一種機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造過程中搬運(yùn)晶圓的機(jī)械手，具體地說是一種機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置，包括手指部分、檢測裝置及安裝在所述機(jī)械手手臂上的手臂連接板，手指部分通過彈簧夾片與手臂連接板夾持連接，受到外力碰撞的手指部分可相對所述手臂連接板移動；在所述手指部分及手臂連接板上安裝有檢測手指部分與手臂連接板相對移動的檢測裝置。本發(fā)明在機(jī)械手與其他物體發(fā)生碰撞時，通過傳感器檢測手指連接板與手臂連接板之間的相對移動，控制機(jī)械手緊急停止運(yùn)動，可以對機(jī)械手和與機(jī)械碰撞的物體起到保護(hù)作用，減少碰撞造成的損失；在機(jī)械手手指發(fā)生碰撞后，不需更換零部件，拆下彈簧夾片，經(jīng)調(diào)整定位片與定位孔之間的位置后，機(jī)械手可恢復(fù)正常使用狀態(tài)。
【專利說明】一種機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造過程中搬運(yùn)晶圓的機(jī)械手，具體地說是一種機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓通過機(jī)械手來搬運(yùn)。在機(jī)械手運(yùn)動過程中，由于某種原因，機(jī)械手手指與其他物體發(fā)生碰撞時，會造成機(jī)械手和與其碰撞物體的損壞，或造成人員傷害，損失較重。一旦機(jī)械手手指發(fā)生碰撞后，只能更換零部件，既延誤了工作，又增加了生產(chǎn)成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決機(jī)械手手指因與其他物體發(fā)生碰撞造成的零部件損壞問題，本發(fā)明的目的在于提供一種機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置。該機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置在機(jī)械手與其他物體發(fā)生碰撞時，可以對機(jī)械手和與機(jī)械手碰撞的物體起到保護(hù)作用；并且機(jī)械手手指在發(fā)生碰撞后，不需更換零部件，經(jīng)調(diào)整后機(jī)械手可恢復(fù)正常使用狀態(tài)。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明包括手指部分、檢測裝置及安裝在所述機(jī)械手手臂上的手臂連接板，其中手指部分通過彈簧夾片與手臂連接板夾持連接，受到外力碰撞的手指部分可相對所述手臂連接板移動；在所述手指部分及手臂連接板上安裝有檢測手指部分與手臂連接板相對移動的檢測裝置。
[0006]其中:所述手指部分包括手指及手指連接板，該手指連接板通過所述彈簧夾片與手臂連接板夾持連接，手指安裝在手指連接板上；所述手指在受到外力碰撞時，手指及手指連接板一起相對所述手臂連接板產(chǎn)生相對位移；所述手指連接板及手臂連接板上分別開有多個定位孔，手指連接板上的定位孔與手臂連接板上的定位孔一一對應(yīng)，且相互對應(yīng)的手指連接板上的定位孔與手臂連接板上的定位孔之間設(shè)有定位片；所述定位孔為錐孔，定位片的兩端均為錐形，所述定位片錐形的兩端分別插入手指連接板及手臂連接板上相對應(yīng)的定位孔，對手指連接板及手臂連接板進(jìn)行定位；所述檢測裝置包括傳感器及磁鐵，其中傳感器安裝在手指連接板或手臂連接板上，所述磁鐵安裝在手臂連接板或手指連接板上，通過所述傳感器檢測磁鐵相對傳感器的相對運(yùn)動；所述手指連接板上設(shè)有容置彈簧夾片的豁□。
[0007]本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為:
[0008]1.本發(fā)明在機(jī)械手與其他物體發(fā)生碰撞時，通過傳感器檢測手指連接板與手臂連接板之間的相對移動，控制機(jī)械手緊急停止運(yùn)動，可以對機(jī)械手和與機(jī)械碰撞的物體起到保護(hù)作用，減少碰撞造成的損失。
[0009]2.本發(fā)明在機(jī)械手手指發(fā)生碰撞后，不需更換零部件，拆下彈簧夾片，經(jīng)調(diào)整定位片與定位孔之間的位置后，機(jī)械手可恢復(fù)正常使用狀態(tài)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本發(fā)明的爆炸圖；
[0012]其中:1為手臂連接板，2為磁鐵，3為定位片，4為傳感器，5為彈簧夾片，6為手指連接板，7為螺釘，8為手指,9為連接孔,10為定位孔,11為豁口。

【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。
[0014]如圖1、圖2所示，本發(fā)明包括手指部分、檢測裝置及安裝在機(jī)械手手臂上的手臂連接板1，其中手指部分包括手指8及手指連接板6,手指連接板6是手指8和機(jī)械手的手臂部分連接的銜接部件，手指8的一端搬運(yùn)晶圓，手指8的另一端通過螺釘7與手指連接板6固接成一體、組成機(jī)器手的手指部分。
[0015]手臂連接板1上開有多個連接孔9，可以與機(jī)器人的手臂連接，屬于機(jī)械手手臂部分。手指連接板6通過彈簧夾片5與手臂連接板1夾持連接，并可相對手臂連接板1相對移動，彈簧夾片5將手指連接板6和手臂連接板1夾持連接，并提供夾持力，當(dāng)手指8受到碰撞的外力作用時，手指8連同手指連接板6可以與手臂連接板1產(chǎn)生相對位移。本實施例在手指連接板6的兩側(cè)各設(shè)置了兩個彈簧夾片5，相應(yīng)地，在手指8的另一端兩側(cè)分別開有兩個容置彈簧夾片5的豁口 11，以避免手指連接板6與手臂連接板1夾持時，手指8對彈黃夾片5造成干涉。
