù)即比例增益等的規(guī)定的運算處理，運算與該偏差對應的第三驅(qū)動源403的角速度的目標值。位置控制部522將表示該第三驅(qū)動源403的角速度的目標值(指令值)的信號作為角速度指令Oc輸出至減法器533。此外，這里，在本實施方式中，作為反饋控制進行比例控制(P控制)，但并不局限于此。
[0186]另外，在角速度計算部563中，基于從第三位置傳感器413輸入的脈沖信號的頻率計算出第三驅(qū)動源403的角速度，將該角速度作為角速度反饋值ωΛ輸出至減法器533。
[0187]向減法器533輸入角速度指令ω c，并輸入角速度反饋值cofb。減法器533將這些角速度指令ω c與角速度反饋值ω fb的偏差(從第三驅(qū)動源403的角速度的目標值減去角速度反饋值ω--而得的值)輸出至角速度控制部543。
[0188]角速度控制部543通過使用從減法器533輸入的偏差和預先決定的系數(shù)即比例增益、積分增益等，進行包含積分的規(guī)定的運算處理，生成與該偏差對應的第三驅(qū)動源403的驅(qū)動信號(驅(qū)動電流)，并經(jīng)由馬達驅(qū)動器303供給至馬達403M。此外，這里，在本實施方式中，作為反饋控制進行PI控制，但并不局限于此。
[0189]這樣，以位置反饋值Pfb與位置指令Pc盡可能相等，且角速度反饋值ω fb與角速度指令《C盡可能相等的方式進行反饋控制，控制第三驅(qū)動源403的驅(qū)動電流。
[0190]此外，驅(qū)動源控制部204~206分別與上述第三驅(qū)動源控制部203相同，所以省略其說明。
[0191]如以上說明的那樣，在該機器人I以及機器人系統(tǒng)10中，能夠通過第一角速度傳感器31檢測第一臂12的角速度，并且第三旋轉(zhuǎn)軸03與第二旋轉(zhuǎn)軸02平行，所以能夠通過第二角速度傳感器32包含第二臂13的轉(zhuǎn)動量地檢測第三臂14的角速度。而且，基于這些檢測結(jié)果，能夠抑制振動。
[0192]另外，即使機器人I的姿勢發(fā)生變化，第一角速度傳感器31的檢測軸也是恒定的。因此，無需針對由第一角速度傳感器31檢測出的第一臂12的角速度進行由第一角速度傳感器31的方向所致的修正。
[0193]另外，由于第三旋轉(zhuǎn)軸03以及第二旋轉(zhuǎn)軸02正交于第一旋轉(zhuǎn)軸01或者與正交于第一旋轉(zhuǎn)軸的軸平行，所以即使機器人I的姿勢發(fā)生變化，例如第一臂12轉(zhuǎn)動，且即使第二臂13轉(zhuǎn)動，第二角速度傳感器32的檢測軸也是恒定的。因此，無需針對由第二角速度傳感器32檢測出的第三臂14的角速度進行由第二角速度傳感器32的方向所致的修正。
[0194]由此，無需復雜且龐大的運算，由此，不易產(chǎn)生運算誤差，能夠可靠地抑制振動，另外能夠提高機器人I的控制的響應速度。
[0195]另外，通過第二角速度傳感器32檢測的并非第二臂13的角速度，而是包含第二臂13的轉(zhuǎn)動量地檢測第三臂14的角速度，能夠更加可靠地抑制振動。
[0196]另外，與在第二臂13上也設置角速度傳感器的情況相比，能夠減少角速度傳感器的個數(shù)，能夠減少成本，另外能夠簡化結(jié)構(gòu)。
[0197]另外，通過控制使比第三臂14靠向基端側(cè)的第二臂13轉(zhuǎn)動的第二驅(qū)動源402的動作，能夠有效地抑制機器人I的振動。
[0198]以上，基于圖示的實施方式對本發(fā)明的機器人、機器人控制裝置以及機器人系統(tǒng)進行了說明，但本發(fā)明并不局限于此，能夠?qū)⒏鞑康臉?gòu)成置換為具有相同功能的任意的構(gòu)成。另外，也可以向本發(fā)明附加其他的任意的構(gòu)成物。
[0199]此外，作為各驅(qū)動源的馬達，除了上述伺服馬達之外，分別列舉了例如步進馬達等。另外，在作為馬達使用步進馬達的情況下，作為位置傳感器，例如也可以使用通過測量向步進馬達輸入的驅(qū)動脈沖的個數(shù)來檢測馬達的旋轉(zhuǎn)角度的傳感器。
[0200]另外，均不對各位置傳感器、各角速度傳感器的類型進行特別限定，例如列舉出光學式、磁式、電磁式、電氣式等。
[0201]另外，在上述實施方式中，基于第二角速度傳感器的檢測結(jié)果來控制使第二臂轉(zhuǎn)動的第二驅(qū)動源的動作，但并不局限于此，例如也可以基于第二角速度傳感器的檢測結(jié)果來控制使第三臂轉(zhuǎn)動的第三驅(qū)動源的動作。
[0202]另外，在上述實施方式中，機器人的旋轉(zhuǎn)軸的個數(shù)是6個，但在本發(fā)明中并不局限于此，機器人的旋轉(zhuǎn)軸的個數(shù)也可以是3個、4個、5個或者7個以上。
[0203]即，在上述實施方式中，肘桿具有2根臂，所以機器人的臂的根數(shù)是6根，但在本發(fā)明中，并不局限于此，機器人的臂的根數(shù)也可以是3根、4根、5根或者7根以上。
[0204]另外，在上述實施方式中，機器人是具有一個使多個臂以自由轉(zhuǎn)動的方式連結(jié)而成的臂連結(jié)體的單臂機器人，但在本發(fā)明中，并不局限于此，例如，也可以是具有兩個使多個臂以自由轉(zhuǎn)動的方式連結(jié)而成的臂連結(jié)體的雙臂機器人等具有多個上述臂連結(jié)體的機器人。
[0205]附圖標記說明
