新型固晶機焊臂驅動裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種新型固晶機焊臂驅動裝置，包括設有平行移動電機的電機基座，位于該電機基座的端部設有垂直移動電機，該平行移動電機的轉軸設有焊臂連接座，該焊臂連接座外側周圍均勻分布有多個焊臂，每個焊臂包括設有晶圓吸嘴的焊臂本體，所述平行移動電機和垂直移動電機分別與控制模塊連接。由平行移動電機將焊臂移動至所需位置后，再由垂直移動電機使焊臂連接座向下移動，再通過設于焊臂本體和吸嘴支架之間的滑動氣缸精確調節(jié)晶圓吸嘴的位置拾起晶圓進行后續(xù)鍵合操作。通過適當的調節(jié)和控制，在平行移動電機在平行移動時，該垂直移動電機使焊臂向下移動到適當的位置，可以避免在平行移動時，垂直移動電機完全空閑狀態(tài)，減少移動時間，提高焊接效率。
【專利說明】新型固晶機焊臂驅動裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體固晶【技術領域】，特別涉及一種固晶機用的平移馬達與垂直馬達分離的新型固晶機焊臂驅動裝置。
【背景技術】
[0002]半導體固晶裝置在進行作時需要將固晶用的物料通過上料裝置輸送至相應位置后，由機械手將晶體，如LED晶圓移動到基板對應位置進行焊接。
[0003]現有的半導體固晶裝置中對焊臂進行移動，由于焊臂運動的軌跡只能作二維X-Y座標系內直線移動，平行移動的電機和垂直移動的電機為一體結構，其平移的過程無法進行垂直移動，當平移完成后才能進行垂直移動，使得移動的時間變長，因此影響焊接效率。
實用新型內容
[0004]本實用新型主要解決的技術問題是提供一種新型固晶機焊臂驅動裝置，該新型固晶機焊臂驅動裝置可以避免平行移動的電機和垂直移動的電機一體結構時需要分步完動移動動作，其移動時間較長，減少焊臂移動時間，提高焊臂移動效率，進而提高工作效率。
[0005]為了解決上述問題，本實用新型提供一種新型固晶機焊臂驅動裝置，該新型固晶機焊臂驅動裝置包括設有平行移動電機的電機基座，位于該電機基座的端部設有垂直移動電機，該平行移動電機的轉軸設有焊臂連接座，該焊臂連接座外側周圍均勻分布有多個焊臂，每個焊臂包括設有晶圓吸嘴的焊臂本體，所述平行移動電機和垂直移動電機分別與控制豐吳塊連接。
[0006]進一步地說，所述焊臂為四個，所述垂直移動電機的數量與焊臂的數量相同。
[0007]進一步地說，所述垂直移動電機包括音圈直線電機。
[0008]進一步地說，所述平行移動電機包括伺服電機。
[0009]進一步地說，所述焊臂連接座為方形或圓柱形。
[0010]本實用新型新型固晶機焊臂驅動裝置，包括設有平行移動電機的電機基座，位于該電機基座的端部設有垂直移動電機，該平行移動電機的轉軸設有焊臂連接座，該焊臂連接座外側周圍均勻分布有多個焊臂，每個焊臂包括設有晶圓吸嘴的焊臂本體，所述平行移動電機和垂直移動電機分別與控制模塊連接。工作時，由平行移動電機將焊臂移動至所需位置后，再由垂直移動電機使焊臂連接座向下移動，與該焊臂連接座連接的四個焊臂同步向下移動，再通過設于焊臂本體和吸嘴支架之間的滑動氣缸精確調節(jié)晶圓吸嘴的位置拾起晶圓，進行后續(xù)鍵合操作。通過適當的調節(jié)和控制，可以在平行移動電機在平行移動時，該垂直移動電機使焊臂向下移動到適當的位置，當平行移動到適當位置時，再將垂直移動電機移動細小距離，可以避免在平行移動時，垂直移動電機完全空閑狀態(tài)，減少移動時間，提高焊接效率。
【專利附圖】

【附圖說明】[0011]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，而描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來說，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他附圖。
[0012]圖1是本實用新型固晶機用多焊臂裝置實施例結構示意圖。
[0013]圖2是焊臂結構放大示意圖。
[0014]下面結合實施例，并參照附圖，對本實用新型目的的實現、功能特點及優(yōu)點作進一步說明。
【具體實施方式】
[0015]為了使實用新型的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0016]如圖1和圖2所示，本實用新型提供一種新型固晶機焊臂驅動裝置實施例。
[0017]該新型固晶機焊臂驅動裝置包括:設有平行移動電機3的電機基座1，位于該電機基座I的端部設有垂直移動電機2，該平行移動電機3的轉軸設有焊臂連接座41，該焊臂連接座41外側周圍均勻分布有多個焊臂，每個焊臂包括焊臂本體44，在該焊臂本體44上設有晶圓吸嘴42，所述平行移動電機3和垂直移動電機2分別與控制模塊連接。
[0018]具體地說，所述焊臂連接座41為方形或圓柱形，在該焊臂連接座41設有四個焊臂，在該焊臂本體44上設有一個使吸嘴支架40上下移動的滑動氣缸43，該吸嘴支架44設有與氣源連接的晶圓吸嘴42。所述垂直移動電機2對稱設于電機基座I下，其數量優(yōu)選為四個，該垂直移動電機2包括音圈直線電機。所述平行移動電機3包括伺服電機。
[0019]工作時，由平行移動電機3將焊臂移動至所需位置后，再由垂直移動電機2使焊臂連接座41向下移動，與該焊臂連接座41連接的四個焊臂同步向下移動，再通過設于焊臂本體44和吸嘴支架40之間的滑動氣缸43精確調節(jié)晶圓吸嘴42的位置拾起晶圓，進行后續(xù)鍵合操作。通過適當的調節(jié)和控制，可以在平行移動電機在平行移動時，該垂直移動電機使焊臂向下移動到適當的位置，當平行移動到適當位置時，再移動細小距離，可以避免在平行移動時，垂直移動電機完全空閑狀態(tài)，減少移動時間，提高焊接效率。
[0020]以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領域的普通技術人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換，而這些修改或替換，并不使相應技術方案的本質脫離本實用新型各實施例技術方案的精神和范圍。
【權利要求】
1.新型固晶機焊臂驅動裝置，包括設有平行移動電機的電機基座，其特征在于: 位于該電機基座的端部設有垂直移動電機，該平行移動電機的轉軸設有焊臂連接座，該焊臂連接座外側周圍均勻分布有多個焊臂，每個焊臂包括設有晶圓吸嘴的焊臂本體，所述平行移動電機和垂直移動電機分別與控制模塊連接。
2.根據權利要求1所述的新型固晶機焊臂驅動裝置，其特征在于:所述焊臂為四個，所述垂直移動電機的數量與焊臂的數量相同。
3.根據權利要求1或2所述的新型固晶機焊臂驅動裝置，其特征在于: 所述垂直移動電機包括音圈直線電機。
4.根據權利要求1所述的新型固晶機焊臂驅動裝置，其特征在于: 所述平行移動電機包括伺服電機。
【文檔編號】B25J9/12GK203527469SQ201320681959
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年10月25日 優(yōu)先權日:2013年10月25日
【發(fā)明者】區(qū)大公 申請人:深圳市恒睿智達科技有限公司