專(zhuān)利名稱(chēng)：工件搬運(yùn)機(jī)器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種工件搬運(yùn)機(jī)器人。用于機(jī)器人與工件的加工系統(tǒng)，包括固定聯(lián)接的基座組件，具有一個(gè)端部執(zhí)行器的光輸入的光傳感器，其特征是:在所述處理腔室內(nèi)產(chǎn)生光感，移動(dòng)的端部執(zhí)行器執(zhí)行光輸入，記錄得到達(dá)光傳感器的光量變化，在記錄的信號(hào)中獲得所期望的端部位置。
背景技術(shù)：
目前，公知的工件處理系統(tǒng)通常采用真空傳送機(jī)器人，在大氣壓存儲(chǔ)貯器中轉(zhuǎn)移工件(例如，半導(dǎo)體晶片)，真空輸送機(jī)器人包括一個(gè)具有端部執(zhí)行器的伸縮臂，通過(guò)晶片操控端部執(zhí)行器。本實(shí)用新型是一種工件搬運(yùn)機(jī)器人，運(yùn)用主要以固定聯(lián)接的基座組件，具有一個(gè)端部執(zhí)行器的光輸入的光傳感器，其特征是:在所述處理腔室內(nèi)產(chǎn)生光感，移動(dòng)的端部執(zhí)行器執(zhí)行光輸入，記錄得到達(dá)光傳感器的光量變化，在記錄的信號(hào)中獲得所期望的端部位置，這點(diǎn)創(chuàng)新設(shè)計(jì)在商業(yè)運(yùn)營(yíng)推廣中是一種極大的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，可貴的是這項(xiàng)技術(shù)原理簡(jiǎn)單，并且其設(shè)方案合理實(shí)用，在思維上打破成規(guī)，從而帶來(lái)了新的技術(shù)革命。
發(fā)明內(nèi)容為了克服目前傳統(tǒng)的工件搬運(yùn)結(jié)構(gòu)在運(yùn)作構(gòu)筑上存在的缺陷，實(shí)用新型提供了一種工件搬運(yùn)機(jī)器人，運(yùn)用以固定聯(lián)接的基座組件，具有一個(gè)端部執(zhí)行器的光輸入的光傳感器，其特征是:在所述處理腔室內(nèi)產(chǎn)生光感，移動(dòng)的端部執(zhí)行器執(zhí)行光輸入，記錄得到達(dá)光傳感器的光量變化，在記錄的信號(hào)中獲得所期望的端部位置，通過(guò)此項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新的產(chǎn)品能更好的被運(yùn)用及推廣在商業(yè)及工程技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:用于機(jī)器人與工件的加工系統(tǒng)，包括固定聯(lián)接的基座組件，具有一個(gè)端部執(zhí)行器的光輸入的光傳感器，其特征是:在處理腔室內(nèi)產(chǎn)生光感，移動(dòng)的端部執(zhí)行器執(zhí)行光輸入，記錄得到達(dá)光傳感器的光量變化，在記錄的信號(hào)中獲得所期望的端部位置，光傳感器包括一個(gè)光學(xué)發(fā)射器，激活的等離子體源，確定中心位置，在該位置的開(kāi)口駐留端光沿路徑輸入端部執(zhí)行器到達(dá)與第二路徑相交的中心位置，達(dá)成旋轉(zhuǎn)和擴(kuò)展路徑，結(jié)構(gòu)系統(tǒng)中還包括一個(gè)光束傳感器，確定越區(qū)切換的通過(guò)光束，實(shí)現(xiàn)了這種工件搬運(yùn)機(jī)器人的實(shí)際效用。也借由端部執(zhí)行器和光傳感器具有光學(xué)輸入耦合到控制器，同時(shí)耦合到處理腔室的基座組件的光傳感器，記錄傳感器信號(hào)增益對(duì)端部執(zhí)行器的位置效應(yīng)起到控制。