[0206]1...機器人(工業(yè)用機器人)；10...機器人系統(tǒng)；11...基臺;12、13、14、15...臂(連桿)；16...肘桿(連桿)；161...肘桿主體；162...支承環(huán)；163...頂端面；171、172、173、174、175、176...關(guān)節(jié)(接頭)；2、2a、2b、2c、2d...臂主體；3、3a、3b、3c、3d...驅(qū)動機構(gòu)；31、32...角速度傳感器；4、4a、4b、4c、4d...密封單元；20...機器人控制裝置；201 ~206...驅(qū)動源控制部；301、302、303、304、305、306...馬達驅(qū)動器；401、402、403、404、405、406...驅(qū)動源；401Μ、402Μ、403Μ、404Μ、405Μ、406Μ.--馬達;411、412、413、414,415,416...位置傳感器;511、512、513、514、515、516...減法器;521、522、523、524、525,526...位置控制部;531、532、533、534、535、536...減法器；541、542、543、544、545、546...角速度控制部;551、552、553、554、555、556...旋轉(zhuǎn)角度計算部；561、562、563、564、565.566...角速度計算部；571...減法器；581、582...轉(zhuǎn)換部；591、592...修正值計算部；601、602...加法器；622...加減法器；45...減速機；71、72...角速度傳感器單元；
711.721...殼體；7111、7211...安裝部；712、722...電路基板；713、723...電路部；7112、
7212...孔；81...外螺紋；85...電纜；91、92...帶輪；93...皮帶；101...地面；111...螺栓；112...基臺主體；113...圓筒狀部；114...箱狀部；121、141...臂側(cè)安裝部；122...0螺紋;241a、241b、242a、242b、244a、244b...舌片部；251、252、254...根部;01、02、03、04、
05、06...旋轉(zhuǎn)軸。
【權(quán)利要求】
1.一種機器人,其特征在于,具備: 基臺; 第一臂，其以第一旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述基臺自由轉(zhuǎn)動的方式與所述基臺連結(jié)； 第二臂，其以第二旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述第一臂自由轉(zhuǎn)動的方式與所述第一臂連結(jié)，所述第二旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸； 第三臂，其以第三旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述第二臂自由轉(zhuǎn)動的方式與所述第二臂連結(jié)，所述第三旋轉(zhuǎn)軸為平行于所述第二旋轉(zhuǎn)軸的軸； 第一角速度傳感器，其設置于所述第一臂，該第一角速度傳感器的角速度的檢測軸與所述第一旋轉(zhuǎn)軸平行；以及 第二角速度傳感器，其設置于所述第三臂，該第二角速度傳感器的角速度的檢測軸與所述第三旋轉(zhuǎn)軸平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機器人，其特征在于，具備: 第一角速度傳感器單元，其具有第一殼體和所述第一角速度傳感器以及電路部，該第一角速度傳感器以及電路部被設置于所述第一殼體內(nèi)，其中，所述電路部對從所述第一角速度傳感器輸出的信號進行AD轉(zhuǎn)換并進行發(fā)送；和 第二角速度傳感器單元，其具有第二殼體和所述第二角速度傳感器以及電路部，該第二角速度傳感器以及電路部被設置在所述第二殼體內(nèi)，其中，所述電路部對從所述第二角速度傳感器輸出的信號進行AD轉(zhuǎn)換并進行發(fā)送， 所述第一角速度傳感器單元設置于所述第一臂，所述第二角速度傳感器單元設置于所述第三臂。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機器人，其特征在于， 所述第一殼體以及所述第二殼體的外形分別呈長方體， 所述第一角速度傳感器的所述角速度的檢測軸與所述第一殼體的所述長方體最大面的法線一致， 所述第二角速度傳感器的所述角速度的檢測軸與所述第二殼體的所述長方體最大面的法線一致。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機器人，其特征在于， 所述第一殼體在所述第一殼體的角部具有安裝于所述第一臂的安裝部， 所述第二殼體在所述第二殼體的角部具有安裝于所述第三臂的安裝部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機器人，其特征在于， 具有固定部件，該固定部件具有導電性，且將所述第一殼體的所述安裝部固定于所述第一臂，所述第一角速度傳感器單元的所述電路部通過所述固定部件與所述第一臂接地連接， 具有固定部件，該固定部件具有導電性，且將所述第二殼體的所述安裝部固定于所述第三臂，所述第二角速度傳感器單元的所述電路部通過所述固定部件與所述第三臂接地連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機器人，其特征在于，所述第一臂具有筐體和與所述筐體一體形成的臂側(cè)安裝部， 所述第一角速度傳感器單元直接安裝至所述臂側(cè)安裝部。