[0016]手指連接板6及手臂連接板1上分別開有多個定位孔10，手指連接板6上的定位孔10與手臂連接板1上的定位孔10 —一對應(yīng)，且相互對應(yīng)的手指連接板6上的定位孔10與手臂連接板1上的定位孔之間設(shè)有定位片3。本實施例的定位孔10為錐孔，定位片3的兩端均為錐形，定位片3錐形的兩端分別插入手指連接板6及手臂連接板1上相對應(yīng)的定位孔10，對手指連接板6及手臂連接板1進(jìn)行定位。定位片3的作用是確定手指連接板6和手臂連接板1連接的相對位置，當(dāng)手指連接板6與手臂連接板1產(chǎn)生相對位移時，定位片3可以滑出與其配合的定位孔10。
[0017]在手指連接板6及手臂連接板1上安裝有檢測手指部分與手臂連接板1相對移動的檢測裝置，檢測裝置包括傳感器4及磁鐵2，其中傳感器4安裝在手指連接板6或手臂連接板1上，磁鐵2安裝在手臂連接板1或手指連接板6上；本實施例的傳感器4固定在手指連接板6上、并與機(jī)械手控制器(現(xiàn)有技術(shù))電連接，圓形的磁鐵2固定在手臂連接板1上，通過傳感器4檢測磁鐵2相對傳感器4自身是否有相對運(yùn)動，可以檢測機(jī)械手的手指8連同手指連接板6和手臂連接板1是否有相對運(yùn)動，并將檢測信號發(fā)送給機(jī)械手控制器。本發(fā)明的傳感器4可為非接觸式的磁性傳感器、光電傳感器或電容傳感器，也可為接觸式傳感器。
[0018]本發(fā)明的工作原理為:
[0019]在機(jī)械手正常運(yùn)動和搬運(yùn)晶片過程中，手指部分與手臂部分有確定的位置關(guān)系，并保持不變，傳感器4不發(fā)送碰撞信號。當(dāng)機(jī)械手發(fā)生碰撞時，在碰撞的外力作用下，手指8連同手指連接板6可以與手臂連接板1產(chǎn)生相對位移，傳感器4可以檢測機(jī)械手的手指8連同手指連接板6和手臂連接板1是否有相對運(yùn)動，并可將檢測信號發(fā)送給機(jī)械手控制器。機(jī)械手控制器通過對傳感器4的信號處理和分析判斷是否發(fā)生碰撞。機(jī)械手的手指8發(fā)生碰撞時，機(jī)械手控制器命令機(jī)械手緊急停止運(yùn)動，從而保護(hù)機(jī)械手和與機(jī)械手發(fā)生碰撞的物體。
[0020]機(jī)械手發(fā)生碰撞后，手指8連同手指連接板6與手臂連接板1產(chǎn)生相對位移。拆下彈簧夾片5，通過定位片3與手指連接板6和手臂連接板1上定位孔10的配合，可恢復(fù)手指8連同手指連接板6與手臂連接板1在機(jī)械手碰撞前的相對位置關(guān)系。手指8連同手指連接板6與手臂連接板1相對位置關(guān)系恢復(fù)完成后，夾上彈簧夾片5，機(jī)械手可恢復(fù)到碰撞前正常工作狀態(tài)。
【權(quán)利要求】
1.一種機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置，其特征在于:包括手指部分、檢測裝置及安裝在所述機(jī)械手手臂上的手臂連接板(1)，其中手指部分通過彈簧夾片(5)與手臂連接板(I)夾持連接，受到外力碰撞的手指部分可相對所述手臂連接板(I)移動；在所述手指部分及手臂連接板(I)上安裝有檢測手指部分與手臂連接板(I)相對移動的檢測裝置。
2.按權(quán)利要求1所述的機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置，其特征在于:所述手指部分包括手指(8)及手指連接板(6 )，該手指連接板(6 )通過所述彈簧夾片(5 )與手臂連接板(I)夾持連接，手指(8)安裝在手指連接板(6)上；所述手指(8)在受到外力碰撞時，手指(8)及手指連接板(6)一起相對所述手臂連接板(I)產(chǎn)生相對位移。
3.按權(quán)利要求2所述的機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置，其特征在于:所述手指連接板(6)及手臂連接板(I)上分別開有多個定位孔(10)，手指連接板(6)上的定位孔(10)與手臂連接板(1)上的定位孔(10)—一對應(yīng)，且相互對應(yīng)的手指連接板(6)上的定位孔(10)與手臂連接板(I)上的定位孔之間設(shè)有定位片(3 )。
4.按權(quán)利要求3所述的機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置，其特征在于:所述定位孔(10)為錐孔，定位片(3)的兩端均為錐形，所述定位片(3)錐形的兩端分別插入手指連接板(6)及手臂連接板(I)上相對應(yīng)的定位孔(10)，對手指連接板(6)及手臂連接板(I)進(jìn)行定位。
5.按權(quán)利要求2或3所述的機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置，其特征在于:所述檢測裝置包括傳感器(4)及磁鐵(2)，其中傳感器(4)安裝在手指連接板(6)或手臂連接板(I)上，所述磁鐵(2)安裝在手臂連接板(I)或手指連接板(6)上，通過所述傳感器(4)檢測磁鐵(2)相對傳感器(4)的相對運(yùn)動。
6.按權(quán)利要求2或3所述的機(jī)械手碰撞保護(hù)裝置，其特征在于:所述手指連接板(6)上設(shè)有容置彈簧夾片(5 )的豁口( 11)。
【文檔編號】B25J19/06GK104440924SQ201310437065
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2013年9月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月22日
【發(fā)明者】門恩國, 王繼周 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司