這種工件搬運(yùn)機(jī)器人的設(shè)計(jì)更加適用于工程技術(shù)上的控件應(yīng)用，擴(kuò)大了使用范圍，并且也可以在更多領(lǐng)域運(yùn)用此項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新從而帶來(lái)更多的收益。本實(shí)用新型的有益效果是，在實(shí)際的運(yùn)用過(guò)程中，此項(xiàng)實(shí)用新型提供了一種工件搬運(yùn)機(jī)器人，通過(guò)以固定聯(lián)接的基座組件，具有一個(gè)端部執(zhí)行器的光輸入的光傳感器，其特征是:在所述處理腔室內(nèi)產(chǎn)生光感，移動(dòng)的端部執(zhí)行器執(zhí)行光輸入，記錄得到達(dá)光傳感器的光量變化，在記錄的信號(hào)中獲得所期望的端部位置，提升了這種工件搬運(yùn)機(jī)器人的實(shí)際職倉(cāng)泛。以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。


圖1是本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)原理圖。圖中1.工件搬運(yùn)機(jī)器人，2.基座組件，3.端部執(zhí)行器，4.光傳感器。
具體實(shí)施方式
在
圖1中，工件搬運(yùn)機(jī)器人，以基座組件2具有端部執(zhí)行器3的光傳感器4，實(shí)現(xiàn)工件搬運(yùn)機(jī)器人I的有效操作。
權(quán)利要求1.一種工件搬運(yùn)機(jī)器人，用于機(jī)器人與工件的加工系統(tǒng)，包括固定聯(lián)接的基座組件，具有一個(gè)端部執(zhí)行器的光輸入的光傳感器，其特征是:在處理腔室內(nèi)產(chǎn)生光感,移動(dòng)的端部執(zhí)行器執(zhí)行光輸入，記錄得到達(dá)光傳感器的光量變化。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件搬運(yùn)機(jī)器人，其特征是:光傳感器包括一個(gè)光學(xué)發(fā)射器，激活的等離子體源，確定中心位置，在該位置的開(kāi)口駐留端光沿路徑輸入端部執(zhí)行器到達(dá)與第二路徑相交的中心位置，達(dá)成旋轉(zhuǎn)和擴(kuò)展路徑，結(jié)構(gòu)系統(tǒng)中還包括一個(gè)光束傳感器，確定越區(qū)切換的通過(guò)光束。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件搬運(yùn)機(jī)器人，其特征是:端部執(zhí)行器和光傳感器具有光學(xué)輸入耦合到控制器，同時(shí)耦合到處理腔室的基座組件的光傳感器，記錄傳感器信號(hào)增益對(duì)端部執(zhí)行器的位置 效應(yīng)起到控制。
專(zhuān)利摘要一種工件搬運(yùn)機(jī)器人。用于機(jī)器人與工件的加工系統(tǒng)，包括固定聯(lián)接的基座組件，具有一個(gè)端部執(zhí)行器的光輸入的光傳感器，其特征是在所述處理腔室內(nèi)產(chǎn)生光感，移動(dòng)的端部執(zhí)行器執(zhí)行光輸入，記錄得到達(dá)光傳感器的光量變化，在記錄的信號(hào)中獲得所期望的端部位置，光傳感器包括一個(gè)光學(xué)發(fā)射器，激活的等離子體源，確定中心位置，在該位置的開(kāi)口駐留端光沿路徑輸入端部執(zhí)行器到達(dá)與第二路徑相交的中心位置，達(dá)成旋轉(zhuǎn)和擴(kuò)展路徑，結(jié)構(gòu)系統(tǒng)中還包括一個(gè)光束傳感器，確定越區(qū)切換的通過(guò)光束，更符合市場(chǎng)需求，使用前景更加廣闊。
文檔編號(hào)B25J19/04GK203077302SQ20132005081
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月30日
發(fā)明者劉玲 申請(qǐng)人:劉玲