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機器人，其特征在于， 所述第三臂具有筐體和與所述筐體一體形成的臂側(cè)安裝部， 所述第二角速度傳感器單元直接安裝至所述臂側(cè)安裝部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機器人，其特征在于， 具有電纜，該電纜配置于所述第一臂，并向所述機器人供給電力， 所述第一角速度傳感器配置于所述第一臂的與所述電纜相反一側(cè)的端部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機器人，其特征在于， 具有電纜，該電纜配置于所述第三臂，并向所述機器人供給電力， 所述第二角速度傳感器配置于所述第三臂的與所述電纜相反一側(cè)的端部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機器人， 其特征在于，具備: 第四臂，其以第四旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述第三臂自由轉(zhuǎn)動的方式與所述第三臂連結(jié)，所述第四旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第三旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第三旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸； 第五臂，其以第五旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述第四臂自由轉(zhuǎn)動的方式與所述第四臂連結(jié)，所述第五旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第四旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第四旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸；以及 第六臂，其以第六旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述第五臂自由轉(zhuǎn)動的方式與所述第五臂連結(jié)，所述第六旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第五旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第五旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機器人，其特征在于， 所述第一旋轉(zhuǎn)軸與所述基臺的設置面的法線一致。
12.一種機器人控制裝置，其特征在于， 該機器人控制裝置控制機器人的動作， 所述機器人具備: 基臺; 第一臂，其以第一旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述基臺自由轉(zhuǎn)動的方式與所述基臺連結(jié)； 第二臂，其第二旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述第一臂自由轉(zhuǎn)動的方式與所述第一臂連結(jié)，所述第二旋轉(zhuǎn)軸為正交于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的軸或者是與正交于所述第一旋轉(zhuǎn)軸的軸平行的軸；以及 第三臂，其以第三旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)中心，以相對于所述第二臂自由轉(zhuǎn)動的方式與所述第二臂連結(jié)，所述第三旋轉(zhuǎn)軸為平行于所述第二旋轉(zhuǎn)軸的軸， 該機器人控制裝置具備: 接收部，其接收第一信號和第二信號，該第一信號是從設置于所述第一臂且角速度的檢測軸與所述第一旋轉(zhuǎn)軸平行的第一角速度傳感器輸出的信號，該第二信號是從設置于所述第三臂且角速度的檢測軸與所述第三旋轉(zhuǎn)軸平行的第二角速度傳感器輸出的信號；運算部，其基于通過所述接收部接收到的所述第一信號以及所述第二信號，來求出所述第一臂的角速度的振動成分以及所述第三臂的角速度的振動成分； 控制部，其基于通過所述運算部求出的所述第一臂的角速度的振動成分以及所述第三臂的角速度的振動成分，來控制所述機器人的動作。
13.—種機器人系統(tǒng),其特征在于,具備: 權(quán)利要求1所述的機器人；和 控制所述機器人的動作的機器人控制裝置。
【文檔編號】B25J18/00GK103659814SQ201310381397
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年8月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月31日
【發(fā)明者】仁宇昭雄 申請人:精工愛普生株式會社